JP2017082052A - エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】低温での硬化性が良好で、さらに保管性及び流動性が良好で、封止後の反りが低減できるエポキシ樹脂組成物及び当該エポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなる半導体装置の提供。
【解決手段】エポキシ樹脂(A)、フェノール樹脂(B)及び式(1)で表わされる硬化促進剤(C)を含むエポキシ樹脂組成物。前記組成物が、更に無機充填剤(D)を含むことが好ましく、硬化促進剤(C)が1−(2−メチルイミダゾリル)−2−ナフトールであることがより好ましいエポキシ組成物。
(R1〜R3は夫々独立にH又はメチル基;R4〜R9は夫々独立にH、メチル基、又はヒドロキシ基)
【選択図】なし
【解決手段】エポキシ樹脂(A)、フェノール樹脂(B)及び式(1)で表わされる硬化促進剤(C)を含むエポキシ樹脂組成物。前記組成物が、更に無機充填剤(D)を含むことが好ましく、硬化促進剤(C)が1−(2−メチルイミダゾリル)−2−ナフトールであることがより好ましいエポキシ組成物。
(R1〜R3は夫々独立にH又はメチル基;R4〜R9は夫々独立にH、メチル基、又はヒドロキシ基)
【選択図】なし
Description
本発明は、封止用エポキシ樹脂および半導体装置に関するものである。
近年、電子機器の小型化、軽量化、高機能化の市場動向において、半導体装置の高集積化、薄型化が年々進み、また、半導体装置の表面実装化が促進されるなかで、従来用いてきたリードフレームの代わりに、有機基板やセラミック基板等の基板に半導体素子を搭載し、基板と半導体素子とを接続部材で電気的に接続した後、半導体素子と接続部材とをモールド材により成形封止して得られるエリア実装型半導体装置への移行が進んでいる。エリア実装型半導体装置としては、BGA(ボール・グリッド・アレイ)又は更に小型化を追求したCSP(チップスケールパッケージ)等が代表的なものとして挙げられる。
これまでのエリア実装型半導体パッケージでは片面封止であるため、基材と封止材料間の熱膨張係数の差により、成形後室温に冷却する過程で反りが発生することが課題であった。このような課題に対して、エポキシ樹脂成形材料のガラス転移温度、曲げ弾性率及び成形収縮率を特定範囲とし、反りを抑制することが提案されている(例えば、「特許文献1」参照。)。
しかしながら、上述した技術では硬化時に高温に曝すと性能が低下するという問題に対応できない。そこで低温での硬化性が良好で、さらに保管性、流動性が良好で、封止後の反りを低減できる技術が必要になってきている。
本発明の目的は、低温での硬化性が良好で、さらに保管性が良好なエポキシ樹脂組成物、および半導体装置を提供することである。
このような目的は、下記(1)〜(11)の本発明により達成される。
(1)エポキシ樹脂(A)、フェノール樹脂(B)、および式(1)で表わされる硬化促進剤(C)を含有することを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(式中、R1 、R2、およびR3は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基をあらわし、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 およびR9 はそれぞれ独立して、水素原子、メチル基、又はヒドロキシ基を表わす。)
(2)前記エポキシ樹脂組成物が無機充填剤(D)を含む(1)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(3)前記硬化促進剤(C)が1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールである(1)または(2)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(4)前記エポキシ樹脂(A)が、下記一般式(2)、および/または下記一般式(3)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(3)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(2)および式(3)中のR10、R11、およびR12は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aおよびcは0〜3の整数、bは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。X1は下記一般式(4A)、(4B)、または(4C)のいずれかで表わされる基を示す。一般式(4A)〜(4C)中のR13、R14、R15およびR16は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。dは0〜2の整数であり、e、fおよびgは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
(5)前記エポキシ樹脂(A)が、下記一般式(5)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(4)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(X2は下記一般式(6)で表わされる基を示す。)
(6)前記フェノール樹脂(B)が、下記一般式(7)、および/または下記一般式(8)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(5)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(7)中のR17、R18、およびR19は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。hおよびjは0〜3の整数、iは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。Y1は下記一般式(9A)、(9B)、または(9C)のいずれかであらわされる基を表わす。一般式(9A)〜(9C)中のR20、R21、R22およびR21は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。kは0〜2の整数であり、l、mおよびnは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
(7)前記フェノール樹脂(B)が、下記一般式(10)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(6)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(Y2は下記一般式(11)で表わされる基を示す。)
(8)前記エポキシ樹脂(A)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、5〜70wt%である(1)ないし(7)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(9)前記フェノール樹脂(B)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、3〜40wt%である(1)ないし(8)のいずれか1項に記載のエポキ樹脂組成物。
