JP2017133841A - 圧力センサ - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
Claims (9)
- 絶縁体からなる基台と、
前記基台の上に支持部によって支持されて可動領域で前記基台と離間して配置され、前記可動領域で前記基台の方向に変位可能とされた絶縁体からなり、測定対象からの圧力を受ける受圧部と、
前記可動領域における前記受圧部と前記基台との間に形成された気密室と、
前記気密室の内部で前記受圧部の前記可動領域に形成された可動電極と、
前記気密室の内部で前記基台の上に前記可動電極に向かい合って形成された固定電極と、
前記気密室の内部で前記受圧部の前記可動領域において前記可動電極の周囲に形成された可動参照電極と、
前記気密室の内部で前記固定電極の周囲の前記基台の上に形成され、前記可動参照電極に向かい合って形成された固定参照電極と、
前記気密室の内部で前記受圧部の前記可動領域に形成された電極部から構成されて前記受圧部の歪みを計測する計測手段と
を備えることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサにおいて、
前記電極部は、前記可動電極から構成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項2記載の圧力センサにおいて、
前記計測手段は、前記受圧部の歪みに加えて前記受圧部の温度を計測する
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項3記載の圧力センサにおいて、
前記計測手段は、前記可動参照電極により前記受圧部の温度を計測する
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサにおいて、
前記電極部は、前記可動参照電極から構成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項5記載の圧力センサにおいて、
前記計測手段は、前記受圧部の歪みに加えて前記受圧部の温度を計測する
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項6記載の圧力センサにおいて、
前記計測手段は、前記可動電極により前記受圧部の温度を計測する
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の圧力センサにおいて、
前記電極部は、前記基台側における前記受圧部の前記可動領域に形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項8記載の圧力センサにおいて、
前記電極部は、金属または半導体から構成されていることを特徴とする圧力センサ。
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CN115127701A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-09-30 | 成都蕊感微电子有限公司 | 压力传感器、压力测量方法以及螺栓压力检测系统 |
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- 2016-01-25 JP JP2016011283A patent/JP6568484B2/ja active Active
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