JP2017116448A - 磁気センサ装置 - Google Patents

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伸明 大竹
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Abstract

【課題】周期的ノイズである外乱磁界をキャンセルしてSN比を改善し、磁気媒体物の検出が確実になされる磁気センサ装置を提供する。【課題の解決手段】磁気センサ装置は、永久磁石4の異極面側に位置するようにして、永久磁石4によりバイアス磁界が加えられる2個の磁気センサ5a,5bを、磁気媒体物8の搬送方向と平行に配置し、各磁気センサ5a,5bは、定電圧間に磁気抵抗素子と前記定電圧間を分圧する電気的素子を直列接続し、その接続部から検出信号を取り出すとともに、永久磁石4から放出される磁力線が貫通した位置の磁界ベクトルのX方向成分の絶対値が等しくなるよう配置してなり、磁気媒体物8は一方の磁気センサ5aの永久磁石4とは反対面側を搬送し、各磁気センサ5a,5bの検出信号を演算回路19で加算演算または差動演算して外乱磁界26分をキャンセルして出力する。【選択図】図6

Description

本発明は、磁気インクなどの磁性体を検出する磁気センサ装置に関する。
従来から、紙幣や有価証券等の紙葉類に磁気インクで印刷された磁気パターンを検出するための磁気センサ装置は、種々の構成のものが知られている。例えば、強磁性体薄膜磁気抵抗素子にバイアス磁界を加える永久磁石を備え、この永久磁石による検出用磁界が同時に付与する前記強磁性体薄膜磁気抵抗素子の感磁方向のバイアス磁界強度が飽和磁界以下の磁束量となるように、前記永久磁石に対する前記強磁性体薄膜磁気抵抗素子の位置を調整して配置した磁気センサがある(特許文献1)。
特開2008−145379号公報
上述した従来の磁気センサでは、永久磁石と強磁性体薄膜磁気抵抗素子との位置関係を調整して、具体的には、強磁性体薄膜磁気抵抗素子を永久磁石の中心からずらした位置に配置することによって、高い感度を保つものではあるが、磁気パターンを磁気インクで印刷した紙幣を搬送する搬送ローラを駆動するモータなどの駆動源による、周期的ノイズである外乱磁界により生じるSN比の悪化に対しては、何らの対応策も講じていない。このため、上述した従来の磁気センサは、前記SN比の悪化を防止できないという不都合があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、周期的ノイズである外乱磁界により生じるSN比の悪化を抑制した磁気センサ装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために本発明の請求項1に係る磁気センサ装置は、永久磁石の異極面側に位置するようにして、前記永久磁石によりバイアス磁界が加えられる2個の第1及び第2磁気センサを、被検出体である磁性体などの磁気媒体物の搬送方向と平行に配置してなる磁気センサ装置であって、前記第1及び第2磁気センサは、定電圧間に磁気抵抗素子と前記定電圧間を分圧する電気的素子を直列接続し、その接続部から検出信号を取り出すとともに、前記永久磁石から放出される磁力線が前記第1及び第2磁気センサによって検出される磁界ベクトルの前記搬送方向と平行となるX方向成分の絶対値が等しくなるよう配置し、前記第1磁気センサは前記磁気媒体物と外乱磁界を検出し、前記第2磁気センサは前記外乱磁界のみを検出するものであり、前記磁気媒体物は第1磁気センサの前記永久磁石とは反対面側を搬送し、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を演算して前記外乱磁界分をキャンセルして検出信号を出力するものである。
この構成によれば、被検出体である磁性体などの磁気媒体物を第1磁気センサの永久磁石とは反対面側を搬送することによって、この第1磁気センサは磁気媒体物の検出が可能となる一方、第2磁気センサは磁気媒体物から十分離れて位置するので磁気媒体物を検出することはできない状態となるとともに、周期的ノイズである外乱磁界は磁気センサ装置に対して全体的に加えられるので、前記第1及び第2磁気センサによってこの外乱磁界は検出される。そして、前記第1及び第2磁気センサには、永久磁石から放出される磁力線が前記第1及び第2磁気センサによって検出される磁界ベクトルの前記磁気媒体物の搬送方向と平行となるX方向成分の絶対値が等しくなるようバイアス磁界を加えることにより、前記第1及び第2磁気センサによる周期的ノイズの検出信号は振幅がほぼ同一大で、前記磁界ベクトルのX方向成分の向きと、磁気抵抗素子と電気的素子の接続順の組み合わせに応じて、同相信号または逆相信号となるので、同相信号の場合は差動演算し、逆相信号の場合は加算演算することにより、前記周期的ノイズである前記外乱磁界はキャンセルされる一方、前記磁気媒体物の検出信号は増減されずに出力される。
