JP2017097935A - 磁気抵抗素子、その製造方法及びその使用方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 75
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 75
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 64
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 56
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 38
- 229910001291 heusler alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910000943 NiAl Inorganic materials 0.000 claims description 31
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 11
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910002515 CoAl Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910003321 CoFe Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910015372 FeAl Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000003245 coal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017028 MnSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
また、本発明は、上記の磁気抵抗素子の製造方法及びその使用方法に関する。
さらに本発明は、上記の巨大磁気抵抗素子の製造方法及びその使用方法を提供することを目的とする。
本発明の磁気抵抗素子において、好ましくは、前記Co基ホイスラー合金は、式Co2YZで表されると共に:式中、YはTi、V、Cr、MnおよびFeからなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、ZはAl、Si、Ga、GeおよびSnからなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。
本発明の磁気抵抗素子において、好ましくは、MR比は20%以上であり、抵抗変化面積積(ΔRA)は10mΩμm2以上であるとよい。
上記の磁気抵抗素子の製造方法であって、巨大磁気抵抗効果層17は第1のB2構造の挿入層、第2のB2構造の挿入層、又は第1のB2構造の挿入層と第2のB2構造の挿入層の両方を成膜するものであってもよい。
本発明の磁気抵抗素子の使用方法は、上記の磁気抵抗素子を、磁界センサとして使用する方法である。
本発明の磁気抵抗素子の使用方法は、上記の磁気抵抗素子を、スピン電子回路で使用する方法である。
本発明の磁気抵抗素子の使用方法は、上記の磁気抵抗素子を、TMRデバイスを製造するために使用する方法である。
図1は、本発明の第1の実施形態を示す巨大磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗素子の構成断面図である。図において、本実施形態の巨大磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗素子10は、基板11、この基板11に積層された第1の非磁性層13、巨大磁気抵抗効果層17、及びキャップ層18を有している。巨大磁気抵抗効果層17は、下部強磁性層14及び上部強磁性層16、並びに当該下部強磁性層14と当該上部強磁性層16の間に設けられた第2の非磁性層15を有すると共に、第2の非磁性層15の下部強磁性層14側には第1のB2構造の挿入層15aが設けられ、第2の非磁性層15の上部強磁性層16側には第2のB2構造の挿入層15bが設けられている。なお、第1のB2構造の挿入層15aと第2のB2構造の挿入層15bは、両方設けられていても良く、また片方のみでもよい。
下部強磁性層14は、Co基ホイスラー合金、Fe、CoFeからなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。下部強磁性層14は、膜厚が1nm以上10nm未満であるとよい。下部強磁性層14が10nm以上の場合、強磁性層中でのスピン緩和の影響が大きく、また1nm未満の場合、強磁性層中でのスピン非対称散乱の効果小さく、本用途での必要な磁気抵抗比が得られない。
第2の非磁性層15はAg、Cu、Al、AgZnの一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。第2の非磁性層15は、膜厚が1nm以上20nm未満であるとよい。第2の非磁性層15の膜厚が20nm以上の場合、非磁性層中でのスピン緩和の影響が大きく、また1nm以下の場合、上部強磁性層16と下部強磁性層14の磁気的な結合が生まれ磁化相対角度が小さくなり、本用途での必要な磁気抵抗比が得られない。
第2のB2構造の挿入層15bはNiAl、CoAl、FeAlの一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。第2のB2構造の挿入層15bは、膜厚が0.15nm以上0.8nm未満であるとよい。膜厚が0.15nm未満の場合は、原子層の厚さとして1個分に相当するため、連続的な膜を成さず、膜厚が0.8nm超の場合は、原子層の厚さとして5個分に相当して、スピン緩和の影響が大きく、本用途での必要な磁気抵抗比が得られない。
上記のCo基ホイスラー合金は、式Co2YZで表されると共に、式中、YはTi、V、Cr、MnおよびFeからなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、ZはAl、Si、Ga、GeおよびSnからなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。
キャップ層18は、Ag、Cr、W、Mo、Au、Pt、Pd、Ta、RuおよびRhからなる群から選ばれた少なくとも一種からなるとよい。キャップ層18は、膜厚が1nm以上20nm未満であるとよい。
図2は、本発明の第1の実施形態を示すシリコン基板を用いた巨大磁気抵抗効果層を有する磁気抵抗素子10の製造方法を説明するフローチャートで、(A)は全体の概括工程図、(B)は巨大磁気抵抗効果層の成膜工程の詳細図である。図において、シリコン基板11上に第1の非磁性材料を成膜する(S100)。次に、第1の非磁性材料を成膜したシリコン基板11に、下部強磁性材料の層14、第1のB2構造の挿入層15a、第2の非磁性材料の層15、第2のB2構造の挿入層15b及び上部強磁性材料の層16をこの順で有する巨大磁気抵抗効果層17を成膜する(S102)。この工程において、第1及び第2のB2構造の挿入層15a、15bの膜厚は0.15nm以上0.8nm未満とするのがよい。また、巨大磁気抵抗効果層17の積層体は単一でも良く、また複数個設けても良い。次に、巨大磁気抵抗効果層17を成膜したシリコン基板の上にキャップ層18を成膜する。最後に、巨大磁気抵抗効果層17とキャップ層18を成膜したシリコン基板を200℃以上600℃以下でポストアニールとして熱処理する(S104)。ポストアニールはキャップ層18を成膜する前に成膜装置内で行ってもよい。
次に、第1の非磁性材料を成膜したMgO基板に、下部強磁性材料の層14、第1のB2構造の挿入層15a、第2の非磁性材料の層15、第2のB2構造の挿入層15b及び上部強磁性材料の層16をこの順で有する巨大磁気抵抗効果層17を成膜する(S206)。この工程において、第1及び第2のB2構造の挿入層15a、15bの膜厚は0.15nm以上0.8nm未満とするのがよい。また、巨大磁気抵抗効果層17の積層体は単一でも良く、また複数個設けても良い。次に、巨大磁気抵抗効果層17を成膜したMgO基板の上にキャップ層18を成膜する。最後に、巨大磁気抵抗効果層17とキャップ層18を成膜したMgO基板を200℃以上600℃以下でポストアニールとして熱処理する(S208)。
B2構造のNiAlは格子定数が0.288nmであり、Co2FeGa0.5Ge0.5ホイスラー合金とAg中間層との格子不整合が3%以下と良好であるとともに、(001)方位に対してCoホイスラー合金の多数スピンバンドと類似したバンド分散を持つ。
ここで、上記のCr(5nm)は下地層12に相当し、Ag(5nm)/Ru(8nm)は二層のキャップ層18a、18bに相当している。
B2構造挿入層の膜厚tAはレイヤー構造が得られる限界の膜厚が下限となり、およそ0.15nm(1ML)となる。一方、膜厚の上限はスピン拡散長ISFによる緩和の影響が顕著にならない程度となる。スピン緩和の影響で磁気抵抗特性はexp(-tA/ISF)で減衰する。そこで、例えばNiAlのISFが8nmであるから、B2構造挿入層として有効に働く上限はexp(-tA/ISF)〜0.9程度となる0.8nm(〜5ML)である。従ってB2構造挿入層15a、15bの膜厚上限は、挿入材料のスピン拡散長ISFに依存し、tA/ISFが0.1になる膜厚である。
これらのbcc型非磁性体(B2構造NiAl、FeAl、CoAl)などは電子スピンが緩和する距離が3〜8nm程度と短いため、単体の中間層として3nm以上の膜厚にしてしまうと非磁性体中におけるスピン緩和が著しくMR特性を劣化させる。なお、Ag、Cuは電子スピンが緩和する距離が200nm以上である。
具体例は(001)配向した素子の結果であるが、上記条件を満たす挿入層(A)、中間層(B)であれば素子の成長結晶方位に依存せず(110)、(211)方位などでも同様の効果が得られることが期待できる。
13 第1の非磁性層
14 下部強磁性層
15a B2構造の挿入層
15 第2の非磁性層
15b B2構造の挿入層
16 上部強磁性層
17 巨大磁気抵抗効果層
18 キャップ層
Claims (12)
- MgO基板またはシリコン基板と、
この基板に積層された第1の非磁性層と、
当該基板に積層されたCo基ホイスラー合金よりなる下部強磁性層及び上部強磁性層、並びに当該下部強磁性層と当該上部強磁性層の間に設けられた第2の非磁性層を有する巨大磁気抵抗効果層とを備えると共に、
前記巨大磁気抵抗効果層は、前記下部強磁性層と前記第2の非磁性層の間に設けられた第1のB2構造の挿入層と、前記第2の非磁性層と前記上部強磁性層の間に設けられた第2のB2構造の挿入層との少なくとも一方を有すると共に、
前記第1及び第2のB2構造挿入層は、膜厚が0.15nm以上0.8nm未満であることを特徴とする記載の磁気抵抗素子。 - 前記第1の非磁性層は、Ag、Cr、Fe、W、Mo、Au、Pt、Pd、Rh、Ta、NiFe及びNiAlからなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、
前記下部強磁性層は、Co基ホイスラー合金、Fe、CoFeから選ばれる一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、
前記第2の非磁性層はAg、Cu、Al、AgZnの一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、
前記第1及び第2のB2構造挿入層はNiAl、CoAl、FeAlの一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、
前記上部強磁性層は、Co基ホイスラー合金、Fe、CoFeの一種からなる群から選ばれた少なくとも一種からなる、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気抵抗素子。 - 前記Co基ホイスラー合金は、式Co2YZで表されると共に:
式中、YはTi、V、Cr、MnおよびFeからなる群から選ばれた少なくとも一種からなり、ZはAl、Si、Ga、GeおよびSnからなる群から選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする請求項3に記載の磁気抵抗素子。 - 前記下部強磁性層は、膜厚が1nm以上10nm未満であり、
前記非強磁性層は、膜厚が1nm以上20nm未満であり、
前記上部強磁性層は、膜厚が1nm以上10nm未満であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の磁気抵抗素子。 - 磁気抵抗(MR)比は20%以上であり、
抵抗変化面積積(ΔRA)は10mΩμm2以上であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気抵抗素子。 - シリコン基板上に、第1の非磁性材料を成膜する工程と、
前記第1の非磁性材料を成膜した前記シリコン基板に、下部強磁性材料の層、第1のB2構造の挿入層、第2の非磁性材料の層、第2のB2構造の挿入層及び上部強磁性材料の層をこの順で有する巨大磁気抵抗効果層を成膜する工程であって、前記第1及び第2の挿入層の膜厚が0.15nm以上0.8nm未満であり、
