JP2017058138A - 絶対位置検出型光電式エンコーダ - Google Patents

絶対位置検出型光電式エンコーダ Download PDF

Info

Publication number
JP2017058138A
JP2017058138A JP2015180631A JP2015180631A JP2017058138A JP 2017058138 A JP2017058138 A JP 2017058138A JP 2015180631 A JP2015180631 A JP 2015180631A JP 2015180631 A JP2015180631 A JP 2015180631A JP 2017058138 A JP2017058138 A JP 2017058138A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
code
pattern
combination
scale
bits
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015180631A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6634249B2 (ja
Inventor
州 平田
Shu Hirata
州 平田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2015180631A priority Critical patent/JP6634249B2/ja
Priority to EP16187735.2A priority patent/EP3141874B1/en
Priority to US15/262,423 priority patent/US10119844B2/en
Priority to CN201610827562.2A priority patent/CN107024235B/zh
Publication of JP2017058138A publication Critical patent/JP2017058138A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6634249B2 publication Critical patent/JP6634249B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34776Absolute encoders with analogue or digital scales
    • G01D5/34792Absolute encoders with analogue or digital scales with only digital scales or both digital and incremental scales
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34776Absolute encoders with analogue or digital scales

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

【課題】高分解能を維持しつつ、汚れに対するロバスト性を向上できる絶対位置検出型の光電式エンコーダを提供する。【解決手段】スケールには、擬似ランダム符号系列に従った2準位符号パターンが測長方向に沿って設けられている。2準位符号パターンの一つの符号を、符号"1"または符号"0"とし、一つの符号を表わす2ビットの一つのビットを、LまたはHとする。符号"1"は、LとHとの組み合わせであるAパターンで表わされ、符号"0"は、LとLとの組み合わせであるBパターンと、HとHとの組み合わせであるCパターンと、で表わされ、さらに、符号"0"が連続する場合には、BパターンとCパターンとが交互に使用されている。【選択図】図5

Description

本発明は位置検出装置に関し、具体的には、絶対位置検出型(アブソリュート型)の光電式エンコーダに関する。
ABS(absolute)スケールを用いた絶対位置検出型の光電式エンコーダが知られている(特許文献1)。ABSスケールのABSスケールパターンとして、擬似ランダム符号系列の一種であるM系列符号を使用したものが知られている。
図1から図3を参照して従来のアブソリュート型光電式エンコーダを説明する。まず図に示すように、アブソリュート型光電式エンコーダ100はABSスケール200と、ABSスケール200に沿って測長方向に相対的に移動可能に設けられた検出ヘッド部300と、を備える。
図2はABSスケールに設けられるABSスケールパターンの一例である。ABSスケールパターンとしては疑似ランダム符号系列の一種であるM系列符号を用いている。M系列符号パターン内の連続するNコの符号を取り出したとき、M系列符号パターンの一周期内において、このNコの符号パターンと同一のものは一か所にしか出現しない。
