CN109531297A - 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备 - Google Patents

一种锑化镓单晶片侧边打磨设备 Download PDF

Info

Publication number
CN109531297A
CN109531297A CN201811392803.0A CN201811392803A CN109531297A CN 109531297 A CN109531297 A CN 109531297A CN 201811392803 A CN201811392803 A CN 201811392803A CN 109531297 A CN109531297 A CN 109531297A
Authority
CN
China
Prior art keywords
motor
gallium antimonide
monocrystalline piece
antimonide monocrystalline
lifting seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811392803.0A
Other languages
English (en)
Inventor
王歆
吴秀丽
陈琳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Dahe New Material Co Ltd
Original Assignee
Hunan Dahe New Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Dahe New Material Co Ltd filed Critical Hunan Dahe New Material Co Ltd
Priority to CN201811392803.0A priority Critical patent/CN109531297A/zh
Publication of CN109531297A publication Critical patent/CN109531297A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
    • B24B5/04—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally
    • B24B5/047—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally of workpieces turning about a vertical axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/22—Equipment for exact control of the position of the grinding tool or work at the start of the grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/50—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground, e.g. strings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/06—Dust extraction equipment on grinding or polishing machines

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

本发明涉及一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，包括底座，其左上端设置有柜体，柜体的上端设置有支撑架，支撑架上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机、与第一电机输出轴相连的转轴、设置在转轴末端的打磨盘；底座的上端设置有固定板，固定板上固定设置支撑座，支撑座上设置有直线导轨，直线导轨上安装有升降座，升降座与升降机构连接实现上下升降，升降座上设置有第二电机，第二电机的输出轴连接真空吸盘，锑化镓单晶片安装在真空吸盘上。本发明能够对2‑5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，打磨效果好，效率高，解决了传统手工打磨不均，打磨效率低等缺陷。

