JP2017080851A

JP2017080851A - 研磨装置、押圧ユニット、及び研磨方法

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Publication number: JP2017080851A
Application number: JP2015212816A
Authority: JP
Inventors: 博芳中谷; Hiroyoshi Nakatani
Original assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd
Current assignee: Kawasaki Heavy Industries Ltd
Priority date: 2015-10-29
Filing date: 2015-10-29
Publication date: 2017-05-18
Anticipated expiration: 2035-10-29
Also published as: JP6667258B2

Abstract

【課題】筒状孔のショルダ面を研磨することができる研磨装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様に係る研磨装置は、加工対象に形成された筒状孔の内周面にガイドされながら回転し、筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面を研磨する研磨部材と、研磨部材を軸方向に移動可能に保持して研磨部材を回転させる駆動モータと、研磨部材と駆動モータとの間に位置する押圧ユニットと、を備え、押圧ユニットは、加工対象における筒状孔の開口部分に取り付けられ、駆動モータが固定される筒状の本体部材と、本体部材の内部に位置し、研磨部材をショルダ面に向かって押圧するコイルばねと、コイルばねを本体部材に対して回転可能に受ける環状の軸受と、を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、研磨装置、押圧ユニット、及び研磨方法に関する。

従来の研磨装置では、砥粒を敷いた定盤に被研磨面（加工面）を押し当てながら当該被研磨面をスライドさせることで研磨を行っていた（特許文献１、２参照）。

特開２００８−２３８２８４号公報特開２０１４−２０５２２４号公報

ところが、内径が段階的に小さくなるように形成された筒状孔において、内径が切り替わる部分の面、つまり筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は筒状孔と同心の円錐面（以下、「ショルダ面」と称する）を磨面する場合、被研磨面であるショルダ面に定盤を押し当てることはできないため、従来の研磨装置では研磨を行うことができなかった。

本発明は、以上のような事情に鑑み、筒状孔のショルダ面を研磨することができる研磨装置を提供することを目的としている。

本発明の一態様に係る研磨装置は、加工対象に形成された筒状孔の内周面にガイドされながら回転し、前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面を研磨する研磨部材と、前記研磨部材を軸方向に移動可能に保持して前記研磨部材を回転させる駆動モータと、前記研磨部材と前記駆動モータとの間に位置する押圧ユニットと、を備え、前記押圧ユニットは、前記加工対象における前記筒状孔の開口部分に取り付けられ、前記駆動モータが固定される筒状の本体部材と、前記本体部材の内部に位置し、前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧するコイルばねと、前記本体部材に対して回転可能となるように前記コイルばねを受ける環状の軸受と、を有する。

この研磨装置によれば、コイルばねが回転しながら研磨部材をショルダ面に向かって押圧するため、ショルダ面は研磨部材から一定の圧力を受けながら研磨される。しかも、研磨部材は、筒状孔の内周面にガイドされながら回転するため、筒状孔の軸方向に沿って移動することができる。つまり、ショルダ面は、研磨部材から常に一定方向の力を受けながら研磨されることになる。よって、上記構成によれば、筒状孔のショルダ面を精度よく研磨することができる。

上記の研磨装置において、前記押圧ユニットは、前記コイルばねと前記研磨部材との間に介在し、前記本体部材の内部に挿入されて軸方向に移動可能な環状の接触部材を有し、前記本体部材は、前記研磨部材側の開口部分に環状の係止部を有し、前記接触部材の外径は前記係止部の内径よりも大きくてもよい。

この構成によれば、接触部材の外径は係止部の内径よりも大きいことから、接触部材は係止部に係止されることで本体部材から抜け落ちることはない。また、接触部材を介して研磨部材を押圧するコイルばねも本体部材から抜け落ちることはない。そのため、研磨装置から研磨部材を取り外したとしても、押圧ユニットの各構成部材が互いに分離することはない。よって、上記の構成によれば、研磨部材の取付、取外し、及び交換を容易に行うことができる。

上記の研磨装置において、前記押圧ユニットは、前記コイルばねの前記本体部材に対する軸方向位置を変化させることにより、前記コイルばねが前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧する圧力を調整することができる圧力調整部材を有していてもよい。

