JP2017154179A - 支持されていない層に開口をアブレーションする方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 材料の一部分が空洞の上にあるように、前記材料の層を、前記空洞の上に配置することと、
前記材料の前記部分を第1の形状でアブレーションすることと、
前記材料の前記部分を第2の形状でアブレーションすることであって、前記第2の形状が前記第1の形状の範囲内にある、アブレーションすることとを含む、ポリマ層に開口を形成する方法。 - 前記材料の前記部分を前記第1の形状で前記アブレーションすることが、前記第1の形状の開口を有するレーザマスクを用いることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の前記部分を前記第2の形状で前記アブレーションすることが、前記第2の形状の開口を有するレーザマスクを用いることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の前記部分を前記第1の形状で前記アブレーションすることが、レーザスポットを、前記レーザスポットが前記第1の形状を有するように光学的に制御することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の前記部分を前記第2の形状で前記アブレーションすることが、レーザスポットを、前記レーザスポットが前記第2の形状を有するように光学的に制御することを含む、請求項1に記載の方法。
- 第1材料の一部分が空洞の上にあるように、前記第1材料の層を、前記空洞を有する第2材料の上に配置することと、
前記第1材料の、前記空洞の上にある前記部分を、第1の形状でアブレーションすることと、
前記第2材料の、前記空洞の上にある前記部分を、第2の形状でアブレーションすることであって、前記第2の形状が前記第1の形状の範囲内にある、アブレーションすることとを含む、ポリマ層に開口を形成する方法。 - 前記第1材料の前記部分を前記第1の形状で前記アブレーションすることが、前記第1の形状の開口を有するレーザマスクを用いることを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第2材料の前記部分を前記第2の形状で前記アブレーションすることが、前記第2の形状の開口を有するレーザマスクを用いることを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記第1材料の前記部分を前記第1の形状で前記アブレーションすることが、レーザスポットを、前記レーザスポットが前記第1の形状を有するように光学的に制御することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第2材料の前記部分を前記第2の形状で前記アブレーションすることが、レーザスポットを、前記レーザスポットが前記第2の形状を有するように光学的に制御することを含む、請求項6に記載の方法。
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