同じく前記目的を達成するために本発明の請求項2に係る磁気センサ装置は、前記請求項1の構成において、前記第1及び第2磁気センサにおける前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが同一方向で、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が同一の場合には、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を差動演算する一方、前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆の場合には、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を加算演算するものである。
この前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが同一方向の構成によれば、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が同一の場合には、前記周期的ノイズの検出信号は振幅がほぼ同一大の同相信号となるので、その同相信号を差動演算することで前記周期的ノイズはキャンセルされる。また、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆の場合には、前記周期的ノイズの検出信号は振幅がほぼ同一大の逆相信号となるので、その逆相信号を加算演算することで前記周期的ノイズはキャンセルされる。一方、前記磁気媒体物の検出信号については、前記第2磁気センサで検出されないので、差動演算及び加算演算されても、増減されずにそのまま出力される。
同じく前記目的を達成するために本発明の請求項3に係る磁気センサ装置は、前記請求項1の構成において、前記第1及び第2磁気センサにおける前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが逆方向で、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が同一の場合には、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を加算演算する一方、前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆の場合には、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を差動演算するものである。
この前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが逆方向の構成によれば、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が同一の場合には、前記周期的ノイズの検出信号は振幅がほぼ同一大の逆相信号となるので、その逆相信号を加算演算することで前記周期的ノイズはキャンセルされる。また、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆の場合には、前記周期的ノイズの検出信号は振幅がほぼ同一大の同相信号となるので、その同相信号を差動演算することで前記周期的ノイズはキャンセルされる。一方、前記磁気媒体物の検出信号については、前記第2磁気センサで検出されないので、差動演算及び加算演算されても、増減されずにそのまま出力される。
同じく前記目的を達成するために本発明の請求項4に係る磁気センサ装置は、前記請求項1〜3のいずれかの構成において、前記第1及び第2磁気センサにおける前記電気的素子を、一定の抵抗値を持つ磁気抵抗素子で構成するものである。
この構成によると、前記第1及び第2磁気センサが前記磁気抵抗素子で構成されるので、前記電気的素子を一定の抵抗値を持つ磁気抵抗素子で構成し、これら磁気抵抗素子を同一製造ラインで製造することにより、性能にばらつきのない素子を使用することができ、検出性能が向上する。
本発明の各請求項に係る磁気センサ装置によれば、周期的ノイズである外乱磁界はキャンセルされることにより、SN比が改善され、また、磁気媒体物の検出は確実になされるという効果を奏する。
本発明における磁気センサの実施形態を示す説明図。 同じく磁界検出原理を示す説明図。 同じく磁気媒体物の検出原理を示す説明図。 同じく外乱磁界の検出原理を示す説明図。 同じく磁気抵抗効果素子で検出される磁界強度と磁気抵抗効果素子の抵抗減少率との関係を示すグラフ。 本発明の一実施形態における磁気センサ装置の概略的な構成図。 同じく磁気センサ装置の出力を示す波形図。 他の実施形態における磁気センサ装置の出力を示す波形図。
