JP2017116550A - 半導体検出器、放射線検出器及び放射線検出装置 - Google Patents
半導体検出器、放射線検出器及び放射線検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017116550A JP2017116550A JP2016249916A JP2016249916A JP2017116550A JP 2017116550 A JP2017116550 A JP 2017116550A JP 2016249916 A JP2016249916 A JP 2016249916A JP 2016249916 A JP2016249916 A JP 2016249916A JP 2017116550 A JP2017116550 A JP 2017116550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- signal output
- semiconductor
- radiation
- semiconductor detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 170
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 106
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 14
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
- G01T1/241—Electrode arrangements, e.g. continuous or parallel strips or the like
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/08—Measuring electromagnetic field characteristics
- G01R29/0807—Measuring electromagnetic field characteristics characterised by the application
- G01R29/0814—Field measurements related to measuring influence on or from apparatus, components or humans, e.g. in ESD, EMI, EMC, EMP testing, measuring radiation leakage; detecting presence of micro- or radiowave emitters; dosimetry; testing shielding; measurements related to lightning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
- G01T1/247—Detector read-out circuitry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2921—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras
- G01T1/2928—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras using solid state detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/085—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors the device being sensitive to very short wavelength, e.g. X-ray, Gamma-rays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/115—Devices sensitive to very short wavelength, e.g. X-rays, gamma-rays or corpuscular radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】板状の半導体部を備え、該半導体部の一面に、信号を出力するための信号出力電極14と、該信号出力電極14からの距離が互いに異なる複数の曲線状電極14とが設けられた半導体検出器1は、半導体部に発生する電荷を収集するための非リング状の収集電極131を備え、複数の曲線状電極12は、半導体部内に信号出力電極14に向かって電位が変化する電位勾配が生成されるように、電圧が印加され、収集電極131は、隣接する一対の曲線状電極12の間に位置する前記半導体部の一部分に設けられている。また、収集電極131は、信号出力電極14からの距離が信号出力電極14から当該収集電極131までの距離よりも短い位置にある曲線状電極12に接続されている。
【選択図】図1
Description
(実施形態1)
図1は、実施形態1に係る半導体検出器1の模式的な平面図である。図2は、図1中のII−II線で半導体検出器1を切断した断面構造及び半導体検出器1の電気的な接続態様を示すブロック図である。図3は、図1中のIII−III線で半導体検出器1を切断した模式的な断面図である。半導体検出器1は、SDDである。半導体検出器1は、Si(シリコン)からなる円板状のSi層11を備えている。Si層11の成分は例えばn型のSiである。Si層11は半導体部である。Si層11の一面の中央には、放射線検出時に信号を出力する電極である信号出力電極14が設けられている。信号出力電極14の成分は、Si層11と同じ型のSiであり、リン等の特定の不純物がドープされている。また、Si層11の一面には、多重のリング状電極(曲線状電極)12が設けられている。リング状電極12の成分は、Si層11とは異なる型のSiである。例えば、リング状電極12の成分は、ホウ素等の特定の不純物がSiにドープされたp+Siである。リング状電極12は、Si層11に接して設けられている。複数のリング状電極12はほぼ同心であり、複数のリング状電極12のほぼ中心に信号出力電極14が位置している。図中には五つのリング状電極12を示しているが、実際にはより多くのリング状電極12が設けられている。なお、リング状電極12の形状は円環が変形した形状であってもよく、多重のリング状電極12は同心でなくともよい。また、信号出力電極14は、多重のリング状電極12の中心以外の位置に配置されていてもよく、Si層11の一面の中央以外の位置に配置されていてもよい。半導体検出器1の形状はドロップレット型であってもよい。Si層11の形状は、円板状以外の形状であってもよく、正方形、長方形又は台形等の形状であってもよい。
