CN109434687A - 一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块。包括气缸、固定法兰、连接轴、轴承、圆管、端板、导向杆、弹簧和顶板；其中固定法兰与气缸的伸出端连接，连接轴设置在固定法兰的底部，轴承设置在圆管内且与连接轴末端连接，端板固定在圆管底部，导向杆的一端设置在端板中的导向孔内，导向杆的另一端与顶板固定连接，导向杆在导向孔内设置有限位环，弹簧套设在端板和顶板之间的导向杆上。本发明结构简单，自动化程度高，能够辅助对5‑15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和拆卸，提高夹装的稳定性。

Description

一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块
技术领域
本发明涉及一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块。
背景技术
锑化镓是一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,对它的研究远不如其他半导体材料(如GaAs,InP等)那样深入。但近些年来这种材料越来越引起人们兴趣,这主要是光纤通信技术的发展,对新器件的潜在需求而引起的。在光通信中为了减少传输中的损耗,总是尽可能采用较长波长的光,最早使用0.8μm波长的光,现在使用1.55μm波长的光。据估计下一代光纤通信将采用更长波长的光。研究表明某些非硅材料光纤在波长为(2～4)μm的范围时传输损耗更小。在所有Ⅲ-Ⅴ族材料中,锑化镓作为衬底材料引起了更多的注意,因为它可以与各种Ⅲ-Ⅴ族材料的三元、四元固熔体合金的晶格常数相匹配,这些材料光谱的范围在(0.8～4.0)μm之间,正好符合要求。另外,利用锑化镓基材料超晶格的带间吸收也可以制造更长波长(8～14)μm范围的探测器。
现有仪器中对锑化镓单晶片表面光滑度越来越讲究，现有对于锑化镓单晶片的夹装普遍存在夹装工序负责，夹装时容易对锑化镓单晶片表面造成损伤。
发明内容
本发明的目的是针对以上问题，提供一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，结构简单，自动化程度高，能够辅助对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和拆卸，提高夹装的稳定性。
为实现以上目的，本发明采用的技术方案是：它包括气缸、固定法兰、连接轴、轴承、圆管、端板、导向杆、弹簧和顶板；其中固定法兰与气缸的伸出端连接，连接轴设置在固定法兰的底部，轴承设置在圆管内且与连接轴末端连接，端板固定在圆管底部，导向杆的一端设置在端板中的导向孔内，导向杆的另一端与顶板固定连接，导向杆在导向孔内设置有限位环，弹簧套设在端板和顶板之间的导向杆上。
进一步的，端板与圆管之间通过沉头螺钉连接。
进一步的，顶板的底部具有防滑层。
进一步的，顶板为橡胶材料。
本发明的有益效果：本发明提供了一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，结构简单，自动化程度高，能够辅助对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和拆卸，提高夹装的稳定性。
本发明对锑化镓单晶片夹装时，降低了对锑化镓单晶片的损伤，提高了产品的质量。
本发明中气缸带动顶板向下运动，顶板对锑化镓单晶片上端进行压紧防止锑化镓单晶片在打磨时发生位移，加强了对锑化镓单晶片的固定，从而实现5-15mm厚度锑化镓单晶片的夹装，当打磨盘对锑化镓单晶片侧面进行打磨时，顶板与锑化镓单晶片一起旋转，弹簧的伸缩使顶板对锑化镓单晶片施压时具有缓冲力，对锑化镓单晶片进行了保护。
附图说明
图1为本发明的安装状态时的结构示意图。
图2为本发明的结构示意图。
图中所述文字标注表示为：1、电机；13、伸缩压紧模块；14、支架；15、支撑座；16、锑化镓单晶片；17、真空吸盘；18、底座；1301、气缸；1302、轴承；1303、圆管；1304、端板；1305、顶板；1306、弹簧；1307、导向杆；1308、连接轴；1309、固定法兰；1310、导向孔；1311、限位环。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
如图1-图2所示，本发明的具体结构为：它包括底座18、真空吸盘17和伸缩压紧模块13，真空吸盘17安装在电机1的输出轴上，伸缩压紧模块13固定在支架14上，支架14设置在支撑座15的上端，锑化镓单晶片16安装在真空吸盘17上，伸缩压紧模块13包括气缸1301、固定法兰1309、连接轴1308、轴承1302、圆管1303、端板1304、导向杆1307、弹簧1306和顶板1305；其中固定法兰1309与气缸1301的伸出端连接，连接轴1308设置在固定法兰1309的底部，轴承1302设置在圆管1303内且与连接轴1308末端连接，端板1304固定在圆管1303底部，导向杆1307的一端设置在端板1304中的导向孔1310内，导向杆1307的另一端与顶板1305固定连接，导向杆1307在导向孔1310内设置有限位环1311，弹簧1306套设在端板1304和顶板1305之间的导向杆1307上。
优选的，端板1304与圆管1303之间通过沉头螺钉连接。
优选的，顶板1305的底部具有防滑层。
优选的，顶板1305为橡胶材料。
本发明与现有技术相比，具有以下方面的优势：
本发明结构简单，自动化程度高，能够对5-15mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和拆卸，提高了生产效率。
本发明对锑化镓单晶片夹装时，降低了对锑化镓单晶片的损伤，提高了产品的质量。
本发明中气缸带动顶板向下运动，顶板对锑化镓单晶片上端进行压紧防止锑化镓单晶片在打磨时发生位移，加强了对锑化镓单晶片的固定，从而实现5-15mm厚度锑化镓单晶片的夹装，当打磨盘对锑化镓单晶片侧面进行打磨时，顶板与锑化镓单晶片一起旋转，弹簧的伸缩使顶板对锑化镓单晶片施压时具有缓冲力，对锑化镓单晶片进行了保护。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，其特征在于，它包括气缸(1301)、固定法兰(1309)、连接轴(1308)、轴承(1302)、圆管(1303)、端板(1304)、导向杆(1307)、弹簧(1306)和顶板(1305)；其中固定法兰(1309)与气缸(1301)的伸出端连接，连接轴(1308)设置在固定法兰(1309)的底部，轴承(1302)设置在圆管(1303)内且与连接轴(1308)末端连接，端板(1304)固定在圆管(1303)底部，导向杆(1307)的一端设置在端板(1304)中的导向孔(1310)内，导向杆(1307)的另一端与顶板(1305)固定连接，导向杆(1307)在导向孔(1310)内设置有限位环(1311)，弹簧(1306)套设在端板(1304)和顶板(1305)之间的导向杆(1307)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，其特征在于，端板(1304)与圆管(1303)之间通过沉头螺钉连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，其特征在于，顶板(1305)的底部具有防滑层。
4.根据权利要求3所述的一种用于锑化镓单晶片夹装设备中的伸缩压紧模块，其特征在于，顶板(1305)为橡胶材料。
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Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06620U (ja) * 1992-06-04 1994-01-11 日本電子機器株式会社 エアフロメータのバルブ組付装置
US20100112909A1 (en) * 2008-02-22 2010-05-06 Nihon Micro Coating Co., Ltd. Method of and apparatus for abrading outer peripheral parts of a semiconductor wafer
CN104028656A (zh) * 2014-04-29 2014-09-10 苏州亿技佳机电科技有限公司 校正压紧组件
CN203936728U (zh) * 2014-07-16 2014-11-12 王和能 砖坯四面磨削装置
CN204949417U (zh) * 2015-09-02 2016-01-13 腾冲县和顺寸师傅食品有限责任公司 一种腌菜装罐机
JP2017080851A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 川崎重工業株式会社 研磨装置、押圧ユニット、及び研磨方法
CN107127656A (zh) * 2017-05-18 2017-09-05 安徽朗迪叶轮机械有限公司 一种便于对风机叶片固定打磨的装置
CN107671624A (zh) * 2017-10-23 2018-02-09 海盐嘉禾五金制品厂 一种模具磨边装置
CN207058281U (zh) * 2017-07-01 2018-03-02 福建省石狮市中兴科技有限公司 一种军用不锈钢保温水壶焊缝自动打磨设备
CN107983230A (zh) * 2017-11-15 2018-05-04 钟清 一种液体化工材料搅拌装置
CN207415027U (zh) * 2017-09-23 2018-05-29 秦林勇 市政用液压泥炮衬板活塞打磨工具
CN108527059A (zh) * 2018-06-11 2018-09-14 苏州航泰蜂窝科技有限公司 圆形板周缘打磨装置及利用该打磨装置的打磨方法
CN207915261U (zh) * 2018-03-08 2018-09-28 湛江中澳木业有限公司 一种木材抛光辅助转动装置

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06620U (ja) * 1992-06-04 1994-01-11 日本電子機器株式会社 エアフロメータのバルブ組付装置
US20100112909A1 (en) * 2008-02-22 2010-05-06 Nihon Micro Coating Co., Ltd. Method of and apparatus for abrading outer peripheral parts of a semiconductor wafer
CN104028656A (zh) * 2014-04-29 2014-09-10 苏州亿技佳机电科技有限公司 校正压紧组件
CN203936728U (zh) * 2014-07-16 2014-11-12 王和能 砖坯四面磨削装置
CN204949417U (zh) * 2015-09-02 2016-01-13 腾冲县和顺寸师傅食品有限责任公司 一种腌菜装罐机
JP2017080851A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 川崎重工業株式会社 研磨装置、押圧ユニット、及び研磨方法
CN107127656A (zh) * 2017-05-18 2017-09-05 安徽朗迪叶轮机械有限公司 一种便于对风机叶片固定打磨的装置
CN207058281U (zh) * 2017-07-01 2018-03-02 福建省石狮市中兴科技有限公司 一种军用不锈钢保温水壶焊缝自动打磨设备
CN207415027U (zh) * 2017-09-23 2018-05-29 秦林勇 市政用液压泥炮衬板活塞打磨工具
CN107671624A (zh) * 2017-10-23 2018-02-09 海盐嘉禾五金制品厂 一种模具磨边装置
CN107983230A (zh) * 2017-11-15 2018-05-04 钟清 一种液体化工材料搅拌装置
CN207915261U (zh) * 2018-03-08 2018-09-28 湛江中澳木业有限公司 一种木材抛光辅助转动装置
CN108527059A (zh) * 2018-06-11 2018-09-14 苏州航泰蜂窝科技有限公司 圆形板周缘打磨装置及利用该打磨装置的打磨方法

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