初めに、本発明における磁気センサの一実施形態を図1に基づいて説明する。電源電圧(以下「VDD」という。)端子と接地電圧(以下「GND」という。)間に磁気抵抗効果素子(以下「MR素子」という。)1と抵抗2が直列接続されて、各磁気センサ5a,5bが構成される。図1(a)に示す磁気センサ5aでは、MR素子1の一端はVDD端子に、他端は抵抗2にそれぞれ接続され、抵抗2の一端はMR素子1に、他端はGND端子にそれぞれ接続されている。また、図1(b)に示す磁気センサ5bでは、MR素子1の一端はGND端子に、他端は抵抗2にそれぞれ接続され、抵抗2の一端はMR素子1に、他端はVDD端子にそれぞれ接続されている。VDD−GND間の電圧は、レギュレータ等の定電圧回路で生成されてもよい。MR素子1と抵抗2の接続点である検出信号端子3からは、MR素子1と抵抗2の抵抗比によって、VDD−GND間が分圧された電圧が出力される。
MR素子1の検出される磁界方向は図1のX方向と、X方向とは逆方向の−X方向であり、その検出される磁界によって、MR素子1の抵抗値が変化し、検出信号端子3の電圧が変化する。抵抗2は磁界によって抵抗値は変化せず、VDD−GND間を分圧する電気的素子であり、この電気的素子には、抵抗2に換えて、磁界検出が飽和され、一定の抵抗値で保持されたMR素子1を使用することもできる。
図1では、磁気センサ5a,5bを電気回路図として記載しているが、実際の素子配置については、図1に示す電気的接続、及びMR素子1の検出される磁界方向が同一であれば、所望の素子配置でよい。また、MR素子1と抵抗2をパッケージや、樹脂等で封止してもよい。そして、MR素子1と抵抗2は各1個ずつ直列接続し、その接続点を検出信号端子として取り出しているが、MR素子1と抵抗2を複数直列接続して所望の接続点を検出信号端子3として取り出したり、MR素子1や抵抗2をブリッジ型で接続してもよい。
続いて、図2に基づき本発明における磁気センサ装置の磁界検出原理について説明する。永久磁石4によってバイアス磁界が加えられる磁気センサ5a,5bは、永久磁石4の垂直磁界を生ずる中心位置からずれて、永久磁石4を挟んで異極面側に対称的に配置され、永久磁石4が放出する磁力線6が貫通する位置の磁界ベクトル7a,7bのX方向成分7ax,7bxの絶対値が等しくなるよう設定されている。図2(a)では、各磁気センサ5a,5bは、永久磁石4の中心点を通って図上X方向に水平に伸びる軸を対称軸として線対称に配置されている。また、図2(b)では、各磁気センサ5a,5bは、永久磁石4の中心点に対して点対称に配置されている。そして、各磁気センサ5a,5bの検出面側は、反対向面側に位置する。永久磁石4は、平面形状が矩形状で、上面がN極、下面がS極である。
図2(a),(b)において、6は永久磁石4から放出される磁力線を示し、7aは磁力線6が磁気センサ5aを貫通した位置の磁界ベクトル、7axは磁界ベクトル7のX方向成分で、永久磁石4の磁気バイアスによる磁気センサ5aの検出方向、7ayは磁気ベクトル7aの垂直方向成分であるY方向成分、をそれぞれ示すものである。同様に、7bは磁力線6が磁気センサ5bを貫通した位置の磁界ベクトル、7bxは磁界ベクトル7bのX方向成分で、永久磁石4の磁気バイアスによる磁気センサ5bの検出方向、7byは磁気ベクトル7bの垂直方向成分であるY方向成分、をそれぞれ示すものである。
ここで、上述したように、各磁気ベクトル7a,7bのX方向成分である7axと7bxの大きさの絶対値は等しくなるよう各磁気センサ5a,5bの位置が設定されている。なお、図2では便宜上、各磁界ベクトル7a,7bの各磁気センサ5a,5bに対する位置を、図上、各磁気センサ5a,5bを磁力線6が貫通する位置ではなく上下方向にずらして示している(後述する図3及び図4においても同じ)。
図2上、各磁気センサ5a,5bの磁界検出方向をX方向と平行な方向にすると、上述のように、各磁気センサ5a,5bが検出される磁界は磁界ベクトル7a,7bのX方向成分7ax,7bxとなり、図示のX方向を正方向とすると、図2(a)では、検出される磁界の極性は、磁気センサ5aは負、磁気センサ5bは正で、互いに逆になり、図2(b)では、検出される磁界の極性は、磁気センサ5aは負、磁気センサ5bも負で、互いに同じになる。また、各磁気センサ5a,5bの磁界検出方向をX方向と平行な方向にすると、磁界ベクトル7a,7bの垂直方向成分である7ay,7byは検出されない。
したがって、磁界ベクトル7a,7bのX方向成分7ax,7bxに対応する、各磁気センサ5a,5bにより検出される永久磁石4から加えられた絶対値が等しい磁界は、永久磁石4以外の磁性体などの磁気媒体物によって各磁界が変化することにより、磁気媒体物を検出可能である。ここで、磁気媒体物の搬送方向がX方向でも、−X方向でも、磁気媒体物の検出は可能である。
