JP2017059363A - Probe pin and inspection jig including the same - Google Patents

Probe pin and inspection jig including the same Download PDF

Info

Publication number
JP2017059363A
JP2017059363A JP2015182126A JP2015182126A JP2017059363A JP 2017059363 A JP2017059363 A JP 2017059363A JP 2015182126 A JP2015182126 A JP 2015182126A JP 2015182126 A JP2015182126 A JP 2015182126A JP 2017059363 A JP2017059363 A JP 2017059363A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
coil spring
probe pin
inspection
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015182126A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6641818B2 (en
Inventor
宏真 寺西
Hirosane Teranishi
宏真 寺西
貴浩 酒井
Takahiro Sakai
貴浩 酒井
近藤　誠
Makoto Kondo
近藤　　誠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP2015182126A priority Critical patent/JP6641818B2/en
Priority to PCT/JP2016/076460 priority patent/WO2017047495A1/en
Priority to TW105129530A priority patent/TW201713953A/en
Publication of JP2017059363A publication Critical patent/JP2017059363A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6641818B2 publication Critical patent/JP6641818B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/70—Coupling devices
    • H01R12/71—Coupling devices for rigid printing circuits or like structures
    • H01R12/72—Coupling devices for rigid printing circuits or like structures coupling with the edge of the rigid printed circuits or like structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe pin which deals with complication and diversification of inspected objects, and to provide an inspection jig including the probe pin.SOLUTION: A probe pin includes: a coil spring (50); a first plunger (30); and a second plunger (40). The first plunger (30) includes: a first insertion part (31) which is inserted into the coil spring (50); and a first contact part (32) continuing into the first insertion part (31) and provided with a first contact (34) which may reciprocate along a center line. The second plunger (40) includes: a second insertion part (41) which is inserted into the coil spring (50) and slidably connected with the first insertion part (31); and a second contact part (42) provided with a second contact (47) which may reciprocate in a direction intersecting with the center line.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、プローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具に関する。   The present invention relates to a probe pin and an inspection jig provided with the probe pin.

従来、プローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、一端にコンタクト部が設けられた同一形状の２つのコンタクトピンと、コイルばねとを備えている。そして、２つのコンタクトピンが、コンタクト部が露出するようにコイルばねの両端からそれぞれ挿入されており、コイルばねの内部で、互いに直交し、かつ、スライド移動可能に結合されている。   Conventionally, there is a probe pin described in Patent Document 1. The probe pin includes two contact pins having the same shape with a contact portion provided at one end, and a coil spring. Two contact pins are respectively inserted from both ends of the coil spring so that the contact portion is exposed, and are coupled to each other so as to be slidable and orthogonal to each other inside the coil spring.

特開２００８−５１６３９８号公報JP 2008-516398 A

ところで、近年、被検査物の複雑化および多様化に伴い、被検査物の端子の配置に制限が課せられる場合が増えている。例えば、被検査物の端子の配置制限により、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合、前記プローブピンでは、両端のコンタクト部が被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できず、導通検査を行えない。   By the way, in recent years, with the complexity and diversification of inspected objects, there are increasing cases where restrictions are imposed on the arrangement of terminals of the inspected objects. For example, when the terminal of the inspection object cannot be arranged in the same straight line as the terminal of the inspection apparatus due to the arrangement limitation of the terminal of the inspection object, the contact portions of both ends of the probe pin of the inspection object and the inspection apparatus The terminal cannot be contacted at the same time and the continuity test cannot be performed.

そこで、本発明は、被検査物の複雑化および多様化に対応できるプローブピン、および、このプローブピンを備えた検査治具を提供することを課題とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a probe pin that can cope with the complexity and diversification of an object to be inspected, and an inspection jig including the probe pin.

本発明のプローブピンは、前記課題を解決すべく、中心線に沿って伸縮するコイルばねと、前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第１プランジャと、前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第２プランジャと、を備え、前記第１プランジャが、前記コイルばねの内部に挿入された第１挿入部と、前記第１挿入部に連続すると共に、前記中心線に沿って往復移動可能な第１接点が設けられた第１接触部と、前記第１接触部の前記第１挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第１支持部と、を有し、前記第２プランジャが、前記コイルばねの内部に挿入され、かつ、前記第１挿入部にスライド移動可能に連結された第２挿入部と、前記中心線と交差する方向に往復移動可能な第２接点が設けられた第２接触部と、前記第２接触部の前記第２挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第２支持部と、を有する。   In order to solve the above-described problem, the probe pin of the present invention includes a coil spring that expands and contracts along a center line, and a conductive first electrode inserted into the coil spring along the center line from one end of the coil spring. And a conductive second plunger inserted into the coil spring along the center line from the other end of the coil spring, and the first plunger is inserted into the coil spring. A first contact portion provided with a first contact portion that is continuous with the first insertion portion and is capable of reciprocating along the center line, and the first contact portion. A first support portion provided at a boundary portion with the insertion portion, extending in a direction intersecting the center line and supporting the coil spring, wherein the second plunger is inserted into the coil spring. And the first insertion A second insertion part that is slidably connected to the part, a second contact part provided with a second contact that can reciprocate in a direction intersecting the center line, and the second insertion of the second contact part And a second support portion that extends in a direction intersecting the center line and supports the coil spring.

本発明のプローブピンによれば、コイルばねの中心線に沿って往復移動可能な第１接点と、コイルばねの中心線と交差する方向に直交する方向に往復移動可能な第２接点とを備えている。このため、例えば、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合であっても、被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できる。   According to the probe pin of the present invention, the first contact that can reciprocate along the center line of the coil spring and the second contact that can reciprocate in a direction orthogonal to the direction intersecting the center line of the coil spring are provided. ing. For this reason, for example, even when the terminal of the inspection object cannot be arranged in the same straight line as the terminal of the inspection apparatus, the terminal of the inspection object and the terminal of the inspection apparatus can be simultaneously contacted.

本発明の実施形態としては、前記第２接触部が、荷重が加えられていない状態である自然状態に復帰するように前記第２接点を付勢する弾性部を有し、この弾性部の弾性力によって、前記第２接点の往復移動が行われる構成としてもよい。   As an embodiment of the present invention, the second contact portion has an elastic portion that urges the second contact so as to return to a natural state in which no load is applied. The second contact may be reciprocated by force.

本実施形態によれば、第２接点の往復移動が弾性部の弾性力により行われる。このため、コイルばね等の他の弾性部材を用いることなく第２接点を往復移動させることができるので、部品点数が少なくなり、製造コストを低減できる。   According to this embodiment, the reciprocating movement of the second contact is performed by the elastic force of the elastic part. For this reason, since the 2nd contact can be reciprocated without using other elastic members, such as a coil spring, the number of parts decreases and manufacturing cost can be reduced.

本発明の検査治具は、被検査物の一対の対向面にそれぞれ設けられた端子と、基板上に設けられた端子との間の導通検査を行うための検査治具であって、前記被検査物が挿入される検査部を有するハウジングと、前記被検査物が前記検査部に挿入されたときに前記被検査物の端子に前記第２接点が接触し、かつ、前記基板上に前記ハウジングを取り付けたときに前記基板の端子に前記第１接点が接触できるように、前記ハウジング内に着脱可能に収納されている、前記プローブピンと、を備える。   An inspection jig according to the present invention is an inspection jig for performing a continuity test between terminals provided on a pair of opposing surfaces of an object to be inspected and terminals provided on a substrate. A housing having an inspection part into which an inspection object is inserted; and the second contact is in contact with a terminal of the inspection object when the inspection object is inserted into the inspection part; The probe pin is detachably housed in the housing so that the first contact can come into contact with the terminal of the substrate when the is attached.

