JP2022045741A - 液体取扱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体導入部の底部の壁面に溝を有する場合であっても、当該溝における液残りを抑制することができる液体取扱装置を提供すること。【解決手段】本発明の液体取扱装置は、液体導入部と、前記液体導入部の底面を取り囲むように、前記液体導入部の底部の壁面に配置された溝と、前記溝の壁面に開口し、前記液体導入部から導入された液体を流通させるための流路と、前記溝の壁面に開口し、前記溝に残った前記液体を取り除くための気体を前記溝に供給するための気体流路とを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、液体取扱装置に関する。

近年、タンパク質や核酸などの微量な物質の分析を高精度かつ高速に行うために、マイクロ流路チップが使用されている。マイクロ流路チップは、分析に必要な試薬および試料の量が少なくてよいという利点を有しており、臨床検査や食物検査、環境検査などの様々な用途での使用が期待されている。そこで、複雑な構造を持つ、様々な形状のマイクロ流路チップが開発されている（例えば、特許文献１参照）。

図１は、特許文献１のマイクロ流路チップ１を示す部分断面図である。図１に示されるように、マイクロ流路チップ１は、（液体導入路２の）開口部３、筒状領域４、外周領域５、および流路６を有する。

特開２０１９－３２２３３号公報

このようなマイクロ流路チップ１では、外周領域５の壁面は、筒状領域４の壁面よりも凹んでいる。すなわち、外周領域５は、液体導入部の底部の壁面に溝を形成している。そのような溝には、毛細管現象などにより液体が入り込みやすいが、溝に入った液体が抜けにくい場合がある。そのような溝を有するマイクロ流路チップ１であっても、流路６に液体を導入させた後に、当該溝に液体ができるだけ残らないようにすること（液残りを抑制すること）が、これまで以上に望まれている。

そこで、本発明の目的は、液体導入部の底部の壁面に溝を有する場合であっても、当該溝における液残りを抑制することができる液体取扱装置を提供することである。

本発明の液体取扱装置は、液体導入部と、前記液体導入部の底面を取り囲むように、前記液体導入部の底部の壁面に配置された溝と、前記溝の壁面に開口し、前記液体導入部から導入された液体を流通させるための流路と、前記溝の壁面に開口し、前記溝に残った前記液体を取り除くための気体を前記溝に供給するための気体流路とを有する。

本発明によれば、液体導入部の底部の壁面に溝を有する場合であっても、当該溝における液残りを抑制することができる液体取扱装置を提供することができる。

図１は、特許文献１のマイクロ流路チップの構成を示す部分断面図である。 図２Ａ～Ｃは、実施の形態１に係るマイクロ流路チップの構成を示す図である。 図３Ａは、図２Ｂの液体導入部付近の拡大図であり、図３Ｂは、図３Ａの部分拡大図であり、図３Ｃは、図２Ｃの液体導入部付近の拡大図である。 図４Ａ～Ｃは、比較用のマイクロ流路チップの動作を示す図である。 図５Ａ～Ｃは、実施の形態１に係るマイクロ流路チップの動作を示す図である。 図６Ａ～Ｃは、実施の形態２に係るマイクロ流路チップの構成を示す図である。 図７Ａは、図６Ｂの液体導入部付近の拡大図であり、図７Ｂは、図６Ｃの液体導入部付近の拡大図である。 図８Ａ～Ｃは、実施の形態２にマイクロ流路チップの動作を示す断面図である。 図９Ａ～Ｃは、変形例に係るマイクロ流路チップの構成を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明においては、液体取扱装置の代表例として、マイクロ流路チップについて説明する。

［実施の形態１］
（マイクロ流路チップの構成）
図２Ａ～Ｃは、実施の形態１に係るマイクロ流路チップ１００の構成を示す図である。このうち、図２Ａは、マイクロ流路チップ１００の平面図であり、図２Ｂは、マイクロ流路チップ１００の２Ｂ－２Ｂ線の断面図であり、図２Ｃは、マイクロ流路チップ１００の底面図である。図３Ａは、図２Ｂの液体導入部１３０付近の拡大図であり、図３Ｂは、図３Ａの部分拡大図であり、図３Ｃは、図２Ｃの液体導入部１３０付近の拡大図である。

図２Ａ～Ｃ、３ＡおよびＢに示されるように、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００は、基板１１０と、フィルム１２０とを有する。

