JP2017059567A - 熱処理炉及び半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記炉本体は、処理室と、上記処理室を加熱する加熱源と、上記処理室へプロセスガスを導入するガス導入ラインとを有する。
上記複数のトレイは、凹凸パターンを含み炭化珪素層からなる第1の表面を有する基板をそれぞれ支持する。
上記支持部材は、上記処理室に設置され、上記第1の表面と垂直な方向に10mm以上の第1の間隙をあけて、かつ、上記複数のトレイ各々の周縁部と上記処理室の内壁との間に上記第1の間隙よりも大きい第2の間隙をあけて、上記複数のトレイを支持する。
<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る熱処理炉1を示す図である。熱処理炉1は、複数の基板Sに対して一括に熱処理を施すことができるバッチ炉であり、炉本体2と、複数のトレイTと、支持部材3とを備える。
なお、各図において、X軸、Y軸、及びZ軸は相互に直交する3軸方向を示している。
2…炉本体
3…支持部材
4…処理室
5…加熱源
S…複数の基板
T…複数のトレイ
V1…第1の間隙
V2…第2の間隙
Claims (6)
- 処理室と、前記処理室を加熱する加熱源と、前記処理室へプロセスガスを導入するガス導入ラインとを有する炉本体と、
凹凸パターンを含み炭化珪素層からなる第1の表面を有する基板をそれぞれ支持する複数のトレイと、
前記処理室に設置され、前記第1の表面と垂直な方向に5mm以上の第1の間隙をあけて、かつ、前記複数のトレイ各々の周縁部と前記処理室の内壁との間に前記第1の間隙よりも大きい第2の間隙をあけて、前記複数のトレイを支持する支持部材と
を具備する熱処理炉。 - 請求項1に記載の熱処理炉であって、
前記支持部材は、前記複数のトレイ各々の周縁部を部分的に支持する複数の支持柱を有する
熱処理炉。 - 請求項1に記載の熱処理炉であって、
前記第1の間隙は10mm以上である
熱処理炉。 - 基板の表面を形成する炭化珪素層にエッチング処理により凹凸パターンを形成し、
エッチング済みの前記基板を複数のトレイ上にそれぞれ配置し、
熱処理炉の処理室に、前記複数のトレイを、前記基板と垂直な方向に5mm以上の第1の間隙をあけて、かつ、前記複数のトレイ各々の周縁部と前記処理室の内壁との間に前記第1の間隙よりも大きい第2の間隙をあけて設置し、
前記処理室内で前記複数のトレイ上の基板を熱処理する
半導体基板の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体基板の製造方法であって、
前記基板は、1500℃以上2000℃以上の温度で熱処理される
半導体基板の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体基板の製造方法であって、
前記第1の間隙は10mm以上である
半導体基板の製造方法。
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