Description

一种锑化镓单晶片侧边打磨设备
技术领域
本发明涉及一种锑化镓单晶片侧边打磨设备。
背景技术
锑化镓是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,对它的研究远不如其他半导体材料(如GaAs,InP等)那样深入。但近些年来这种材料越来越引起人们兴趣,这主要是光纤通信技术的发展,对新器件的潜在需求而引起的。在光通信中为了减少传输中的损耗,总是尽可能采用较长波长的光,最早使用0.8μm波长的光,现在使用1.55μm波长的光。据估计下一代光纤通信将采用更长波长的光。研究表明某些非硅材料光纤在波长为(2～4)μm的范围时传输损耗更小。在所有Ⅲ-Ⅴ族材料中,锑化镓作为衬底材料引起了更多的注意,因为它可以与各种Ⅲ-Ⅴ族材料的三元、四元固熔体合金的晶格常数相匹配,这些材料光谱的范围在(0.8～4.0)μm之间,正好符合要求。另外,利用锑化镓基材料超晶格的带间吸收也可以制造更长波长(8～14)μm范围的探测器。
现有仪器中对锑化镓单晶片表面光滑度越来越讲究，而对锑化镓单晶片表面的打磨大多采用手工打磨，手工打磨存在打磨不均匀，打磨效率低等缺陷。
发明内容
本发明的目的是针对以上问题，提供一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，结构简单，自动化程度高，能够对2-5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，打磨效果好，效率高，解决了传统手工打磨不均，打磨效率低等缺陷。
为实现以上目的，本发明采用的技术方案是：它包括底座，其左上端设置有柜体，柜体的上端设置有支撑架，支撑架上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机、与第一电机输出轴相连的转轴、设置在转轴末端的打磨盘；底座的上端设置有固定板，固定板上固定设置支撑座，支撑座上设置有直线导轨，直线导轨上安装有升降座，升降座与升降机构连接实现上下升降，升降座上设置有第二电机，第二电机的输出轴连接真空吸盘，锑化镓单晶片安装在真空吸盘上。
进一步的，升降机构包括滚珠丝杆和第三电机，滚珠丝杆与第三电机的输出轴连接，滚珠丝杆的螺母与升降座固定连接。
进一步的，固定板通过螺栓连接在底座上，且固定板在底座上左右位置可以进行调节。
进一步的，第一电机和真空吸盘的顶部设置有保护罩。
本发明的有益效果：本发明提供了一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，结构简单，自动化程度高，能够对2-5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，打磨效果好，效率高，解决了传统手工打磨不均，打磨效率低等缺陷。
本发明第三电机旋转带动滚珠丝杆旋转，使升降座上下升降，升降座上升过程中的同时，第一电机带动打磨盘高速旋转，锑化镓单晶片在上升过程中实现侧面快速打磨，提高了生产效率。
本发明中固定板通过螺栓连接在底座上，且固定板在底座上左右位置可以进行调节，该结构的设置可以调节固定板在底座上的位置，从而实现锑化镓单晶片的侧面打磨厚度的调节。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中所述文字标注表示为：1、第三电机；2、固定板；3、第二电机；4、底座；7、柜体；9、支撑架；10、第一电机；11、转轴；12、打磨盘；13、吸尘罩；14、锑化镓单晶片；15、真空吸盘；16、直线导轨；17、滚珠丝杆；18、升降座；19、支撑座；20、保护罩。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
如图1所示，本发明的具体结构为：它包括底座4，其左上端设置有柜体7，柜体7的上端设置有支撑架9，支撑架9上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机10、与第一电机10输出轴相连的转轴11、设置在转轴11末端的打磨盘12；底座4的上端设置有固定板2，固定板2上固定设置支撑座19，支撑座19上设置有直线导轨16，直线导轨16上安装有升降座18，升降座18与升降机构连接实现上下升降，升降座18上设置有第二电机3，第二电机3的输出轴连接真空吸盘15，锑化镓单晶片14安装在真空吸盘15上。
优选的，升降机构包括滚珠丝杆17和第三电机1，滚珠丝杆17与第三电机1的输出轴连接，滚珠丝杆17的螺母与升降座18固定连接。
优选的，固定板2通过螺栓连接在底座4上，且固定板2在底座4上左右位置可以进行调节。
优选的，第一电机10和真空吸盘15的顶部设置有保护罩20。
本发明与现有技术相比，具有以下方面的优势：
本发明结构简单，自动化程度高，能够对2-5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨，同时打磨过程产生的粉尘可以被吸尘装置吸收，保护了周边的生产环境。
本发明第三电机旋转带动滚珠丝杆旋转，使升降座上下升降，升降座上升过程中的同时，第一电机带动打磨盘高速旋转，锑化镓单晶片在上升过程中实现侧面快速打磨，提高了生产效率。
本发明中固定板通过螺栓连接在底座上，且固定板在底座上左右位置可以进行调节，该结构的设置可以调节固定板在底座上的位置，从而实现锑化镓单晶片的侧面打磨厚度的调节。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，它包括底座(4)，其左上端设置有柜体(7)，柜体(7)的上端设置有支撑架(9)，支撑架(9)上安装有侧面打磨机构；侧面打磨机构包括第一电机(10)、与第一电机(10)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(12)；底座(4)的上端设置有固定板(2)，固定板(2)上固定设置支撑座(19)，支撑座(19)上设置有直线导轨(16)，直线导轨(16)上安装有升降座(18)，升降座(18)与升降机构连接实现上下升降，升降座(18)上设置有第二电机(3)，第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(15)，锑化镓单晶片(14)安装在真空吸盘(15)上。
2.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，升降机构包括滚珠丝杆(17)和第三电机(1)，滚珠丝杆(17)与第三电机(1)的输出轴连接，滚珠丝杆(17)的螺母与升降座(18)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，固定板(2)通过螺栓连接在底座(4)上，且固定板(2)在底座(4)上左右位置可以进行调节。
4.根据权利要求1所述的一种锑化镓单晶片侧边打磨设备，其特征在于，第一电机(10)和真空吸盘(15)的顶部设置有保护罩(20)。
CN201811392803.0A 2018-11-21 2018-11-21 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备 Pending CN109531297A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811392803.0A CN109531297A (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811392803.0A CN109531297A (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109531297A true CN109531297A (zh) 2019-03-29

