JP2017084968A - 半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子の発熱に対処しつつ小型化を図ることができるようにする。【解決手段】半導体モジュール1は、半導体素子2と、内部配線材として機能し、半導体素子2が電気的に接続されるリードフレーム3と、を有している。リードフレーム3の厚さは、途中で変化している。リードフレーム3は、その厚さが、当該半導体モジュール1内における発熱体2の近辺のみ変化する形状であってもよい。また、リードフレーム3が、少なくとも発熱体2を含む領域において、その他の部分よりも厚く形成されていることが好ましい。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両に関する。
従来の半導体モジュールには、放熱板上に導電体板を取り付け、該導電体板に設けたセラミック基板(絶縁基板)に半導体チップ(本明細書ではパワー半導体素子、あるいは単に半導体素子ともいう)を搭載し、上記セラミック基板における導電体板の周囲端部にエポキシ樹脂などの固体絶縁物を配置し、上記セラミック基板の四方を囲うように上記放熱板上にケースを設置し、ケース内にシリコーンゲルで封止した構成としたものがある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前述の構成は,半導体モジュールに求められる放熱性や絶縁性を満足させるように構成されている反面、構成要素が多くなり、半導体モジュールのサイズ肥大化を招く。また半導体チップもセラミック基板に対して平面上に配置されるためチップのサイズ、数から必然的に半導体モジュールのサイズが大きくなってしまう。しかも、セラミック基板やケースは構成の性質上一様な形状になっていることから、局所的に薄くしたりすることはできず、小型化が望めない。
本発明は、半導体素子の発熱に対処しつつ小型化を図ることができる半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両を提供することを目的とする。
本発明者は、かかる課題を解決するべく、回路基板やリードフレーム上に実装されたパワー半導体素子をエポキシ系材料の硬化性樹脂を用いてトランスファー成形封止した半導体モジュールの構造に着目した本発明者は、新たな構造を知見し、本発明を想到するに至った。
すなわち、本発明に係る半導体モジュールは、
半導体素子と、
内部配線材として機能し、前記半導体素子が電気的に接続されるリードフレームと、を有しており、
前記リードフレームの厚さが途中で変化している、というものである。
半導体素子と、
内部配線材として機能し、前記半導体素子が電気的に接続されるリードフレームと、を有しており、
前記リードフレームの厚さが途中で変化している、というものである。
内部配線の役割を担うリードフレームの厚さを適宜変化させることにより、半導体素子から発生する熱を低減させることが可能となる。例えば、リードフレームの厚さを倍にすることで、半導体素子に通電してからの経過時間が0.1[sec]の時の熱抵抗は約70%に低減する場合がある。本発明では、とくに半導体素子の近辺においてリードフレームの厚さを変えることによって放熱性を向上させ、発熱をより低減させて半導体の過渡熱対策を行う。また、様々な半導体素子の発熱に対処することを可能とすることで、熱容量を適材適所に配置することができるようになり、これによってさらなる小型化を図ることができるようにもなる。
前記リードフレームは、その厚さが、当該半導体モジュール内における発熱体の近辺のみ変化する形状であってもよい。これにより、半導体素子の発熱に起因する過渡熱への対策と、モールドの密着性の向上とを図ることが可能である。
前記リードフレームが、少なくとも前記発熱体を含む領域において、その他の部分よりも厚く形成されていることが好ましい。
前記リードフレームのうち、前記発熱体を封止するモールドを向く側に凸状部が形成されていることがさらに好ましい。モールドを向く側に凸である場合、リードフレームのモールドとの接触領域が増加し、密着性がさらに向上しうる。
前記凸状部は、その側面の少なくとも一部が逆勾配とされていてもよい。こうすることにより、リードフレームのモールドとの密着性能がさらに向上する。
また、前記凸状部が逆テーパー形状であってもよい。
あるいは、前記リードフレームのうち、前記発熱体を封止するモールドを向く側と反対側の面に凸状部が形成されていてもよい。
本発明に係る駆動装置は、上述のごとき半導体モジュールを備えたものである。
本発明に係る電動パワーステアリング装置は、上述のごとき半導体モジュールを備えたものである。
本発明に係る車両は、上述のごとき半導体モジュールを備えたものである。
本発明によれば、半導体素子の発熱に対処しつつ半導体モジュールの小型化を図ることができる。
以下、図面を参照しつつ本発明に係る半導体モジュールの好適な実施形態について詳細に説明する(図1〜図9参照)。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
モータ50を駆動させるためのインバータ回路(図示省略)を有する半導体モジュール(パワーモジュール)1は、パワー半導体素子(本明細書では単に半導体素子ともいう)2、リードフレーム3、はんだ5、樹脂製のモールド6、ネジ9などで構成されている。
パワー半導体素子2は例えばMOSFETであって、SiまたはSiC、GaNのベアチップ(ベアダイ)の状態のものを指す。このパワー半導体素子2は厚み方向に電流を流す構造のため、ベアチップ上面および下面に電極を有した構造であり、はんだ5や硬化性導電性ペースト、アルミや金ワイヤを使ったワイヤボンディングにより配線する。なお、本明細書でいう「上面」「下面」とは、リードフレーム3を基準にしたものであり、仮に半導体モジュール1が上下逆さまに配置されていても上下の位置関係に変更はない。
リードフレーム3は、その上に固定されたパワー半導体素子2を支持し、外部配線との接続をする部品(内部配線材)であり、所望の回路動作をさせるためにプレス成形によって任意のパターン形状に形成される。本実施形態のリードフレーム3はその両端が、モールド6の外側へ突出し、上側(リードフレーム3からみて半導体素子2がある側)に折り曲げられている(図1参照)。
また、半導体モジュール1は、TIM(サーマルインターフェースマテリアル)4を介して筐体10に固定されている(図1参照)。TIM(サーマルインターフェースマテリアル)4は、発熱するデバイス(パワー半導体素子2)とヒートシンクとの間の小さな隙間や凸凹を埋め、効率よく熱をヒートシンクに伝える部材であり、本実施形態におけるTIM4は、リードフレーム3と筐体10との間に介在し、パワー半導体素子2が発する熱を、はんだ5、リードフレーム3を介しつつ、筐体10に伝える(図1参照)。
モールド6は、エポキシの熱硬化性樹脂を用いたトランスファー成形により、パワー半導体素子2やリードフレーム3を封止するよう形成される(図1参照)。
ネジ9は、成形後のモールド6と筐体10とをネジ止めし、リードフレーム3とTIM4の間、TIM4と筐体10との間をそれぞれ密着状態に保つ。
ここで、リードフレーム3の構造についてさらに詳しく説明する。半導体モジュール1において、リードフレーム3は、その厚さが途中で変化するように構成されている(図2等参照)ここでいう厚さの変化の態様は種々あるが、本実施形態の半導体モジュール1においては、当該半導体モジュール1内における発熱体すなわちパワー半導体素子2の近辺で、少なくとも当該パワー半導体素子2を含む領域がその他の部分よりも厚くなるように形成されている(図2等参照)。これにより、パワー半導体素子2の発熱に起因する過渡熱への対策と、モールドの密着性の向上とを図ることができる。
(リードフレーム3の第1の形態)
図1に示す形態では、リードフレーム3のうち、モールド6を向く側と反対側の面、つまり筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成されており、リードフレーム3がいわば下凸となっている(図1参照)。この場合、凸状部3Aを介して、TIM4へ効率よく伝熱を行うことができ、放熱性能が向上する。
図1に示す形態では、リードフレーム3のうち、モールド6を向く側と反対側の面、つまり筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成されており、リードフレーム3がいわば下凸となっている(図1参照)。この場合、凸状部3Aを介して、TIM4へ効率よく伝熱を行うことができ、放熱性能が向上する。
(リードフレーム3の第2の形態)
図2に示す形態では、リードフレーム3のうち、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成されており、リードフレーム3がいわば上凸となっている(図2参照)。モールド6を向く側に凸である場合、リードフレーム3のモールド6との接触領域が増加し、モールド6との密着性が向上しうる。
図2に示す形態では、リードフレーム3のうち、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成されており、リードフレーム3がいわば上凸となっている(図2参照)。モールド6を向く側に凸である場合、リードフレーム3のモールド6との接触領域が増加し、モールド6との密着性が向上しうる。
(リードフレーム3の第3の形態)
図3に示す形態では、リードフレーム3のうち、筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成されており、尚かつ、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成されている(図3参照)。このリードフレーム3は、上述した第1の形態と第2の形態のそれぞれの利点を併せ持つ。
図3に示す形態では、リードフレーム3のうち、筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成されており、尚かつ、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成されている(図3参照)。このリードフレーム3は、上述した第1の形態と第2の形態のそれぞれの利点を併せ持つ。
(リードフレーム3の第4の形態)
図4に示す形態では、リードフレーム3に凸状部3Bが形成されており、尚かつ、該凸状部3Bの側面3Cが逆勾配とされている(図4参照)。この場合、リードフレーム3は上方ほど幅広の楔形状ないしは逆テーパー形状であり、モールド6との密着性能がさらに向上し、外れにくくなる。なお、凸状部3Bの側面3Cがすべて逆勾配とされていてもよいし、側面3Cの一部が部分的に逆勾配とされていてもよい。
図4に示す形態では、リードフレーム3に凸状部3Bが形成されており、尚かつ、該凸状部3Bの側面3Cが逆勾配とされている(図4参照)。この場合、リードフレーム3は上方ほど幅広の楔形状ないしは逆テーパー形状であり、モールド6との密着性能がさらに向上し、外れにくくなる。なお、凸状部3Bの側面3Cがすべて逆勾配とされていてもよいし、側面3Cの一部が部分的に逆勾配とされていてもよい。
ここで、凸状部3Bの側面3Cとリードフレーム3の表面とがなす角度をAとする(図6参照)。本形態において、側面Cが逆勾配となっている部分(反りこみ形状部分)における角度Aは90°未満である。
(リードフレーム3の第5の形態)
図5に示す形態では、リードフレーム3のうち、筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成され、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成され、尚かつ、凸状部3Bの側面3Cが逆勾配とされている(図5参照)。このリードフレーム3は、上述した第3の形態と第4の形態のそれぞれの利点を併せ持つ。
図5に示す形態では、リードフレーム3のうち、筐体10側を向く面に凸状部3Aが形成され、モールド6を向く側に凸状部3Bが形成され、尚かつ、凸状部3Bの側面3Cが逆勾配とされている(図5参照)。このリードフレーム3は、上述した第3の形態と第4の形態のそれぞれの利点を併せ持つ。
第1〜第5の形態で例示したように、これら半導体モジュール1では、内部配線材として機能するリードフレーム3の厚さを適宜変化させることで、従来構造と比較し、様々なパワー半導体素子2の発熱に対処することが可能となる。また、熱容量(として機能するリードフレーム3の一部つまり凸状部3A,3B)を適材適所配置することで、半導体モジュール1のさらなる小型化を狙うことを可能とする。また、局所的にリードフレーム3の厚さを変えた場合において、段差が生じた部分の少なくとも一部を逆勾配からなる反りこみ形状とすることで、モールド6との密着性が向上する。
このような半導体モジュール1は、電動パワーステアリング装置100(図9参照)等の各種産業機械や各種駆動装置、さらには、これらが搭載された車両などにおいて利用することができる。なお、図9に例示する電動パワーステアリング装置100は、例えばコラムタイプのものである。該図9において、符号Hはステアリングホイール、符号10aはステアリング入力軸、符号10bはステアリング出力軸、符号11はラック・ピニオン運動変換機構、符号13はウォーム減速機構、符号20はハウジング、符号21はトルクセンサ、符号30はステアリングシャフト、符号40,41は自在継手、符号42は連結部材をそれぞれ示す。
