CN109514378A - 一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备 - Google Patents

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Abstract

一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，包括底座，其上端设置有柜体，柜体的左上端设置有直线导轨，直线导轨上安装有滑块，滑块与推进机构连接实现左右移动，滑块的上端设置有支撑架，支撑架上安装有侧面打磨机构；柜体的右上端设置有支撑座，支撑座的上端设置有支架，支架的左下端安装有伸缩压紧模块，柜体的右上端设置有凹槽，凹槽内设置有第二电机，第二电机的输出轴连接真空吸盘，锑化镓单晶片安装在真空吸盘上。本发明结构简单，自动化程度高，能够对5‑15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，且对于锑化镓单晶片侧面的切削量可以进行快速调节，提高打磨效率和打磨效果，解决了传统手工打磨不均及效率低等问题。

Description

一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备
技术领域
本发明涉及一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备。
背景技术
锑化镓是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,对它的研究远不如其他半导体材料(如GaAs,InP等)那样深入。但近些年来这种材料越来越引起人们兴趣,这主要是光纤通信技术的发展,对新器件的潜在需求而引起的。在光通信中为了减少传输中的损耗,总是尽可能采用较长波长的光,最早使用0.8μm波长的光,现在使用1.55μm波长的光。据估计下一代光纤通信将采用更长波长的光。研究表明某些非硅材料光纤在波长为(2～4)μm的范围时传输损耗更小。在所有Ⅲ-Ⅴ族材料中,锑化镓作为衬底材料引起了更多的注意,因为它可以与各种Ⅲ-Ⅴ族材料的三元、四元固熔体合金的晶格常数相匹配,这些材料光谱的范围在(0.8～4.0)μm之间,正好符合要求。另外,利用锑化镓基材料超晶格的带间吸收也可以制造更长波长(8～14)μm范围的探测器。
现有仪器中对锑化镓单晶片表面光滑度越来越讲究，而对锑化镓单晶片表面的打磨大多采用手工打磨，手工打磨存在打磨不均匀，打磨效率低等缺陷。
发明内容
本发明的目的是针对以上问题，提供一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，结构简单，自动化程度高，能够对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，且对于锑化镓单晶片侧面打磨的切削量可以进行快速调节，提高打磨效率和打磨效果，解决了传统手工打磨不均及效率低等问题。
为实现以上目的，本发明采用的技术方案是：它包括底座，其上端设置有柜体，柜体的左上端设置有直线导轨，直线导轨上安装有滑块，滑块与推进机构连接实现左右移动，滑块的上端设置有支撑架，支撑架上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机、与第一电机输出轴相连的转轴、设置在转轴末端的打磨盘，打磨盘设置在锑化镓单晶片的侧方；柜体的右上端设置有支撑座，支撑座的上端设置有支架，支架的左下端安装有伸缩压紧模块，柜体的右上端设置有凹槽，凹槽内设置有第二电机，第二电机的输出轴连接真空吸盘，锑化镓单晶片安装在真空吸盘上。
进一步的，推进机构包括固定设置在滑块左侧的齿条和设置在柜体上端的第三电机，第三电机的输出轴连接齿轮，齿条与齿轮啮合连接。
进一步的，伸缩压紧模块包括气缸、固定法兰、连接轴、轴承、圆管、端板、导向杆、弹簧和顶板；其中固定法兰与气缸的伸出端连接，连接轴设置在固定法兰的底部，轴承设置在圆管内且与连接轴末端连接，端板固定在圆管底部，导向杆的一端设置在端板中的导向孔内，导向杆的另一端与顶板固定连接，导向杆在导向孔内设置有限位环，弹簧套设在端板和顶板之间的导向杆上。
进一步的，端板与圆管之间通过沉头螺钉连接。
进一步的，顶板的底部具有防滑层。
进一步的，顶板为橡胶材料。
本发明的有益效果：本发明提供了一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，结构简单，自动化程度高，能够对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，且对于锑化镓单晶片侧面打磨的切削量可以进行快速调节，提高打磨效率和打磨效果，解决了传统手工打磨不均及效率低等问题。
本发明中第三电机旋转带动齿条左右移动，从而实现打磨盘对锑化镓单晶片打磨厚度的调节，提高打磨效果。
本发明中气缸带动顶板向下运动，顶板对锑化镓单晶片上端进行压紧防止锑化镓单晶片在打磨时发生位移，加强了对锑化镓单晶片的固定，从而实现5-15mm厚度锑化镓单晶片的夹装，当打磨盘对锑化镓单晶片侧面进行打磨时，顶板与锑化镓单晶片一起旋转，弹簧的伸缩使顶板对锑化镓单晶片施压时具有缓冲力，对锑化镓单晶片进行了保护。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明中伸缩压紧模块的结构示意图。
图中所述文字标注表示为：1、第二电机；2、凹槽；3、柜体；4、齿条；5、齿轮；6、第三电机；7、滑块；8、直线导轨；9、支撑架；10、打磨盘；11、转轴；12、第一电机；13、伸缩压紧模块；14、支架；15、支撑座；16、锑化镓单晶片；17、真空吸盘；18、底座；1301、气缸；1302、轴承；1303、圆管；1304、端板；1305、顶板；1306、弹簧；1307、导向杆；1308、连接轴；1309、固定法兰；1310、导向孔；1311、限位环。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
如图1所示，本发明的具体结构为：它包括底座18，其上端设置有柜体3，柜体3的左上端设置有直线导轨8，直线导轨8上安装有滑块7，滑块7与推进机构连接实现左右移动，滑块7的上端设置有支撑架9，支撑架9上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机12、与第一电机12输出轴相连的转轴11、设置在转轴11末端的打磨盘10，打磨盘10设置在锑化镓单晶片16的侧方；柜体3的右上端设置有支撑座15，支撑座15的上端设置有支架14，支架14的左下端安装有伸缩压紧模块13，柜体3的右上端设置有凹槽2，凹槽2内设置有第二电机1，第二电机1的输出轴连接真空吸盘17，锑化镓单晶片16安装在真空吸盘17上。
优选的，推进机构包括固定设置在滑块7左侧的齿条4和设置在柜体3上端的第三电机6，第三电机6的输出轴连接齿轮5，齿条4与齿轮5啮合连接。
优选的，伸缩压紧模块13包括气缸1301、固定法兰1309、连接轴1308、轴承1302、圆管1303、端板1304、导向杆1307、弹簧1306和顶板1305；其中固定法兰1309与气缸1301的伸出端连接，连接轴1308设置在固定法兰1309的底部，轴承1302设置在圆管1303内且与连接轴1308末端连接，端板1304固定在圆管1303底部，导向杆1307的一端设置在端板1304中的导向孔1310内，导向杆1307的另一端与顶板1305固定连接，导向杆1307在导向孔1310内设置有限位环1311，弹簧1306套设在端板1304和顶板1305之间的导向杆1307上。
优选的，端板1304与圆管1303之间通过沉头螺钉连接。
优选的，顶板1305的底部具有防滑层。
优选的，顶板1305为橡胶材料。
本发明与现有技术相比，具有以下方面的优势：
本发明结构简单，自动化程度高，能够对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，且对于锑化镓单晶片侧面的切削量可以进行快速调节，提高打磨效率和打磨效果，解决了传统手工打磨不均及效率低等问题。
本发明中第三电机旋转带动齿条左右移动，从而实现打磨盘对锑化镓单晶片打磨厚度的调节，提高打磨效果。
本发明中气缸带动顶板向下运动，顶板对锑化镓单晶片上端进行压紧防止锑化镓单晶片在打磨时发生位移，当打磨盘对锑化镓单晶片侧面进行打磨时，顶板与锑化镓单晶片一起旋转，弹簧的伸缩使顶板对锑化镓单晶片施压时具有缓冲力，对锑化镓单晶片进行了保护。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，它包括底座(18)，其上端设置有柜体(3)，柜体(3)的左上端设置有直线导轨(8)，直线导轨(8)上安装有滑块(7)，滑块(7)与推进机构连接实现左右移动，滑块(7)的上端设置有支撑架(9)，支撑架(9)上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机(12)、与第一电机(12)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(10)，打磨盘(10)设置在锑化镓单晶片(16)的侧方；柜体(3)的右上端设置有支撑座(15)，支撑座(15)的上端设置有支架(14)，支架(14)的左下端安装有伸缩压紧模块(13)，柜体(3)的右上端设置有凹槽(2)，凹槽(2)内设置有第二电机(1)，第二电机(1)的输出轴连接真空吸盘(17)，锑化镓单晶片(16)安装在真空吸盘(17)上。
2.根据权利要求1所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，推进机构包括固定设置在滑块(7)左侧的齿条(4)和设置在柜体(3)上端的第三电机(6)，第三电机(6)的输出轴连接齿轮(5)，齿条(4)与齿轮(5)啮合连接。
3.根据权利要求1所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，伸缩压紧模块(13)包括气缸(1301)、固定法兰(1309)、连接轴(1308)、轴承(1302)、圆管(1303)、端板(1304)、导向杆(1307)、弹簧(1306)和顶板(1305)；其中固定法兰(1309)与气缸(1301)的伸出端连接，连接轴(1308)设置在固定法兰(1309)的底部，轴承(1302)设置在圆管(1303)内且与连接轴(1308)末端连接，端板(1304)固定在圆管(1303)底部，导向杆(1307)的一端设置在端板(1304)中的导向孔(1310)内，导向杆(1307)的另一端与顶板(1305)固定连接，导向杆(1307)在导向孔(1310)内设置有限位环(1311)，弹簧(1306)套设在端板(1304)和顶板(1305)之间的导向杆(1307)上。
4.根据权利要求3所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，端板(1304)与圆管(1303)之间通过沉头螺钉连接。
5.根据权利要求3所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，顶板(1305)的底部具有防滑层。
6.根据权利要求5所述的一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，顶板(1305)为橡胶材料。
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