JP2017181141A - 接続ユニットおよびステージ装置 - Google Patents
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平行に設けられた2つのY軸ガイドと、2つのY軸ガイドのそれぞれに沿って移動する2つのY軸スライダと、2つのY軸スライダの間に接続されるX軸ガイドと、X軸ガイドに沿って移動するX軸スライダと、を備えるステージ装置が知られている。このステージ装置では、Y軸スライダにX軸ガイドが接続されるため、Y軸スライダにはX軸ガイドの荷重がかかる。ここで、Y軸スライダにY軸ガイド周りのモーメントが生じると、Y軸スライダがY軸ガイドと接触してかじる場合がある。そのため、X軸ガイドとY軸スライダの接続方法として、X軸ガイドの荷重によってY軸スライダに生じるモーメントを低減または無くすべく、X軸ガイドの荷重がY軸スライダの上方からスライダ重心に加わるようX軸ガイドをY軸スライダによりピボット支持するとともに、XY平面上でX軸ガイドとY軸スライダがずれないようにそれらを接続ユニットにより接続することが考えられる。
そのため、接続ユニットは、これらの製造誤差を吸収できるよう構成される必要もある。
実施の形態では、接続ユニット50が柱状の第1弾性ヒンジ54と、板状の第2弾性ヒンジ58とを含む場合について説明したが、これに限られない。
実施の形態では、第2弾性ヒンジ58は、Y軸方向に平行な軸周りに弾性変形可能な場合について説明したが、これに限られない。第2弾性ヒンジ58は、XY平面内の一方向の周りに弾性変形可能に構成されればよい。したがって、例えばX軸方向に平行な軸周りに弾性変形可能に構成されてもよい。
実施の形態では、逆L字状の部材である第1アーム26および第2アーム28を介して、X軸ガイド22ひいてはX軸ユニット20の荷重が、第1Y軸ユニット30および第2Y軸ユニット40に支持される場合について説明したが、これに限られない。第1アーム26および第2アーム28には、任意の形状を採用できる。また、ステージ装置が第1アーム26および第2アーム28を有しない構造も考えられる。すなわち、X軸ガイド22が直接、第1Y軸ユニット30および第2Y軸ユニット40に載置されてもよい。
Claims (3)
- X軸方向に移動するX軸スライダをガイドするX軸ガイドと、Y軸方向に移動するY軸スライダと、を接続する接続ユニットであって、
前記X軸ガイドは、前記Y軸スライダに荷重を支持され、
前記X軸ガイドに接続される第1ベースと、
前記Y軸スライダに接続される第2ベースと、
前記第1ベースと前記第2ベースとの間に直列に設けられる複数の弾性ヒンジと、を備え、
前記複数の弾性ヒンジは、XY平面内の一方向の周りに弾性変形可能な板状の弾性ヒンジを含むことを特徴とする接続ユニット。 - 前記複数の弾性ヒンジは、柱状の弾性ヒンジを含むことを特徴とする請求項1に記載の接続ユニット。
- 前記X軸ガイドと、
前記Y軸スライダと、
請求項1または2に記載の接続ユニットと、を備えることを特徴とするステージ装置。
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JP2016065079A JP6644602B2 (ja) | 2016-03-29 | 2016-03-29 | 接続ユニットおよびステージ装置 |
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JP2016065079A JP6644602B2 (ja) | 2016-03-29 | 2016-03-29 | 接続ユニットおよびステージ装置 |
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JP6644602B2 JP6644602B2 (ja) | 2020-02-12 |
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Family Applications (1)
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