前記巨大磁気抵抗効果層を成膜した前記シリコン基板を200℃以上600℃以下で熱処理する工程と、
を有することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。 - MgO基板の表面洗浄をする工程と、
前記MgO基板の基板温度を300℃以上で加熱洗浄する工程と、
前記加熱洗浄したMgO基板上に、第1の非強磁性材料を前記基板温度で成膜する工程と、
前記第1の非強磁性材料を成膜した前記MgO基板に、下部強磁性材料の層、第1のB2構造の挿入層、第2の非強磁性材料の層、第2のB2構造の挿入層及び上部強磁性材料の層をこの順で有する巨大磁気抵抗効果層を成膜する工程であって、前記第1及び第2のB2構造の挿入層の膜厚が0.15nm以上0.8nm未満であり、
前記巨大磁気抵抗効果層を成膜した前記MgO基板を300℃以上600℃以下で熱処理する工程と、
を有することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。 - 請求項6又は7に記載の磁気抵抗素子の製造方法であって、前記巨大磁気抵抗効果層は前記第1のB2構造の挿入層、第2のB2構造の挿入層、又は第1のB2構造の挿入層と第2のB2構造の挿入層の両方を成膜することを特徴とする磁気抵抗素子の製造方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気抵抗素子を、記憶素子上で使用される読み出しヘッドに使用する方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気抵抗素子を、磁界センサとして使用する方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気抵抗素子を、スピン電子回路で使用する方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の磁気抵抗素子を、TMRデバイスを製造するために使用する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015229532A JP6654780B2 (ja) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | 磁気抵抗素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015229532A JP6654780B2 (ja) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | 磁気抵抗素子の製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019223062A Division JP6821216B2 (ja) | 2019-12-10 | 2019-12-10 | 磁気抵抗素子及びその使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017097935A true JP2017097935A (ja) | 2017-06-01 |
JP6654780B2 JP6654780B2 (ja) | 2020-02-26 |
Family
ID=58817079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015229532A Active JP6654780B2 (ja) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | 磁気抵抗素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6654780B2 (ja) |
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US10783906B2 (en) | 2017-05-26 | 2020-09-22 | Tdk Corporation | Magnetoresistive effect element, magnetic head, sensor, high-frequency filter, and oscillator |
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JPWO2019193871A1 (ja) * | 2018-04-04 | 2021-04-15 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 面直電流巨大磁気抵抗素子、その前駆体、及びその製造方法 |
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JP7066222B2 (ja) | 2018-04-04 | 2022-05-13 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 面直電流巨大磁気抵抗素子、その前駆体、及びその製造方法 |
CN112349832A (zh) * | 2019-08-08 | 2021-02-09 | Tdk株式会社 | 磁阻效应元件以及惠斯勒合金 |
CN112349832B (zh) * | 2019-08-08 | 2023-11-03 | Tdk株式会社 | 磁阻效应元件以及惠斯勒合金 |
WO2022137284A1 (ja) * | 2020-12-21 | 2022-06-30 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子 |
US11967348B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-04-23 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element containing Heusler alloy with additive element |
US11696512B2 (en) | 2021-01-05 | 2023-07-04 | Tdk Corporation | Magnetic domain wall moving element and magnetic array |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6654780B2 (ja) | 2020-02-26 |
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