Family

ID=65849197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811392803.0A Pending CN109531297A (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109531297A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016013615A (ja) * 2010-03-25 2016-01-28 株式会社東京精密 仕上研削装置および仕上研削方法
CN106735507A (zh) * 2017-02-09 2017-05-31 朱华 一种可调节式铝材切割设备
CN206605324U (zh) * 2017-03-23 2017-11-03 宜昌南玻显示器件有限公司 Ag玻璃抛光装置
CN207087543U (zh) * 2017-05-15 2018-03-13 江山市恒宏门业有限公司 一种木门制造用打磨装置
CN107838771A (zh) * 2017-12-01 2018-03-27 成都益睿信科技有限公司 一种适用范围广的光学玻璃磨边装置
CN207358771U (zh) * 2017-09-01 2018-05-15 南通晶鑫光学玻璃有限公司 一种耐辐射玻璃打磨装置
CN108274375A (zh) * 2017-12-29 2018-07-13 合肥信比欣新材料有限公司 一种收集灰尘的环保材料生产用减震抛光机

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016013615A (ja) * 2010-03-25 2016-01-28 株式会社東京精密 仕上研削装置および仕上研削方法
CN106735507A (zh) * 2017-02-09 2017-05-31 朱华 一种可调节式铝材切割设备
CN206605324U (zh) * 2017-03-23 2017-11-03 宜昌南玻显示器件有限公司 Ag玻璃抛光装置
CN207087543U (zh) * 2017-05-15 2018-03-13 江山市恒宏门业有限公司 一种木门制造用打磨装置
CN207358771U (zh) * 2017-09-01 2018-05-15 南通晶鑫光学玻璃有限公司 一种耐辐射玻璃打磨装置
CN107838771A (zh) * 2017-12-01 2018-03-27 成都益睿信科技有限公司 一种适用范围广的光学玻璃磨边装置
CN108274375A (zh) * 2017-12-29 2018-07-13 合肥信比欣新材料有限公司 一种收集灰尘的环保材料生产用减震抛光机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109514377A (zh) 一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备
JP4405246B2 (ja) 半導体チップの製造方法
US9214353B2 (en) Systems and methods for laser splitting and device layer transfer
CN106271923A (zh) 一种板材打磨装置
CN109531308A (zh) 一种锑化镓单晶片全面打磨设备
CN101862859A (zh) 五轴联动全自动切割机
CN109531297A (zh) 一种锑化镓单晶片侧边打磨设备
CN109434591A (zh) 一种锑化镓单晶片上下表面打磨设备
CN109366322A (zh) 一种侧面切削量可调的锑化镓单晶片全面打磨设备
CN108714978A (zh) 一种晶硅切棱磨倒一体机
CN110788739A (zh) 一种锑化铟单晶片的抛光方法
CN109290887A (zh) 一种切削量可调的锑化镓单晶片侧边打磨设备
CN109500674A (zh) 一种带除尘功能且切削量可调的锑化镓单晶片打磨设备
CN109514378A (zh) 一种带加强固定功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备
CN109531332A (zh) 一种用于锑化镓单晶片侧边打磨的快速夹装设备
CN215968017U (zh) 一种防尘式晶圆加工切面打磨装置
CN216066382U (zh) Cnc双头刻楦机
CN109434687A (zh) 一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块
CN205310542U (zh) 超硬材料开方机的整体结构
CN207216131U (zh) 用于全自动扫描的光路横置数字显微镜结构
CN210061618U (zh) 一种用于玻璃板的分切打磨装置
CN105751389B (zh) 超硬材料开方机的整体结构
CN202845379U (zh) 一种炭毡及石墨毡用的自动吸尘装置
CN206975276U (zh) 一种光学耦合结构
CN219686167U (zh) 一种用于划片机的裂片平台

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190329

RJ01 Rejection of invention patent application after publication