(10)前記硬化促進剤(C)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、0.1〜10wt%である(1)ないし(9)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(11)前記無機充填剤(D)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、60〜90wt%である(2)ないし(10)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(12)(1)ないし(11)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
(1)エポキシ樹脂(A)、フェノール樹脂(B)、および式(1)で表わされる硬化促進剤(C)を含有することを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(式中、R1 、R2、およびR3は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基をあらわし、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 およびR9 はそれぞれ独立して、水素原子、メチル基、又はヒドロキシ基を表わす。)
(2)前記エポキシ樹脂組成物が無機充填剤(D)を含む(1)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(3)前記硬化促進剤(C)が1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールである(1)または(2)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(4)前記エポキシ樹脂(A)が、下記一般式(2)、および/または下記一般式(3)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(3)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(2)および式(3)中のR10、R11、およびR12は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aおよびcは0〜3の整数、bは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。X1は下記一般式(4A)、(4B)、または(4C)のいずれかで表わされる基を示す。一般式(4A)〜(4C)中のR13、R14、R15およびR16は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。dは0〜2の整数であり、e、fおよびgは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
(5)前記エポキシ樹脂(A)が、下記一般式(5)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(4)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(X2は下記一般式(6)で表わされる基を示す。)
(6)前記フェノール樹脂(B)が、下記一般式(7)、および/または下記一般式(8)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(5)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(7)中のR17、R18、およびR19は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。hおよびjは0〜3の整数、iは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。Y1は下記一般式(9A)、(9B)、または(9C)のいずれかであらわされる基を表わす。一般式(9A)〜(9C)中のR20、R21、R22およびR21は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。kは0〜2の整数であり、l、mおよびnは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
(7)前記フェノール樹脂(B)が、下記一般式(10)で表わされる構造単位を含む(1)ないし(6)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(Y2は下記一般式(11)で表わされる基を示す。)
(8)前記エポキシ樹脂(A)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、5〜70wt%である(1)ないし(7)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(9)前記フェノール樹脂(B)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、3〜40wt%である(1)ないし(8)のいずれか1項に記載のエポキ樹脂組成物。
(10)前記硬化促進剤(C)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、0.1〜10wt%である(1)ないし(9)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(11)前記無機充填剤(D)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、60〜90wt%である(2)ないし(10)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(12)(1)ないし(11)のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
本発明によれば、エポキシ樹脂組成物中に前記の硬化促進剤を含有することで、低温での硬化性が良好で、さらに保管性が良好なエポキシ樹脂組成物、および、半導体装置を提供することができる。
以下、本発明の硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適な実施形態について説明する。
本実施形態のエポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂(A)と、フェノール樹脂(B)、および下記式(1)であらわされる硬化促進剤(C)、を含有している。
(式中、R1 、R2、およびR3は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基をあらわし、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 およびR9 はそれぞれ独立して、水素原子、メチル基、又はヒドロキシ基を表わす。)
このような構成とすることで、エポキシ樹脂組成物は、低温での硬化性が良好で、さらに保管性が良好である。
[エポキシ樹脂(A)]
本実施形態のエポキシ樹脂(A)は、エポキシ樹脂であれば、何ら制限はなく、エポキシ樹脂であれば好適に使用することができる。
本実施形態のエポキシ樹脂(A)は、エポキシ樹脂であれば、何ら制限はなく、エポキシ樹脂であれば好適に使用することができる。