続いて、図3に基づき本発明における磁気センサ装置の磁気媒体物検出原理について説明する。永久磁石4及び第1の磁気センサ5aと第2の磁気センサ5bを図2で説明したように配置し、被検出体である磁性体からなる磁気媒体物8は、この磁気媒体物8を検出する磁気センサ5aの永久磁石4とは反対側を磁気センサ5aと平行な水平方向である矢印9方向に、搬送ローラなどの適宜な搬送手段(図示せず)により搬送する。磁気媒体物8は、磁気透磁率が高く、極性がないものである。
磁気媒体物8が接近すると、永久磁石4から放出された磁力線6は、磁気媒体物8に集まるので、磁気センサ5aに向かう磁力線6は、磁気媒体物8方向に傾斜する。そして、磁気センサ5aを貫通する磁力線6による磁界ベクトル7aのX方向成分7axは、図3(a),(b)ともに−X方向の負の磁界となるが、この磁界ベクトル7aと、図2(a),(b)に示す磁界ベクトル7aを比較すると、図3(a),(b)に示す方が絶対値が大きい。したがって、磁気媒体物8が接近した場合は、磁気センサ5aで検出される磁界7axが、図2(a),(b)状態時よりも大きな値となる。一方、図3(a),(b)に示す各磁気センサ5bは、磁気媒体物8から十分に離れているため、磁気媒体物8が接近した場合でも、検出する磁界7bxの変化はほとんどない。
このように、磁気センサ5aで検出される磁界7axの絶対値の変化によって、磁気媒体物8を検出することが可能となる。なお、磁気媒体物8は、磁気センサ5b側を搬送するようにしてもよく、この場合は、磁気センサ5bで検出される磁界7bxの変化により磁気媒体物8が検出される一方、磁気センサ7aで検出される磁界7axの変化はほとんどないものである。
続いて、図4に基づき本発明における磁気センサ装置の外乱磁界印加時の磁気検出原理について説明する。この外乱磁界は、磁気媒体物8の搬送に用いる搬送ローラなどの搬送手段(図示せず)によって生じる磁気媒体物8以外の周期的なノイズ成分であり、図2及び図3と同一状態で配置された各磁気センサ5a,5b全体に均等に印加される。外乱磁界の一例として、ある極をもった外乱磁界印加源10から加えられる外乱磁界について説明する。
外乱磁界が印加されていない場合、各磁気センサ5a,5bに加えられるバイアス磁界は、永久磁石4から放出される磁力線6の各磁気センサ5a,5bを貫通した位置において磁界ベクトル7a,7bとして表され、各磁気センサ5a,5bで検出される磁界はX方向成分である7ax,7bxとなる。一方、外乱磁界印加源10から放出される磁力線11a,11bのうち、各磁気センサ5a,5bで検出される磁界を7cx,7dxとする。各磁界7cx,7dxは、図2で説明したように、磁界検出方向をX方向に沿った方向とすると、X方向と同一方向、すなわち正の磁界となる。
したがって、図4(a)では、外乱磁界印加源10及び永久磁石4によって、磁気センサ5aで検出される磁界は、負の磁界7axと正の磁界7cxの加算となり、磁気センサ5bで検出される磁界は、正の磁界7bxと正の磁界7dxの加算となる。このため、磁気センサ5aで検出される磁界の絶対値は、通常、図2状態検出時の絶対値7axより小さくなる一方、磁気センサ5bで検出される磁界の絶対値は、図2状態検出時の絶対値7bxより大きくなる。
また、図4(b)では、外乱磁界印加源10及び永久磁石4によって、磁気センサ5aで検出される磁界は、負の磁界7axと正の磁界7cxの加算となり、磁気センサ5bで検出される磁界は、負の磁界7bxと正の磁界7dxの加算となる。このため、磁気センサ5aで検出される磁界の絶対値は、通常、図2状態検出時の絶対値7axより小さくなり、また、磁気センサ5bで検出される磁界の絶対値は、通常、図2状態検出時の絶対値7bxより小さくなる。
このように、各磁気センサ5a,5bで検出される永久磁石4から加えられたバイアス磁界による磁界ベクトル7a,7bの絶対値の等しいX方向成分7ax及び7bxにおいて、外乱磁界が印加された場合は、図4(a)では、磁気センサ5aに検出される磁界の絶対値は7axよりも小さくなり、磁気センサ5bに検出される磁界の絶対値は7bxよりも大きくなることで、外乱磁界が検出されるが、磁気媒体物8が接近した場合に検出される磁界の絶対値とは異なるため、磁気媒体物8を検出した信号との識別が可能である。同様に図4(b)では、磁気センサ5aに検出される磁界の絶対値は7axよりも小さくなり、磁気センサ5bに検出される磁界の強さの絶対値も7bxよりも小さくなることで、外乱磁界が検出されるが、磁気媒体物8が接近した場合に検出される磁界の強さの絶対値とは異なるため、磁気媒体物8を検出した信号との識別が可能である。