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば上述した実施形態ではリードフレーム3の凸状部3Bの側面3Cの少なくとも一部を逆勾配としたが、これと同様に、リードフレーム3の凸状部3Aの側面の少なくとも一部を逆勾配としてもよい。
上述したごときリードフレーム3を備える半導体モジュール1において、パワー半導体素子2の発熱に起因する過渡熱への対策と、モールド6との密着性の向上とが図られていることを、解析により確認した(図7、図8参照)。
なお、本実施例では、リードフレーム3は所望の回路動作をさせるためにプレス成形によって任意のパターン形状を有するものとし、エポキシ系の熱硬化性樹脂を用いたトランスファー成形により、パワー半導体素子2やと当該リードフレーム3を封止し、パワーモジュールとした。また、半導体モジュール1を構成するリードフレーム3の厚さを複数種類用意し、パワー半導体素子2からの発熱に対応して厚さを変えたときの熱抵抗を解析で求めた。ある厚さのリードフレーム3の熱抵抗を基準とし、厚さを変更した場合の比率を利用して結果を表した。結果、パワー半導体素子2が発熱してから0.01[sec]後の時点で効果に差が見られ、最大で0.1[sec]時に約70[%]に低減されていることが確認できた(図7、図8参照)。この結果から、リードフレーム3の厚さを適宜変化させることにより、パワー半導体素子2から発生する熱を0.01[sec]オーダーで低減させることが可能である(例えば、リードフレーム3の厚さを倍にすることで、パワー半導体素子2の発熱後0.1[sec]時の熱抵抗を約70%に低減できる)という結論が得られた。
本発明は、電動パワーステアリング等の各種産業機械や各種駆動装置、さらには、これらが搭載された車両などにおける半導体モジュールに適用して好適である。
1…半導体モジュール
2…パワー半導体素子(半導体素子、発熱体)
3…リードフレーム
3A…凸状部
3B…凸状部
4…TIM(サーマルインターフェースマテリアル)
5…はんだ
6…モールド
10…筐体
50…モータ
61…凸部(スペーサー)
100…電動パワーステアリング装置
2…パワー半導体素子(半導体素子、発熱体)
3…リードフレーム
3A…凸状部
3B…凸状部
4…TIM(サーマルインターフェースマテリアル)
5…はんだ
6…モールド
10…筐体
50…モータ
61…凸部(スペーサー)
100…電動パワーステアリング装置
Claims (10)
- 半導体素子と、
内部配線材として機能し、前記半導体素子が電気的に接続されるリードフレームと、を有しており、
前記リードフレームの厚さが途中で変化している、半導体モジュール。 - 前記リードフレームは、その厚さが、当該半導体モジュール内における発熱体の近辺のみ変化する形状である、請求項1に記載の半導体モジュール。
- 前記リードフレームが、少なくとも前記発熱体を含む領域において、その他の部分よりも厚く形成されている、請求項2に記載の半導体モジュール。
- 前記リードフレームのうち、前記発熱体を封止するモールドを向く側に凸状部が形成されている、請求項3に記載の半導体モジュール。
- 前記凸状部は、その側面の少なくとも一部が逆勾配とされている、請求項4に記載の半導体モジュール。
- 前記凸状部が逆テーパー形状である、請求項5に記載の半導体モジュール。
- 前記リードフレームのうち、前記発熱体を封止するモールドを向く側と反対側の面に凸状部が形成されている、請求項3に記載の半導体モジュール。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体モジュールを備えた駆動装置。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体モジュールを備えた電動パワーステアリング装置。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体モジュールを備えた車両。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015211871A JP2017084968A (ja) | 2015-10-28 | 2015-10-28 | 半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両 |
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