JP2017168771A - シリコン単結晶の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チョクラルスキー法により育成したシリコン単結晶インゴットをスライス用インゴットに加工する方法であって、育成したシリコン単結晶インゴットの直胴部から、円柱状のシリコン単結晶を成長軸方向に同心円状にくり貫いてスライス用インゴットに加工するシリコン単結晶の加工方法。
【選択図】図1
Description
前記育成したシリコン単結晶インゴットの直胴部から、円柱状のシリコン単結晶を成長軸方向に同心円状にくり貫いて前記スライス用インゴットに加工することを特徴とするシリコン単結晶の加工方法を提供する。
単結晶育成炉を用いて、シリコン単結晶インゴットを作製した。図3はシリコン単結晶インゴットの製造に用いることができる単結晶育成炉50の概略図である。単結晶育成炉50は、メインチャンバー1、これに連通するトップチャンバー11及びトップチャンバー11に連通する引上げチャンバー2で構成されている。メインチャンバー1の内部には、黒鉛ルツボ6及び石英ルツボ5が設置されている。黒鉛ルツボ6を囲むように加熱ヒーター7が設けられており、加熱ヒーター7によって、石英ルツボ5内に収容された原料シリコン多結晶が溶融されて原料融液4とされる。また、断熱部材8が設けられており、加熱ヒーター7からの輻射熱がメインチャンバー1等の金属製の器具に直接当たるのを防いでいる。
4…原料融液、 5…石英ルツボ、 6…黒鉛ルツボ、 7…加熱ヒーター、
8…断熱部材、 11…トップチャンバー、
21…シリコン単結晶インゴットの直胴部、 22…スライス用インゴット、
25…金属製円筒、 26…砥石、 27…テーブル、 50…単結晶育成炉。
Claims (4)
- チョクラルスキー法により育成したシリコン単結晶インゴットをスライス用インゴットに加工する方法であって、
前記育成したシリコン単結晶インゴットの直胴部から、円柱状のシリコン単結晶を成長軸方向に同心円状にくり貫いて前記スライス用インゴットに加工することを特徴とするシリコン単結晶の加工方法。 - 前記シリコン単結晶インゴットを育成する際に、該シリコン単結晶インゴットの直胴部の直径を、前記くり貫いて加工するスライス用インゴットの直径に対して、20mm以上大きく、かつ、1.5倍以下にして前記シリコン単結晶インゴットを育成することを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の加工方法。
- 前記シリコン単結晶インゴットの育成における成長速度をV、結晶固液界面軸方向温度勾配をGとした場合において、前記シリコン単結晶インゴットを育成する際に、V/Gを制御しつつ育成し、かつ、前記スライス用インゴットをくり貫く際に、該くり貫き直径を調整することにより、結晶径方向全面が、Ni領域又はNv領域のスライス用インゴットをくり貫いて加工することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン単結晶の加工方法。
- 前記シリコン単結晶インゴットのうち、前記くり貫いて加工したスライス用インゴット以外の部分を、チョクラルスキー法により別のシリコン単結晶インゴットを育成する際の原料として再利用することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコン単結晶の加工方法。
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JP2011238656A (ja) * | 2010-05-06 | 2011-11-24 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 金属汚染評価用シリコンウエーハ及び金属汚染評価用シリコンウエーハの製造方法 |
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