JP2017094517A - アクチュエータ、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置 - Google Patents
アクチュエータ、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
以上、本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何らの制限を受けるものではない。
2 … インク供給部
30 … アクチュエータ
33 … 絶縁層
34 … 圧電体層
35 … 電極層
35a … 圧電機能部
35b … 配線部
35c … 端子部
36 … 緩衝層
41 … ノズル
52 … 圧力室
Claims (8)
- 圧電体層と、
圧電機能領域以外の前記圧電体層への電圧印加を遮蔽する絶縁層と、
前記圧電機能領域の上側に広がる圧電機能部および前記圧電機能部から端子部へと延びる配線部からなる電極層と、
前記端子部の上面に配置され導電性緩衝材からなる緩衝層と、を備える、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記緩衝層は、前記端子部の上面および両側面に接触するよう形成されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1または2に記載のアクチュエータにおいて、
前記緩衝層は、前記端子部の上側から前記配線部の略全長に亘って形成されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1または2に記載のアクチュエータにおいて、
前記緩衝層は、前記端子部の上側から前記配線部の前記端子部側の範囲に亘って形成されている、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1ないし4の何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記緩衝層は、展延性が高い導電性材料からなっている、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項5に記載のアクチュエータにおいて、
前記緩衝層は、銅、ニッケル、鉄、アルミニウム、亜鉛、錫、鉛、金、銀またはプラチナ、および、これら金属の1つ以上を含む合金からなっている、
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1ないし6の何れか一項に記載のアクチュエータと、
インクが充填され、前記アクチュエータが駆動されることにより前記インクの圧力が変化する圧力室と、
前記アクチュエータが駆動されることにより前記圧力室に充填された前記インクを吐出するノズルと、を備える、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項7に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、を備える
ことを特徴とするインクジェット装置。
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