図8は、実施形態2に係る半導体検出器1の模式的断面図である。本実施形態では、電極131は、隣接する一対のリング状電極12の間に位置するSi層11の一部分に埋設されている。電極131は導電部132に連結されている。半導体検出器1のその他の構成は、実施形態1と同様である。また、半導体検出器1を備えた放射線検出装置の構成は、実施形態1と同様である。電極131の電位は、電極131が設けられた位置でのSi層11の電位よりも高くなっている。Si層11の表面で発生した放射線に由来しない電子は、電極131に収集される。本実施形態では、電極131がSi層11に埋設されてあることにより、電極131が単にSi層11の表面に接触している場合に比べて、より効果的に電極131に電子が収集される。放射線に由来しない電子が信号出力電極14へ流入することがより効果的に抑制され、よりノイズが低減される。また、実施形態1と同様に、収集した電子を半導体検出器1外へ流すためのボンディングパッドが不必要となり、表面電流を低減するための構成が単純となる。半導体検出器1の歩留まりが向上し、半導体検出器1のコストが低減される。
図9は、実施形態3に係る半導体検出器1の模式的な平面図である。実施形態1及び2と同様に、Si層11の一面には、信号出力電極14と、多重のリング状電極12が設けられている。隣接する一対のリング状電極12の間に位置するSi層11の一部分に電極131が設けられている。特定のリング状電極12の上には、導電部132が設けられており、導電部132はリング状電極12に接触している。導電部132の一部が外側へ延伸して電極131に連結していることによって、電極131は、より信号出力電極14に近い位置にあるリング状電極12に導電部132を介して接続されている。電極131よりも外側に位置しているリング状電極12は、周方向に一部が分断している。一部が分断しているリング状電極12は、形状がリング状ではないが、便宜上、ここではリング状電極12と言う。Si層11の表面には、リング状電極12が分断することによってリング状電極12が設けられていない分断部分121が形成されている。半導体検出器1のその他の構成は、実施形態1又は2と同様である。また、半導体検出器1を備えた放射線検出装置の構成は、実施形態1及び2と同様である。
図10は、実施形態4に係る半導体検出器1の模式的な平面図である。図11は、図10中のXI−XI線で半導体検出器1を切断した模式的な断面図である。図12は、図10中のXII−XII線で半導体検出器1を切断した模式的な断面図である。実施形態1〜3と同様に、Si層11の一面には、信号出力電極14と、多重のリング状電極12が設けられている。電極131は、隣接する一対のリング状電極12の間に位置するSi層11の一部分に埋設されている。特定のリング状電極12の上には、導電部132が設けられており、導電部132はリング状電極12に接触している。導電部132は、外側へ延伸した延伸部133に連結されている。延伸部133は導電性である。延伸部133は電極131に連結されている。即ち、電極131は、より信号出力電極14に近いリング状電極12に延伸部133及び導電部132を介して接続されている。図10では、電極131、導電部132及び延伸部133をハッチングで示している。図10に示すように、導電部132は、他の導電部132に連結された延伸部133と平面視で重ならないような形状になっている。図11及び図12に示すように、延伸部133とSi層11及びリング状電極12との間には、絶縁膜15が設けられている。図10では、絶縁膜15を省略している。
図13は、実施形態5に係る半導体検出器1の模式的な平面図である。実施形態1〜4と同様に、Si層11の一面には、信号出力電極14と、多重のリング状電極12が設けられている。複数の電極131が、隣接する一対のリング状電極12の間に位置するSi層11の一部分に設けられている。図13には、隣接する一対のリング状電極12の間に三個の電極131が設けられた例を示している。隣接する一対のリング状電極12の間に設けられた電極131の数は、二個であってもよく、四個以上であってもよい。電極131の形状は平面視でドット状である。なお、電極131の形状は平面視で弧状であってもよい。
11 Si層(半導体部)
12 リング状電極(曲線状電極)
131 電極(収集電極)
132 導電部
14 信号出力電極
2 放射線検出器
21 前置増幅器
22 回路基板
24 ベースプレート
31 電圧印加部
32 主増幅器(出力部)
33 照射部
41 信号処理部(スペクトル生成部)
44 表示部
Claims (9)
- 板状の半導体部を備え、該半導体部の一面に、信号を出力するための信号出力電極と、該信号出力電極からの距離が互いに異なる複数の曲線状電極とが設けられた半導体検出器において、
前記半導体部に発生する電荷を収集するための弧状の収集電極を備え、
前記複数の曲線状電極は、前記半導体部内に前記信号出力電極に向かって電位が変化する電位勾配が生成されるように、電圧が印加され、
前記収集電極は、隣接する一対の曲線状電極の間に位置する前記半導体部の一部分に設けられていること
を特徴とする半導体検出器。 - 前記収集電極は、前記複数の曲線状電極の内で前記信号出力電極からの距離が前記信号出力電極から前記収集電極までの距離よりも短い位置にある曲線状電極に接続されていること
を特徴とする請求項1に記載の半導体検出器。 - 板状の半導体部を備え、該半導体部の一面に、信号を出力するための信号出力電極と、該信号出力電極からの距離が互いに異なる複数の曲線状電極とが設けられた半導体検出器において、
前記半導体部に発生する電荷を収集するための非リング状の収集電極を備え、
前記複数の曲線状電極は、前記半導体部内に前記信号出力電極に向かって電位が変化する電位勾配が生成されるように、電圧が印加され、
複数の前記収集電極が、隣接する一対の曲線状電極の間に位置する前記半導体部の一部分に設けられており、
複数の前記収集電極の夫々は、個別に、前記複数の曲線状電極の内で前記信号出力電極からの距離が前記信号出力電極から前記収集電極までの距離よりも短い位置にある曲線状電極に接続されていること
を特徴とする半導体検出器。 - 前記収集電極は、前記信号出力電極からの距離が前記信号出力電極から前記一対の曲線状電極までの距離よりも短い位置にある曲線状電極に接続されていること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の半導体検出器。 - 前記複数の曲線状電極は、前記信号出力電極に遠い曲線状電極から前記信号出力電極に近い曲線状電極へ向けて電位が単調に変化するように電圧が印加されること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の半導体検出器。 - 導電材で形成されており、一部が一の曲線状電極に接して該曲線状電極の上に設けられ、他の一部が前記収集電極に連結されている導電部を更に備えること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の半導体検出器。 - 請求項1乃至6のいずれか一つに記載の半導体検出器と、