基板１１０は、第１貫通孔１１１、第２貫通孔１１２、第３貫通孔１１３、第１溝（凹部）１１４、第２溝（凹部）１１５および第３溝（凹部）１１６を有する（図２Ｂ参照）。第１溝１１４、第２溝１１５および第３溝１１６は、基板１１０の一方の面（底面）に形成されている。このうち、第１溝１１４および第２溝１１５は、第１貫通孔１１１および第２貫通孔１１２の底部の縁に沿ってそれぞれ形成されている。第３溝１１６は、第１溝１１４および第２溝１１５を連通している。

基板１１０の厚みｔは、特に限定されない（図２Ｂ参照）。例えば、基板１１０の厚みｔは、１～１０ｍｍである。基板１１０の、第１貫通孔１１１、第２貫通孔１１２および第３貫通孔１１３が形成される部分の厚みは、他の部分よりも厚くてもよいし、他の部分と同じ厚みであってもよい。本実施の形態では、基板１１０の、第１貫通孔１１１、第２貫通孔１１２および第３貫通孔１１３が形成される部分の厚みが、他の部分よりも厚くなっている。基板１１０の材料も、特に限定されない。例えば、基板１１０の材料は、公知の樹脂およびガラスから適宜選択されうる。基板１１０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。

フィルム１２０は、基板１１０に形成された貫通孔や溝の開口部を塞ぐように、基板１１０の一方の面（底面）に接合されている。

フィルム１２０の厚みは、特に限定されないが、例えば３０～３００μｍでありうる。また、フィルム１２０の材料も、特に限定されず、公知の樹脂から適宜選択されうる。フィルム１２０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、およびシリコーン樹脂が含まれる。フィルム１２０は、例えば熱溶着やレーザ溶着、接着剤などにより基板１１０に接合される。

フィルム１２０により塞がれた基板１１０の第１貫通孔１１１および第２貫通孔１１２は、液体導入部１３０および液体取出部１５０となり、第３貫通孔１１３は、気体流路１６０となる（図２Ｂ参照）。第１溝１１４および第２溝１１５は、円周溝１３１（液体導入部１３０の壁面の底部に配置された溝）および１５１となり、第３溝１１６は、液体試料を流すための流路１４０（送液流路）となる（図２Ｂ参照）。

すなわち、図２Ａ～Ｃに示されるように、マイクロ流路チップ１００は、液体導入部１３０、流路１４０および液体取出部１５０を有する。液体導入部１３０の底部には円周溝１３１、液体取出部１５０の底部には円周溝１５１がそれぞれ形成されており、これらは流路１４０を介して連通している。そして、マイクロ流路チップ１００は、円周溝１３１の壁面に開口し、気体を供給するための気体流路１６０をさらに有する。

液体導入部１３０は、液体を流路１４０に導入するための導入口であり、具体的には、流路１４０に導入するための液体を収容する凹部である（図３Ａ参照）。液体導入部１３０の形状および大きさは、外部から液体導入部１３０に液体を導入することができれば、特に限定されないが、気体流路１６０を形成しやすい観点から、基板１１０の厚み方向（または凹部の深さ方向）において、液体導入部１３０の底部に向かうにつれて内径（円相当径）が小さくなる形状であることが好ましい。そのような液体導入部１３０の形状の例には、円錐台形状が含まれる（図３Ａ参照）。

円周溝１３１は、液体導入部１３０の底部の壁面に、液体導入部１３０の底面を取り囲むように配置されている（図３Ａ参照）。具体的には、円周溝１３１は、上記の通り、基板１１０に配置された第１溝１１４（本実施の形態ではＬ字溝）の開口部の一部がフィルム１２０で塞がれることで形成される溝であり、液体導入部１３０の壁面の下端のみが、壁面全体に対して凹むように配置されている（図３Ａ参照）。このような円周溝１３１は、基板１１０を金型成形で成形する際に用いられる金型部材であるランディングパッドに起因して形成されてもよい。

マイクロ流路チップ１００を平面視したとき、円周溝１３１の外縁で囲まれる領域の円相当径ｄ２は、液体導入部１３０のうち円周溝１３１と隣接する底部の内径（円相当径）ｄ１よりも大きい（図３Ｂ参照）。具体的には、液体導入部１３０の円周溝１３１と隣接する底部の内径をｄ１としたとき、円周溝１３１の外縁で囲まれる領域の円相当径ｄ２は、ｄ１＋５０μｍ～ｄ１＋２００μｍ程度でありうる。

