JP2017142158A - 変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変位検出装置7は、検出した磁束密度に応じた信号を出力するものであって、磁石2の変位に応じて変化する磁束密度を検出するホール素子と、ホール素子の出力する信号を予め定めた計算方法を用いて処理し、磁石2の変位に比例した出力値を算出するとともに、磁石2とホール素子との相対位置と、温度との関係に基づいて定められる補正値を用いて当該出力値を補正するDSPとを有する。
【選択図】図1
Description
前記磁気検出素子の出力する信号を予め定めた計算方法を用いて処理し、前記磁気部材の変位に比例した出力値を算出するとともに、前記磁気部材と前記磁気検出素子との相対位置と、温度との関係に基づいて定められる補正値を用いて当該出力値を補正する信号処理部とを有する変位検出装置。
[2]検出した磁束密度に応じた信号を出力するものであって、磁気部材の変位に応じて変化する磁束密度を検出する磁気検出素子と、
前記磁気検出素子の出力する信号を予め定めた計算方法を用いて処理し、前記磁気部材の変位に比例した出力値を算出する信号処理部と、
前記磁気部材と前記磁気検出素子との相対位置と、温度との関係に基づいて定められる補正値を用いて当該出力値を補正して出力信号を出力する出力部とを有する変位検出装置。
[3]前記信号処理部は、前記予め定めた計算方法に、一の検出方向について前記磁気検出素子の出力する信号と、他の検出方向について前記磁気検出素子の出力する信号との比を用いる前記[1]又は[2]に記載の変位検出装置。
請求項3に係る発明によれば、一の検出方向について磁気検出素子の出力する信号の温度依存性と、他の検出方向について磁気検出素子の出力する信号の温度依存性とを相殺することができる。
(変位検出装置の構成)
図1(a)及び(b)は、実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図及び側面図である。図2(a)及び(b)は、磁気センサの構成を示す斜視図及び断面図である。
次に、実施の形態の作用を、図1−図9を用いて説明する。
上記した実施の形態によれば、DSP14において算出された角度αに温度に依存する補正値Δαを加算するようにしたため、磁気部材である磁石2と、磁気センサ1のホール素子11x1、11x2、11y1、11y2との相対的位置が温度に依存して変化する場合にも、磁気センサ1の出力値を補正することができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々な変形が可能である。
2 磁石
3 ロッド
4 アクチュエータ
5 ばね
6 筐体
7 変位検出装置
10 基板
11 ホール素子
12 磁気コンセントレータ
13 A/D変換部
14 DSP
15 D/A変換部
16 出力部
17 温度センサ
140 メモリ
Claims (3)
- 検出した磁束密度に応じた信号を出力するものであって、磁気部材の変位に応じて変化する磁束密度を検出する磁気検出素子と、
前記磁気検出素子の出力する信号を予め定めた計算方法を用いて処理し、前記磁気部材の変位に比例した出力値を算出するとともに、前記磁気部材と前記磁気検出素子との相対位置と、温度との関係に基づいて定められる補正値を用いて当該出力値を補正する信号処理部とを有する変位検出装置。 - 検出した磁束密度に応じた信号を出力するものであって、磁気部材の変位に応じて変化する磁束密度を検出する磁気検出素子と、
前記磁気検出素子の出力する信号を予め定めた計算方法を用いて処理し、前記磁気部材の変位に比例した出力値を算出する信号処理部と、
前記磁気部材と前記磁気検出素子との相対位置と、温度との関係に基づいて定められる補正値を用いて当該出力値を補正して出力信号を出力する出力部とを有する変位検出装置。 - 前記信号処理部は、前記予め定めた計算方法に、一の検出方向について前記磁気検出素子の出力する信号と、他の検出方向について前記磁気検出素子の出力する信号との比を用いる請求項1又は2に記載の変位検出装置。
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