JP2017059556A - レーザ発振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本開示のレーザ発振装置は、レーザ共振器と、パワー検出部と、照射指令部と、差動増幅器と、パワー変化演算器と、可変リミッターと、加算器とを有する。可変リミッターは、加算電圧と変化電圧と指令電圧とに基づいて、補正電圧を出力する。さらに、可変リミッターは、変化電圧の絶対値がリミッター判定値より大きい場合は、指令電圧に基づくリミット電圧および加算電圧のうちの小さい方を補正電圧として出力する。
【選択図】図1
Description
以下、本開示の実施形態について、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態のレーザ発振装置100の構成を示す図である。
20,920 高電圧電源部
30,930 パワー検出部
40,940 照射指令部
50 フィードバック制御部
51,951 差動増幅器
52,952 加算器
53 パワー変化演算器
54 可変リミッター
60,960 加工レーザ光
70,970 検出レーザ光
V1 指令電圧
ΔV1 判定電圧
V2 出力電圧
V3 高電圧
V4 検出電圧
ΔV4 変化電圧
V5 加算電圧
V6 補正電圧
100,900 レーザ発振装置
950 比例制御部
953 フィードバック切替部
954 スイッチ
Claims (3)
- レーザ媒質を励起してレーザ光を出力するレーザ共振器と、
前記レーザ光の一部である検出レーザ光を受光し、前記レーザ光の出力に比例した検出電圧を出力するパワー検出部と、
前記レーザ共振器の出力に比例した指令電圧を出力する照射指令部と、
前記検出電圧と前記指令電圧との差に基づいて、加算電圧を出力する差動増幅器と、
前記検出電圧の単位時間当たりの変化量を示す変化電圧を出力するパワー変化演算器と、
前記加算電圧と前記変化電圧と前記指令電圧とに基づいて、補正電圧を出力する可変リミッターと、
前記補正電圧と前記指令電圧とを加算した出力電圧を出力する加算器と、を備え、
前記可変リミッターは、前記変化電圧の絶対値がリミッター判定値以下の場合は、前記加算電圧を前記補正電圧として出力し、
前記可変リミッターは、前記変化電圧の絶対値が前記リミッター判定値より大きい場合は、前記指令電圧に基づくリミット電圧および前記加算電圧のうちの小さい方を前記補正電圧として出力するレーザ発振装置。 - 前記リミッター判定値は、前記指令電圧のサンプリング周期の間に変化した前記指令電圧の変化量に0.9を乗算し、前記パワー検出部の応答時間で除した値である請求項1に記載のレーザ発振装置。
- 前記リミット電圧は、前記指令電圧に0.1を乗算したものである請求項1または2に記載のレーザ発振装置。
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2015
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