そして、図4(a),(b)のいずれにおいても、磁気センサ5a,5bで検出される磁界7ax,7bx,7cx,7dxの絶対値の大小関係が上述とは逆の場合でも、同様に磁気媒体物8を検出した信号との識別が可能である。
図5は、各磁気センサ5a,5bに備えたMR素子1が検出した永久磁石4による磁気バイアスの磁界強度と、MR素子1の抵抗減少率との関係を示すものである。図5(a)が図2(a)の配置状態の場合を示し、図5(b)が図2(b)の配置状態の場合を示し、P1,P2は図2(a),(b)で示した磁界強度の基準値、Q1は基準値に対応する抵抗減少率を示している。
図2(a),(b)の配置状態において、磁気媒体物8が接近すると、図3(a),(b)で説明したように、磁気センサ5a,5bのMR素子1の検出磁界は、図5(a),(b)に示すように、負の検出磁界が大きくなる矢印17方向となり、磁界強度はP1からP3となり、抵抗減少率はQ1からQ2となって、抵抗値は小さくなる。
一方、外乱磁界印加源10によって外乱磁界が印加された場合は、図5(a)に示す図2(a)の配置状態においては、図4(a)で説明したように、磁気センサ5aのMR素子1の検出磁界は、負の検出磁界が小さくなる矢印18a方向となり、磁界強度はP1からP4となり、抵抗減少率はQ1からQ3となって、抵抗値は大きくなる。また、磁気センサ5bのMR素子1の検出磁界は、正の検出磁界が大きくなる矢印18b方向となり、磁界強度はP2からP5となり、抵抗減少率はQ1からQ2となって、抵抗値は小さくなる。
また、外乱磁界印加源10によって外乱磁界が印加された場合の図5(b)に示す図2(b)の配置状態においては、図4(b)で説明したように、磁気センサ5aのMR素子1の検出磁界は、負の検出磁界が小さくなる矢印18a方向となり、磁界強度はP1からP4となり、抵抗減少率はQ1からQ3となって、抵抗値は大きくなる。そして、磁気センサ5bのMR素子1の検出磁界も、負の検出磁界が小さくなる矢印18a方向となり、磁界強度はP1からP4となり、抵抗減少率はQ1からQ3となって、抵抗値は大きくなる。
ここで、図2(a)の配置状態で外乱磁界印加時の場合、磁気センサ5a,5bの一方が図1(a)の構成で,他方が図1(b)の構成であると、検出信号は同相信号となる。また、磁気センサ5a,5bがともに、図1(a)の構成、あるいは図1(b)の構成で、同一構成であると、検出信号は逆相信号となる。そして、図2(a)配置状態で、磁気媒体物8が接近する場合には、磁気センサ5bの検出信号は変化しない。したがって、外乱磁界印加時の検出信号が同相の場合には差動演算し、検出信号が逆相信号の場合には加算演算することにより、磁気媒体物8の検出信号はそのまま出力し、外乱磁界の検出信号はキャンセルして出力することができる。
一方、図2(b)の配置状態で外乱磁界印加時の場合には、磁気センサ5a,5bの一方が図1(a)の構成で,他方が図1(b)の構成であると、検出信号は逆相信号となる。また、磁気センサ5a,5bがともに、図1(a)の構成、あるいは図1(b)の構成で、同一構成であると、検出信号は同相信号となる。そして、図2(b)配置状態で、磁気媒体物8が接近する場合には、磁気センサ5bの検出信号は変化しない。したがって、外乱磁界印加時の検出信号が同相の場合には差動演算し、検出信号が逆相信号の場合には加算演算することにより、磁気媒体物8の検出信号はそのまま出力し、外乱磁界の検出信号はキャンセルして出力することができる。
続いて、本発明の一実施形態の構成を図6に基づいて説明する。磁気センサモジュール24は、各PCB基板20a,20bが固定具22によって所定間隔に支持され、固定具22には磁石台座21が固定されている。PCB基板20aの上面には上述した磁気センサ5aが固定され、PCB基板20bの下面には上述した磁気センサ5bが固定されている。また、磁石台座21には、上述した永久磁石4が、そのN極面及びS極面と対向する各磁気センサ5a,5b載置面迄の距離が互いに等しくなるように接着されている。すなわち、本実施形態は図2(a)の配置状態に対応する構成であり、各磁気センサ5a,5bは、永久磁石4の中心を通って図上X方向に水平に伸びる軸を対称軸として線対称に配置されている。そして、磁気センサ5aは図1(a)の構成を採用し、磁気センサ5bは図1(b)の構成を採用している。
PCB基板20a上面に固定した演算回路を含むICチップ19は、磁気センサ5a,5bからの検出信号を、増幅して、差動演算または加算演算などの演算処理を行う。磁気センサ5aとICチップ19は、各ボンディングワイヤ23a,23dでPCB基板20aに必要な電気的接続がされている。また同様に、磁気センサ5bもボンディングワイヤ23bでPCB基板20bに必要な電気的接続がされている。さらにPCB基板20a,20b同士もボンディングワイヤ23cで必要な電気的接続がされている。そして、各磁気センサ5a,5bの検出信号をICチップ19で演算処理した出力は、PCB基板20aに接続されたボンディングワイヤ23eを介して外部に出力される。磁気モジュール24の各部品は、樹脂等で封止されている。さらに、磁気モジュール24は、DIP型のパッケージ形態や、他のパッケージ形態で構成される。
そして、所定幅の一本線の磁性体からなる磁気パターン25が紙幣などの磁気媒体物8上に形成され、この磁気媒体物8が搬送されて、各磁気センサ5a,5bが、磁気パターン25と周期的ノイズである外乱磁界26を検出すると、それらの検出信号はICチップ19で増幅されて、演算処理され、ボンディングワイヤ23eから出力される。
次に、図7に基づいて、磁気媒体物8の接近及び外乱磁界26の印加を、上述の実施形態で検出した場合の各出力波形について説明する。図7は、図6に示す所定幅の一本線の磁気パターン25からなる磁気媒体物8と、一定の周期を持つ外乱磁界26について、各磁気センサ5a,5bのボンディングワイヤ23a,23bを介した検出信号とICチップ19のボンディングワイヤ23eを介した出力信号の波形を示している。また、Lは磁気媒体物8が検出された期間、Mは外乱磁界が検出された期間、A,B,Cは図6における各検出位置を示している。なお、以下の説明では、ボンディングワイヤ23a,23bを介した検出信号をそれぞれ検出信号23a,23bと称し、ボンディングワイヤ23eを介した出力信号を検出信号23eと称することにする。
図7の期間Lにおける磁気センサ5aの検出信号23aは、磁気パターン25がA点の場合、磁気センサ5aで検出される磁界の絶対値が大きいため、上述した図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1からQ2になり、磁気センサ5aにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が、磁気媒体物8が接近することで小さくなり、検出信号23aは基準信号から上昇する。次いで、磁気パターン25がB点に至ると、磁気センサ5aで検出される磁界が、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスになることで検出信号23aは基準信号に戻る。磁気パターン25がC点に至ると、A点の場合と異なり、検出される磁界方向が逆方向になり、検出される磁界の絶対値がA点の場合とは逆に小さくなるため、図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1より小さくなり、磁気センサ5aにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が大きくなって、検出信号は基準信号よりも下降する。さらに、磁気パターン25がC点から図6のX方向に離れると、磁気パターン25に磁力線が集まらず、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスのみを磁気センサ5aが検出するため、検出信号23aは基準信号に戻る。一方、磁気センサ5bの検出信号23bは、上述したように、磁気センサ5bが磁気媒体物8から十分離れており、検出される磁界の変化がないため,基準信号のままである。
また、図7の期間Mにおける磁気センサ5aの検出信号23aは、図4(a)で上述したように、外乱磁界26がA点の場合、磁気センサ5aで検出される磁界の絶対値が小さいため、上述した図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1からQ3になり、磁気センサ5aにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が大きくなり、検出信号23aは基準信号から下降する。次いで、外乱磁界26がB点に至ると、磁気センサ5aで検出される磁界が、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスになることで検出信号23aは基準信号に戻る。さらに、外乱磁界26がC点に至ると、A点の場合と異なり、検出される磁界方向が逆方向になり、検出される磁界の絶対値がA点の場合とは逆に大きくなるため、図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1より大きくなり、磁気センサ5aにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が小さくなって、検出信号23aは基準信号から上昇する。そして、外乱磁界がC点から図6のX方向に離れると、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスのみを磁気センサ5aが検出するため、検出信号23aは基準信号に戻る。