本発明の検査治具によれば、前記プローブピンを備えているので、被検査物の複雑化および多様化に対応できる。   According to the inspection jig of the present invention, since the probe pin is provided, it is possible to cope with the complexity and diversification of the inspection object.

本発明の実施形態としては、前記ハウジングが、前記第１，第２接触部の少なくとも一部が露出するように前記プローブピンを保持する第１ハウジングと、前記第１ハウジングに連結されると共に、前記検査部と、前記検査部に連通し、かつ、前記第２接点が往復移動できるように前記第２接触部を収納する収納部と、が設けられた第２ハウジングと、を有し、前記プローブピンの第２支持部が、前記第１，第２ハウジングにより挟持されている。   As an embodiment of the present invention, the housing is connected to the first housing holding the probe pin so that at least a part of the first and second contact portions are exposed, and the first housing, A second housing provided with the inspection portion, and a storage portion that communicates with the inspection portion and stores the second contact portion so that the second contact can reciprocate, A second support portion of the probe pin is sandwiched between the first and second housings.

本実施形態によれば、プローブピンの第２支持部が第１，第２ハウジングで挟持されるので、プローブピンを容易に着脱できる。このため、複数のプローブピンの１つが壊れたとしても、この壊れたプローブピンのみを簡単に取り替えることができる。   According to this embodiment, since the 2nd support part of a probe pin is clamped by the 1st, 2nd housing, a probe pin can be attached or detached easily. For this reason, even if one of the plurality of probe pins is broken, only the broken probe pin can be easily replaced.

本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた検査治具の斜視図である。It is a perspective view of an inspection jig provided with a probe pin of a 1st embodiment of the present invention. 図１のII-II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 図１の検査治具の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the inspection jig of FIG. 本発明の第１実施形態のプローブピンの斜視図である。It is a perspective view of the probe pin of a 1st embodiment of the present invention. 図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VV line of FIG. 図４のプローブピンの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the probe pin of FIG. 図１の検査治具の検査状態を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the test | inspection state of the test | inspection jig | tool of FIG. 図７のVIII-VIII線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VIII-VIII line of FIG. 本発明の第２実施形態のプローブピンの斜視図である。It is a perspective view of the probe pin of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた他の検査治具の斜視図である。It is a perspective view of another inspection jig provided with the probe pin of a 1st embodiment of the present invention. 図１０のXI-XI線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XI-XI line of FIG. 図１０の検査治具の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the inspection jig of FIG. 図１０の検査治具の検査状態を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the test | inspection state of the test | inspection jig | tool of FIG.

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面に表された構成を説明するうえで、「上」、「下」、「左」、「右」等の方向を示す用語、及びそれらを含む別の用語を使用するが、それらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。したがって、それらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らないし、それらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきでない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the following explanation, in describing the configuration shown in the drawings, terms indicating directions such as “up”, “down”, “left”, “right”, and other terms including them are used. However, the purpose of using these terms is to facilitate understanding of the embodiments through the drawings. Therefore, these terms do not necessarily indicate the direction in which the embodiments of the present invention are actually used, and the technical scope of the invention described in the claims is limitedly interpreted by these terms. Should not be done.

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のプローブピン３を備えた検査治具１は、図１〜図３に示すように、ハウジング２と、このハウジング２内に収納された複数のプローブピン３とを備えている。 (First embodiment)
As shown in FIGS. 1 to 3, the inspection jig 1 including the probe pin 3 according to the first embodiment of the present invention includes a housing 2 and a plurality of probe pins 3 housed in the housing 2. ing.

ハウジング２は、図１に示すように、上面視矩形状を有し、第１ハウジングの一例の下部ハウジング１０と、下部ハウジング１０上（図１のＺ方向の上側）に設けられた第２ハウジングの一例の上部ハウジング２０とで構成されている。   As shown in FIG. 1, the housing 2 has a rectangular shape in a top view, and a lower housing 10 as an example of the first housing, and a second housing provided on the lower housing 10 (upper side in the Z direction in FIG. 1). And an upper housing 20 as an example.

下部ハウジング１０は、図３に示すように、複数のプローブピン３を保持するための保持部１１と、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０を位置決めするための係合突部１２と、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とを固定すると共に、ハウジング２を基板等に固定するための取付孔１３とを有している。   As shown in FIG. 3, the lower housing 10 includes a holding portion 11 for holding a plurality of probe pins 3, an engaging projection 12 for positioning the lower housing 10 and the upper housing 20, and the lower housing 10. The upper housing 20 is fixed, and an attachment hole 13 is provided for fixing the housing 2 to a substrate or the like.

保持部１１は、下部ハウジング１０をＺ方向に貫通する貫通孔１１１と、この貫通孔１１１に連通し、かつ、下部ハウジング１０の上面にＹ方向に沿って延びるように設けられた保持溝部１１２とで構成されている。この保持部１１は、下部ハウジング１０の上面に、Ｘ方向に沿って延びる平行な２つの列を成すように、等間隔で配置されている。保持部１１の２つの列は、図２に示すように、後述するプローブピン３の第２接点４７が相互に対向するように、短手方向（Ｙ方向）に間隔を空けて配置されている。   The holding portion 11 includes a through hole 111 that penetrates the lower housing 10 in the Z direction, and a holding groove portion 112 that communicates with the through hole 111 and extends on the upper surface of the lower housing 10 along the Y direction. It consists of The holding portions 11 are arranged on the upper surface of the lower housing 10 at equal intervals so as to form two parallel rows extending along the X direction. As shown in FIG. 2, the two rows of the holding portions 11 are arranged at intervals in the short side direction (Y direction) so that the second contacts 47 of the probe pins 3 described later face each other. .

係合突部１２は、下部ハウジング１０の上面からＺ方向の上側に向かって突出するように設けられている。また、この係合突部１２は、下部ハウジング１０のＸ方向の両端部の保持部１１と取付孔１３との間に、下部ハウジング１０のＸ方向に延びる長側の両辺に対向するように配置されている。   The engagement protrusion 12 is provided so as to protrude from the upper surface of the lower housing 10 toward the upper side in the Z direction. Further, the engaging protrusions 12 are arranged between the holding portions 11 at both ends in the X direction of the lower housing 10 and the mounting holes 13 so as to face both long sides extending in the X direction of the lower housing 10. Has been.

取付孔１３は、Ｚ方向に貫通し、かつ、締結部材を挿入可能な形状を有し、下部ハウジング１０のＸ方向の両端に配置されている（図３では一方のみ示す）。   The attachment holes 13 have a shape that penetrates in the Z direction and allows a fastening member to be inserted, and are disposed at both ends in the X direction of the lower housing 10 (only one is shown in FIG. 3).

上部ハウジング２０は、図３に示すように、被検査物を支持するための支持部２１，２２と、被検査物が挿入され、通電試験を行うための検査部２３と、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０を位置決めするための係合受部２４と、上部ハウジング２０を基板等に固定するための取付孔２５とを有している。   As shown in FIG. 3, the upper housing 20 includes support portions 21 and 22 for supporting an object to be inspected, an inspection portion 23 for inserting an object to be inspected and performing an electric current test, and the lower housing 10 and the upper portion. An engagement receiving portion 24 for positioning the housing 20 and an attachment hole 25 for fixing the upper housing 20 to a substrate or the like are provided.

