JP2017179498A - 金属層構造及びその製造方法 - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 175
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 175
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 245
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 18
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 13
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/10—Oxidising
- C23C8/12—Oxidising using elemental oxygen or ozone
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
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Abstract
【課題】金属層を形成する際に生じ得る基板の反りを軽減することができる金属層構造を提供する。
【解決手段】金属層構造は、基板上に形成された第1金属層と、前記第1金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成された、前記第1金属層と同一の材料からなる第2金属層と、前記第2金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層と、を含む。
【選択図】図1
【解決手段】金属層構造は、基板上に形成された第1金属層と、前記第1金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成された、前記第1金属層と同一の材料からなる第2金属層と、前記第2金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層と、を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、金属層構造及びその製造方法に関する。
従来、ガラス等の基板に銅(Cu)等の金属材料をスパッタリングにより成膜して金属層を形成する際に、金属材料の成長過程における結合収縮と、成膜後の温度低下に伴う金属材料の収縮とにより、膜に引張応力が発生し、基板に反りが生じることが知られている。特に、金属層の膜厚を厚くした場合には、基板の反りが大きくなる。このような基板の反りを抑える方法として、例えば、真空環境下において金属材料を間歇的に成膜する技術(間歇成膜)を適用することが考えられる。特許文献1には、真空環境下において間歇成膜を行う技術が開示されている。この方法によれば、成膜時の基板の温度上昇をある程度抑えることができるため、温度低下に伴う金属材料の収縮を抑えることが期待できる。
しかし、上記方法では、真空環境下にあるため、間歇成膜を行っても基板の温度上昇を十分に抑えることは困難である。また、金属材料の成長過程における結合収縮に起因する上記引張応力の発生を抑えることは困難である。よって、特に厚膜化が要求される金属層を形成する際には、基板の反りを確実に抑えることは困難である。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属層を形成する際に生じ得る基板の反りを軽減することができる金属層構造及びその製造方法を提供することにある。
本発明に係る金属層構造は、上記課題を解決するために、基板上に形成された第1金属層と、前記第1金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成された、前記第1金属層と同一の金属材料からなる第2金属層と、前記第2金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層と、を含むことを特徴とする。
本発明に係る金属層構造では、前記第1金属層及び前記第2金属層は、銅又はアルミニウムからなっていてもよい。
本発明に係る金属層構造の製造方法は、上記課題を解決するために、基板上に第1金属層を形成する工程と、前記第1金属層の表面に酸化処理又は窒化処理を施すことにより、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層を形成する工程と、前記第1保護層上に、前記第1金属層と同一の金属材料からなる第2金属層を形成する工程と、前記第2金属層の表面に酸化処理又は窒化処理を施すことにより、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
また本発明に係る金属層構造の製造方法は、上記課題を解決するために、基板上に銅を成膜して第1金属層を形成する工程と、前記第1金属層の表面に酸化処理を施すことにより、酸化層からなる第1保護層を形成する工程と、前記第1保護層上に銅を成膜して第2金属層を形成する工程と、前記第2金属層の表面に酸化処理を施すことにより、酸化層からなる第2保護層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明に係る金属層構造の製造方法では、前記銅を成膜する工程と、前記酸化処理を施す工程とを複数回繰り返すことにより、所定の膜厚の金属層構造を形成してもよい。