該半導体検出器が実装された回路基板と、
前記半導体検出器及び前記回路基板を保持するベースプレートと
を備えることを特徴とする放射線検出器。 - 放射線を検出する請求項1乃至6のいずれか一つに記載の半導体検出器と、
該半導体検出器が検出した放射線のエネルギーに応じた信号を出力する出力部と、
該出力部が出力した信号に基づいて、前記放射線のスペクトルを生成するスペクトル生成部と
を備えることを特徴とする放射線検出装置。 - 放射線を照射された試料から発生する放射線を検出する放射線検出装置において、
試料へ放射線を照射する照射部と、
前記試料から発生した放射線を検出する請求項1乃至6のいずれか一つに記載の半導体検出器と、
該半導体検出器が検出した放射線のエネルギーに応じた信号を出力する出力部と、
該出力部が出力した信号に基づいて、前記放射線のスペクトルを生成するスペクトル生成部と、
該スペクトル生成部が生成したスペクトルを表示する表示部と
を備えることを特徴とする放射線検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT102015000087721 | 2015-12-24 | ||
ITUB2015A009644A ITUB20159644A1 (it) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | Rivelatore a semiconduttore, rivelatore di radiazione e apparecchiatura di rivelazione di radiazione. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017116550A true JP2017116550A (ja) | 2017-06-29 |
JP6846923B2 JP6846923B2 (ja) | 2021-03-24 |
Family
ID=55538555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016249916A Active JP6846923B2 (ja) | 2015-12-24 | 2016-12-22 | 半導体検出器、放射線検出器及び放射線検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10254418B2 (ja) |
EP (1) | EP3185023A1 (ja) |
JP (1) | JP6846923B2 (ja) |
IT (1) | ITUB20159644A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019135265A1 (ja) * | 2018-01-04 | 2019-07-11 | オリンパス株式会社 | 半導体装置 |
CN110808298A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-18 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管及其制作方法 |
JP2020148608A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6893135B2 (ja) * | 2017-07-07 | 2021-06-23 | フォンダチオーネ ブルーノ ケスラー | 放射線検出素子、放射線検出器及び放射線検出装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012255769A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Rigaku Corp | 複合x線分析装置 |
JP2014002155A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Oxford Instruments Analytical Oy | 漏れ電流収集構造およびそれを用いた放射線検出器 |
JP2014092448A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Horiba Ltd | 放射線検出器、放射線検出装置、及びx線分析装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE77899T1 (de) * | 1984-04-25 | 1992-07-15 | Josef Kemmer | Verarmtes halbleiterelement mit einem potential- minimum fuer majoritaetstraeger. |
US4951106A (en) * | 1988-03-24 | 1990-08-21 | Tektronix, Inc. | Detector device for measuring the intensity of electromagnetic radiation |
DE10213812B4 (de) * | 2002-03-27 | 2007-03-29 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Leitungsüberführung für einen Halbleiter-Detektor |
WO2009022378A1 (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-19 | Osaka Electro-Communication University | 放射線検出装置 |
US9530902B2 (en) * | 2012-06-20 | 2016-12-27 | Oxford Instruments Analytical Oy | Two-dimensional guard structure and a radiation detector with the same |
US9123837B2 (en) * | 2013-05-31 | 2015-09-01 | Oxford Instruments Analytical Oy | Semiconductor detector with radiation shield |
-
2015
- 2015-12-24 IT ITUB2015A009644A patent/ITUB20159644A1/it unknown
-
2016
- 2016-12-22 JP JP2016249916A patent/JP6846923B2/ja active Active
- 2016-12-22 US US15/387,809 patent/US10254418B2/en active Active