一方、期間Mにおける磁気センサ5bの検出信号23bは、図4(a)で上述したように、外乱磁界26がA点の場合、磁気センサ5bで検出される磁界の絶対値が大きいため、上述した図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1からQ2になり、磁気センサ5bにおけるGND側に接続されたMR素子1の抵抗値が小さくなり、検出信号23baは基準信号から下降する。次いで、外乱磁界26がB点に至ると、磁気センサ5aで検出される磁界が、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスになることで検出信号23aは基準信号に戻る。さらに、外乱磁界26がC点に至ると、A点の場合と異なり、検出される磁界方向が逆方向になり、検出される磁界の絶対値がA点の場合とは逆に小さくなるため、図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1より小さくなり、磁気センサ5bにおけるGND側に接続されたMR素子1の抵抗値が大きくなって、検出信号23bは基準信号から上昇する。そして、外乱磁界26がC点から図6のX方向に離れると、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスのみを磁気センサ5bが検出するため、検出信号23bは基準信号に戻る。
したがって、外乱磁界26印加時の検出信号23aと検出信号23bは同相の波形となる。また、周期的な外乱磁界26は、各磁気センサ5a,5b全体に印加されたものあるため、図7のMにおける検出信号23aと検出信号23bの波形の振幅は同一である。
このように、本実施形態における各磁気センサ5a,5bの検出波形及び磁気センサモジュール24の出力波形は、所定幅の一本線の磁気パターン25からなる磁気媒体物8を検出した期間Lにおいて、各磁気センサ5a,5bによる検出信号23a,23bをICチップ19で差動演算した出力信号23eは、検出信号23aそのものであり、磁気媒体物8上の磁気パターン25を明確に検出することができる結果を示している。また、周期的外乱磁界26を検出した期間Mの場合においては、各磁気センサ5a,5bによって検出された検出信号23a,23bをICチップ19で差動演算した出力信号23eは、個々の磁気センサ5a,5bによる検出信号23a,23bの波形と比較すると、その出力信号の振幅は無視できる程度に小さく、外乱磁界26をキャンセルした結果となっている。したがって、本実施形態によればSN比が大きいことが理解でき、磁気媒体物8を明確に検出できるものである。
次いで、図8に基づいて、上述した実施形態の磁気センサ5bを磁気センサ5aと同じく、図1(a)の構成にした別の実施形態において、磁気媒体物8の接近及び外乱磁界26の印加を検出した場合の各出力波形について説明する。磁気センサ5bの構成以外は上述の図7で説明した実施形態と同一である。ここで、図8の期間Lにおける各検出信号23a,23bについては、上述した図7の場合と同じなので、説明は省略する。また、図8の期間Mにおける検出信号23aについても、上述した図7の場合と同じなので、説明は省略する。
図8の期間Mにおける磁気センサ5bの検出信号23bは、図4(a)で上述したように、外乱磁界26がA点の場合、磁気センサ5bで検出される磁界の絶対値が大きいため、上述した図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1からQ2になり、磁気センサ5bにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が小さくなり、検出信号23bは基準信号から上昇する。次いで、外乱磁界26がB点に至ると、磁気センサ5bで検出される磁界が、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスになることで検出信号23bは基準信号に戻る。さらに、外乱磁界26がC点に至ると、A点の場合と異なり、検出される磁界方向が逆方向になり、検出される磁界の絶対値がA点の場合とは逆に小さくなるため、図5のMR素子1の抵抗減少率がQ1より小さくなり、磁気センサ5bにおけるVDD側に接続されたMR素子1の抵抗値が大きくなって、検出信号23bは基準信号から下降する。そして、外乱磁界26がC点から図6のX方向に離れると、図2のように永久磁石4から加えられた磁気バイアスのみを磁気センサ5bが検出するため、検出信号23bは基準信号に戻る。
したがって、外乱磁界26印加時の検出信号23bと検出信号23aは逆相の波形となる。また、周期的な外乱磁界26は、各磁気センサ5a,5b全体に印加されたものあるため、図8のMにおける検出信号23aと検出信号23bの波形の振幅は同一である。
このように、別の実施形態における各磁気センサ5a,5bの検出波形及び磁気センサモジュール24の出力波形は、所定幅の一本線の磁気パターン25からなる磁気媒体物8を検出送した期間Lにおいて、各磁気センサ5a,5bによる検出信号23a,23bをICチップ19で加算演算した出力信号23eは、検出信号23aそのものであり、磁気媒体物8上の磁気パターン25を明確に検出することができる結果を示している。また、周期的外乱磁界26を検出した期間Mの場合においては、各磁気センサ5a,5bによって検出された検出信号23a,23bをICチップ19で加算演算した出力信号23eは、個々の磁気センサ5a,5bによる検出信号23a,23bの波形と比較すると、その出力信号の振幅は無視できる程度に小さく、外乱磁界26をキャンセルした結果となっている。したがって、別の実施形態によればSN比が大きいことが理解でき、磁気媒体物8を明確に検出できるものである。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、例えば、各磁気センサ5a,5bは、図2(a)、図3(a)、図4(a)のように、永久磁石4の磁極(N,S)の軸の図上左側に、永久磁石4の中心点を通る軸に対称的に配置したが、これを前記軸の図上右側において同様に対称的に配置してもよい。また、各磁気センサ5a,5bは、図2(b)、図3(b)、図4(b)のように、図上、磁気センサ5aが上方に、磁気センサ5bが下方に位置して、永久磁石4の中心点について点対称に配置したが、各磁気センサ5a,5bの上下関係を逆にしてもよい。
1 磁気抵抗素子(MR素子)
2 抵抗
3 検出信号端子
4 永久磁石
5a,5b 磁気センサ
7a,7b 磁界ベクトル
7ax,7bx 磁界ベクトルのX方向成分
7ay,7by 磁界ベクトルのY方向成分
8 磁気媒体物
10 外乱磁界印加源
19 ICチップ
24 磁気センサモジュール

Claims (4)

  1. 永久磁石の異極面側に位置するようにして、前記永久磁石によりバイアス磁界が加えられる2個の第1及び第2磁気センサを、被検出体である磁気媒体物の搬送方向と平行に配置してなる磁気センサ装置であって、前記第1及び第2磁気センサは、定電圧間に磁気抵抗素子と前記定電圧間を分圧する電気的素子を直列接続し、その接続部から検出信号を取り出すとともに、前記永久磁石から放出される磁力線が前記第1及び第2磁気センサによって検出される磁界ベクトルの前記搬送方向と平行となるX方向成分の絶対値が等しくなるよう配置してなり、前記第1磁気センサは前記磁気媒体物と外乱磁界を検出し、前記第2磁気センサは前記外乱磁界のみを検出するものであり、前記磁気媒体物は前記第1磁気センサの前記永久磁石とは反対面側を搬送し、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を演算して前記外乱磁界分をキャンセルして検出信号を出力するよう構成した磁気センサ装置。
  2. 前記第1及び第2磁気センサにおける前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが同一方向であって、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が同一であれば、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を差動演算する一方、前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆であれば、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を加算演算するよう構成してなる前記請求項1記載の磁気センサ装置。
  3. 前記第1及び第2磁気センサにおける前記磁界ベクトルのX方向成分の向きが逆方向であって、前記第1及び第2磁気センサにおける前記定電圧間に直列接続される磁気抵抗素子と電気的素子の接続順が同一であれば、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を加算演算する一方、前記磁気抵抗素子と前記電気的素子の接続順が逆であれば、前記第1及び第2磁気センサの前記検出信号を差動演算するよう構成してなる前記請求項1記載の磁気センサ装置。
  4. 前記第1及び第2磁気センサにおける前記電気的素子を、一定の抵抗値を持つ磁気抵抗素子で構成してなる前記請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109559422A (zh) * 2018-11-22 2019-04-02 威海华菱光电股份有限公司 磁图像传感器的信号处理方法、装置、存储介质和处理器

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