エポキシ樹脂(A)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノール型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂など、フェノール類やフェノール樹脂、ナフトール類などの水酸基にエピクロロヒドリンを反応させて製造するエポキシ樹脂、エポキシ化合物、または、その他、脂環式エポキシ樹脂のように、オレフィンを過酸を用いて酸化させエポキシ化したエポキシ樹脂や、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、下記式(2)および/または下記式(3)であらわされるエポキシ樹脂が好ましい。
(式(2)および式(3)中のR10、R11、およびR12は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aおよびcは0〜3の整数、bは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。X1は下記一般式(4A)、(4B)、または(4C)のいずれかであらわされる基を示す。一般式(4A)〜(4C)中のR13、R14、R15およびR16は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。dは0〜2の整数であり、fおよびgは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
上記の式(2)および/または式(3)をエポキシ樹脂として含有することで、耐熱性に優れるエポキシ樹脂を得ることができる。
本実施形態において、エポキシ樹脂(A)は下記式(5)を含むことがより好ましい。
(X2は下記一般式(6)であらわされる基を示す。)
エポキシ樹脂(A)が、上記式(5)を含有することで、低吸湿、かつ低粘度で流動性に優れるエポキシ樹脂を得ることができる。
本実施形態において、エポキシ樹脂組成物中に含まれるエポキシ樹脂(A)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、1〜90wt%であることが好ましい。エポキシ樹脂(A)の含有量が前記範囲内にあることで、より低吸湿で、より低温での硬化性が良好である。また、エポキシ樹脂(A)の含有量は、3〜80wt%がより好ましく、5〜70wt%が特に好ましい。エポキシ樹脂(A)の含有量が前記範囲内にあることで、得られる半導体装置の耐半田クラック性がより向上する。ここで「耐半田クラック性の向上」とは、得られた半導体装置が、例えば半田浸漬や半田リフロー工程において、高温にさらされた場合であっても、クラックや剥離の欠陥の発生が生じ難くなることを示す。
[フェノール樹脂(B)]
本実施形態のフェノール樹脂(B)は、フェノール樹脂であれば、何ら制限はなく、フェノール樹脂であれば好適に使用することができる。
本実施形態のフェノール樹脂(B)は、フェノール樹脂であれば、何ら制限はなく、フェノール樹脂であれば好適に使用することができる。
フェノール樹脂(B)としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノール樹脂、トリスフェノール樹脂、キシリレン変性ノボラック樹脂、テルペン変性ノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、下記式(7)および/または下記式(8)であらわされるフェノール樹脂が好ましい。
(式(5)中のR17、R18、およびR19は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。hおよびjは0〜3の整数、iは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。Y1は下記一般式(9A)、(9B)、または(9C)のいずれかであらわされる基をあらわす。一般式(9A)〜(9C)中のR20、R21、R22およびR23は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。kは0〜2の整数であり、l、mおよびnは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。
上記の式(7)および/または式(8)をフェノール樹脂として含有することで、耐熱性に優れるエポキシ樹脂を得ることができる。
本実施形態において、フェノール樹脂(B)は下記式(10)を含むことがより好ましい。
(Y2は下記一般式(11)であらわされる基を示す。)
フェノール樹脂(B)が、上記式(10)を含有することで、低吸湿、かつ低粘度で流動性に優れるエポキシ樹脂を得ることができる。
本実施形態において、エポキシ樹脂組成物中に含まれるフェノール樹脂(B)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、1〜60wt%であることが好ましい。フェノール樹脂(B)の含有量が前記範囲内にあることで、より低吸湿で、より低温での硬化性が良好である。また、フェノール樹脂(B)の含有量は、2〜50wt%がより好ましく、3〜40wt%が特に好ましい。フェノール樹脂(B)の含有量が前記範囲内にあることで、得られる半導体装置の耐半田クラック性がより向上する。
[硬化促進剤(C)]
本実施形態の硬化促進剤(C)は、下記式(1)を含有する。
本実施形態の硬化促進剤(C)は、下記式(1)を含有する。
(式中、R1 、R2、およびR3は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基をあらわし、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 およびR9 はそれぞれ独立して、水素原子、メチル基、又はヒドロキシ基をあらわす。)
上記の式(1)を硬化促進剤として含有することで、低温での硬化性が良好なエポキシ樹脂を得ることができる。式(1)としては、例えば、1−(イミダゾリルメチル)−2−ナフトール、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトール、1−(4−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトール、1−(5−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトール、1−(2,4−ジメチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトール、1−(2,4,5−トリメチルイミダゾイルメチル)−2−ナフトール等のナフトール構造、1−(イミダゾリルメチル)−2,3−ナフタレンジオール、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2,3−ナフタレンジオール、1−(2,4−ジメチルイミダゾリルメチル)−2,3−ナフタレンジオール、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2,6−ナフタレンジオール、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−7−メチル−2,6−ナフタレンジオール、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−7−メチル−2,3−ナフタレンジオール等のナフタレンジオール構造等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組合わせて用いることができる。
本実施形態において、硬化促進剤(C)は、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールであることが好ましい。
硬化促進剤(C)として、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールを含有することで、機械的性質に悪影響を及ぼすことなく、低温での硬化性が良好で、さらには硬化時間に悪影響を及ぼすことなく、保管性、流動性が良好なエポキシ樹脂を得ることができる。
硬化促進剤(C)として、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールを含有することで、機械的性質に悪影響を及ぼすことなく、低温での硬化性が良好で、さらには硬化時間に悪影響を及ぼすことなく、保管性、流動性が良好なエポキシ樹脂を得ることができる。
本実施形態において、硬化促進剤(C)は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して0.05〜15wt%であることが好ましく、0.08〜13wt%であることがより好ましく、0.1〜10wt%であることが特に好ましい。硬化促進剤(C)がエポキシ樹脂組成物100wt%に対して0.1wt%を超える量を含有することで、より低温での良好な硬化性を得ることができる。また、エポキシ樹脂組成物に対して、10wt%を下回る量を含有することで、より良好な保管性、流動性を得ることができる。
本実施形態において、硬化促進剤として上記式(1)以外の硬化促進剤を含んでいても良い。硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン、2−メチルイミダゾール等の他の公知の触媒を配合してよい
[無機充填剤(D)]
本実施形態において、半導体装置の補強を目的として、無機充填剤(D)をエポキシ樹脂組成物に配合することが好ましい。その種類は、何ら制限はなく、封止材料に使用できるものを使用できる。
本実施形態において、半導体装置の補強を目的として、無機充填剤(D)をエポキシ樹脂組成物に配合することが好ましい。その種類は、何ら制限はなく、封止材料に使用できるものを使用できる。
この無機充填材(D)の具体例としては、例えば、溶融破砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、ガラス繊維等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、無機充填材(D)としては、特に、溶融シリカであるのが好ましい。溶融シリカは、本発明の硬化促進剤との反応性に乏しいので、エポキシ樹脂組成物中に多量に配合(混合)した場合でも、エポキシ樹脂組成物の硬化反応が阻害されるのを防止することができる。また、無機充填材(D)として溶融シリカを用いることにより、得られる半導体装置の補強効果がより向上する。
無機充填材(D)の形状としては、例えば、粒状、塊状、鱗片状等のいかなるものであってもよいが、粒状(特に、球状)であるのが好ましい。
無機充填材(D)の平均粒径は、1〜100μm程度であるのが好ましく、5〜35μm程度であるのがより好ましい。これにより、配合量を高め、かつ封使用樹脂組成物の溶融粘度の上昇を抑えることができる。
無機充填材(D)の含有量は、特に限定はされないが、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、40〜99wt%が好ましく、50〜95wt%がより好ましく、60〜90wt%が特に好ましい。無機充填剤の含有量が上記下限値を上回る含有量の場合、得られるエポキシ樹脂で成形したパッケージ反りが良好になることに加え、吸湿量を抑えることや、強度の低下を低減することができる。また、無機充填剤の含有量が上記上限値を下回る場合、得られる樹脂組成物は良好な流動性を有するとともに、良好な成形性を有することができる。
本実施形態のエポキシ樹脂組成物中には、前記(A)〜(D)の化合物の他に、必要に応じて、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン、リン化合物等の難燃剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸またはその金属塩類、パラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を配合してもよい。
本実施形態のエポキシ樹脂組成物は、前記(A)〜(D)の化合物、および、必要に応じて、その他の添加剤等をミキサーを用いて常温混合し、熱ロール、加熱ニーダー等を用いて加熱混練し、冷却、粉砕することにより得られる。
得られたエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用いて、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で硬化成形することにより、半導体素子等の電子部品を封止する。これにより、本実施形態の半導体装置を得ることができる。
本実施形態の半導体装置としては、特に限定されないが、例えば、SIP(Single Inline Package)、HSIP(SIP with Heatsink)、ZIP(Zig-zag Inline Package)、DIP(Dual Inline Package)、SDIP(Shrink Dual Inline Package)、SOP(Small Outline Package)、SSOP(Shrink SmallOutline Package)、TSOP(Thin Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-leaded Package)、QFP(Quad Flat Package)、QFP(FP)(QFP Fine Pitch)、TQFP(Thin Quad Flat Package)、QFJ(PLCC)(Quad Flat J-leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)等が挙げることができる。
本実施形態の半導体装置は、本発明で得た硬化促進剤(D)を用いたエポキシ樹脂組成物の硬化物により封止して半導体装置を作製していることで、低温での硬化性が良好で、さらに保管性、流動性が良好で、封止後の反りを低減することができる。
本発明の硬化促進剤は、種々の熱硬化性樹脂組成物に対して使用可能である。熱硬化性樹脂組成物としては、例えばマレイミド化合物、シアネート化合物、イソシアネート化合物、アクリレート化合物、または、アルケニルおよびアルキニル化合物等を含む樹脂組成物が挙げられる。
本発明の硬化促進剤は、熱硬化性樹脂組成物の他、例えば反応硬化性樹脂組成物、光硬化性樹脂組成物、嫌気硬化性樹脂組成物等の各種硬化性樹脂組成物に対しても使用可能である。
本実施形態では、本発明のエポキシ樹脂組成物を、半導体装置の封止材料として用いる場合について説明したが、本発明のエポキシ樹脂組成物の用途としては、これに限定されるものではない。
以上、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。
次に、本発明の具体的実施例について説明するが、本発明はこれに何ら限定されるものではない。
各実施例、比較例、参考例のそれぞれについて、各成分の配合割合は表1に示すとおりである。また、各成分の詳細は下記のとおりである。
<エポキシ樹脂A1>
下記式(12)であらわされる日本化薬(株)製NC−3000(ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、エポキシ当量276g/eq、軟化点57℃)を使用した。
下記式(12)であらわされる日本化薬(株)製NC−3000(ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、エポキシ当量276g/eq、軟化点57℃)を使用した。
<エポキシ樹脂A2>
下記式(13)であらわされる三菱化学(株)製1032H−60(トリフェニルメタン骨格を有するエポキシ樹脂、エポキシ当量163g/eq)を使用した。
下記式(13)であらわされる三菱化学(株)製1032H−60(トリフェニルメタン骨格を有するエポキシ樹脂、エポキシ当量163g/eq)を使用した。
<フェノール樹脂B1>
下記式(14)であらわされる日本化薬(株)製GPH−65(ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、水酸基当量196g/eq、軟化点65℃)を使用した。
下記式(14)であらわされる日本化薬(株)製GPH−65(ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、水酸基当量196g/eq、軟化点65℃)を使用した。
<フェノール樹脂B2>
下記式(15)であらわされる明和化成(株)製MEH−7500(トリフェニルメタン骨格を有するフェノール樹脂、水酸基当量97g/eq、軟化点110℃)を使用した。
下記式(15)であらわされる明和化成(株)製MEH−7500(トリフェニルメタン骨格を有するフェノール樹脂、水酸基当量97g/eq、軟化点110℃)を使用した。
<硬化促進剤C>
(硬化促進剤C1)
硬化促進剤C1は以下の手順に従い合成した。イソプロパノール(400.0g)中の、2−メチルイミダゾール(82.1g,1モル)および2−ナフトール(144.0g,1モル)にホルマリン(37%水溶液,CH2O 1モル)を室温で30分間かけて加えた。その後、反応混合物を室温で30分間撹拌し、続いて80−84℃で4時間撹拌した。次に、混合物を室温まで冷却し、ろ過した。ろ過物を擦り砕き、60℃減圧下で乾燥させ生成物(白色粉末)を収率84%で得た。
(硬化促進剤C1)
硬化促進剤C1は以下の手順に従い合成した。イソプロパノール(400.0g)中の、2−メチルイミダゾール(82.1g,1モル)および2−ナフトール(144.0g,1モル)にホルマリン(37%水溶液,CH2O 1モル)を室温で30分間かけて加えた。その後、反応混合物を室温で30分間撹拌し、続いて80−84℃で4時間撹拌した。次に、混合物を室温まで冷却し、ろ過した。ろ過物を擦り砕き、60℃減圧下で乾燥させ生成物(白色粉末)を収率84%で得た。
示差操作熱量計(DSC)による分析結果から、融点は212℃であった。また、1H−NMRスペクトルおよび13C−NMRスペクトルを解析し、得られたモノマーが下記式(16)に示される構造を有していることを確認した。なお、測定されたNMRスペクトルデータは、以下のとおりであった。
1H−NMR(400MHz,DMSO−d6):2.44(s, 3H),5.40(s,2H),6.57(d,2H,J=6.0Hz),7.25(d,1H,J=7.2Hz),7.31(dd,1H,J=5.6Hz,6.4Hz),7.47(dd,1H,J=5.6Hz,6.8Hz),7.84(m,3H),10.14(s,1H)
13C−NMR(100MHz,DMSO−d6):13.6,39.6,113.5,118.6,119.2,122.7,123.2,126.4,127.5,128.7,129.1,130.7,133.6,144.4,154.5
13C−NMR(100MHz,DMSO−d6):13.6,39.6,113.5,118.6,119.2,122.7,123.2,126.4,127.5,128.7,129.1,130.7,133.6,144.4,154.5
(硬化促進剤C2)
ケイ・アイ化成(株)製、PP360(トリフェニルホスフィン(TPP))を使用した。
ケイ・アイ化成(株)製、PP360(トリフェニルホスフィン(TPP))を使用した。
<無機充填剤D>
マイクロン(株)製、溶融球状シリカ(TS−13−006、平均粒径28μm、比表面積2.5m2/g)を使用した。
マイクロン(株)製、溶融球状シリカ(TS−13−006、平均粒径28μm、比表面積2.5m2/g)を使用した。
<シランカップリング剤>
信越化学(株)製、KBM−403(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)を使用した。
信越化学(株)製、KBM−403(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)を使用した。
<着色剤>
三菱化学(株)製、カーボンブラック(MA600)を使用した。
三菱化学(株)製、カーボンブラック(MA600)を使用した。
<離型剤>
日興ファイン(株)製、ニッコウカルナバ(融点83℃)カルナバワックスを使用した。
日興ファイン(株)製、ニッコウカルナバ(融点83℃)カルナバワックスを使用した。
<イオン捕捉剤>
協和化学工業(株)製、DHT−4H(ハイドロタルサイト)を使用した。
協和化学工業(株)製、DHT−4H(ハイドロタルサイト)を使用した。
(エポキシ樹脂組成物の製造)
(実施例1)
エポキシ樹脂A1(14.6g)と、フェノール樹脂B1(8.84g)と、硬化促進剤C1(0.72g)とを、乳鉢を用いて常温で混合し、次いで120℃の熱板上で3分間溶融混合した。冷却後、再び乳鉢を用いて常温で粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。
(実施例1)
エポキシ樹脂A1(14.6g)と、フェノール樹脂B1(8.84g)と、硬化促進剤C1(0.72g)とを、乳鉢を用いて常温で混合し、次いで120℃の熱板上で3分間溶融混合した。冷却後、再び乳鉢を用いて常温で粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。
(実施例2)
エポキシ樹脂A2(15.2g)と、フェノール樹脂B2(7.63g)と、硬化促進剤C1(1.27g)とを、乳鉢を用いて常温で混合し、次いで120℃の熱板上で3分間溶融混合した。冷却後、再び乳鉢を用いて常温で粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。
エポキシ樹脂A2(15.2g)と、フェノール樹脂B2(7.63g)と、硬化促進剤C1(1.27g)とを、乳鉢を用いて常温で混合し、次いで120℃の熱板上で3分間溶融混合した。冷却後、再び乳鉢を用いて常温で粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。
(参考例1)
エポキシ樹脂A1(9.39g)と、フェノール樹脂B1(5.7g)と、硬化促進剤C1(0.51g)と、無機充填剤D(83.6g)と、シランカップリング剤(0.2g)と、着色剤(0.3g)と、離型剤(0.2g)、イオン捕捉剤(0.1g)とを、ミキサーを用いて常温で混合し、次いで70〜100℃でロール混練した。冷却後、粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