- 2016-12-23 EP EP16206742.5A patent/EP3185023A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012255769A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Rigaku Corp | 複合x線分析装置 |
JP2014002155A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Oxford Instruments Analytical Oy | 漏れ電流収集構造およびそれを用いた放射線検出器 |
US8921797B2 (en) * | 2012-06-20 | 2014-12-30 | Oxford Instruments Analytical Oy | Leakage current collection structure and a radiation detector with the same |
JP2014092448A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Horiba Ltd | 放射線検出器、放射線検出装置、及びx線分析装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
A.AUROLA, V.MAROCHKIN, M.GOLOVEVA, T.TUUVA: "Novel silicon drift detector design enabling low dark noise and simple manufacturing", JOURNAL OF INSTRUMENTATION, INSTITUTE OF PHYSICS PUBLISHING, vol. 10 C02047, JPN6020030256, 26 February 2015 (2015-02-26), GB, pages 1 - 11, ISSN: 0004327578 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019135265A1 (ja) * | 2018-01-04 | 2019-07-11 | オリンパス株式会社 | 半導体装置 |
JP2020148608A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器 |
JP7100601B2 (ja) | 2019-03-13 | 2022-07-13 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器 |
CN110808298A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-18 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管及其制作方法 |
CN110808298B (zh) * | 2019-11-14 | 2021-07-06 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170184732A1 (en) | 2017-06-29 |
JP6846923B2 (ja) | 2021-03-24 |
US10254418B2 (en) | 2019-04-09 |
EP3185023A1 (en) | 2017-06-28 |
ITUB20159644A1 (it) | 2017-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3425428B1 (en) | Radiation detection element, radiation detector and radiation detection apparatus | |
JP6905825B2 (ja) | 半導体検出器、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP2017116550A (ja) | 半導体検出器、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP2015084392A (ja) | 光検出器 | |
US20200355837A1 (en) | Silicon drift detection element, silicon drift detector, and radiation detection device | |
CN111373287A (zh) | 放射线检测器和放射线检测装置 | |
WO2020162246A1 (ja) | 放射線検出素子、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP2009139346A (ja) | 放射線検出センサおよび放射線検出センサユニット | |
JP2016024085A (ja) | シリコンドリフト検出器 | |
US20190324160A1 (en) | X-ray detector and x-ray measurement device using the same | |
JP7045371B2 (ja) | 放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP6723806B2 (ja) | 放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP2015021843A (ja) | 放射線検出器、放射線検出装置及び放射線分析装置 | |
JP2023019637A (ja) | 放射線検出素子の製造方法 | |
WO2022224654A1 (ja) | 放射線検出素子、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
WO2024070737A1 (ja) | 放射線検出素子、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP2006261274A (ja) | 半導体検出器および半導体検出器製造方法 | |
JP6753194B2 (ja) | 放射線検出器 | |
JP6475557B2 (ja) | 放射線検出装置及び放射線検出器 | |
WO2023026939A1 (ja) | 放射線検出素子、放射線検出器、放射線検出装置及び放射線検出素子の製造方法 | |
JP6475556B2 (ja) | 放射線検出器及び放射線検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6846923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |