JP2017075090A - 改善された清浄化性を示す引掻抵抗の被覆、改善された清浄化性を示す耐引掻性の被覆を備えた基材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
先行技術からは、耐引掻性を高めるための多様な被覆は公知である。このように、特許出願明細書の独国特許出願公開102011081234号(DE 102 011 081 234 A1)は、ガラスセラミック基材上の2種の異なる材料相を含む硬質物質被覆を記載している。しかしながら、この被覆の熱膨張係数と基材の熱膨張係数とは互いに最大で20%も相違することが欠点である。更に、ガラスセラミックは極めて低い熱膨張係数を示すために、このことが適切な被覆の数を著しく制限する。このように、例えば窒化物又は酸化物、例えば窒化ホウ素を基礎とする硬質物質層は極めて大きな熱膨張係数を示すため、これらはガラスセラミック基材を被覆するためには適していない。
本発明の課題は、高い耐引掻性、摩耗負荷及び研磨負荷に対して、並びに環境負荷に対して高められた耐久性の他に、改善された清浄化性を示す被覆並びに相応して被覆された基材を提供することである。本発明の別の課題は、相応する製造方法を提供することにある。
本発明による被覆は、窒化アルミニウム(AlN)を基礎とする透明で高屈折性の硬質物質層を含み、つまり硬質物質層は主成分としてAlNを含む。本発明の場合に、硬質物質層中のAlNの割合は、50質量%より多い。
− 浅い入射角の下での相応する層のXRDスペクトルの撮影、つまり薄膜X線回折(GIXRD)
− 34°〜37°の範囲内での相応する(001)反射の最大強度I(001)の決定
− 32°〜34°の範囲内での(100)反射の最大強度I(100)の決定
− 37°〜39°の範囲内での(101)反射の最大強度I(101)の決定
(001)優先方位x(001)とy(001)を示す結晶構造の割合を次のように算出する:
a) 金属製のアルミニウム含有ターゲットを備えたスパッタ装置中に基材を準備する
b) 反応ガス雰囲気中で、ターゲット面積当たり8〜1000W/cm2、好ましくは10〜100W/cm2の範囲内の出力で、スパッタされた粒子を放出させる。
次に、本発明を、図面及び実施例を用いて詳細に説明する。
実施例8は、非晶質AlN硬質物質層である。
Claims (29)
- 改善された清浄化性を示す、耐引掻性を高めるための被覆を備えた基材において、前記被覆は、少なくとも1つの高屈折性の透明な硬質物質層を含み、前記硬質物質層は窒化アルミニウムを含み、かつ前記被覆は水に対して>75°の接触角を示す、被覆を備えた基材。
- 前記硬質物質層は、主に(001)優先方位を示す六方晶結晶構造を示す結晶質の窒化アルミニウムを含む、請求項1に記載の基材。
- 前記被覆のXRD測定により決定された(001)優先方位x(001)を示す結晶構造の割合
- 前記被覆は、<1.3nm、好ましくは<1.2nm、特に好ましくは<1nmの平均粗さ及び/又は<2nm、好ましくは<1.5nm、特に好ましくは<1.3nmの粗さRmsを示す、請求項1から3までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記被覆は、<0.3、好ましくは<0.24、特に好ましくは<0.2の静止摩擦係数及び/又は<0.2、好ましくは<0.15、特に好ましくは<0.12のすべり摩擦係数を示す、請求項1から4までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記被覆は、水に対して≧80°、好ましくは≧85°の接触角、エチレングリコールに対して≧70°、好ましくは≧75°の接触角及び/又はジヨードメタンに対して≧55°、好ましくは≧60°の接触角を示す、請求項1から5までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記被覆は、<50mN/m、好ましくは<40mN/m、特に好ましくは<30mN/mの極性成分の及び/又は分散成分の表面エネルギーを示す、請求項1から6までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記被覆の弾性率は、10mNの試験荷重で、80〜250GPa、好ましくは110〜200GPaであり、及び/又は硬度の弾性率に対する比率は、少なくとも0.08、好ましくは少なくとも0.1、特に好ましくは>0.1である、請求項1から7までのいずれか1項に記載の基材。
- 平均結晶サイズは、最大で25nm、好ましくは最大で15nm、特に好ましくは5〜15nmである、請求項2から8までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記硬質物質層の窒化アルミニウムは、ケイ素、ホウ素、ジルコニウム、チタン、ニッケル、クロム又は炭素の元素の群から選択される1種以上の窒化物、炭化物及び/又は炭窒化物でドープされている、請求項1から9までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記硬質物質層中のアルミニウム含有率は、ドーパント材料に対して、50質量%より大、好ましくは60質量%より大、特に好ましくは70質量%より大である、請求項1から10までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記硬質物質層中の酸素の割合は、最大で10原子%、好ましくは5原子%未満、特に好ましくは2原子%未満である、請求項1から11までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記硬質物質層の厚さは、1〜2000nm、好ましくは1〜100nm、特に好ましくは≦50nmである、請求項1から12までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記基材は、ガラスセラミック、好ましくはLASガラスセラミック、ガラス、好ましくはサファイアガラス、ホウケイ酸塩ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、石灰ソーダガラス、合成石英ガラス、リチウムアルミノケイ酸塩ガラス、光学ガラス又は光学用途の結晶である、請求項1から13までのいずれか1項に記載の基材。
- 前記基材は、ガラスセラミック、好ましくは2×10-6K-1未満の熱膨張係数α20-300を示すガラスセラミックである、請求項14に記載の基材。
- 前記基材は、少なくとも部分的に装飾された領域を含み、かつ前記装飾された領域は、前記基材と前記被覆との間に配置されている、請求項1から15までのいずれか1項に記載の基材。
- 次の
a) 金属製のアルミニウム含有ターゲットを備えたスパッタ装置中に基材を準備する工程
b) 最大2×10-2mbarのプロセス圧力で、窒素含有の反応ガス雰囲気中で、ターゲット面積当たり8〜1000W/cm2、好ましくは10〜100W/cm2の範囲内の出力密度で、スパッタされた粒子を放出させる工程
を含む、基材上に結晶質の窒化アルミニウム含有の硬質物質層を備えた耐引掻性の被覆の製造方法。 - スパッタリング法として、マグネトロンスパッタリング法又はHiPIMS(高出力インパルスマグネトロンスパッタリング)法を使用する、請求項17に記載の方法。
- ターゲットと基材との間で負電圧又は交番電圧を保持する、請求項17又は18に記載の方法。