エポキシ樹脂A1(9.39g)と、フェノール樹脂B1(5.7g)と、硬化促進剤C1(0.51g)と、無機充填剤D(83.6g)と、シランカップリング剤(0.2g)と、着色剤(0.3g)と、離型剤(0.2g)、イオン捕捉剤(0.1g)とを、ミキサーを用いて常温で混合し、次いで70〜100℃でロール混練した。冷却後、粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
(参考例2)
エポキシ樹脂A2(10.4g)と、フェノール樹脂B2(5.24g)と、硬化促進剤C1(0.96g)と、無機充填剤D(83.6g)と、シランカップリング剤(0.2g)と、着色剤(0.3g)と、離型剤(0.2g)、イオン捕捉剤(0.1g)とを、ミキサーを用いて常温で混合し、次いで70〜100℃でロール混練した。冷却後、粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
エポキシ樹脂A2(10.4g)と、フェノール樹脂B2(5.24g)と、硬化促進剤C1(0.96g)と、無機充填剤D(83.6g)と、シランカップリング剤(0.2g)と、着色剤(0.3g)と、離型剤(0.2g)、イオン捕捉剤(0.1g)とを、ミキサーを用いて常温で混合し、次いで70〜100℃でロール混練した。冷却後、粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
(比較例1)
表1に示す配合に変更した以外は実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
表1に示す配合に変更した以外は実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
(比較例2)
表1に示す配合に変更した以外は実施例2と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
表1に示す配合に変更した以外は実施例2と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
(参考例3)
表1に示す配合に変更した以外は参考例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
表1に示す配合に変更した以外は参考例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
(参考例4)
表1に示す配合に変更した以外は参考例2と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
表1に示す配合に変更した以外は参考例2と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得た。
(エポキシ樹脂組成物の物性測定)
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2に対し、それぞれ、下記のようにしてエポキシ樹脂組成物の各評価を行った。結果を表2に示す。
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2に対し、それぞれ、下記のようにしてエポキシ樹脂組成物の各評価を行った。結果を表2に示す。
(キュラストトルク値)
キュラストメーター((株)エー・アンド・デイ製、キュラストメーターWP型)を用い、金型温度125℃にてエポキシ樹脂組成物のキュラストトルクを経時的に測定し、測定開始15分後に測定したキュラストトルク値を飽和トルク値とした。また、タブレットはエポキシ樹脂組成物4.3gを25mmφの金型に入れ、5t1分間打錠したものを使用した。さらにエポキシ樹脂組成物は、タブレット作製直後の試料を試験、40℃の恒温槽で24時間、48時間、および72時間保管した後の試料を試験した。変化率(%)はタブレット作製直後のキュラストトルク値を0%として、次の式より求めた。
変化率(%)
=(((24時間、48時間および72時間保管後)÷(タブレット作製直後))−1)×100
式(1)
キュラストメーター((株)エー・アンド・デイ製、キュラストメーターWP型)を用い、金型温度125℃にてエポキシ樹脂組成物のキュラストトルクを経時的に測定し、測定開始15分後に測定したキュラストトルク値を飽和トルク値とした。また、タブレットはエポキシ樹脂組成物4.3gを25mmφの金型に入れ、5t1分間打錠したものを使用した。さらにエポキシ樹脂組成物は、タブレット作製直後の試料を試験、40℃の恒温槽で24時間、48時間、および72時間保管した後の試料を試験した。変化率(%)はタブレット作製直後のキュラストトルク値を0%として、次の式より求めた。
変化率(%)
=(((24時間、48時間および72時間保管後)÷(タブレット作製直後))−1)×100
式(1)
参考例1、参考例2、参考例3、参考例4に対し、それぞれ、下記のようにしてエポキシ樹脂組成物の各評価を行った。結果を表3に示す。
(スパイラルフロー)
低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製KTS-15)を用いて、ANSI/ASTM D 3123−72に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度125℃、注入量6.9MPa、保圧時間15分の条件にて上記で得たエポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。
低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製KTS-15)を用いて、ANSI/ASTM D 3123−72に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度125℃、注入量6.9MPa、保圧時間15分の条件にて上記で得たエポキシ樹脂組成物を注入し、流動長を測定した。
(曲げ強度、曲げ弾性率)
JIS K 6911に準じ、トランスファー成形機を用いて、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分で、80mm×10mm×4mm(厚さ)のエポキシ樹脂の試験片を成形し、30℃、260℃にて曲げ強度、曲げ弾性率を測定した。
JIS K 6911に準じ、トランスファー成形機を用いて、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分で、80mm×10mm×4mm(厚さ)のエポキシ樹脂の試験片を成形し、30℃、260℃にて曲げ強度、曲げ弾性率を測定した。
(線膨脹係数:TMA分析(熱機械分析))
トランスファー成形機を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型に、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分で、10mm×4mm×4mm(厚さ)のエポキシ樹脂組成物の硬化物を成形し、昇温速度5℃/分でTMA分析(TMA−100、セイコーインスツルメンツ(株)製 )を行った。得られたTMA曲線の60℃および260℃での熱膨張係数をそれぞれα1、α2、また60℃および260℃でのTMA曲線と接線の交点温度を読み取り、この温度をガラス転位温度(Tg)とした。