円周溝１３１の幅ｗ（基板１１０の厚み方向の高さ）は、特に制限されないが、例えば１０～１５０μｍ程度でありうる（図３Ｂ参照）。

流路１４０は、液体導入部１３０の底部にある円周溝１３１の壁面に開口している（図３ＡおよびＢ参照）。本実施の形態では、流路１４０の一端が、液体導入部１３０の底部の円周溝１３１に開口し、他端が、液体取出部１５０の底部の円周溝１５１に開口している（図２Ｂ参照）。それにより、流路１４０は、液体導入部１３０に導入された液体を、液体取出部１５０まで移動させる。

流路１４０の断面形状および断面積は、液体を液体導入部１３０から液体取出部１５０に移動させることができれば特に限定されない。例えば、流路１４０の断面形状は、略矩形でありうる。流路１４０の断面積は、後述する気体流路１６０の断面積よりも小さいことが好ましい。例えば、流路１４０の幅は、１０～５００μｍであることが好ましく、深さは１０～５００μｍであることが好ましい。なお、本明細書において、「流路の断面」とは、液体（または気体）の流れ方向に直交する流路の断面を意味する。

液体取出部１５０は、流路１４０から導入された液体を取り出すための取出口であり、具体的には、流路１４０から導入された液体を収容する凹部である。液体取出部１５０の形状および大きさは、特に制限されず、液体導入部１３０の形状および大きさとそれぞれ同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、液体取出部１５０の形状および大きさは、液体導入部１３０の形状および大きさとそれぞれ同じである。

円周溝１５１は、液体取出部１５０の底部の壁面に、液体導入部１３０の底面を取り囲むように配置されている（図２Ｂ参照）。液体取出部１５０における円周溝１５１の形状や大きさは、液体導入部１３０における円周溝１３１の形状および大きさと同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、液体取出部１５０における円周溝１５１の形状および大きさは、液体導入部１３０における円周溝１３１の形状および大きさと同じである。

これらの構成により、液体導入部１３０に導入された液体は、流路１４０に導入され、液体取出部１５０に取り出される。本発明では、上記の通り、液体導入部１３０の円周溝１３１に残った液体を除去するための気体流路１６０を有する。

気体流路１６０は、液体導入部１３０の円周溝１３１の壁面に開口しており、円周溝１３１に気体を供給できるようになっている。それにより、気体流路１６０から供給された気体によって、円周溝１３１に残った液体を押し出し、取り除くことができる。

気体流路１６０は、上記の通り、円周溝１３１に気体を供給できるように構成されていればよく、特に制限されないが、例えば液体導入部１３０の壁面に開口し、そこから気体を取り込めるように形成された流路（または孔）であってもよいし（図３Ａ参照）、液体導入部１３０とは別の気体導入部（例えば後述の気体導入部１７０）から気体を取り込めるように形成された流路であってもよい（後述の図７および８参照）。本実施の形態では、気体流路１６０は、液体導入部１３０の壁面に開口し、そこから気体を取り込めるように形成された、鉛直方向に延びた流路である（図３Ａ参照）。すなわち、気体流路１６０は、一端が液体導入部１３０の壁面に開口し、他端が円周溝１３１の壁面に開口している。

気体流路１６０の開口部は、円周溝１３１の壁面の任意の位置に配置されうる。中でも、円周溝１３１のうち、流路１４０の開口部から離れた位置で液残りが生じやすいことから、気体流路１６０の開口部は、流路１４０の開口部から離れた位置に配置されることが好ましい。具体的には、マイクロ流路チップ１００を平面視したときに、（円周溝１３１の壁面における）気体流路１６０の開口部は、液体導入部１３０の底面の重心を挟んで、（円周溝１３１の壁面における）流路１４０の開口部と対向するように配置されることが好ましい（図３Ｃ参照）。それにより、液体を流路１４０に導入した後に、円周溝１３１に残りやすい液体も、気体流路１６０から供給される気体によって取り除くことができる。本実施の形態では、液体導入部１３０の底面の重心は、液体導入部１３０の底面の中心である。

また、本実施の形態のように、円周溝１３１が複数の壁面（上壁面１３１Ａ、側壁面１３１Ｂ）で構成されている場合、気体流路１６０は、円周溝１３１の上壁面１３１Ａに開口していてもよいし、側壁面１３１Ｂに開口していてもよい。本実施の形態では、気体流路１６０は、円周溝１３１の側壁面１３１Ｂに開口している（図３ＡおよびＢ参照）。

気体流路１６０の断面形状および断面積は、気体を円周溝１３１に導入または供給することができれば特に限定されない。例えば、気体流路１６０の断面形状は、円形であってもよい（図３Ｃ参照）。

気体流路１６０の断面積は、流路１４０の断面積よりも大きいことが好ましい。具体的には、気体流路１６０の断面の円相当径は、流路１４０の断面の円相当径の１５０～２００％程度としうる。気体流路１６０の断面積を相対的に大きくすることで、気体を導入しやすく、円周溝１３１に供給しやすくなるからである。本実施の形態では、気体流路１６０の断面積の円相当径は、例えば２００～１０００μｍでありうる。なお、気体流路１６０の断面形状は、略矩形（例えば長辺の長さが２００～１０００μｍ、短辺の長さが１０～５００μｍの略矩形）であってもよい。

気体流路１６０の数は、特に制限されず、１つだけであってもよいし、複数あってもよい。本実施の形態では、気体流路１６０の数は、１つである（図２および３参照）。

（マイクロ流路チップの動作）
本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００の動作について、図面を参照しながら説明する。

図４Ａ～Ｃは、比較用のマイクロ流路チップ１０の動作を示す模式図である。比較用のマイクロ流路チップ１０は、気体流路１６０を有しない以外は本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００と同様に構成されている。図５Ａ～Ｃは、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００の動作を示す模式図である。なお、これらの図では、マイクロ流路チップにおける液体導入部１３０の周辺部分のみを拡大して示している。

なお、液体導入部１３０に導入される液体Ｓの種類は、特に限定されない。液体Ｓの種類の例には、試薬や液体試料などが含まれる。また、液体Ｓの粘度は、流路１４０の中を液体が移動可能であれば特に限定されない。流路１４０中の液体の移動（送液）は、液体導入部１３０の加圧やシリンジポンプなどによる送液により行ってもよいし、毛細管現象を利用して行ってもよい。

図４Ａ～Ｃに示される比較用のマイクロ流路チップ１０では、液体導入部１３０に液体Ｓが導入され、加圧される（図４Ａ参照）。導入された液体Ｓは、流路１４０を満たしつつ、流路１４０の下流端に向かって液体取出部（不図示）まで移動する（図４Ｂ参照）。このとき、液体導入部１３０の底面上にあった液体Ｓは、その底面の中心から周辺に向かって集まるようになり、液体導入部１３０の加圧を続けても、円周溝１３１に液体Ｓが溜まったまま残りやすい（図４Ｃ参照）。

これに対し、図５Ａ～Ｃに示される本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００では、液体導入部１３０に液体Ｓが導入され、加圧される。導入された液体Ｓは、流路１４０を満たしつつ、流路１４０の下流端に向かって液体取出部１５０まで移動する。このとき、液体導入部１３０の底面上にあった液体Ｓは、底面の中心から周辺に向かって集まるようになるが、液体導入部１３０を加圧することで、気体流路１６０にも気体が供給される（図５Ｃ参照）。それにより、円周溝１３１に溜まった液体Ｓが、供給された気体によって円周溝１３１外へと押し出されるため、円周溝１３１に残った液体Ｓを取り除くことができる（図５Ｃ参照）。

（効果）
以上のように、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ（液体取扱装置）１００では、円周溝１３１に残った液体を確実に取り除くことができる。

［実施の形態２］
（マイクロ流路チップの構成）
実施の形態２に係るマイクロ流路チップ１００は、気体流路１６０の構成が異なる以外は実施の形態１に係るマイクロ流路チップ１００と同様に構成される。以下、実施の形態１と同様の構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。

図６Ａ～Ｃは、実施の形態２に係るマイクロ流路チップ１００の構成を示す図である。このうち、図６Ａは、マイクロ流路チップ１００の平面図であり、図６Ｂは、マイクロ流路チップ１００の６Ｂ－６Ｂ線の断面図であり、図６Ｃは、マイクロ流路チップ１００の底面図である。図７Ａは、図６Ｂの液体導入部付近の拡大図であり、図７Ｂは、図６Ｃの液体導入部付近の拡大図である。

図６Ａ～Ｃおよび７Ａに示されるように、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００は、基板１１０と、フィルム１２０とを有する。そして、基板１１０は、第３貫通孔１１３に代えて、第４溝（凹部）１１７、第４貫通孔１１８および第５溝（凹部）１１９を有する以外は、実施の形態１に係る基板１１０と同様に構成される（図５Ｂ参照）。第１溝１１４、第２溝１１５、第３溝１１６、第４溝１１７および第５溝１１９は、基板１１０の一方の面（底面）に形成されている。このうち、第５溝（凹部）１１９は、第４貫通孔１１８の底部の縁に沿って形成されている。第４溝１１８は、第１貫通孔１１１と第５溝１１９とを連通している。

そして、フィルム１２０を、基板１１０に形成された貫通孔や溝の開口部を塞ぐように、基板１１０の一方の面（底面）に接合する。それにより、フィルム１２０により塞がれた基板１１０の第４貫通孔１１８は、気体導入部１７０となり、第５溝１１９は、円周溝１７１となり、第４溝１１７は、気体流路１６０となる。

すなわち、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００は、気体流路１６０が、基板１１０の表面（底面）に沿って延びるように配置され、かつ気体流路１６０と連通する気体導入部１７０をさらに有する以外は実施の形態１に係るマイクロ流路チップ１００と同様に構成される。

気体流路１６０は、液体導入部１３０の円周溝１３１の壁面に開口し、かつ基板１１０の表面（底面）に沿って延びるように配置されている（図６Ｂ、７Ａ参照）。具体的には、気体流路１６０の一端は、液体導入部１３０の底部にある円周溝１３１の壁面に開口し、他端は、気体導入部１７０の底部にある円周溝１７１の壁面に開口している（図７Ａ参照）。それにより、気体導入部１７０から円周溝１３１に気体を供給できるようになっている。

上記実施の形態１と同様に、気体流路１６０の断面積は、流路１４０の断面積よりも大きいことが好ましい。気体流路１６０の断面積を相対的に大きくすることで、気体を導入しやすいだけでなく、毛細管現象によって気体流路１６０に液体が導入されないようにしうる（逆流を抑制しうる）からである。気体流路１６０の断面の円相当径の、流路１４０の断面の円相当径に対する比率は、上記実施の形態１と同様の範囲であってもよいし、それよりも大きい範囲であってもよい。

気体導入部１７０は、気体流路１６０に気体を導入するための導入口であり、具体的には、凹部である。気体導入部１７０の形状および大きさは、特に制限されず、液体導入部１３０の形状および大きさとそれぞれ同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、気体導入部１７０の形状および大きさは、液体導入部１３０の形状および大きさと同じである。

円周溝１７１は、気体導入部１７０の底部の壁面に、気体導入部１７０の底面を取り囲むように配置されている。気体導入部１７０における円周溝１７１の形状や大きさは、液体導入部１３０における円周溝１３１の形状および大きさと同じであってもよいし、異なってもよい。本実施の形態では、気体導入部１７０における円周溝１７１の形状および大きさは、液体導入部１３０における円周溝１３１の形状および大きさと同じである。

本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００は、気体導入部１７０を密閉するための栓１８０（密閉部材）をさらに有してもよい（後述の図８参照）。液体導入部１３０に液体を導入する際に、気体導入部１７０を栓１８０で密閉しておくことで、液体導入部１３０に導入した液体が気体流路１６０に流れ込まないようにすることができる。

（マイクロ流路チップの動作）
本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００の動作について説明する。

図８Ａ～Ｃは、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００の動作を示す模式図である。これらの図では、マイクロ流路チップ１００における液体導入部１３０の周辺部分のみを拡大して示している。

本実施の形態に係るマイクロ流路チップ１００では、まず、気体導入部１７０に栓１８０をした状態で、液体導入部１３０に液体Ｓが導入される（図８Ａ参照）。このとき、気体導入部１７０は、栓１８０で密閉されているため、液体導入部１３０に導入された液体Ｓが気体流路１６０に入り込まないようにすることができる。

次いで、気体導入部１７０の栓１８０を外して、液体導入部１３０および気体導入部１７０を加圧する（図８Ｂ参照）。それにより、液体導入部１３０に導入された液体Ｓは、流路１４０を満たしつつ、液体取出部（不図示）へ向かって移動する（図８Ｂ参照）。このとき、気体導入部１７０から気体が供給されるため、液体導入部１３０に導入された液体Ｓを、気体流路１６０に逆流させないようにすることができる。