本発明に係る金属層構造の製造方法では、前記酸化処理を施す工程では、金属層が形成された前記基板を大気環境に置くことにより酸化処理を施してもよい。
本発明に係る金属層構造の製造方法では、前記第1金属層を形成する工程と、前記第2金属層を形成する工程とでは、金属材料をスパッタリングで成膜することにより前記第1金属層及び前記第2金属層を形成してもよい。
本発明に係る金属層構造及びその製造方法によれば、金属層を形成する際に生じ得る基板の反りを軽減することができる。
本発明の一実施形態について、図面を用いて以下に説明する。図1は、本実施形態に係る金属層構造の概略構成を示す断面図である。
本実施形態に係る金属層構造10は、基板100上に形成されており、第1金属層101と第1保護層201と第2金属層102と第2保護層202とを含んでいる。第1金属層101及び第2金属層102は、同一材料、例えば銅(Cu)又はアルミニウム(Al)からなる。第1保護層201及び第2保護層202は、同一材料、例えば酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる。第1金属層101と第1保護層201と第2金属層102と第2保護層202とはこの順に基板100上に積層されている。尚、基板100と第1金属層101との間には、モリブデン(Mo)やチタン(Ti)等からなる接着層が形成されていてもよい。
金属層構造10は、金属層及び保護層を1組として、複数組が積層されて構成されている。図1に示す例では、金属層構造10は、2組が積層されて構成されている。金属層構造10は、2組に限定されず、3組以上が積層されて構成されてもよい。上記組数は、例えば要求される金属層構造10の膜厚に応じて設定される。
図2は、金属層構造10の製造方法を説明するための図である。以下、金属層構造10の製造方法について説明する。ここでは、金属層として銅(Cu)層を例に挙げ、保護層として酸化層を例に挙げる。
先ず、第1工程において、平坦なガラス等の基板100(図2(a))上に、第1金属層101を形成する(図1(b))。例えば、ガラス基板100上に銅材料をスパッタリングで堆積して蒸着させる。第1金属層101の膜厚は、例えば300nm〜450nmに設定される。第1金属層101を形成すると、銅材料の結合に伴う体積収縮と、成膜後の温度低下に伴う体積収縮の影響により、基板100に引張応力(以下、単に「応力」という。)がかかり反りが生じる。
次に、第2工程において、第1金属層101上に第1保護層201を形成する(図1(c))。例えば、第1金属層101が形成された基板100を大気環境(大気雰囲気)に置いて酸化処理を施す。これにより、第1金属層101の表面が酸化し、第1保護層201としての酸化層が形成される。尚、酸化処理の方法は、上記方法に限定されず、例えば酸素プラズマを用いてもよい。第1保護層201(酸化層)の膜厚は、例えば数nm〜数十nmに設定される。酸化層が形成されると体積が膨張するため、基板100の反りが軽減される。
次に、第3工程において、第1保護層201上に第2金属層102を形成する(図1(d))。例えば、第1保護層201上に、第1金属層101と同材料の銅をスパッタリングで堆積して蒸着させる。第2金属層102の膜厚は、第1金属層101の膜厚と同様に、例えば300nm〜450nmに設定される。尚、第1金属層101の膜厚と第2金属層102の膜厚とを異ならせてもよい。第2金属層102を形成すると、第1金属層101と同様に、銅材料の結合に伴う体積収縮と、成膜後の温度下降に伴う体積収縮の影響により、基板100に応力がかかり反りが生じる。
次に、第4工程において、第2金属層102上に第2保護層202を形成する(図1(e))。例えば、第2金属層102が形成された基板100を大気環境に置いて酸化処理を施す。これにより、第2金属層102の表面が酸化し、第2保護層202としての酸化層が形成される。第2保護層202(酸化層)の膜厚は、第1保護層201の膜厚と同様に、例えば数nm〜数十nmに設定される。酸化層が形成されると体積が膨張するため、基板100の反りが軽減される。
以降、上述の金属層(Cu層)を形成する金属層形成工程と、保護層(酸化層)を形成する保護層形成工程とを、所望の膜厚に達するまで繰り返す。例えば、上記金属層形成工程と上記保護層形成工程とを10回繰り返すことにより、約3000nmの膜厚を有する金属層構造10が形成される。
上記製造方法によれば、金属層が形成された基板に酸化処理を施すことにより、酸化層による体積膨張を利用して、基板の反りを軽減することができる。また、金属層が形成された基板を真空環境外である大気環境に置くことにより酸化層を形成しているため、基板の冷却効果を高めることができる。これにより、基板の温度上昇を真空環境下よりも抑えることができるため、温度低下に伴う金属材料の収縮を抑えることもできる。よって、基板の反りを軽減し得る金属層構造10を得ることができる。金属層構造10を構成する保護層(ここでは、第1保護層、第2保護層)は成膜後に体積が膨張する特性を有しており、この体積膨張を利用して基板100に残留する引張応力を緩和させることができるため、応力緩和層として機能する。