- 前記粒子を<100℃、好ましくは20〜100℃の範囲内の堆積温度で堆積させる、請求項17から19までのいずれか1項に記載の方法。
- 反応ガスとして、窒素、アンモニア、アセチレン及び/又はこれらの混合物を使用し、かつ前記反応ガスは好ましくは少なくとも99.999%の純度を示す、請求項17から20までのいずれか1項に記載の方法。
- 前記被覆を、イオン衝撃の支援で、好ましくはイオン放射源からのイオン衝撃で及び/又は基材に電圧を印加することにより行う、請求項17から21までのいずれか1項に記載の方法。
- 工程a)において、基材として、ガラス、好ましくはサファイアガラス、ホウケイ酸塩ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、石灰ソーダガラス、合成石英ガラス、リチウムアルミノケイ酸塩ガラス、光学ガラス、光学用途の結晶又はガラスセラミックを準備する、請求項17から21までのいずれか1項に記載の方法。
- ターゲットとして、ケイ素、ホウ素、ジルコニウム、チタン、ニッケル、クロム又は炭素の元素の少なくとも1種によりドーピングされたアルミニウムターゲットを使用する、請求項17から23までのいずれか1項に記載の方法。
- 前記ターゲットは、50質量%より大、好ましくは60質量%より大、特に好ましくは70質量%より大のアルミニウム含有率を示す、請求項24に記載の方法。
- 前記ターゲットは、少なくとも99.5%、好ましくは少なくとも99.9%の純度を示す、請求項17から25までのいずれか1項に記載の方法。
- 工程a)で準備された前記基材は、装飾層及び/又は定着材層を含む、請求項17から26までのいずれか1項に記載の方法。
- 前記定着材層は、アルミニウム、ケイ素、ホウ素、ジルコニウム、チタン、ニッケル、クロム又は炭素の元素の群から選択された窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び/又は酸窒化物からなる層である、請求項27に記載の方法。
- 光学部材、調理面、ディスプレー又は乗り物用覗き窓板、時計用ガラス、炉用覗き窓板、家事用品中のガラス部材又はガラスセラミック部材として、又はディスプレーとして、例えばタブレットPC又は携帯電話用のディスプレーとして、特にタッチスクリーンディスプレーとしての、請求項1から16までのいずれか1項に記載の被覆された基材の使用。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021187077A1 (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | 日東電工株式会社 | 窒化物積層体、及び窒化物積層体の製造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102016216442B4 (de) | 2016-08-31 | 2018-11-29 | Schott Ag | Beschichtetes Substrat mit einem reibwertoptimierten Dekor auf Glasbasis, Verfahren zur Herstellung eines solchen und Verwendung des Dekors |
CN114436540A (zh) | 2020-11-06 | 2022-05-06 | 惠而浦欧洲中东及非洲股份公司 | 用于玻璃陶瓷炉灶面的耐刮擦涂层 |
CN116121702A (zh) * | 2023-03-29 | 2023-05-16 | 纳狮新材料有限公司杭州分公司 | 一种用于增强高温耐磨性的TiSiNiYN涂层 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04349127A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-03 | Alps Electric Co Ltd | 成形金型の製造方法 |
JPH07237998A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム薄膜基板および製造法 |
JP2004202336A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | マイクロチャンネルチップ |
JP2007248562A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Shincron:Kk | 光学物品およびその製造方法 |
JP2013043827A (ja) * | 2011-08-19 | 2013-03-04 | Schott Ag | 硬質材料層を少なくとも部分的に備えているガラスセラミック |
WO2014135490A1 (de) * | 2013-03-06 | 2014-09-12 | Schott Ag | Kratzfester glasgegenstand |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04349127A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-03 | Alps Electric Co Ltd | 成形金型の製造方法 |
JPH07237998A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム薄膜基板および製造法 |
JP2004202336A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | マイクロチャンネルチップ |
JP2007248562A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Shincron:Kk | 光学物品およびその製造方法 |
JP2013043827A (ja) * | 2011-08-19 | 2013-03-04 | Schott Ag | 硬質材料層を少なくとも部分的に備えているガラスセラミック |
WO2014135490A1 (de) * | 2013-03-06 | 2014-09-12 | Schott Ag | Kratzfester glasgegenstand |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
K. AIT AISSA ET AL.: "Comparison of the structural properties and residual stress of AlN films deposited by dc magnetron s", THIN SOLID FILMS, vol. 550, JPN6020036532, 21 November 2013 (2013-11-21), pages 264 - 267, ISSN: 0004668451 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021187077A1 (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | 日東電工株式会社 | 窒化物積層体、及び窒化物積層体の製造方法 |
Also Published As
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