トランスファー成形機を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型に、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分で、10mm×4mm×4mm(厚さ)のエポキシ樹脂組成物の硬化物を成形し、昇温速度5℃/分でTMA分析(TMA−100、セイコーインスツルメンツ(株)製 )を行った。得られたTMA曲線の60℃および260℃での熱膨張係数をそれぞれα1、α2、また60℃および260℃でのTMA曲線と接線の交点温度を読み取り、この温度をガラス転位温度(Tg)とした。
(パッケージ反り量、変動量)
低圧トランスファー成形機(TOWA(株)製、Yseries)を用いて、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分、注入時間15秒の条件で脱気成形(17torr)にて50mm×55mm×350μm厚(基板の半導体素子搭載面からの封止樹脂硬化体の最大厚み)のサイズのパネルを成形した。成形に用いた基板(コア:三菱瓦斬化学(株)製、CCL−HL832HS、100μm厚。Cu:12μ厚。レジスト:太陽インキ製造(株)製、PSR−AUS308、12μ厚。)のサイズは55mm×62mmで、あらかじめ10mm×10mm×150μm厚(半田バンプを除く)のフリップチップ(SIN表面、搭載半田バンプ:φ100μmの鉛フリー半田、200μmピッチのフルグリッド)を3×3=9個搭載してある。成形後、14×14mmのサイズに9個切り出し、テスト用のBGAパッケージを得た。得られたパッケージ9個について、シャドーモアレ方式の反り測定装置(Acrometrix社製、PS−200)を用いて高さ方向の変位を測定し、室温時の変位量をパッケージ反り量とした。また測定温度を25℃から260℃まで昇温し、再び25℃まで降温した際の最大変位量と最小変位量の変位差をパッケージ変動量とした。
低圧トランスファー成形機(TOWA(株)製、Yseries)を用いて、金型温度125℃、注入圧力6.9MPa、硬化時間15分、注入時間15秒の条件で脱気成形(17torr)にて50mm×55mm×350μm厚(基板の半導体素子搭載面からの封止樹脂硬化体の最大厚み)のサイズのパネルを成形した。成形に用いた基板(コア:三菱瓦斬化学(株)製、CCL−HL832HS、100μm厚。Cu:12μ厚。レジスト:太陽インキ製造(株)製、PSR−AUS308、12μ厚。)のサイズは55mm×62mmで、あらかじめ10mm×10mm×150μm厚(半田バンプを除く)のフリップチップ(SIN表面、搭載半田バンプ:φ100μmの鉛フリー半田、200μmピッチのフルグリッド)を3×3=9個搭載してある。成形後、14×14mmのサイズに9個切り出し、テスト用のBGAパッケージを得た。得られたパッケージ9個について、シャドーモアレ方式の反り測定装置(Acrometrix社製、PS−200)を用いて高さ方向の変位を測定し、室温時の変位量をパッケージ反り量とした。また測定温度を25℃から260℃まで昇温し、再び25℃まで降温した際の最大変位量と最小変位量の変位差をパッケージ変動量とした。
実施例1、および実施例2のキュラストトルク値の測定結果から、キュラストトルク値の経時的な変動はなく、また、保管後の変化率は−3%〜7%で変化率は少なく、優れた保管性を示す結果となった。
参考例1、および参考例2のスパイラルフローの結果から、それぞれ75cm、84cmのスパイラルフロー値を示しており、優れた流動性を示している。また、パッケージ反り量、変動量の測定結果は、参考例1ではそれぞれ、26.5μm、386μmであった。さらに参考例2ではそれぞれ、21.5μm、365μmであり、いずれもパッケージ反り量、およびパッケージ変動量が小さい結果を得た。
一方、比較例1、および比較例2ではキュラストトルク値が経時的に変動し、24時間保管後で変化率が100%を超えており、経時変化が大きく、保管性が悪いという結果となった。
さらに参考例3、および参考例4のスパイラルフローの結果は、それぞれ、40cm、50cmであり、流動性が低い結果をしめした。室温時でのパッケージ反り量、およびパッケージ変動量は、参考例3では、それぞれ70.5μm、534μmであり、参考例4では、40.0μm、450μmの値を示しており、パッケージ反り量、およびパッケージ変動量が大きいという結果となった。
上記の結果の通り、本願発明のエポキシ樹脂組成物では、低温で硬化が可能であり、保管性、流動性(スパイラルフロー)、室温時でのパッケージ反り量、およびパッケージ変動量が優れる結果が得られるものである。すなわち、本願発明のエポキシ樹脂組成物は電気・電子材料分野に好適に使用でき、さらに封止後の反りを低減する半導体装置の製造などに好適である。
Claims (12)
- エポキシ樹脂(A)、
フェノール樹脂(B)、
および式(1)で表わされる硬化促進剤(C)、
を含有することを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
(式中、R1 、R2、およびR3は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を表わし、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 およびR9 はそれぞれ独立して、水素原子、メチル基、又はヒドロキシ基をあらわす。)
- 前記エポキシ樹脂組成物は、更に無機充填剤(D)を含む請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記硬化促進剤(C)は、1−(2−メチルイミダゾリルメチル)−2−ナフトールである請求項1または2に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記エポキシ樹脂(A)は、下記一般式(2)、および/または下記一般式(3)で表わされる構造単位を含むエポキシ樹脂である請求項1ないし3のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(2)および式(3)中のR10、R11、およびR12は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。aおよびcは0〜3の整数、bは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。X1は下記一般式(4A)、(4B)、または(4C)のいずれかであらわされる基を示す。一般式(4A)〜(4C)中のR13、R14、R15およびR16は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。dは0〜2の整数であり、e、fおよびgは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
- 前記エポキシ樹脂(A)は、下記一般式(5)で表わされる構造単位を含むエポキシ樹脂である請求項1ないし4のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
( X2は下記一般式(6)で表わされる基を示す。)
- 前記フェノール樹脂(B)は、下記一般式(7)、および/または下記一般式(8)で表わされる構造単位を含むフェノール樹脂である請求項1ないし5のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
