JP2017071835A - 窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 - Google Patents
窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017071835A JP2017071835A JP2015200253A JP2015200253A JP2017071835A JP 2017071835 A JP2017071835 A JP 2017071835A JP 2015200253 A JP2015200253 A JP 2015200253A JP 2015200253 A JP2015200253 A JP 2015200253A JP 2017071835 A JP2017071835 A JP 2017071835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- powder
- nitride film
- gas
- spraying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
Description
2 ガス供給手段
21〜24 供給口
3 点火手段
4 粉体供給手段
5 溶射室
8 基材
Claims (6)
- 一端が閉塞され他端が開口された燃焼筒と、その燃焼筒の閉塞端部に燃料ガス、酸素ガス及び不活性ガスを供給するガス供給手段と、供給された燃料ガスと酸素ガスの混合気に点火を行う点火手段と、その点火手段の下流に溶射用の粉体を供給する粉体供給手段とを有してバルブ開放モードで使用される爆発溶射装置を用いて、基材に窒化アルミニウム皮膜を形成する皮膜製造方法であって、
前記供給される粉体は、平均粒子径が1μm〜5μmの窒化アルミニウム粒子からなる平均粒径が20μm〜60μmの造粒粉である皮膜製造方法。 - 粉体供給手段により粉体が燃焼筒に供給される供給口から、その燃焼筒の開口端までのノズル長さは150mm〜500mmであることを特徴とする請求項1に記載の皮膜製造方法。
- 基材にニッケル-アルミニウム合金、ニッケル-クロム合金、アルミニウム合金又は酸化アルミニウムからなる下地処理をした後、窒化アルミニウム皮膜を形成する請求項1又は2に記載の皮膜製造方法。
- 請求項1〜3の何れかの方法により形成される窒化アルミニウム皮膜であって、窒化アルミニウム粒子からなる造粒粉がほとんど崩壊し、その素材窒化アルミニウム粒子からなる島状粒子が点在する隙間に、前記素材窒化アルミニウム粒子に基づく微細な崩壊粒子が集積した組織を有する窒化アルミニウム皮膜。
- 窒化アルミニウム残存率が80%〜98%である請求項4に記載の窒化アルミニウム皮膜。
- 表面抵抗率が108Ω/sq〜1015Ω/sqである請求項4又は5に記載の窒化アルミニウム皮膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015200253A JP6781891B2 (ja) | 2015-10-08 | 2015-10-08 | 窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015200253A JP6781891B2 (ja) | 2015-10-08 | 2015-10-08 | 窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017071835A true JP2017071835A (ja) | 2017-04-13 |
JP6781891B2 JP6781891B2 (ja) | 2020-11-11 |
Family
ID=58538111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015200253A Active JP6781891B2 (ja) | 2015-10-08 | 2015-10-08 | 窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6781891B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210039464A (ko) | 2018-08-27 | 2021-04-09 | 도카로 가부시키가이샤 | 용사피막의 형성방법 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149364A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Babcock Hitachi Kk | 高エネルギ−ガス溶射方法 |
JPH02131159A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-18 | Babcock Hitachi Kk | 爆発溶射装置 |
JP2006303158A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Tosoh Corp | 真空装置用部品 |
US20090208667A1 (en) * | 2006-03-20 | 2009-08-20 | Tocalo Co. Ltd | Method for manufacturing ceramic covering member for semiconductor processing apparatus |
JP2009235558A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-10-15 | Tosoh Corp | 窒化アルミニウム溶射部材及びその製造方法 |
WO2010027073A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置用部品及び半導体製造装置 |
JP2012012645A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Hiroshima Univ | パルスデトネーション溶射装置及び溶射方法 |
JP2012188677A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Fujimi Inc | 溶射用粉末 |
JP2014198898A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-10-23 | 群馬県 | 皮膜付き基材およびその製造方法 |
-
2015
- 2015-10-08 JP JP2015200253A patent/JP6781891B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149364A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Babcock Hitachi Kk | 高エネルギ−ガス溶射方法 |
JPH02131159A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-18 | Babcock Hitachi Kk | 爆発溶射装置 |