その後、液体導入部１３０の底面上や円周溝１３１に溜まった液体Ｓは、気体導入部１７０から供給される気体によって押し出される（図８Ｃ参照）。それにより、円周溝１３１に残った液体Ｓを、円周溝１３１から確実に取り除くことができる。

（効果）
以上のように、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ（液体取扱装置）１００では、円周溝１３１に残った液体を確実に取り除くことができる。

［変形例］
なお、上記実施の形態１および２では、製造効率の観点から、液体導入部１３０だけでなく、液体取出部１５０および気体導入部１７０にも円周溝１５１および１７１がそれぞれ形成される例を示したが、これに限定されず、液体導入部１３０のみに円周溝１３１が形成されてもよい。

また、上記実施の形態１および２では、１つの円周溝１３１に対して１つの気体流路１６０を配置する例を示したが、これに限定されず、１つの円周溝１３１に対して複数の気体流路１６０を配置してもよい。

図９Ａ～Ｃは、変形例に係るマイクロ流路チップ１００の構成を示す図である。このうち、図９Ａは、マイクロ流路チップ１００の平面図であり、図９Ｂは、マイクロ流路チップ１００の９Ｂ－９Ｂ線の断面図であり、図９Ｃは、マイクロ流路チップ１００の底面図である。このマイクロ流路チップ１００は、気体流路１６０が複数配置された以外は実施の形態１と同様に構成されている。これらの図では、マイクロ流路チップ１００における液体導入部１３０の周辺部分のみを拡大して示している。

図９Ａ～Ｃに示されるように、円周溝１３１の壁面に開口する気体流路１６０が複数配置されてもよい。複数の気体流路１６０は、任意の位置に配置されうる。複数の気体流路１６０の断面積は、同じであってもよいし、異なってもよい。例えば、流路１４０の開口部からの位置が離れるにつれて、気体流路１６０の断面積を大きくしてもよい。それにより、円周溝１３１の位置に関係なく、残った液体を取り除きやすくすることができる。

また、上記実施の形態２では、液体導入部１３０の形状が円錐台形状である例を示したが、これに限定されず、円柱状などであってもよい。

本発明に係る液体取扱装置は、例えば科学分野や医学分野などにおいて使用されるマイクロ流路チップとして有用である。

１００ マイクロ流路チップ
１１０ 基板
１１１ 第１貫通孔
１１２ 第２貫通孔
１１３ 第３貫通孔
１１４ 第１溝
１１５ 第２溝
１１６ 第３溝
１１７ 第４溝
１１８ 第４貫通孔
１１９ 第５溝
１２０ フィルム
１３０ 液体導入部
１３１、１５１、１７１ 円周溝
１４０ 流路
１５０ 液体取出部
１６０ 気体流路
１７０ 気体導入部
１８０ 栓（密閉部材）

Claims (7)

1. 液体導入部と、
   前記液体導入部の底面を取り囲むように、前記液体導入部の底部の壁面に配置された溝と、
   前記溝の壁面に開口し、前記液体導入部から導入された液体を流通させるための流路と、
   前記溝の壁面に開口し、前記溝に残った前記液体を取り除くための気体を前記溝に供給するための気体流路と、
   を有する、
   液体取扱装置。
2. 前記気体流路の一端は、前記溝の壁面に開口しており、他端は、前記液体導入部の壁面に開口している、
   請求項１に記載の液体取扱装置。
3. 前記気体流路は、複数配置されている、
   請求項１または２に記載の液体取扱装置。
4. 前記気体流路と連通する気体導入部をさらに有する、
   請求項１に記載の液体取扱装置。
5. 前記気体流路の断面積は、前記流路の断面積よりも大きい、
   請求項４に記載の液体取扱装置。
6. 前記液体導入部に液体を導入する時に前記気体導入部を密閉するための密閉部材をさらに有する、
   請求項４または５に記載の液体取扱装置。
7. 平面視したときに、
   前記気体流路の前記溝の壁面における開口部は、前記液体導入部の前記底面の重心を挟んで、前記流路の前記溝の壁面における開口部と対向している、
   請求項１～６のいずれか一項に記載の液体取扱装置。

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