この構成によれば、被研磨面の加工状況に応じて研磨部材をショルダ面に押圧する圧力を調整することができるため、精度の高い研磨が可能となる。

また、本発明の一態様に係る押圧ユニットは、加工対象に形成された筒状孔の内周面にガイドされながら回転し、前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面を研磨する研磨部材と、前記研磨部材を軸方向に移動可能に保持して前記研磨部材を回転させる駆動モータと、の間に配置され、前記研磨部材を前記ショルダ面に押圧するための押圧ユニットであって、前記加工対象における前記筒状孔の開口部分に取り付けられ、前記駆動モータが固定される筒状の本体部材と、前記本体部材の内部に位置し、前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧するコイルばねと、前記本体部材に対して回転可能に前記コイルばねを受ける環状の軸受と、を有する。

この押圧ユニットによれば、研磨装置で説明した理由と同じ理由により、筒状孔のショルダ面を精度よく研磨することができる。

また、本発明の一態様に係る研磨方法は、研磨部材を軸方向に移動可能に保持し、当該研磨部材を加工対象に形成された筒状孔の内周面でガイドしながら回転させ、前記研磨部材とともに回転するコイルばねによって前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面に向かって前記研磨部材を押圧することで、前記ショルダ面を研磨する。

この研磨方法によれば、研磨装置で説明した理由と同じ理由により、筒状孔のショルダ面を精度よく研磨することができる。

上記の研磨装置によれば、筒状孔のショルダ面を研磨することができる。

図１は、第１実施形態に係る研磨装置の分解一部断面図である。図２は、第１実施形態に係る研磨装置の組立一部断面図である。図３は、別の研磨部材を組み込んだ研磨装置の組立一部断面図である。図４は、さらに別の研磨部材を組み込んだ研磨装置の組立一部断面図である。図５は、第２実施形態に係る研磨装置の組立一部断面図である。

（第１実施形態）
まず、第１実施形態に係る研磨装置１００について説明する。図１は、研磨装置１００の分解一部断面図である。図２は、研磨装置１００の組立一部断面図である。また、図３及び図４は、図２の研磨部材１０Ａと異なる研磨部材１０Ｂ、１０Ｃを組み付けた研磨装置１００の組立一部断面図である。

図１に示すように、研磨装置１００は、研磨部材１０と、駆動モータ４０と、押圧ユニット５０と、を備えている。以下では、はじめに加工対象１０１について説明し、続いて研磨装置１００の各構成要素及び使用方法について順に説明する。

＜加工対象＞
本実施形態の加工対象１０１は、エンジンのシリンダヘッドである。なお、エンジンのシリンダヘッドは一例であり、加工対象はこれに限られない。本実施形態の加工対象１０１には、燃料噴射弁を挿入するための筒状孔１０２が形成されている。図１に示すように、筒状孔１０２は、内径が段階的に小さくなるように形成されている。

筒状孔１０２は、内径が大きい側（図１の紙面上方側）から順に、第１内周面１０３、第１研磨ショルダ面１０４、第２内周面１０５、第２研磨ショルダ面１０６、第３内周面１０７、非研磨ショルダ面１０８、第３研磨ショルダ面１０９、及び第４内周面１１０の各面を有している。第１内周面１０３、第２内周面１０５、第３内周面１０７、及び第４内周面１１０は、筒状孔１０２の中心軸１１１を囲むようにして円筒状に形成され、中心軸１１１に対して平行に延びている。また、第１内周面１０３の開口部付近には、雌ねじ１１２が形成されている。

一方、第１研磨ショルダ面１０４、第２研磨ショルダ面１０６、及び非研磨ショルダ面１０８は、筒状孔１０２の中心軸１１１に対して垂直な環状面である。また、第３研磨ショルダ面１０９は、筒状孔１０２と同心の円錐面である。本実施形態において、第１研磨ショルダ面１０４、第２研磨ショルダ面１０６、及び第３研磨ショルダ面１０９は、燃料噴射弁又はＯリングと接触するシート面である。そのため、本実施形態では、これらの面について研磨（ラッピング）を行って表面を滑らかに仕上げる。

＜研磨部材＞
研磨部材１０は、ショルダ面１０４、１０６、１０９を研磨するための部材であって、回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１と一致するようにして回転する。本実施形態の研磨部材１０には、第１研磨部材１０Ａ（図１及び図２参照）、第２研磨部材１０Ｂ（図３参照）、及び第３研磨部材１０Ｃ（図４参照）が含まれる。

第１研磨部材１０Ａは、第１研磨ショルダ面１０４を研磨するための研磨部材である。図１及び図２に示すように、第１研磨部材１０Ａは、第１研磨部１１と、第１支持部１２とを有している。