JP2006303158A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Tosoh Corp | 真空装置用部品 |
US20090208667A1 (en) * | 2006-03-20 | 2009-08-20 | Tocalo Co. Ltd | Method for manufacturing ceramic covering member for semiconductor processing apparatus |
JP2009235558A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-10-15 | Tosoh Corp | 窒化アルミニウム溶射部材及びその製造方法 |
WO2010027073A1 (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-11 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置用部品及び半導体製造装置 |
JP2012012645A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Hiroshima Univ | パルスデトネーション溶射装置及び溶射方法 |
JP2012188677A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-10-04 | Fujimi Inc | 溶射用粉末 |
JP2014198898A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-10-23 | 群馬県 | 皮膜付き基材およびその製造方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
"高周波デトネーション溶射による窒化アルミニウム皮膜の作製", 広島県立総合技術研究所東部工業技術センター研究報告, JPN7019002137, 29 July 2016 (2016-07-29), JP, ISSN: 0004073793 * |
KRISHNA L. RAMA, ET AL.: ""Thermal spray coating of aluminum nitride utilizing the detonation spray technique"", J. MATER. RES, vol. 17, no. 10, JPN6019025662, October 2002 (2002-10-01), pages 2514 - 2523, ISSN: 0004073792 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210039464A (ko) | 2018-08-27 | 2021-04-09 | 도카로 가부시키가이샤 | 용사피막의 형성방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6781891B2 (ja) | 2020-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Herman et al. | Thermal spray: current status and future trends | |
JP6768513B2 (ja) | 遮熱被覆および被覆方法 | |
KR20160119187A (ko) | 내플라즈마 부품 및 내플라즈마 부품의 제조 방법 및 내플라즈마 부품의 제조에 사용하는 막 퇴적 장치 | |
CN103924185A (zh) | 用于具有改进的侵蚀和冲击性质的超低热导率热阻挡涂层的新结构 | |
TWI733897B (zh) | 熔射用材料 | |
CN108206100A (zh) | 用于电气装置的触点组件以及其制作方法 | |
JP5073851B2 (ja) | 微粉末セラミックス衝撃焼結被覆法 | |
CN106011721B (zh) | 一种采用热喷涂法制备多层涂层的方法 | |
KR102405679B1 (ko) | 용사용 재료 | |
KR102466649B1 (ko) | 용사피막의 형성방법 | |
JP6781891B2 (ja) | 窒化アルミニウムの皮膜製造方法及びその方法により製造される窒化アルミニウム皮膜 | |
JP5576540B2 (ja) | 微粉末セラミックス衝撃焼結被覆法 | |
JP6999117B2 (ja) | アルミニウム回路基板の製造方法 | |
KR101769750B1 (ko) | 경사기공 구조와 경사화 특성을 갖는 열차폐 코팅층의 동시제조 방법 | |
JP2004143591A (ja) | 窒化アルミニウム(AlN)基板の製造方法 | |
CN110158018B (zh) | 一种Al/AlN复合涂层及其制备方法 | |
KR102476810B1 (ko) | 금속 및 세라믹 복합재 형성 방법 | |
US20090258214A1 (en) | Vapor-deposited coating and thermally stressable component having such a coating, and also a process and apparatus for producing such a coating | |
US20220049340A1 (en) | Thermal spraying method and apparatus for producing environmental barrier coatings | |
KR102608155B1 (ko) | 극초고온세라믹 코팅층의 형성 방법 및 그로부터 제조되는 극초고온세라믹 코팅층 및 부품 | |
RU2693283C1 (ru) | Способ получения эрозионно-стойких теплозащитных покрытий | |
Wang et al. | Mullite coatings produced by APS and SPS: Effect of powder morphology and spray processing on the microstructure, crystallinity and mechanical properties | |
JP2013221169A (ja) | 溶射部材、およびその製造方法 | |
JPS63315162A (ja) | 溶射ノズル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20151106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20181005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200915 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6781891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |