JP2017142153A5 - - Google Patents

Description

［適用例１］本適用例に係る寿命予測方法は、慣性センサーが出力する出力データを取得する取得工程と、前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する生成工程と、所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶工程と、所定の周波数範囲を特定する特定工程と、前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較工程と、を備えることを特徴とする。

［適用例７］本適用例に係る寿命予測装置は、慣性センサーと、前記慣性センサーが出力する出力データを取得する取得部と、前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する周波数解析部と、所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶部と、所定の周波数範囲を特定する特定部と、前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較部と、を備えたことを特徴とする。

［適用例１３］本適用例に係る寿命予測システムは、振動検出装置と寿命演算装置とがネットワークを介して通信可能に接続される寿命予測システムであって、慣性センサーと、前記慣性センサーが出力する出力データを取得する取得部と、前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する周波数解析部と、所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶部と、所定の周波数範囲を特定する特定部と、前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較部と、を備えたことを特徴とする。

チャンバー２にはエッチングガスを供給する配管３とエッチングガスの流量を制御する電磁バルブ４が接続されている。チャンバー２には排気用の配管５が接続されている。配管５は被検出装置としてのメインポンプ６および粗挽きポンプ７に設置されている。メインポンプ６と粗挽きポンプ７とは配管５により接続されている。チャンバー２とメインポンプ６との間の配管５には電磁バルブ４が設置されている。さらに、チャンバー２と粗挽きポンプ７との間の配管５にも電磁バルブ４が設置されている。さらに、メインポンプ６と粗挽きポンプ７との間の配管５にも電磁バルブ４が設置されている。粗挽きポンプ７は配管５を介して排気処理装置８に接続されている。排気処理装置８は排気ガスから有害物質を分離除去する装置である。

Claims (13)

1. 慣性センサーが出力する出力データを取得する取得工程と、
   前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する生成工程と、
   所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶工程と、
   所定の周波数範囲を特定する特定工程と、
   前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較工程と、
   を備えることを特徴とする寿命予測方法。
2. 前記寿命に関するデータに基づいて、警告を出力することを特徴とする請求項１に記載の寿命予測方法。
3. 前記警告は、複数の段階であることを特徴とする請求項２に記載の寿命予測方法。
4. 前記慣性センサーは、ジャイロセンサーであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の寿命予測方法。
5. 前記慣性センサーは、加速度センサーであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の寿命予測方法。
6. 前記生成工程では、少なくとも２軸のデータ毎に周波数解析をしてから合成することにより周波数スペクトルパターンを生成することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の寿命予測方法。
7. 慣性センサーと、
   前記慣性センサーが出力する出力データを取得する取得部と、
   前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する周波数解析部と、
   所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶部と、
   所定の周波数範囲を特定する特定部と、
   前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較部と、
   を備えたことを特徴とする寿命予測装置。
8. 前記寿命に関するデータに基づいて、警告を出力することを特徴とする請求項７に記載の寿命予測装置。
9. 前記警告は、複数の段階であることを特徴とする請求項８に記載の寿命予測装置。
10. 前記慣性センサーは、ジャイロセンサーであることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の寿命予測装置。
11. 前記慣性センサーは、加速度センサーであることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の寿命予測装置。
12. 前記周波数解析部は、少なくとも２軸のデータ毎に周波数解析をしてから合成することにより周波数スペクトルパターンを生成することを特徴とする請求項７乃至請求項１１のいずれか１項に記載の寿命予測装置。
13. 振動検出装置と寿命演算装置とがネットワークを介して通信可能に接続される寿命予測システムであって、
    慣性センサーと、
    前記慣性センサーが出力する出力データを取得する取得部と、
    前記出力データを周波数解析して、前記慣性センサーが設置される被検出装置の振動波形の周波数スペクトルパターンを生成する周波数解析部と、
    所定期間中に生成された前記周波数スペクトルパターンに基づいて、正常時周波数スペクトルパターンを生成し記憶する記憶部と、
    所定の周波数範囲を特定する特定部と、
    前記特定された所定の周波数範囲に関して、前記正常時周波数スペクトルパターンと前記周波数スペクトルパターンとを比較することにより、前記被検出装置の寿命に関するデータを出力する比較部と、
    を備えたことを特徴とする寿命予測システム。