第１研磨部１１は、第１研磨ショルダ面１０４に対向する環状の第１研磨面１３が下面に形成された第１研磨円盤部１４と、第１研磨円盤部１４に対して軸方向に離間する第１ガイド円盤部１５と、第１研磨円盤部１４と第１ガイド円盤部１５の間に位置する第１中間部１６とを有している。第１研磨円盤部１４及び第１ガイド円盤部１５は、外周面が筒状孔１０２の第１内周面１０３に接するように形成されている。そのため、第１研磨部材１０Ａは第１内周面１０３にガイドされながら回転する。これにより、第１研磨部材１０Ａの回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に対して傾斜するのを抑えることができ、第１研磨面１３と第１研磨ショルダ面１０４の平行状態を維持することができる。

第１支持部１２は、第１研磨部１１を支持する部分である。第１支持部１２は、第１研磨部１１から駆動モータ４０に向かって延びており、先端部分に駆動モータ４０と連結する連結軸１７を有している。連結軸１７の外周面には、軸方向に延びるキー部１８が形成されている。また、第１支持部１２は、連結軸１７よりも第１研磨部１１側に位置する環状の被押圧部１９を有している。被押圧部１９の外径は、後述する押圧ユニット５０の係止部５９の内径よりも小さく、接触部材５２の内径よりも大きい。

なお、第１支持部１２は第１研磨部１１と一体に形成してもよいが、第１支持部１２から第１研磨部１１を着脱できるように構成するのが望ましい。このように構成すれば、汎用性が高くなるとともに、第１研磨面１３が摩耗した場合には第１研磨部１１のみを交換すればよいためランニングコストを低減することができる。

第２研磨部材１０Ｂは、第２研磨ショルダ面１０６を研磨するための研磨部材である。図３に示すように、第２研磨部材１０Ｂは、第２研磨部２１と、第２支持部２２とを有している。

第２研磨部２１は、第２研磨ショルダ面１０６に対向する環状の第２研磨面２３が下面に形成された第２研磨円盤部２４と、第２研磨円盤部２４に対して軸方向に離間する第２ガイド円盤部２５と、第２研磨円盤部２４と第２ガイド円盤部２５の間に位置する第２中間部２６とを有している。第２研磨円盤部２４及び第２ガイド円盤部２５は、外周面が筒状孔１０２の第２内周面１０５に接するように形成されている。そのため、第２研磨部材１０Ｂは第２内周面１０５にガイドされながら回転する。これにより、第２研磨部材１０Ｂの回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に対して傾斜するのを抑えることができ、第２研磨面２３と第２研磨ショルダ面１０６の平行状態を維持することができる。

第２支持部２２は、第２研磨部２１を支持する部分である。第２支持部２２は、第１研磨部材１０Ａの第１支持部１２よりも軸方向寸法が大きい点を除けば、第１支持部１２と基本的に同じ構成を有している。

第３研磨部材１０Ｃは、第３研磨ショルダ面１０９を研磨するための研磨部材である。図４に示すように、第３研磨部材１０Ｃは、第３研磨部３１と、第３支持部３２とを有している。

第３研磨部３１は、第３支持部３２に接続される円柱状の芯部３３と、芯部３３に設けられて外周面が筒状孔１０２の第２内周面１０５に接する第３ガイド円盤部３４と、芯部３３の先端側に隣接し第３研磨ショルダ面１０９に対向する第３研磨面３５が形成された研磨円錐部３６と、研磨円錐部３６の先端側に隣接し筒状孔１０２の第４内周面１１０に接する円柱状のガイド円柱部３７とを有している。

上記のとおり、第３ガイド円盤部３４及びガイド円柱部３７はそれぞれ筒状孔１０２の第２内周面１０５及び第４内周面１１０に接するため、第３研磨部材１０Ｃは、第２内周面１０５及び第４内周面１１０にガイドされながら回転する。これにより、第３研磨部材１０Ｃの回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に対して傾斜するのを抑えることができ、第３研磨面３５と第３研磨ショルダ面１０９の平行状態を維持することができる。

第３支持部３２は、第３研磨部３１を支持する部分である。第３支持部３２は、第１研磨部材１０Ａの第１支持部１２よりも軸方向寸法が大きい点を除けば、第１支持部１２と基本的に同じ構成を有している。

＜駆動モータ＞
駆動モータ４０は、研磨部材１０を回転させる装置である。駆動モータ４０は、モータ本体４１と、フランジ部４２と、連結部４３と、を有している。

モータ本体４１は、モータとしては比較的遅い１００〜２００ｒｐｍで回転する。これは、本実施形態では研磨部材１０を１００〜２００ｒｐｍで回転させるところ、これと同じ回転数でモータ本体４１を回転させれば、変速機は不要となって研磨装置１００の構造を簡略化することができるからである。本実施形態ではモータ本体４１として、エアモータを用いるが、電動モータ等他のモータを用いてもよい。

フランジ部４２は、モータ本体４１に固定されており、固定ボルト４４が貫通する貫通孔４５が形成されている。後述するように、押圧ユニット５０の本体部材５１には、固定ボルト４４に対応するねじ穴６０が形成されている。固定ボルト４４をフランジ部４２の貫通孔４５を貫通して、押圧ユニット５０のねじ穴６０に組み合わせて締め付けることにより、駆動モータ４０を押圧ユニット５０に固定することができる。

連結部４３は、モータ本体４１の出力軸４６に取り付けられている。図１に示すように、連結部４３の内部には研磨部材１０の連結軸１７を収容する収容穴４７が形成されており、さらに収容穴４７には研磨部材１０のキー部１８に対応するキー溝４８が軸方向に延びるようにして形成されている。連結部４３のキー溝４８に研磨部材１０のキー部１８を挿入することで、連結部４３は研磨部材１０を軸方向に移動可能に保持しつつ、研磨部材１０を回転させることができる。

なお、研磨部材１０の１つのキー部１８に対し、駆動モータ４０には１つのキー溝４８を形成してもよく、複数のキー溝４８を形成してもよい。また、連結軸１７の外側に歯状の溝を形成して連結軸１７をスプラインシャフトとし、連結部４３の内側に歯状の溝を形成して連結部４３をスプライン軸受としてもよい。

＜押圧ユニット＞
押圧ユニット５０は、研磨部材１０と駆動モータ４０との間に位置しており、研磨部材１０をショルダ面１０４、１０６、１０９に向かって押圧するユニットである。押圧ユニット５０は、本体部材５１と、接触部材５２と、コイルばね５３と、保持部材５４と、軸受５５と、圧力調整部材５６とを有している。

本体部材５１は、円筒状の形状を有している。本体部材５１の外周面の研磨部材側の端部には筒状孔１０２に形成された雌ねじ１１２と組み合わせることができる雄ねじ５７が形成されており、この雄ねじ５７を筒状孔１０２の雌ねじ１１２に組み合わせてねじ込むことにより、本体部材５１を筒状孔１０２の開口部分に取り付けることができる。また、本体部材５１の駆動モータ４０側の内周面には雌ねじ５８が形成されており、研磨部材１０側の開口部分には環状の係止部５９を有している。なお、前述したように、本体部材５１における駆動モータ４０の貫通孔４５に対向する部分には、ねじ穴６０が形成されている。

接触部材５２は、研磨部材１０に接触する部材であって、本体部材５１の内部に軸方向に移動可能に挿入されている。接触部材５２は、研磨部材１０の被押圧部１９と接触する。接触部材５２は環状に形成されており、接触部材５２の外径は本体部材５１の係止部５９の内径よりも大きい。そのため、接触部材５２は、本体部材５１の内部から係止部５９を越えて本体部材５１の外部へ抜け落ちることはない。

コイルばね５３は、接触部材５２を介して、研磨部材１０をショルダ面１０４、１０６、１０９に向かって押圧する部材である。コイルばね５３の研磨部材１０側の端部は接触部材５２に固定されており、駆動モータ４０側の端部は保持部材５４に固定されている。また、後述するように、コイルばね５３は接触部材５２、保持部材５４、及び研磨部材１０とともに回転する。なお、前述のとおり、接触部材５２は本体部材５１の外部へ抜け落ちることがないため、コイルばね５３も本体部材５１の外部へ抜け落ちることはない。

保持部材５４は、コイルばね５３と軸受５５の間に介在する部材であり、コイルばね５３の駆動モータ４０側の端部に固定されている。なお、保持部材５４は、本体部材５１の内部において軸方向に移動可能である。

軸受５５は、コイルばね５３が本体部材５１に対して回転できるようにコイルばね５３を受ける部材である。本実施形態の軸受５５はいわゆるスラスト軸受であって、環状の静止板６１と静止板６１に対して回転する環状の回転板６２を有している。静止板６１は圧力調整部材５６を介して本体部材５１に固定されている。一方、回転板６２は保持部材５４に接続されており、研磨部材１０の回転に伴って、接触部材５２、コイルばね５３、及び保持部材５４とともに回転する。なお、軸受５５は、コイルばね５３を本体部材５１に対して回転可能に受けることができればよく、スラスト軸受に限られない。

圧力調整部材５６は、コイルばね５３の研磨部材１０に加える力を調整する部材である。圧力調整部材５６は環状であって、外周面には本体部材５１の内周面に形成された雌ねじ５８と組み合わせることができる雄ねじ６３が形成されており、本体部材５１にねじ込まれている。圧力調整部材５６の本体部材５１にねじ込む量を調整することで、本体部材５１に対する圧力調整部材５６の軸方向位置を変更することができる。これにより、コイルばね５３の駆動モータ４０側の端部の軸方向位置が変化し、コイルばね５３が研磨部材１０をショルダ面１０４、１０６、１０９に向かって押圧する圧力を変化させることができる。

＜使用方法＞
次に、研磨装置１００の使用方法について説明する。はじめに、研磨を行うショルダ面１０４、１０６、１０９全体に所定量の砥粒とオイルをひく。この状態で、研磨部材１０を加工対象の筒状孔１０２に挿入する。第１研磨ショルダ面１０４を研磨する場合は第１研磨部材１０Ａを挿入し、第２研磨ショルダ面１０６を研磨する場合には第２研磨部材１０Ｂを挿入し、第３研磨ショルダ面１０９を研磨する場合には第３研磨部材１０Ｃを挿入する。

続いて、押圧ユニット５０を加工対象１０１に取り付ける。押圧ユニット５０の雄ねじ５７を加工対象１０１の雌ねじ１１２に組み合わせて押圧ユニット５０を加工対象１０１にねじ込めば、押圧ユニット５０を加工対象１０１に取り付けることができる。その際、研磨部材１０の被押圧部１９が押圧ユニット５０の接触部材５２に接触し、接触部材５２が本体部材５１の内部に押し込まれる（図２参照）。これにより、研磨部材１０は、接触部材５２を介してコイルばね５３によってショルダ面１０４、１０６、１０９に向かって押圧された状態となる。

なお、本実施形態では、押圧ユニット５０において接触部材５２は本体部材５１の外部へ抜け落ちることはないため、押圧ユニット５０の各構成部材が互いに分離することはない。そのため、本実施形態では、押圧ユニット５０単体で取り扱うことができ、研磨部材１０を交換するなどの作業を容易に行うことができる。

続いて、駆動モータ４０を押圧ユニット５０に固定する。前述のとおり、駆動モータ４０の押圧ユニット５０への固定は、固定ボルト４４を用いて行う。その際、研磨部材１０のキー部１８が駆動モータ４０のキー溝４８に挿入されるように、研磨部材１０の角度位置又は駆動モータ４０の出力軸４６の角度位置を調整する。

続いて、駆動モータ４０を駆動して研磨部材１０を回転させる。この際、第１研磨部材１０Ａであれば筒状孔１０２の第１内周面１０３にガイドされながら回転し、第２研磨部材１０Ｂであれば筒状孔１０２の第２内周面１０５にガイドされながら回転し、第３研磨部材１０Ｃであれば筒状孔１０２の第３内周面１０７及び第４内周面１１０にガイドされながら回転する。これにより、各研磨部材１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃは、回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に常に一致した状態で回転することができる。

また、前述のとおり、コイルばね５３は研磨部材１０とともに回転しながら研磨部材１０をショルダ面１０４、１０６、１０９に向かって押圧する。これにより、研磨部材１０とショルダ面１０４、１０６、１０９の間の砥粒が周方向に転がりながらショルダ面１０４、１０６、１０９の表面を研磨する。なお、研磨部材１０は、回転軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に一致した状態で回転するため、研磨によってショルダ面１０４、１０６、１０９の中心軸が筒状孔１０２の中心軸１１１に対して傾斜するのを防ぐことができる。以上のように、本実施形態によれば、筒状孔１０２のショルダ面１０４、１０６、１０９を研磨することができる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係る研磨装置２００について説明する。図５は、第２実施形態に係る研磨装置２００の組立一部断面図であって、第１実施形態の図２に相当する。以下では、図５で示す要素のうち、図２で示す要素と同一又は相当するものについては同じ符号を付し、第１実施形態と重複する説明は省略する。なお、本実施形態においても、研磨するショルダ面に応じて研磨部材を交換する。

本実施形態に係る研磨装置２００は、押圧ユニット５０を加工対象１０１への取り付けるための構成が第１実施形態の研磨装置１００と異なる。具体的には、第１実施形態では押圧ユニット５０を加工対象１０１にねじ込むことによって押圧ユニット５０を加工対象１０１に取り付けていたが、本実施形態では取付ボルト７１によって取り付ける。そのため、本実施形態では、加工対象１０１の筒状孔１０２に雌ねじ１１２（図２参照）は形成されておらず、また、押圧ユニット５０の本体部材５１に雄ねじ５７（図２参照）は形成されていない。

図５に示すように、本実施形態では、押圧ユニット５０が軸方向に対して垂直な方向に延びる突起部７２を有しており、この突起部７２に貫通孔７３が形成されている。そして、加工対象１０１にはこの貫通孔７３に対応する位置にねじ穴１１３が形成されている。これにより取付ボルト７１を押圧ユニット５０の貫通孔７３を通って先端を加工対象１０１のねじ穴１１３に組み合わせて締め付けることにより、押圧ユニット５０を加工対象１０１に取り付けることができる。

本実施形態によれば、押圧ユニット５０を回転させることなく押圧ユニット５０を加工対象１０１に取り付けることができる。つまり、研磨部材１０に対する押圧ユニット５０の周方向位置が変化することなく押圧ユニット５０を取り付けることができる。そのため、押圧ユニット５０に駆動モータ４０を固定したままであっても、研磨部材１０のキー部１８を駆動モータ４０のキー溝４８に挿入させることができる。その結果、押圧ユニット５０に駆動モータ４０を取り付けたまま研磨装置２００を加工対象１０１に取り付けることができ、作業効率を向上させることができる。

１０研磨部材
１０Ａ第１研磨部材
１０Ｂ第２研磨部材
１０Ｃ第３研磨部材
４０駆動モータ
５０押圧ユニット
５１本体部材
５２接触部材
５３コイルばね
５５軸受
５６圧力調整部材
５９係止部
１００、２００研磨装置
１０１加工対象
１０２筒状孔
１０３第１内周面
１０４第１研磨ショルダ面
１０５第２内周面
１０６第２研磨ショルダ面
１０７第３内周面
１０９第３研磨ショルダ面
１１０第４内周面
１１１中心軸

Claims

加工対象に形成された筒状孔の内周面にガイドされながら回転し、前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面を研磨する研磨部材と、
前記研磨部材を軸方向に移動可能に保持して前記研磨部材を回転させる駆動モータと、
前記研磨部材と前記駆動モータとの間に位置する押圧ユニットと、を備え、
前記押圧ユニットは、
前記加工対象における前記筒状孔の開口部分に取り付けられ、前記駆動モータが固定される筒状の本体部材と、
前記本体部材の内部に位置し、前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧するコイルばねと、
前記本体部材に対して回転可能に前記コイルばねを受ける環状の軸受と、を有する研磨装置。
前記押圧ユニットは、前記コイルばねと前記研磨部材との間に介在し、前記本体部材の内部に挿入されて軸方向に移動可能な環状の接触部材を有し、
前記本体部材は、前記研磨部材側の開口部分に環状の係止部を有し、
前記接触部材の外径は前記係止部の内径よりも大きい、請求項１に記載の研磨装置。
前記押圧ユニットは、前記コイルばねの前記本体部材に対する軸方向位置を変化させることにより、前記コイルばねが前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧する圧力を調整することができる圧力調整部材を有する、請求項１又は２に記載の研磨装置。
加工対象に形成された筒状孔の内周面にガイドされながら回転し、前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面を研磨する研磨部材と、前記研磨部材を軸方向に移動可能に保持して前記研磨部材を回転させる駆動モータと、の間に配置され、前記研磨部材を前記ショルダ面に押圧するための押圧ユニットであって、
前記加工対象における前記筒状孔の開口部分に取り付けられ、前記駆動モータが固定される筒状の本体部材と、
前記本体部材の内部に位置し、前記研磨部材を前記ショルダ面に向かって押圧するコイルばねと、
前記本体部材に対して回転可能に前記コイルばねを受ける環状の軸受と、を有する押圧ユニット。
研磨部材を軸方向に移動可能に保持し、当該研磨部材を加工対象に形成された筒状孔の内周面でガイドしながら回転させ、前記研磨部材とともに回転するコイルばねによって前記筒状孔の中心軸に対して垂直な環状面又は前記筒状孔と同心の円錐面であるショルダ面に向かって前記研磨部材を押圧することで、前記ショルダ面を研磨する、研磨方法。