(式(7)中のR17、R18、およびR19は炭素数1〜6の炭化水素基又は炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。hおよびjは0〜3の整数、iは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。Y1は下記一般式(9A)、(9B)、または(9C)のいずれかであらわされる基をあらわす。一般式(9A)〜(9C)中のR20、R21、R22およびR21は炭素数1〜6の炭化水素基または炭素数6〜14の芳香族炭化水素基であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。kは0〜2の整数であり、l、mおよびnは0〜4の整数であり、互いに同じであっても異なっていてもよい。)
- 前記フェノール樹脂(B)は、下記一般式(10)で表わされる構造単位を含むフェノール樹脂である請求項1ないし6のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
( Y2は下記一般式(11)であらわされる基を示す。)
- 前記エポキシ樹脂(A)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、5〜70wt%である請求項1ないし7のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記フェノール樹脂(B)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、3〜40wt%である請求項1ないし8のいずれか一項に記載のエポキ樹脂組成物。
- 前記硬化促進剤(C)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、0.1〜10wt%である請求項1ないし9のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填剤(D)の含有量は、エポキシ樹脂組成物100wt%に対して、60〜90wt%である請求項2ないし10のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 請求項1ないし11のいずれか一項に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019151717A (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 味の素株式会社 | 封止用樹脂組成物 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09118741A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-05-06 | Ciba Geigy Ag | エポキシ樹脂を硬化させるための触媒としての1−イミダゾリルメチル−2−ナフトール |
JP2002179773A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2003064157A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2006037009A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2006523656A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-19 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 1−イミダゾリルメチル置換−2−ナフトールおよび低温硬化用促進剤としてのそれらの使用 |
JP2006523746A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-19 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 低温硬化用の促進剤系 |
WO2007007827A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Ube Industries, Ltd. | ビフェニレン架橋フェノールノボラック樹脂ならびにその用途 |
JP2008056721A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2012509391A (ja) * | 2008-11-20 | 2012-04-19 | ヘンケル コーポレイション | エポキシ樹脂用の硬化剤 |
-
2015
- 2015-10-26 JP JP2015209471A patent/JP2017082052A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09118741A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-05-06 | Ciba Geigy Ag | エポキシ樹脂を硬化させるための触媒としての1−イミダゾリルメチル−2−ナフトール |
JP2002179773A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-26 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2003064157A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2006523656A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-19 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 1−イミダゾリルメチル置換−2−ナフトールおよび低温硬化用促進剤としてのそれらの使用 |
JP2006523746A (ja) * | 2003-04-16 | 2006-10-19 | ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スイッツランド)・ゲーエムベーハー | 低温硬化用の促進剤系 |
JP2006037009A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
WO2007007827A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Ube Industries, Ltd. | ビフェニレン架橋フェノールノボラック樹脂ならびにその用途 |
JP2008056721A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2012509391A (ja) * | 2008-11-20 | 2012-04-19 | ヘンケル コーポレイション | エポキシ樹脂用の硬化剤 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019151717A (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 味の素株式会社 | 封止用樹脂組成物 |
JP7040129B2 (ja) | 2018-03-01 | 2022-03-23 | 味の素株式会社 | 封止用樹脂組成物 |
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