上記効果を実証するための評価結果を以下に示す。図3は、金属層構造10の応力(MPa)の特性評価の結果を示す表である。ここでは、上記金属層形成工程と上記保護層形成工程とを10回繰り返して製造した、3338nmの膜厚を有する金属層構造10について評価した。尚、金属層は銅(Cu)層であり、保護層は酸化層である。また、比較例として、通常成膜により製造した金属層構造(Cu層)と、真空環境下において間歇成膜により製造した金属層構造(Cu層)とを評価した。これら比較例に係る金属層構造には酸化層は含まれない。図3に示す通常成膜では、真空環境下において銅を連続して(約400秒)所望の厚さ(ここでは3231nm)に達するまで成膜して金属層構造を形成した。真空成膜では、真空環境下において銅を間歇的に所望の厚さ(ここでは3283nm)に達するまで成膜して金属層構造を形成した。真空成膜は、間歇的に成膜するため通常成膜の場合よりも基板の温度上昇を抑える効果がある。大気成膜は、本実施形態に係る上記金属層構造10の製造工程に対応する。
上記評価では、通常成膜、真空成膜及び大気成膜それぞれについて2種類ずつ金属層構造を用意して評価し、その平均値を算出した。図4は、各平均値を比較したグラフである。
通常成膜による金属層構造の応力は265.1(MPa)であり、真空成膜による金属層構造の応力は313.2(MPa)であったのに対して、本実施形態に係る大気成膜による金属層構造10の応力は183.6(MPa)であった。この結果から、本実施形態に係る金属層構造10の構成によれば、従来の金属層構造と比較して応力を低減することができることが分かった。すなわち、本実施形態に係る金属層構造10の構成によれば、従来の金属層構造と比較して、基板の反りを軽減することができることが分かった。
ここで、金属層構造の比抵抗について評価した結果を以下に示す。図5は、金属層構造10の比抵抗(uΩcm)の特性評価の結果を示す表である。ここでも、比較例として通常成膜及び真空成膜による金属層構造を評価した。各金属層構造の膜厚は、上記応力を評価した金属層構造と同様の膜厚に設定した。図6は、各金属層構造における比抵抗の平均値を比較したグラフである。
通常成膜による金属層構造の比抵抗は1.845(uΩcm)であり、真空成膜による金属層構造の比抵抗は1.870(uΩcm)であったのに対して、本実施形態に係る大気成膜による金属層構造10の比抵抗は2.278(uΩcm)であった。この結果によれば、大気成膜による金属層構造10が比較例よりも比抵抗が高いため、比較例には形成されていない保護層(ここでは酸化層)が、比抵抗を上昇させる要因となっていること分かる。そして、上述した応力の低減効果(図3及び図4参照)は、金属層構造10に特有の上記酸化層が主な要因であることが分かる。
尚、大気成膜による金属層構造10では、従来の金属層構造と比較して比抵抗が大きくなる傾向にあるため、例えば比抵抗を従来の金属層構造と同等の値に抑えるためには、金属層構造10の膜厚を厚く設定することが好ましい。例えば、上記条件において、金属層構造10の膜厚を3900nm程度に設定すれば、従来の金属層構造と同等の比抵抗に抑えることができる。本実施形態に係る金属層構造10の構成によれば、膜厚を厚くする程、基板100の応力を低減できるとともに、比抵抗を低減することができるため、従来の金属層構造と比較して、容易に厚膜化を図ることができる。
本実施形態に係る金属層構造10は、電子デバイスの様々な用途に適用することができる。例えば、金属層構造10を、アンテナ装置において高周波を遮蔽する遮蔽体として適用することができる。また例えば、表示パネルを構成する信号線に適用することもできる。また、金属層構造10は、厚膜化が要求される部分に特に好適である。
尚、金属層構造10の比抵抗や基板の応力は、金属層構造10の構成(膜厚等)に応じて変動するため、用途に応じて、金属層構造10の全体的な膜厚や、金属層及び保護層の膜厚の割合や、金属層及び保護層の層数等を設定することが好ましい。また、金属層構造10を用途に応じて加工する場合は、金属層構造10が製造された後、すなわち、金属層及び保護層が繰り返し積層されて金属層構造10としてパターン形成された後に、一括加工(例えば、フォトリソグラフィ加工、エッチング加工等)することが好ましい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で上記各実施形態から当業者が適宜変更した形態も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
10 金属層構造、100 基板、101 第1金属層、102 第2金属層、201 第1保護層、202 第2保護層。
Claims (7)
- 基板上に形成された第1金属層と、
前記第1金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層と、
前記第1保護層上に形成された、前記第1金属層と同一の金属材料からなる第2金属層と、
前記第2金属層上に形成された、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層と、
を含むことを特徴とする金属層構造。 - 前記第1金属層及び前記第2金属層は、銅又はアルミニウムからなる、
ことを特徴とする請求項1に記載の金属層構造。 - 基板上に第1金属層を形成する工程と、
前記第1金属層の表面に酸化処理又は窒化処理を施すことにより、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第1保護層を形成する工程と、
前記第1保護層上に、前記第1金属層と同一の金属材料からなる第2金属層を形成する工程と、
前記第2金属層の表面に酸化処理又は窒化処理を施すことにより、酸化層、窒化層、炭化層、又は、フッ化層からなる第2保護層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする金属層構造の製造方法。 - 基板上に銅を成膜して第1金属層を形成する工程と、
前記第1金属層の表面に酸化処理を施すことにより、酸化層からなる第1保護層を形成する工程と、
前記第1保護層上に銅を成膜して第2金属層を形成する工程と、
前記第2金属層の表面に酸化処理を施すことにより、酸化層からなる第2保護層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする金属層構造の製造方法。 - 前記銅を成膜する工程と、前記酸化処理を施す工程とを複数回繰り返すことにより、所定の膜厚の金属層構造を形成する、
ことを特徴とする請求項4に記載の金属層構造の製造方法。 - 前記酸化処理を施す工程では、金属層が形成された前記基板を大気環境に置くことにより酸化処理を施す、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の金属層構造の製造方法。 - 前記第1金属層を形成する工程と、前記第2金属層を形成する工程とでは、金属材料をスパッタリングで成膜することにより前記第1金属層及び前記第2金属層を形成する、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の金属層構造の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016069478A JP2017179498A (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 金属層構造及びその製造方法 |
PCT/JP2017/004399 WO2017169136A1 (ja) | 2016-03-30 | 2017-02-07 | 金属層構造及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016069478A JP2017179498A (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 金属層構造及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017179498A true JP2017179498A (ja) | 2017-10-05 |
Family
ID=59962803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016069478A Pending JP2017179498A (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 金属層構造及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017179498A (ja) |
WO (1) | WO2017169136A1 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101066011A (zh) * | 2004-11-30 | 2007-10-31 | 旭硝子株式会社 | 导电性层积体、等离子显示器用的电磁波屏蔽膜及保护板 |
JPWO2011001983A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2012-12-13 | 旭硝子株式会社 | 導電性積層体およびプラズマディスプレイ用保護板 |
CN103930267B (zh) * | 2012-09-28 | 2015-09-30 | 住友理工株式会社 | 透明层叠膜 |
-
2016
- 2016-03-30 JP JP2016069478A patent/JP2017179498A/ja active Pending
-
2017
- 2017-02-07 WO PCT/JP2017/004399 patent/WO2017169136A1/ja active Application Filing
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017169136A1 (ja) | 2017-10-05 |
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