支持部２１，２２は、上部ハウジング２０の上面からＺ方向に突出するように設けられ、上部ハウジング２０のＸ方向の両端にそれぞれ配置されている。この支持部２１，２２の相互に対向する側面には、Ｚ方向に延びる支持溝部２６，２７がそれぞれ設けられている。この支持溝部２６，２７は、図２に示すように、溝部２６１，２７１（図２では一方のみ示す）と、溝部２６１，２７１のＺ方向の上側に連続する導入部２６２，２７２（図２では一方のみ示す）とで構成されている。溝部２６１，２７１は、略同一の幅を有している。また、導入部２６２，２７２は、Ｚ方向の上側に向かって次第に大きくなる幅を有している。   The support portions 21 and 22 are provided so as to protrude from the upper surface of the upper housing 20 in the Z direction, and are disposed at both ends of the upper housing 20 in the X direction. Support groove portions 26 and 27 extending in the Z direction are provided on side surfaces of the support portions 21 and 22 facing each other. As shown in FIG. 2, the support groove portions 26 and 27 include groove portions 261 and 271 (only one is shown in FIG. 2) and introduction portions 262 and 272 (in FIG. 2) continuous on the upper side in the Z direction of the groove portions 261 and 271. (Only one is shown). The groove portions 261 and 271 have substantially the same width. The introduction portions 262 and 272 have a width that gradually increases toward the upper side in the Z direction.

検査部２３は、上部ハウジング２０の上面にＸ方向に沿って設けられ、図２に示すように、Ｚ方向に貫通している。この検査部２３は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の保持部１１の列の間に位置するように配置されている。また、検査部２３は、Ｘ方向の両端が支持溝部２６，２７とそれぞれ連通している。   The inspection unit 23 is provided on the upper surface of the upper housing 20 along the X direction, and penetrates in the Z direction as shown in FIG. When the upper housing 20 is fixed to the lower housing 10, the inspection portion 23 is disposed so as to be positioned between the rows of the holding portions 11 of the lower housing 10. Further, both ends in the X direction of the inspection unit 23 communicate with the support groove portions 26 and 27, respectively.

係合受部２４は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の係合突部１２が係合可能に設けられている。この係合受部２４は、支持部２１，２２のＸ方向の外側かつＺ方向の下側の両隅部に配置されている。   The engagement receiving portion 24 is provided so that the engagement protrusion 12 of the lower housing 10 can be engaged when the upper housing 20 is fixed to the lower housing 10. This engagement receiving part 24 is arrange | positioned in the both corners of the outer side of the X direction of the support parts 21 and 22 and the lower side of the Z direction.

取付孔２５は、Ｚ方向に貫通し、かつ、締結部材を挿入可能な形状を有している。この取付孔２５は、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、下部ハウジング１０の取付孔１３に一致するように配置されている（図３では一方のみ示す）。   The attachment hole 25 has a shape that penetrates in the Z direction and allows the fastening member to be inserted. The mounting hole 25 is arranged to coincide with the mounting hole 13 of the lower housing 10 when the upper housing 20 is fixed to the lower housing 10 (only one is shown in FIG. 3).

また、上部ハウジング２０の底面には、図２に示すように、後述するプローブピン３の第２接点４７を往復動作可能に収納するための複数の収納部２８が設けられている。この複数の収納部２８は、保持部１１の各々に対応しており、下部ハウジング１０に上部ハウジング２０を固定したときに、対応する保持部１１と連通するように配置されている。また、収納部２８は、そのＹ方向の幅Ｌ１が、保持部１１の保持溝部１１２のＹ方向の長さＬ２よりも小さくなるように設けられている。   Further, as shown in FIG. 2, a plurality of storage portions 28 are provided on the bottom surface of the upper housing 20 for storing a second contact 47 of the probe pin 3 to be described later so as to be able to reciprocate. The plurality of storage portions 28 correspond to each of the holding portions 11 and are arranged to communicate with the corresponding holding portions 11 when the upper housing 20 is fixed to the lower housing 10. Further, the storage portion 28 is provided such that the width L1 in the Y direction is smaller than the length L2 in the Y direction of the holding groove portion 112 of the holding portion 11.

プローブピン３は、図４〜図６に示すように、第１プランジャ３０と、第２プランジャ４０と、コイルばね５０とで構成されている。第１，第２プランジャ３０，４０は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。   As shown in FIGS. 4 to 6, the probe pin 3 includes a first plunger 30, a second plunger 40, and a coil spring 50. Each of the first and second plungers 30 and 40 has conductivity, and is formed by, for example, an electroforming method.

第１実施形態のプローブピン３では、第１プランジャ３０は、コイルばね５０の一端からコイルばね５０のＺ方向に延びる中心線ＣＬ１に沿って挿入されている。また、第２プランジャ４０は、その主要面が第１プランジャ３０の主要面と直交するように、コイルばね５０の他端から中心線ＣＬ１（図５に示す）に沿って挿入されている。   In the probe pin 3 of the first embodiment, the first plunger 30 is inserted along the center line CL <b> 1 extending from one end of the coil spring 50 in the Z direction of the coil spring 50. The second plunger 40 is inserted along the center line CL1 (shown in FIG. 5) from the other end of the coil spring 50 so that the main surface thereof is orthogonal to the main surface of the first plunger 30.

なお、第１プランジャ３０の板厚方向（Ｘ方向）に直交する面を主要面とし、第２プランジャ４０の板厚方向（Ｙ方向）に直交する面を主要面とする。また、主要面に直交する板厚方向に平行な面を側面とする。   In addition, let the surface orthogonal to the plate | board thickness direction (X direction) of the 1st plunger 30 be a main surface, and let the surface orthogonal to the plate | board thickness direction (Y direction) of the 2nd plunger 40 be a main surface. Moreover, let the surface parallel to the plate | board thickness direction orthogonal to a main surface be a side surface.

第１プランジャ３０は、図６に示すように、略同一の板厚で、幅方向（Ｙ方向）に対称な矩形の板形状を有している。この第１プランジャ３０は、コイルばね５０の内部に挿入された第１挿入部３１と、この第１挿入部３１と一体成形された第１接触部３２とで構成されている。   As shown in FIG. 6, the first plunger 30 has substantially the same plate thickness and a rectangular plate shape that is symmetrical in the width direction (Y direction). The first plunger 30 includes a first insertion portion 31 inserted into the coil spring 50 and a first contact portion 32 formed integrally with the first insertion portion 31.

第１挿入部３１は、その主要面の先端側（図６の上側）に、第１挿入部３１を貫通するガイド溝３３が設けられている。このガイド溝３３は、第１挿入部３１の長手方向（図６の上下方向）に延びる矩形状で、第２プランジャ４０の板厚よりも大きい幅を有している。   The first insertion portion 31 is provided with a guide groove 33 penetrating the first insertion portion 31 on the leading end side (the upper side in FIG. 6) of the main surface. The guide groove 33 has a rectangular shape extending in the longitudinal direction (vertical direction in FIG. 6) of the first insertion portion 31 and has a width larger than the plate thickness of the second plunger 40.

第１接触部３２は、その先端（図６の下側）に設けられた第１接点３４と、第１接触部３２と第１挿入部３１との境界部分に設けられた第１支持部３５とを有している。第１接点３４は、主要面視円弧状を有している。また、第１支持部３５は、第１接触部３２の両側面から突出するように設けられており、中心線ＣＬ１に直交する方向に延びている。この第１支持部３５は、その先端間の距離がコイルばね５０の直径よりも大きく、コイルばね５０のＺ方向の下側の端部を支持するようになっている。   The first contact portion 32 has a first contact 34 provided at the tip (lower side in FIG. 6) and a first support portion 35 provided at a boundary portion between the first contact portion 32 and the first insertion portion 31. And have. The first contact 34 has an arc shape when viewed from the main surface. The first support portion 35 is provided so as to protrude from both side surfaces of the first contact portion 32, and extends in a direction orthogonal to the center line CL1. The distance between the tips of the first support portion 35 is larger than the diameter of the coil spring 50, and supports the lower end portion of the coil spring 50 in the Z direction.

なお、第１プランジャ３０の中心線は、コイルばね５０の中心線ＣＬ１と一致している。   The center line of the first plunger 30 matches the center line CL1 of the coil spring 50.

第２プランジャ４０は、図６に示すように、略同一の板厚を有し、コイルばね５０の内部に挿入された第２挿入部４１と、この第２挿入部４１と一体成形された第２接触部４２とで構成されている。   As shown in FIG. 6, the second plunger 40 has substantially the same plate thickness, and a second insertion portion 41 inserted into the coil spring 50 and a second insertion portion 41 integrally formed with the second insertion portion 41. 2 contact portions 42.

第２挿入部４１は、中心線ＣＬ１に沿って延びる第１，第２弾性片４３，４４で構成されている。第１，第２弾性片４３，４４は、第１プランジャ３０の板厚よりも大きい間隔を空けて、互いに略平行に配置されている。また、第１，第２弾性片４３，４４は、長さが異なっており、第１弾性片４３が第２弾性片４４よりも短くなるように設けられている。   The second insertion portion 41 includes first and second elastic pieces 43 and 44 extending along the center line CL1. The first and second elastic pieces 43 and 44 are arranged substantially parallel to each other with an interval larger than the plate thickness of the first plunger 30. The first and second elastic pieces 43 and 44 have different lengths, and the first elastic piece 43 is provided to be shorter than the second elastic piece 44.

第１弾性片４３の第２弾性片４４に対向する内側面の先端には、ガイド突起４３１が突出するように設けられている。また、第２弾性片４４の第１弾性片４３に対向する内側面の先端には、接触突起４４１が突出するように設けられている。   A guide protrusion 431 is provided at the tip of the inner surface of the first elastic piece 43 facing the second elastic piece 44 so as to protrude. Further, a contact protrusion 441 is provided so as to protrude from the tip of the inner surface of the second elastic piece 44 facing the first elastic piece 43.

第２接触部４２は、第２挿入部４１が接続された第２支持部４５と、この第２支持部４５からＺ方向の上側に向かって突出する弾性部４６とで構成されている。   The second contact portion 42 includes a second support portion 45 to which the second insertion portion 41 is connected, and an elastic portion 46 that protrudes upward from the second support portion 45 in the Z direction.

第２支持部４５は、矩形の平板形状を有し、Ｘ方向（中心線ＣＬ１に直交する方向）に延びている。この第２支持部４５は、その両端４５１，４５２間の距離Ｌ１がコイルばね５０の直径よりも大きく、コイルばね５０のＺ方向の上側の端部を支持するようになっている。また、第２支持部４５は、中心線ＣＬ１からＸ方向の右側の端４５１までの距離Ｌ２よりも中心線ＣＬ１からＸ方向の左側の端４５２までの距離Ｌ３の方が大きくなるように設けられている。   The second support portion 45 has a rectangular flat plate shape and extends in the X direction (a direction orthogonal to the center line CL1). The distance L1 between both ends 451 and 452 of the second support portion 45 is larger than the diameter of the coil spring 50, and supports the upper end portion of the coil spring 50 in the Z direction. Further, the second support portion 45 is provided such that the distance L3 from the center line CL1 to the left end 452 in the X direction is larger than the distance L2 from the center line CL1 to the right end 451 in the X direction. ing.

弾性部４６は、中心線ＣＬ１に対して異なる角度で配置された連続する３つの直線部４６１，４６２，４６３で構成されている。第１直線部４６１は、第２支持部４５から中心線ＣＬ１に沿って延びている。第２直線部４６１は、第１直線部４６１のＺ方向の上側の端部に連続し、第１直線部４６１と鋭角を成すように延びている。第３直線部４６３は、第２直線部４６２のＺ方向の下側の端部に連続し、第２直線部４６２と鈍角を成すように延びている。   The elastic portion 46 includes three continuous straight portions 461, 462, and 463 arranged at different angles with respect to the center line CL1. The first straight portion 461 extends from the second support portion 45 along the center line CL1. The second straight portion 461 is continuous with the upper end in the Z direction of the first straight portion 461 and extends so as to form an acute angle with the first straight portion 461. The third straight portion 463 is continuous with the lower end of the second straight portion 462 in the Z direction, and extends so as to form an obtuse angle with the second straight portion 462.

各直線部４６１，４６２，４６３の接続部分はそれぞれ湾曲しており、第２直線部４６２と第３直線部４６３との接続部分が第２接点４７を構成している。この第２接点４７は、図５に示すように、中心線ＣＬ１からの距離Ｌ４が、中心線ＣＬ１から第２支持部４５のＸ方向の右側の端４５１までの距離Ｌ２よりも大きくなるように配置されている。   The connecting portions of the straight portions 461, 462, and 463 are curved, and the connecting portion between the second straight portion 462 and the third straight portion 463 constitutes the second contact 47. As shown in FIG. 5, the second contact 47 has a distance L4 from the center line CL1 larger than a distance L2 from the center line CL1 to the right end 451 in the X direction of the second support portion 45. Is arranged.

なお、図５に示す自然状態の第２接点４７に荷重を加え、Ｘ方向に押し込んだ後、第２接点４７に加えた力を解放すると、第２接点４７は、弾性部４６によって付勢され、自然状態に復帰する。すなわち、弾性部４６の弾性力によって、第２接点４７のＸ方向の往復移動が行われる。   When a force is applied to the second contact 47 in the natural state shown in FIG. 5 and the force applied to the second contact 47 is released after being pushed in the X direction, the second contact 47 is urged by the elastic portion 46. , Return to the natural state. That is, the reciprocating movement of the second contact 47 in the X direction is performed by the elastic force of the elastic portion 46.

また、第１，第２プランジャ３０，４０は、図５に示すように、第２プランジャ４０の第１弾性片４３のガイド突起４３１が、第１プランジャ３０のガイド溝３３に嵌合し、かつ、第２プランジャ４０の第２弾性片４４の接触突起４４１が第１プランジャ３０の第１挿入部３１の主要面と接触した状態で、スライド移動可能に連結されている。   Further, as shown in FIG. 5, the first and second plungers 30 and 40 are configured such that the guide protrusions 431 of the first elastic pieces 43 of the second plunger 40 are fitted in the guide grooves 33 of the first plunger 30, and The contact protrusion 441 of the second elastic piece 44 of the second plunger 40 is slidably connected in a state in which the contact protrusion 441 is in contact with the main surface of the first insertion portion 31 of the first plunger 30.

コイルばね５０は、例えば、炭素鋼あるいはステンレス鋼からなり、その中心線ＣＬ１（図５に示す）に沿って伸縮するように形成されている。このコイルばね５０は、第１プランジャ３０の第１挿入部３１および第２プランジャ４０の第２挿入部４１を挿入可能な内径を有している。また、このコイルばね５０は、図２に示すように、下部ハウジング１０の保持部１１の貫通孔１１１に挿入可能な外径を有している。   The coil spring 50 is made of, for example, carbon steel or stainless steel, and is formed to expand and contract along its center line CL1 (shown in FIG. 5). The coil spring 50 has an inner diameter into which the first insertion portion 31 of the first plunger 30 and the second insertion portion 41 of the second plunger 40 can be inserted. Further, as shown in FIG. 2, the coil spring 50 has an outer diameter that can be inserted into the through-hole 111 of the holding portion 11 of the lower housing 10.

なお、コイルばね５０は、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とが互いに連結された状態では、その両端が、第１プランジャ３０の第１支持部３５と、第２プランジャ４０の第２支持部４５とで支持され、常時圧縮されるようにバネ長が調整されている。   As shown in FIG. 4, when the first plunger 30 and the second plunger 40 are connected to each other, both ends of the coil spring 50 are connected to the first support portion 35 of the first plunger 30 and the second plunger 30. The spring length is adjusted so that it is supported by the second support portion 45 of the plunger 40 and is always compressed.

次に、第１実施形態のプローブピン３を備える検査治具１の組立工程について説明する。   Next, an assembly process of the inspection jig 1 including the probe pin 3 according to the first embodiment will be described.

最初に、プローブピン３を組み立てる。まず、コイルばね５０の一端側から中心線ＣＬ１に沿って第１プランジャ３０の第１挿入部３１を挿入する一方、コイルばね５０の他端側から中心線ＣＬ１に沿って第２プランジャ４０の第２挿入部４１を挿入する。このとき、第１，第２プランジャ３０，４０は、各主要面が相互に直交するように挿入される。   First, the probe pin 3 is assembled. First, the first insertion portion 31 of the first plunger 30 is inserted from one end side of the coil spring 50 along the center line CL1, while the second plunger 40 of the second plunger 40 is inserted from the other end side of the coil spring 50 along the center line CL1. 2 Insert the insertion part 41. At this time, the first and second plungers 30 and 40 are inserted so that their main surfaces are orthogonal to each other.

第１，第２プランジャ３０，４０をコイルばね５０の内部に挿入していくと、第２プランジャ４０の接触突起４４１が、第１プランジャ３０の第１挿入部３１の主要面と接触し、かつ、第２プランジャ４０のガイド突起４３１が、第１プランジャ３０のガイド溝３３に挿入され、第１，第２プランジャ３０，４０が相互に連結される。これにより、プローブピン３が組み立てられる。   When the first and second plungers 30 and 40 are inserted into the coil spring 50, the contact protrusion 441 of the second plunger 40 comes into contact with the main surface of the first insertion portion 31 of the first plunger 30, and The guide protrusion 431 of the second plunger 40 is inserted into the guide groove 33 of the first plunger 30, and the first and second plungers 30 and 40 are connected to each other. Thereby, the probe pin 3 is assembled.

プローブピン３の組み立てが完了すると、このプローブピン３を下部ハウジング１０の保持部１１に組み付ける。このとき、図２に示すように、プローブピン３は、第１プランジャ３０をＺ方向の上側から保持部１１の貫通孔１１１に挿入し、第２支持部４５を保持溝部１１２に挿入する。これにより、プローブピン３は、第１接点３４を含む第１接触部３２の一部が下部ハウジング１０のＺ方向の下側に露出し、かつ、第２接点４７を含む第２接触部４２の一部が下部ハウジング１０のＺ方向の上側に露出した状態で、下部ハウジング１０に保持される。   When the assembly of the probe pin 3 is completed, the probe pin 3 is assembled to the holding portion 11 of the lower housing 10. At this time, as shown in FIG. 2, the probe pin 3 inserts the first plunger 30 into the through hole 111 of the holding portion 11 from the upper side in the Z direction, and inserts the second support portion 45 into the holding groove portion 112. As a result, the probe pin 3 has a part of the first contact portion 32 including the first contact 34 exposed to the lower side of the lower housing 10 in the Z direction and the second contact portion 42 including the second contact 47. A part of the lower housing 10 is held by the lower housing 10 in an exposed state on the upper side in the Z direction.

全ての保持部１１にプローブピン３を組み付けた後、下部ハウジング１０のＺ方向の上側から上部ハウジング２０を取り付ける。このとき、下部ハウジング１０のＺ方向の上側に露出している第２接触部４２が、上部ハウジング２０の底面の収納部２８に収納され、第２接点４７が検査部２３内に配置される。また、図２に示すように、第２支持部４５が、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とで挟持され、プローブピン３が固定される。   After assembling the probe pins 3 to all the holding portions 11, the upper housing 20 is attached from the upper side of the lower housing 10 in the Z direction. At this time, the second contact portion 42 exposed on the upper side in the Z direction of the lower housing 10 is stored in the storage portion 28 on the bottom surface of the upper housing 20, and the second contact 47 is disposed in the inspection portion 23. Further, as shown in FIG. 2, the second support portion 45 is sandwiched between the lower housing 10 and the upper housing 20, and the probe pin 3 is fixed.

そして、図７に示すように、一体となった下部ハウジング１０の取付孔１３と上部ハウジング２０の取付孔２５に締結部材１０６を挿入し、検査治具１を基板１００に固定する。このとき、検査治具１は、図８に示すように、プローブピン３の第１接点３４と基板１００の端子１０５とが接触するように固定される。こうして、検査治具１の組立工程が終了する。   Then, as shown in FIG. 7, the fastening member 106 is inserted into the mounting hole 13 of the lower housing 10 and the mounting hole 25 of the upper housing 20, and the inspection jig 1 is fixed to the substrate 100. At this time, the inspection jig 1 is fixed so that the first contact 34 of the probe pin 3 and the terminal 105 of the substrate 100 are in contact with each other, as shown in FIG. Thus, the assembly process of the inspection jig 1 is completed.

このようにして組み立てた検査治具１は、両面基板のような両面に電極のあるデバイス２００の導通試験に用いられる。この導通試験は、図７に示すように、デバイス２００を検査部２３に挿入して行われる。このとき、デバイス２００は、X方向の両端が保持溝部１１２に保持され、また、図８に示すように、一対の対向面に設けられている端子２０５がプローブピン３の第２接点４７と接触するように、検査部２３に挿入される。   The inspection jig 1 assembled in this way is used for a continuity test of a device 200 having electrodes on both sides, such as a double-sided board. The continuity test is performed by inserting the device 200 into the inspection unit 23 as shown in FIG. At this time, in the device 200, both ends in the X direction are held by the holding grooves 112, and the terminals 205 provided on the pair of opposed surfaces contact the second contact 47 of the probe pin 3 as shown in FIG. As shown in FIG.

第１実施形態のプローブピン３では、コイルばね５０の中心線ＣＬ１に沿って往復移動可能な第１接点３４と、コイルばね５０の中心線ＣＬ１と交差する方向に直交する方向に往復移動可能な第２接点４７とを備えている。このため、例えば、被検査物の端子を検査装置の端子と同一直線状に配置できない場合であっても、被検査物の端子と検査装置の端子とに同時に接触できる。   In the probe pin 3 of the first embodiment, the first contact 34 that can reciprocate along the center line CL1 of the coil spring 50 and the reciprocation in a direction orthogonal to the direction that intersects the center line CL1 of the coil spring 50 are possible. And a second contact 47. For this reason, for example, even when the terminal of the inspection object cannot be arranged in the same straight line as the terminal of the inspection apparatus, the terminal of the inspection object and the terminal of the inspection apparatus can be simultaneously contacted.

また、第２プランジャ４０の第２接点４７の往復移動が弾性部４６の弾性力により行われる。このため、コイルばね等の他の弾性部材を用いることなく第２接点４７を往復移動させることができるので、部品点数が少なくなり、製造コストを低減できる。   Further, the reciprocating movement of the second contact 47 of the second plunger 40 is performed by the elastic force of the elastic portion 46. For this reason, since the 2nd contact 47 can be reciprocated without using other elastic members, such as a coil spring, a number of parts decreases and manufacturing cost can be reduced.

また、検査治具１は、第１実施形態のプローブピン３を備えているので、被検査物の複雑化および多様化に対応できる。   Moreover, since the inspection jig 1 includes the probe pin 3 of the first embodiment, it can cope with the complexity and diversification of the inspection object.

また、プローブピン３の第２支持部４５が、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０で挟持されているので、プローブピン３を容易に着脱できる。このため、複数のプローブピン３の１つが壊れたとしても、この壊れたプローブピン３のみを簡単に取り替えることができる。   Further, since the second support portion 45 of the probe pin 3 is sandwiched between the lower housing 10 and the upper housing 20, the probe pin 3 can be easily attached and detached. For this reason, even if one of the plurality of probe pins 3 is broken, only the broken probe pin 3 can be easily replaced.

（第２実施形態）
図９は、第２実施形態のプローブピン１０３を示す斜視図である。この第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。 (Second Embodiment)
FIG. 9 is a perspective view showing the probe pin 103 of the second embodiment. In the second embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. Differences from the first embodiment will be described.

第２実施形態のプローブピン１０３は、図９に示すように、第２プランジャ４０に波状を有する弾性部１４６を設けている点で、第１実施形態のプローブピン３と異なっている。   As shown in FIG. 9, the probe pin 103 according to the second embodiment is different from the probe pin 3 according to the first embodiment in that an elastic portion 146 having a wave shape is provided on the second plunger 40.

弾性部１４６には、板厚方向に貫通する貫通孔１４７が設けられている。これにより、第２接点４７の復帰力を調整することができる。   The elastic portion 146 is provided with a through hole 147 that penetrates in the plate thickness direction. Thereby, the restoring force of the second contact 47 can be adjusted.

このように、第２プランジャ４０の弾性部は、第２接点４７がコイルばね５０の中心線ＣＬ１と交差する方向に往復移動可能であれば、任意の形状および構造を採用することができる。   As described above, the elastic portion of the second plunger 40 can adopt any shape and structure as long as the second contact 47 can reciprocate in the direction intersecting the center line CL1 of the coil spring 50.

（その他の実施形態）
第１，第２実施形態のプローブピン３，１０３は、図７に示すように、デバイス２００の導通試験に用いる検査治具１に限らない。例えば、図１０〜図１３に示すように、ＬＥＤ素子２１０の導通試験に用いる検査治具１０１に用いることもできる。なお、図１０〜図１３では、第１実施形態のプローブピン３を示している。 (Other embodiments)
The probe pins 3 and 103 of the first and second embodiments are not limited to the inspection jig 1 used for the continuity test of the device 200 as shown in FIG. For example, as shown in FIGS. 10 to 13, it can be used for an inspection jig 101 used for a continuity test of the LED element 210. In addition, in FIGS. 10-13, the probe pin 3 of 1st Embodiment is shown.

検査治具１０１は、図１０〜図１２に示すように、下部ハウジング１１０と上部ハウジング１２０とで構成された略正方体のハウジング１０２と、ハウジング１０２内に収納された４本のプローブピン３とを備えている。   As shown in FIGS. 10 to 12, the inspection jig 101 includes a substantially rectangular parallelepiped housing 102 composed of a lower housing 110 and an upper housing 120, and four probe pins 3 housed in the housing 102. I have.

下部ハウジング１１０は、図１２に示すように、４つの保持部１１と、各隅部に設けられた取付孔１３とを有している。   As shown in FIG. 12, the lower housing 110 has four holding portions 11 and attachment holes 13 provided at each corner.

保持部１１は、下部ハウジング１０をＺ方向に貫通する貫通孔１１１と、この貫通孔１１１に連通し、かつ、下部ハウジング１０の上面にＹ方向に沿って延びるように設けられた保持溝部１１２とで構成されている。この保持部１１は、下部ハウジング１１０の上面に、Ｘ方向に沿って延びる平行な２つの列を成すように、等間隔で配置されている。また、保持部１１の２つの列は、図１１に示すように、プローブピン３の第２接点４７が相互に対向するように、Ｙ方向に間隔を空けて配置されている。   The holding portion 11 includes a through hole 111 that penetrates the lower housing 10 in the Z direction, and a holding groove portion 112 that communicates with the through hole 111 and extends on the upper surface of the lower housing 10 along the Y direction. It consists of The holding portions 11 are arranged at equal intervals on the upper surface of the lower housing 110 so as to form two parallel rows extending along the X direction. In addition, as shown in FIG. 11, the two rows of the holding portions 11 are arranged at an interval in the Y direction so that the second contacts 47 of the probe pins 3 face each other.

また、上部ハウジング１２０は、中央部に設けられた検査部２３と、各隅部に設けられた取付孔２５とを有している。   Moreover, the upper housing 120 has the test | inspection part 23 provided in the center part, and the attachment hole 25 provided in each corner part.

この検査治具１０１の導通試験は、図１３に示すように、基板１００上に固定され、ＬＥＤ素子２１０を検査部２３に挿入して行われる。このとき、ＬＥＤ素子２１０は、図示していないが、一対の対向面に設けられている端子がプローブピン３の第２接点４７と接触するように、検査部２３に挿入される。   As shown in FIG. 13, the continuity test of the inspection jig 101 is performed by being fixed on the substrate 100 and inserting the LED element 210 into the inspection unit 23. At this time, although not shown, the LED element 210 is inserted into the inspection unit 23 so that the terminals provided on the pair of opposed surfaces come into contact with the second contact 47 of the probe pin 3.

第１プランジャ３０の第１接点３４の形状は、円弧状に限らず、三角形あるいは四角形等、プローブピンの設計等に応じて、適宜選択できる。   The shape of the first contact 34 of the first plunger 30 is not limited to an arc shape, and can be appropriately selected according to the design of the probe pin, such as a triangle or a quadrangle.

第２プランジャ４０の第１弾性片４３のガイド突起４３１は、第１プランジャ３０のガイド溝３３に挿入嵌合できると共に、ガイド溝３３内をスライド移動できるものであればよく、形状、大きさ等は、適宜選択できる。   The guide protrusion 431 of the first elastic piece 43 of the second plunger 40 may be any one that can be inserted and fitted into the guide groove 33 of the first plunger 30 and can be slidably moved in the guide groove 33. The shape, size, etc. Can be selected as appropriate.

第２プランジャ４０の第２支持部４５は、コイルばね５０を支持することができ、かつ、下部ハウジング１０および上部ハウジング２０に挟持されることができればよく、形状、大きさ等は、適宜選択できる。   The second support portion 45 of the second plunger 40 only needs to be able to support the coil spring 50 and be sandwiched between the lower housing 10 and the upper housing 20, and the shape, size, and the like can be selected as appropriate. .

下部ハウジング１０の保持部１１は、用いるプローブピンに応じて、形状、大きさ等を適宜選択できる。   The holding portion 11 of the lower housing 10 can be appropriately selected in shape, size, etc. according to the probe pin used.

第１，第２プランジャ３０，４０の板厚は、同一に限らず、部分により異なる板厚を有するようにしてもよい。   The plate thicknesses of the first and second plungers 30 and 40 are not limited to the same, and may have different plate thicknesses depending on the portions.

第１，第２プランジャ３０，４０は、設計に応じて、めっき，コーティング等の表面処理を行うこともできる。   The first and second plungers 30 and 40 can be subjected to surface treatment such as plating and coating according to design.

第１，第２プランジャ３０，４０は、電鋳法に限らず、可能であれば、任意の製造方法を採用することができる。   The first and second plungers 30 and 40 are not limited to electroforming, and any manufacturing method can be adopted if possible.

第１プランジャ３０にガイド溝３３を設け、第２プランジャ４０に第１，第２弾性片４３，４４を設けているが、これに限らない。例えば、第１プランジャに第１，第２弾性片を設け、第２プランジャにガイド溝を設けてもよい。   Although the guide groove 33 is provided in the 1st plunger 30, and the 1st, 2nd elastic pieces 43 and 44 are provided in the 2nd plunger 40, it is not restricted to this. For example, the first plunger may be provided with first and second elastic pieces, and the second plunger may be provided with a guide groove.

第１，第２プランジャ３０，４０は、コイルばね５０の両端からそれぞれ挿入したときに、相互にスライド移動可能かつ導通可能に連結できるものであれば、任意の構成を採用できる。   As long as the first and second plungers 30 and 40 are respectively inserted from both ends of the coil spring 50 and can be connected to each other so as to be slidable and conductive, any configuration can be adopted.

前記実施形態で述べた構成要素は、適宜、組み合わせてもよく、また、適宜、選択、置換、あるいは、削除してもよいことは、勿論である。   It goes without saying that the constituent elements described in the above embodiments may be combined as appropriate, and may be selected, replaced, or deleted as appropriate.

本発明に係るプローブピンおよび検査治具は、前記実施形態に限らず、他の半導体集積回路および半導体デバイス等の検査ユニットに適用できる。   The probe pin and the inspection jig according to the present invention are not limited to the above-described embodiment, but can be applied to other semiconductor integrated circuits and inspection units such as semiconductor devices.

１，１０１ 検査治具
２，１０２ ハウジング
３，１０３ プローブピン
１０，１１０ 下部ハウジング（第１ハウジング）
１１ 保持部
１１１ 貫通孔
１１２ 保持溝部
１２ 係合突部
１３ 取付孔
２０，１２０ 上部ハウジング（第２ハウジング）
２１，２２ 支持部
２３ 検査部
２４ 係合受部
２５ 取付孔
２６，２７ 支持溝部
２６１，２７１ 溝部
２６２，２７２ 導入部
２８ 収納部
３０ 第１プランジャ
３１ 第１挿入部
３２ 第１接触部
３３ ガイド溝
３４ 第１接点
３５ 第１支持部
４０ 第２プランジャ
４１ 第２挿入部
４２ 第２接触部
４３ 第１弾性片
４３１ ガイド突起
４４ 第２弾性片
４４１ 接触突起
４５ 第２支持部
４６ 弾性部
４６１ 第１直線部
４６２ 第２直線部
４６３ 第３直線部
４７ 第２接点
５０ コイルばね
１００ 基板
１０５ 端子
１０６ 締結部材
２００ デバイス
２０５ 端子
２１０ ＬＥＤ素子 1,101 Inspection jig 2,102 Housing 3,103 Probe pin 10,110 Lower housing (first housing)
11 Holding part 111 Through hole 112 Holding groove part 12 Engaging protrusion 13 Mounting hole 20, 120 Upper housing (second housing)
21, 22 Support part 23 Inspection part 24 Engagement receiving part 25 Mounting hole 26, 27 Support groove part 261, 271 Groove part 262, 272 Introduction part 28 Storage part 30 First plunger 31 First insertion part 32 First contact part 33 Guide groove 34 1st contact 35 1st support part 40 2nd plunger 41 2nd insertion part 42 2nd contact part 43 1st elastic piece 431 Guide protrusion 44 2nd elastic piece 441 Contact protrusion 45 2nd support part 46 Elastic part 461 1st Linear portion 462 Second linear portion 463 Third linear portion 47 Second contact 50 Coil spring 100 Substrate 105 Terminal 106 Fastening member 200 Device 205 Terminal 210 LED element

Claims (4)

中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
前記コイルばねの一端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第１プランジャと、
前記コイルばねの他端から前記中心線に沿って前記コイルばねの内部に挿入された導電性の第２プランジャと、
を備え、
前記第１プランジャが、
前記コイルばねの内部に挿入された第１挿入部と、
前記第１挿入部に連続すると共に、前記中心線に沿って往復移動可能な第１接点が設けられた第１接触部と、
前記第１接触部の前記第１挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第１支持部と、
を有し、
前記第２プランジャが、
前記コイルばねの内部に挿入され、かつ、前記第１挿入部にスライド移動可能に連結された第２挿入部と、
前記中心線と交差する方向に往復移動可能な第２接点が設けられた第２接触部と、
前記第２接触部の前記第２挿入部との境界部分に設けられ、前記中心線に交差する方向に延びると共に、前記コイルばねを支持する第２支持部と、
を有する、プローブピン。 A coil spring that expands and contracts along the center line;
A conductive first plunger inserted from one end of the coil spring along the center line into the coil spring;
A conductive second plunger inserted into the coil spring from the other end of the coil spring along the center line;
With
The first plunger comprises:
A first insertion portion inserted into the coil spring;
A first contact portion provided with a first contact that is continuous with the first insertion portion and is capable of reciprocating along the center line;
A first support portion provided at a boundary portion between the first contact portion and the first insertion portion, extending in a direction intersecting the center line, and supporting the coil spring;
Have
The second plunger comprises:
A second insertion part that is inserted into the coil spring and is slidably connected to the first insertion part;
A second contact portion provided with a second contact capable of reciprocating in a direction crossing the center line;
A second support portion provided at a boundary portion of the second contact portion with the second insertion portion, extending in a direction intersecting the center line, and supporting the coil spring;
Having a probe pin. 前記第２接触部が、荷重が加えられていない状態である自然状態に復帰するように前記第２接点を付勢する弾性部を有し、この弾性部の弾性力によって、前記第２接点の往復移動が行われる、請求項１に記載のプローブピン。   The second contact portion has an elastic portion that urges the second contact so as to return to a natural state in which no load is applied, and the elastic force of the elastic portion causes the second contact to The probe pin according to claim 1, wherein reciprocal movement is performed. 被検査物の一対の対向面にそれぞれ設けられた端子と、基板上に設けられた端子との間の導通検査を行うための検査治具であって、
前記被検査物が挿入される検査部を有するハウジングと、
前記被検査物が前記検査部に挿入されたときに前記被検査物の端子に前記第２接点が接触し、かつ、前記基板上に前記ハウジングを取り付けたときに前記基板の端子に前記第１接点が接触できるように、前記ハウジング内に着脱可能に収納されている、請求項１または２に記載のプローブピンと、
を備える、検査治具。 An inspection jig for performing a continuity test between terminals provided on a pair of opposing surfaces of an object to be inspected and terminals provided on a substrate,
A housing having an inspection part into which the inspection object is inserted;
When the inspection object is inserted into the inspection portion, the second contact contacts the terminal of the inspection object, and when the housing is mounted on the substrate, the first contact is made to the terminal of the substrate. The probe pin according to claim 1, wherein the probe pin is detachably housed in the housing so that a contact point can come into contact therewith.
An inspection jig. 前記ハウジングが、
前記第１，第２接触部の少なくとも一部が露出するように前記プローブピンを保持する第１ハウジングと、
前記第１ハウジングに連結されると共に、前記検査部と、前記検査部に連通し、かつ、前記第２接点が往復移動できるように前記第２接触部を収納する収納部と、が設けられた第２ハウジングと、
を有し、
前記プローブピンの第２支持部が、前記第１，第２ハウジングにより挟持されている、請求項３に記載の検査治具。 The housing comprises:
A first housing holding the probe pin such that at least a part of the first and second contact portions are exposed;
The inspection unit and the storage unit that is connected to the first housing and communicates with the inspection unit and stores the second contact unit so that the second contact can reciprocate. A second housing;
Have
The inspection jig according to claim 3, wherein a second support portion of the probe pin is sandwiched between the first and second housings.
JP2015182126A 2015-09-15 2015-09-15 Probe pin and inspection jig equipped with this Active JP6641818B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015182126A JP6641818B2 (en) 2015-09-15 2015-09-15 Probe pin and inspection jig equipped with this
PCT/JP2016/076460 WO2017047495A1 (en) 2015-09-15 2016-09-08 Probe pin and inspection tool including same
TW105129530A TW201713953A (en) 2015-09-15 2016-09-12 Probe pin and inspection tool including same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015182126A JP6641818B2 (en) 2015-09-15 2015-09-15 Probe pin and inspection jig equipped with this

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017059363A true JP2017059363A (en) 2017-03-23
JP6641818B2 JP6641818B2 (en) 2020-02-05

Family

ID=58289301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015182126A Active JP6641818B2 (en) 2015-09-15 2015-09-15 Probe pin and inspection jig equipped with this

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6641818B2 (en)
TW (1) TW201713953A (en)
WO (1) WO2017047495A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019050184A (en) * 2017-07-14 2019-03-28 モレックス エルエルシー Card edge connector
JP2020034352A (en) * 2018-08-28 2020-03-05 オムロン株式会社 Housing for probe pin, inspection jig, inspection unit, and inspection device
KR20200133366A (en) * 2018-05-22 2020-11-27 오므론 가부시키가이샤 Probe pin

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6881343B2 (en) * 2018-02-07 2021-06-02 オムロン株式会社 Probe pins, inspection jigs, inspection units and inspection equipment
JP2022135106A (en) * 2021-03-04 2022-09-15 オムロン株式会社 Probe pin, inspection jig, and inspection jig unit

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11344539A (en) * 1998-05-29 1999-12-14 Hioki Ee Corp Circuit board inspection device
JP2004325306A (en) * 2003-04-25 2004-11-18 Yokowo Co Ltd Coaxial probe for inspection, and inspection unit using the same
JP2006140037A (en) * 2004-11-12 2006-06-01 Suncall Corp Ic socket
JP2006234428A (en) * 2005-02-22 2006-09-07 Omron Corp Contact probe and inspection apparatus
WO2009069500A1 (en) * 2007-11-26 2009-06-04 Sensata Technologies, Inc. Probe pin
JP2012181096A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Micronics Japan Co Ltd Contactor and electrical connection device
JP2013511039A (en) * 2009-11-11 2013-03-28 ハイコン カンパニー リミテッド Spring contact and socket with built-in spring contact
WO2013061486A1 (en) * 2011-10-26 2013-05-02 ユニテクノ株式会社 Contact probe and inspection socket provided with same
JP2015152380A (en) * 2014-02-13 2015-08-24 日置電機株式会社 Substrate inspection device and substrate inspection method

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11344539A (en) * 1998-05-29 1999-12-14 Hioki Ee Corp Circuit board inspection device
JP2004325306A (en) * 2003-04-25 2004-11-18 Yokowo Co Ltd Coaxial probe for inspection, and inspection unit using the same
JP2006140037A (en) * 2004-11-12 2006-06-01 Suncall Corp Ic socket
JP2006234428A (en) * 2005-02-22 2006-09-07 Omron Corp Contact probe and inspection apparatus
WO2009069500A1 (en) * 2007-11-26 2009-06-04 Sensata Technologies, Inc. Probe pin
JP2013511039A (en) * 2009-11-11 2013-03-28 ハイコン カンパニー リミテッド Spring contact and socket with built-in spring contact
JP2012181096A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Micronics Japan Co Ltd Contactor and electrical connection device
WO2013061486A1 (en) * 2011-10-26 2013-05-02 ユニテクノ株式会社 Contact probe and inspection socket provided with same
JP2015152380A (en) * 2014-02-13 2015-08-24 日置電機株式会社 Substrate inspection device and substrate inspection method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019050184A (en) * 2017-07-14 2019-03-28 モレックス エルエルシー Card edge connector
KR20200133366A (en) * 2018-05-22 2020-11-27 오므론 가부시키가이샤 Probe pin
KR102442364B1 (en) 2018-05-22 2022-09-14 오므론 가부시키가이샤 probe pin
JP2020034352A (en) * 2018-08-28 2020-03-05 オムロン株式会社 Housing for probe pin, inspection jig, inspection unit, and inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
WO2017047495A1 (en) 2017-03-23
JP6641818B2 (en) 2020-02-05
TW201713953A (en) 2017-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017047495A1 (en) Probe pin and inspection tool including same
JP2017223628A (en) Probe pin
JPWO2019138505A1 (en) Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection device
JP2017223629A (en) Probe pin
US11187722B2 (en) Probe pin and electronic device using the same
US20180011127A1 (en) Kelvin probe and kelvin inspection unit provided with same
US10928420B2 (en) Probe pin and inspection unit
JP2020026972A (en) Inspection tool, inspection unit and inspection device
KR20210022670A (en) Probe unit
JP2016170096A (en) Probe pin, and probe unit equipped with the same
JP7314633B2 (en) Probe pins, inspection fixtures and inspection units
JP2017223453A (en) Inspection jig
JP6582780B2 (en) Probe pin and inspection jig using the same
JP2019207245A (en) Probe pin
WO2018042931A1 (en) Probe pin
JP2015062201A (en) Connection member
WO2016031512A1 (en) Inspection terminal unit, probe card and method for manufacturing inspection terminal unit
WO2020095679A1 (en) Probe pin and inspection jig
JP2020170008A (en) Probe pin
JP6567954B2 (en) Socket for electrical parts
JP2020180889A (en) Probe pin, inspection jig, and inspection unit
JP6881354B2 (en) Inspection unit and inspection equipment
JP2014126363A (en) Electric contactor and socket for electric component
JP2017091756A (en) Press-fit terminal
JP2020180888A (en) Probe pin, inspection jig, and inspection unit

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20171130

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180706

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190604

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190625

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191001

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191216

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6641818

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150