JP2017064583A - エレクトロスプレー装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 薄膜
3 封止膜形成装置
4 封止膜
6 減圧搬送路
10 ノズル
11 電源部
20 液供給部
21 シリンジ
22 プランジャ
23 シャフト
24 シャフト駆動部
30 ステージ
40 チャンバー部
41 外壁部
42 減圧手段
43 シャッター
44 貫通穴
51 チャンバー部
52 電極ユニット
53 プラズマガス供給源
54 原料ガス供給源
55 高周波電源
56 ステージ
57 減圧手段
61 減圧手段
62 ロボットハンド
90 エレクトロスプレー装置
91 ノズル
92 電源部
93 液供給部
94 ステージ
95 薄膜
W 基材
Claims (4)
- 溶液材料を噴出させるノズルと、
前記ノズルに電圧を印加する電源部と、
シリンジおよびプランジャを有して溶液材料を貯留し、プランジャが押し込まれることにより前記ノズルへ溶液材料を供給する液供給部と、
前記ノズルおよび前記液供給部を内部に密閉するチャンバー部と、
前記チャンバー部内の密閉空間を減圧させる減圧手段と、
前記プランジャに接続されたシャフトと、
前記シャフトを前記プランジャの移動方向に押し引きするシャフト駆動部と、
を備え、前記シャフトは前記チャンバー部を貫通し、前記シャフト駆動部は前記チャンバー部の外側に配置されていることを特徴とする、エレクトロスプレー装置。 - 前記液供給部が前記ノズルへ送り出す溶液材料の流量は、10〜20um/minであることを特徴とする、請求項1に記載のエレクトロスプレー装置。
- ドライプロセス装置の手前の工程で用いられることを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載のエレクトロスプレー装置。
- 減圧環境下で行われる2つの工程の間で用いられることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のエレクトロスプレー装置。
Priority Applications (1)
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JP2015189987A JP2017064583A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | エレクトロスプレー装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family
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Family Applications (1)
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-
2015
- 2015-09-28 JP JP2015189987A patent/JP2017064583A/ja active Pending
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