JP2017115246A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017115246A5
JP2017115246A5 JP2017002003A JP2017002003A JP2017115246A5 JP 2017115246 A5 JP2017115246 A5 JP 2017115246A5 JP 2017002003 A JP2017002003 A JP 2017002003A JP 2017002003 A JP2017002003 A JP 2017002003A JP 2017115246 A5 JP2017115246 A5 JP 2017115246A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
evaporation
distribution pipe
evaporation source
support
side shield
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017002003A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2017115246A (ja
JP6343036B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017002003A priority Critical patent/JP6343036B2/ja
Priority claimed from JP2017002003A external-priority patent/JP6343036B2/ja
Publication of JP2017115246A publication Critical patent/JP2017115246A/ja
Publication of JP2017115246A5 publication Critical patent/JP2017115246A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6343036B2 publication Critical patent/JP6343036B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2017002003A 2017-01-10 2017-01-10 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法 Active JP6343036B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017002003A JP6343036B2 (ja) 2017-01-10 2017-01-10 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017002003A JP6343036B2 (ja) 2017-01-10 2017-01-10 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016537004A Division JP6328766B2 (ja) 2013-12-10 2013-12-10 有機材料用の蒸発源、真空チャンバの中で有機材料を堆積させるための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018095120A Division JP6605073B2 (ja) 2018-05-17 2018-05-17 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017115246A JP2017115246A (ja) 2017-06-29
JP2017115246A5 true JP2017115246A5 (enExample) 2017-10-12
JP6343036B2 JP6343036B2 (ja) 2018-06-13

Family

ID=59231418

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017002003A Active JP6343036B2 (ja) 2017-01-10 2017-01-10 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6343036B2 (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6627181B1 (ja) * 2018-07-31 2020-01-08 キヤノントッキ株式会社 蒸発源及び蒸着装置
CN115279935A (zh) * 2020-03-26 2022-11-01 应用材料公司 蒸发源、具有蒸发源的沉积设备及其方法
CN116815150A (zh) * 2021-12-25 2023-09-29 昆山鑫美源电子科技有限公司 一种真空物理沉积设备和真空物理沉积方法
CN114673436A (zh) * 2022-05-06 2022-06-28 朱雪峰 一种轨道立式背靠背旋转门及真空光学机
CN115676975B (zh) * 2022-11-29 2024-03-22 厚德食品股份有限公司 一种纯水机制水储水系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5013591B2 (ja) * 2006-12-15 2012-08-29 キヤノントッキ株式会社 真空蒸着装置
JP5694679B2 (ja) * 2009-05-04 2015-04-01 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. 有機物蒸着装置及び蒸着方法
KR101708420B1 (ko) * 2010-09-15 2017-02-21 삼성디스플레이 주식회사 기판 증착 시스템 및 이를 이용한 증착 방법
JP5718362B2 (ja) * 2010-12-14 2015-05-13 シャープ株式会社 蒸着装置、蒸着方法、並びに、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
CN103270189B (zh) * 2010-12-24 2015-09-23 夏普株式会社 蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光显示装置的制造方法
JP2012233242A (ja) * 2011-05-09 2012-11-29 Hitachi High-Technologies Corp 有機elデバイス製造装置及び有機elデバイス製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017115246A5 (enExample)
JP2019505750A5 (enExample)
JP2019218623A5 (enExample)
US10738379B2 (en) Assembly and apparatus for vapor deposition
WO2015062311A1 (zh) 真空蒸镀装置
JP2017143244A5 (enExample)
MX376834B (es) Aparato de procesamiento de pvd y metodo de procesamiento de pvd.
GB201300607D0 (en) In-Vacuum rotational device
JP2015038469A5 (enExample)
KR102210379B1 (ko) 증착막 균일도 개선을 위한 박막 증착장치
CN106978588A (zh) 一种蒸镀罩、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法
JP2015511667A (ja) スパッタ堆積用の小型の回転可能なスパッタデバイス
CN105755433B (zh) 一种薄膜蒸镀方法及装置
KR101958190B1 (ko) 대형 코팅제품의 증착이 가능한 진공증착장치
CN110325662B (zh) 电子束蒸发器、涂布设备和涂布方法
JP2013544322A5 (enExample)
KR101562275B1 (ko) 증착장치
JPWO2020144894A1 (ja) 蒸着装置
KR101760257B1 (ko) 전자빔을 이용한 유리제품의 진공증착장치 및 진공증착방법
Hwang et al. 37‐2: Plane Source Evaporation Techniques for Super Ultra High Resolution Flexible AMOLED
JP2673725B2 (ja) 成膜装置
CN103820757B (zh) 一种激光分子束蒸发系统变向传动定位机构
JP2019052371A (ja) 3dサブストレートを均一にコーティングするための方法及び装置
KR20150073295A (ko) 플렉시블 필름의 아웃개싱을 제거하기 위한 롤투롤 전열처리장비
KR102208242B1 (ko) 증발위치가변형 증착장치 및 이를 이용한 증착방법