JP2017088750A - 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017088750A JP2017088750A JP2015221435A JP2015221435A JP2017088750A JP 2017088750 A JP2017088750 A JP 2017088750A JP 2015221435 A JP2015221435 A JP 2015221435A JP 2015221435 A JP2015221435 A JP 2015221435A JP 2017088750 A JP2017088750 A JP 2017088750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- resin composition
- hydrocarbon group
- carbon atoms
- monovalent hydrocarbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
Abstract
Description
(A)エポキシ樹脂であるオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学製、 ESCN−190、エポキシ当量215)11.3部、(B)フェノール樹脂であるノボラック型フェノール樹脂(昭和高分子製、BRG−557、フェノール当量107)5.7部、(C)有機ケイ素化合物であるチオウレタン型有機ケイ素化合物(信越化学工業製、X−12−1015M)0.20部、(D)無機充填剤である溶融球状シリカ粉末(電気化学工業製、FB−100)82.0部、トリフェニルフォスフィン(北興化学製、PP−200)0.10部、カルナバワックス(離型剤)(セラリカ野田製、カルナバワックスNo1)0.3部、カーボンブラック(着色剤)(三菱化学製、MA−600)0.3部、およびシランカップリング剤(モメンティブ製、A−187)0.3部を配合し、常温で混合し、90〜95℃で混練した後、冷却粉砕して半導体封止用樹脂組成物1を製造した。
表1に示した原料の種類および配合にした以外は、実施例1と同様にして半導体封止用樹脂組成物2〜8を製造した。
表1に示した原料の種類および配合にした以外は、実施例1と同様にして半導体封止用樹脂組成物C1〜C2を製造した。
・オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(住友化学製、ESCN−190)
・ノボラック型フェノール樹脂(昭和高分子製、BRG−557)
・チオウレタン型有機ケイ素化合物(下記式(5))(信越化学工業製、X−12−1015M)
・チオウレア型有機ケイ素化合物(下記式(6))(信越化学工業製、X−12−1016M)
・溶融球状シリカ粉末(電気化学工業製、FB−100)
・トリフェニルフォスフィン(北興化学製、PP−200)
・イミダゾール硬化促進剤(四国化成工業製、2E4MZ)
・DBU硬化促進剤(サンアプロ製、UCAT SA−841)
・カルナバワックス(セラリカ野田製、カルナバワックスNo1)
・カーボンブラック(三菱化学製、MA−600)
・シランカップリング剤(モメンティブ製、A−187)
高化式フロー測定装置(島津製作所製、CFT−500C)を用いて半導体封止用樹脂組成物を175℃、せん断応力1.23×105Paの環境下に配置し、最低溶融粘度を測定した。
175℃に保たれた熱盤上で一定量の半導体封止用樹脂組成物を直径4〜5cmの円状に広げ一定速度で練り合わせ、半導体封止用樹脂組成物が増粘し最終的に粘りがなくなるまでの時間を計測した。
トランジスタ80個に対して、半導体封止用樹脂組成物を用いてトランスファー成形し、成形物の表面巣の発生を観察した。評価は、以下のようにして実施した。
A:巣が発生しない
B:巣がわずかに発生
C:巣が多数発生
直径50mm、厚さ3mmの成形品を121℃、2.1atmの条件下で24時間吸水処理した前後の質量増加率から算出した。
トランスファー成形によって接着面積4mm2の成形品をPd−Auプレプレーティングされたリードフレーム上に成形し、175℃、4時間放置した後、リードフレームに対する成形品のせん断接着力を測定した。
半導体封止用樹脂組成物を用いて、2本以上のアルミニウム配線を有するシリコン製チップ(テスト用素子)をPd−Auプレプレーティングフレームに接着し、175℃で120秒間トランスファー成形して、QFP−208,2.8mmtの成形品を22個作り、これらを175℃、4時間の後硬化を行った。こうして得た成形品22個を予め60℃、60%RH、40時間の吸湿処理をした後、Max260℃のIRリフロー炉に3回通した。その後、SAT(超音波探傷装置)によりPd−Auプレプレーティングフレームと成形品の剥離を評価した。
Claims (3)
- 前記(C)有機ケイ素化合物は、前記半導体封止用樹脂組成物全体に対して、0.05〜0.5重量部含有されることを特徴とする請求項1記載の半導体封止用樹脂組成物。
- 半導体チップと、前記半導体チップを封止する請求項1または2記載の半導体封止用樹脂組成物の硬化物とを有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015221435A JP2017088750A (ja) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015221435A JP2017088750A (ja) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017088750A true JP2017088750A (ja) | 2017-05-25 |
Family
ID=58770480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015221435A Pending JP2017088750A (ja) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017088750A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006232941A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2009127036A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物及びこの組成物で封止した素子を備えた電子部品装置 |
WO2014199800A1 (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-18 | Jsr株式会社 | 樹脂組成物、感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその製法ならびに電子部品 |
-
2015
- 2015-11-11 JP JP2015221435A patent/JP2017088750A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006232941A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2009127036A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物及びこの組成物で封止した素子を備えた電子部品装置 |
WO2014199800A1 (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-18 | Jsr株式会社 | 樹脂組成物、感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその製法ならびに電子部品 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017088750A (ja) | 半導体封止用樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2012251048A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2004203911A (ja) | 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 | |
JP2009096889A (ja) | 成形用樹脂組成物、成形品および半導体パッケージ | |
JP2003268071A (ja) | エポキシ系樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 | |
JP3819220B2 (ja) | 封止用樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2005281584A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2006104393A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2008156403A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2002194064A (ja) | 半導体封止用樹脂組成物、およびそれを用いた半導体装置 | |
JP2004244556A (ja) | 封止用樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2007045916A (ja) | 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 | |
JP2004155839A (ja) | 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 | |
JP2005132890A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP3649893B2 (ja) | 封止用樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2004155841A (ja) | 封止用樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JP2005132892A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2014156607A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5332900B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2004067774A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH11130943A (ja) | 封止用樹脂組成物および半導体封止装置 | |
JPH11130837A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2005132891A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2007204722A (ja) | エポキシ樹脂組成物、エポキシ樹脂成形材料及び半導体装置 | |
JP2006274185A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20160414 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190514 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20191203 |