図2の例においては、"1"と"0"とをランダムに配置したABSスケールパターンにおいて、"1","0"の符号をそれぞれ2ビットで表現している。
符号"1"は透過部と反射部との組み合わせである。一方、符号"0"は2ビットとも透過部である。
ここで、後の説明のため、透過部を「暗部」(または"L")とし、反射部を「明部」(または"H")とする。
検出ヘッド部300は、光源310と、レンズ320と、受光部330と、信号処理部400と、を備えている。
光源310は、ABSスケール200に向けて光を発射する。光は、ABSスケール200の反射部では反射し、透過部では透過し、反射光がレンズ320を介して受光部330の受光面に入射する。
受光部330の受光面にはABSスケールパターンに応じた明暗のイメージパターンができる。
図3に受光部330の受光面を示す。
受光部330の受光面にはフォトダイオードアレイ340が設けられている。フォトダイオードアレイ340は、ABSスケールパターンのピッチを検出できるピッチでフォトダイオード341が配列されてなるものである。フォトダイオードアレイ340を構成する各フォトダイオード341にはスイッチ342が設けられており、スイッチ342を介して信号処理部400に接続されている。スイッチ342を順次ONにすることにより、各フォトダイオード341からの受光信号を掃引する。
信号処理部400は、イメージ取得部410と相関演算部420とを有する。相関演算部420には、予めABSスケールパターンの設計値が参照パターンとして記憶されている。相関演算部420は、受光部330で取得した信号パターンと前記参照パターンとの相関演算を行い、相関のピークから位置を求める。このようにしてABSスケールパターン上の絶対位置が取得される。
特許5553669号
ABS光電式エンコーダを使用しているうちにABSスケール200と検出ヘッド部300との間にホコリ等が侵入したりしてABSスケールパターンに汚れが付着するおそれがある。ABSスケールパターンに汚れが付着すると受光部330で取得する信号パターンも汚れの影響を受けて変化する。このように汚れて変化した信号パターンに基づいて相関演算を行うと、正しくない位置で相関のピークが現れ、位置検出を誤ってしまう可能性が高くなってくる。
例えば、図4に一例を示す。
図4(A)の下段を見ていただくと、スケールパターンに汚れが付いているが、この部分はもともと非反射部であるから、結果的には信号パターンに変化はない。しかし、図4(B)のように、もともと反射部であるところに汚れがつくと、信号パターンに変化が生じてしまって誤検出に繋がるおそれがある。
そこで、汚れによる位置の誤検出を回避するための方策がいくつか提案されてきた。
ひとつは、相関演算に用いる符号の数を十分に多くすることである。しかし、相関演算に用いる符号の数を多くすれば、それだけ演算量が増えるという問題がある。また、相関演算に用いる符号の数をどんなに多くしたとしても、絶対に間違いが無いとはいえない。
その他の例として、特許文献1においては、ABSスケールパターンを一定ピッチで分割したり、一部のパターンを測長方向にずらしたりするなどの方法が提案されている。しかしながら、このような方式を採用すると、必然的にABSスケールの位置分解能が粗くなるのは当然である。
そこで本発明の目的は、高分解能を維持しつつ、汚れに対するロバスト性を向上できる絶対位置検出型の光電式エンコーダを提供することにある。
本発明のスケールは、
絶対位置検出型の光電式エンコーダに使用されるスケールであって、
前記スケールには、疑似ランダム符号系列に従った2準位符号パターンが測長方向に沿って設けられており、
前記符号パターンの一つの符号は2ビットの組み合わせで構成されているとともに、2準位符号を表現するのに3種類以上のビット組合せパターンが使用されている
ことを特徴とする。
本発明では、
前記2準位符号パターンの一つの符号を、符号"1"または符号"0"とし、
一つの符号を表わす2ビットの一つのビットを、LまたはHとするとき、
Lの配置が連続する上限値があり、かつ、Hの配置が連続する上限値がある
ことが好ましい。
本発明では、
前記符号"0"を表現するビットの組合せパターンが2種類以上あり、
前記符号"0"が連続する場合には、隣の組合せパターンとは異なる種類の組合せパターンが使用される
ことが好ましい。
本発明では、
前記符号"1"は、LとHとの組み合わせであるAパターンで表わされ、
符号"0"は、LとLとの組み合わせであるBパターンと、HとHとの組み合わせであるCパターンと、で表わされ、
符号"0"が連続する場合には、前記Bパターンと前記Cパターンとが交互に使用されている
ことが好ましい。
本発明では、
前記2準位符号パターンの一つの符号を、符号"1"または符号"0"とし、
一つの符号を表わす2ビットの一つのビットを、LまたはHまたはMとするとき、
前記符号"1"は、LとHとの組み合わせであるAパターンで表わされ、
前記符号"0"は、LとLとの組み合わせであるBパターンと、HとHとの組み合わせであるCパターンと、2ビットともMとするDパターンと、のうちから選択される2つ以上のパターンで表現され、
前記符号"0"が連続する場合には、隣の組合せパターンとは異なる種類の組合せパターンが使用される
ことが好ましい。
本発明では、
符号"1"と符号"0"とを交換するように読み替えてもよい。
本発明の光電式エンコーダは、前記スケールと、
前記スケールに沿って相対的に移動可能に設けられ、前記スケール上の前記擬似ランダム符号系列に基づいて前記スケール上の絶対位置を検出する検出部と、を備える
ことを特徴とする。
アブソリュート型光電式エンコーダの構成図である。 ABSスケールに設けられるABSスケールパターンの一例を示す図である。 受光部330の受光面を示す図である。 スケールパターンに汚れが付いている状態を示す図。 本発明の方式で作成したABSスケールパターンの一例を示す図である。 符号を表現するビットパターンを例示した図である。 "0"を表現するBパターンとCパターンとの配置ルールを説明するための図である。 本発明の効果を説明するための図である。 変形例を説明するための図である。 変形例を説明するための図である。 信号処理部の機能ブロック図である。 信号処理部の動作手順を説明するためのフローチャートである。 汚れ判定処理の手順を説明するためのフローチャートである。 量子化、マスキング、符号化の一例を示す図である。 第3実施形態を説明するためのフローチャートである。 第3実施形態を説明するためのフローチャートである。 第3実施形態を説明するためのフローチャートである。
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
図5〜図8を参照して本発明の第1実施形態を説明する。
本発明の基本的な構成は図1〜図3で説明したものと同じである。
本発明の特徴はABSスケールパターンの設け方にある。具体的にいうと、本発明の特徴は、ABSスケールパターンにおいて"1"および"0"の符号をABSスケールパターン上で表現する際の表現の仕方に特徴がある。
図5を参照されたい。
図5中の(A)は従来技術の表現方法でABSスケールパターンを作成したものである。
図5中の(B)は、本発明の方式で作成したABSスケールパターンの例である。
図5(A)の従来技術において、前述の通り"1"および"0"はそれぞれ2ビットで表現されており"1"は暗部(L)と明部(H)の組合せであり、"0"は2ビットとも暗部である。
図5(B)の本発明によるABSスケールパターンにおいて、"1"は従来技術と同じく暗部と明部との組み合わせである。この(暗、明)の組み合わせをAパターンと称することにする。
さて、符号"0"の表現の仕方が従来技術と異なる。
図6に示すように、符号"0"を表現するパターンとして1つだけでなく2種類用意する。2ビットとも暗部とするBパターンと、2ビットとも明部とするCパターンと、が符号"0"を表すとする。(暗、暗)がBパターンで、(明、明)がCパターンである。
このように同じ符号"0"を表現するのに異なる2つのパターンを用いる。
図7は、"0"を表現するのにBパターンとCパターンとのどちらを配置するのかを決定する設計ルールを説明するための図である。
符号"0"を表現するにあたっては、直前(ここでは左側)にある"0"をみて、BパターンとCパターンとが交互に現れるようにする。
図7中の例でいうと、一番左にある"0"はどちらでもよいのであるが、ここではCパターンにしたとする。
この"0"の右隣りは"1"であるからAパターンをおく。
この"1"の右隣りの"0"について考える。
この"0"の左側をみると直前の"0"はCパターンであった。したがって今回の"0"についてはBパターンを採用している。さらにその右隣の"0"を表現するにあたっては先ほどのBパターンと異なるCパターンとする。
このように符号"0"を表現するにあたって、左側にある直前の"0"とは異なるパターンを採用していくとすれば、暗部も明部も最大でも3つしか連続しないはずである。
逆に考えれば、受光部330で検出した信号のパターンにおいて、明部または暗部が連続して4つ以上続いていれば、それは設計ルールから外れているのであり、何らかの汚れの影響と判断できる。
図8(A)をご覧頂くと、これは符号"0"のところに汚れがついている。仮に、符号"0"を総て非反射部としていると、0なのか汚れなのかは信号パターンからは判別できない。この場合は従来技術のままでも結果としては信号パターンに変化がないのであるが、これは偶然に過ぎない。
この点、本実施形態のABSスケールにおいては、暗部が4つ以上連続することはないはずである。したがって、暗部が4つ以上連続するところは汚れと判断できる。
また、図8(B)をご覧頂きたい。
これは符号"1"のところに汚れがついている。これでは、明らかに信号パターンに変化が生じてしまう。
この場合も当然、暗部が4つ以上連続するところは汚れと判定し、相関演算には用いないようにできる。
すなわち、本来"1"であるところを誤って"0"として相関演算に使用することはなくなる。そうすれば、相関演算において、誤った位置で相関のピークが出現するような事態は起こらなくなる。したがって、位置検出で誤った位置と認識することはなくなる。
なお、ここでは汚れが非反射部になると仮定したが、汚れが光を反射する場合でも本実施形態は同じ効果が得られる。つまり、本実施形態の設計ルールに従えば明部が4つ以上連続することはないのであり、明部が4つ以上連続していれば、それは汚れの影響であると判定できる。
このように本実施形態のABSスケールを用いれば、汚れに起因する不正確なデータを相関演算に使用しないこととできる。したがって、位置検出の正確度(信頼度)が向上する。
また、本実施形態のように、"0"を表現するBパターンとCパターンとが交互に使用されるようにすれば、明部と暗部との出現頻度がほぼ等しくなる。このようにすると、受光強度から量子化する際のしきい値を設定しやすくなり、信号処理部400の負荷軽減あるいは信号処理部400の簡素化を図ることができる。
(変形例1)
次に変形例1を説明する。
図9は変形例1を説明するための図である。
先ほどの実施形態においては、"0"を表現するBパターンとCパターンとが必ず交互に出現するようにした。
ここで、変形例1として、暗部および明部がそれぞれ4つ以上連続しないならば、BパターンとCパターンとを選択する際の自由度を高めてもよい。
例えば、図9(A)(B)に示すように、"0"が単独で孤立している場合、すなわち、両側が"1"であれば、"0"を表現するのにBパターンとCパターンとのどちらを使用してもよい。いずれにしても明部または暗部が4つ以上連続することはない。
ただし、図9(C)に示すように、"0"が2以上連続する場合にはBパターンとCパターンとは交互でなければならない。
少なくともこの設計ルールを守ってさえいれば明部または暗部が4以上連続することはない。
(変形例2)
さらに変形例2を説明する。
本発明のポイントの一つは"1"と"0"の2種類の符号を表現するのに3種類のパターンを用いる点にある。
したがって例えば図10(A)のようにしてもよい。
図10(A)においては、"0"を表現するのに2ビットとも暗部のもの(Bパターン)と、2ビットともハーフトーンのものとにする。2ビットともハーフトーンとするパターンをDパターンとする。
つまり"0"を表現するのにBパターンとDパターンを交互に使用する。
明部を"H"、暗部を"L"と表現するのに対し、ハーフトーン(中間部)を"M"とする。
あるいは図10(B)のようにしてもよい。
すなわち、2ビットともハーフトーンというのは反射率約50%の膜で実現しなくても上半分を暗部、下半分を明部にしてもよいわけである。
図10(A)や(B)のパターンをさらに図10(C)や(D)のように変形してもよい。
"1"を表現するのに暗部と明部ではなくて明部と暗部との順にしてもよい。
これをA′パターンとする。
また"0"を表現するのにBパターンに代えてCパターンを使用するようにしてもよい。
なお、ここまでの説明において、符号"1"と符号"0"とを入れ換えてもよいことはもちろんのことである。
(第2実施形態)
次に本発明の第2実施形態を説明する。
第2実施形態として、汚れ判定を利用した信号処理動作を説明する。
図11は第2実施形態としての信号処理部500の機能ブロック図である。
信号処理部500は、イメージ取得部510と、量子化部520と、汚れ判定部530と、マスキング部540と、符号化部550と、相関演算部560と、中央制御部570と、を備える。
なお、信号処理部500は、主として、CPU、ROM、RAMで構成されるものであり、演算プログラムをロードすることで前記各機能部をして動作するものである。
各機能部の動作については図12のフローチャートを参照しながら説明していく。
図12は、信号処理部500の動作手順を説明するためのフローチャートである。
まず、イメージ取得部510は、受光部330のフォトダイオードアレイ340からの信号を順次掃引してABSスケール200の検出イメージを取得する(ST110)。そして、取得した検出イメージを順次量子化していく(ST120)。ここでは、受光強度に対して適切なしきい値が設定されているとする。このしきい値との対比により、暗部と明部とを区別して2値化する。ここでは後の説明のため、暗部を"L"とし明部を"H"とする。
すると、図14の2段目にあるように量子化される。
ここで、図14中の例では、ABSスケール200の一部に汚れが付いてしまっている。フォトダイオード341での受光強度がしきい値より低ければ、もちろんその量子化値は"L"である。これは従来技術と同じである。
量子化(ST120)に続いて、汚れ判定部530による汚れ判定(ST130)を行う。
汚れ判定処理(ST130)を図13のフローチャートを参照しながら説明する。図13は、汚れ判定処理(ST130)の手順を説明するためのフローチャートである。
汚れ判定処理(ST130)にあたって、まずビットを数えるためのパラメータnを初期化する。
後の処理の都合上n=4に初期化する。
なお、ここでは、図14において左端から順に1、2、3・・・と付番することにする。
汚れ判定部はnビット目の量子化値を取得する(ST132)。今、n=4であるとする。4ビット目の量子化値は"L"である。
次にn−3、n−2、n−1ビット目の量子化値を取得する(ST133)。つまり連続する4ビットの量子化値を取得する。今、n=4なので、1ビット目、2ビット目、3ビット目の量子化値を取得する(ST133)。
そして、連続する4つのビットの量子化値が同じか否かを判定する。
ABSスケールパターンの設計ルール上、同じ量子化値が連続するのは3つまでであり、4つ以上同じ量子値(LまたはH)が連続することはないはずである。そこで、判定対象としているnビット目に対して直前の3ビットの量子化値を対照する。
全部が同じでなければ(ST134:NO)、少なくとも設計ルール上はあり得るパターンであるから信頼できると考え、マスキングしないこととする(ST135)。
一方、全部同じ(全部Hまたは全部L)であれば(ST134:YES)、nビット目の量子化値は設計ルールから外れているので信頼できず、汚れの影響であると判断する。
この場合、nビット目の量子化値は使わないようにマスキングしてしまう(ST136)。
パラメータnが取得イメージの全ビット数に達するまでST132〜ST138を繰り返し、取得イメージの全ビット数に達したら汚れ判定は終了である(ST137:YES)。
図14の3段目は、マスキングのON/OFFを図示したものである。
汚れ判定(ST130)が終了したら、続いて符号化部550による符号化を行う(ST150)。符号化にあたっては、マスキングされていないビットの量子化値を用いる。
2ビットで1つの符号を表す。
(L、H)の組は符号"1"に変換される。
(L、L)および(H、H)の組は符号"0"に変換される。
図14の4段目は、符号化した結果の例示である。
マスキング(ST136)により量子化値が不明になっているところがある。当然、マスキングされたビットに関係にするところは符号が不明である。図14中では、不明を"?"で表現した。
このようにして符号化されたデータを用いて参照パターンとの相関演算を行う(ST160)。相関演算で最も高い相関を示す位置が現在の絶対位置として求められる。(ST170)
本第2実施形態の処理を行うことで、汚れによって不確かになっている符号を判別することができる。そして、不確かな符号については相関演算には使用しないようにできる。これにより、位置検出の正確度(信頼度)が向上する。
(第3実施形態)
図15〜図17のフローチャートを参照して第3実施形態を説明する。
第2実施形態において汚れ判定を説明した。
汚れ判定(ST130)によって、信頼できる量子化値と信頼できない量子化値とを峻別できるわけであるから、信頼できる量子化値が所定数得られたところで量子化処理も汚れ判定処理も終了してしまってもいいわけである。
重複した説明をなるべく避けるため第2実施形態と共通した処理ステップには同じステップ番号を付した。
簡単に順番に説明していく。
ST110において、受光部330から検出イメージを取得する。続いて、量子化部520で量子化を行うが、本実施形態では一度に全部量子化しないで必要な分だけ順次量子化する。
汚れ判定(ST130A)に必要なので、最初は4ビット目まで量子化する(ST111〜ST123)。そして、4ビット目まで量子化したら(ST122)、この4ビット目に対して汚れ判定を実行する(ST130A)。
汚れ判定の動作は、第2実施形態と同様であるが、図16に改めて示すように、対象となるビット(nビット目)について汚れ判定したら一旦終了である。
図15に戻って、汚れ判定(ST130A)に続き、終了条件を満たすか否か判定する(ST140)。
終了条件判定(ST140)を図17のフローチャートに示す。
終了条件として、マスキングがOFFになっているビット数が所定数(ここでは40)以上になっているかを判定する(ST141)。
この所定数(ここでは40)は、相関演算に必要なビット数である。この数値を演算可能数と称することにする。
なお、汚れ判定(ST130A)の誤り率を加味し、理論上の最低数に少し余裕をもたせて前記所定数(演算可能数)を設定しておくことが好ましい。例えば、理論上の最低数が20だとして、ここでは演算可能数としてその倍の40にしている。
本発明を用いない場合、理論上の最低数に対して約4倍の冗長性を持たせるのが一般的である。本発明としては、演算可能数を、理論上の最低数に対して1倍から3倍の範囲で設定してもよい。好ましくは、演算可能数を、理論上の最低数に対して1.5倍から2.5倍、より好ましくは、1.5倍から2倍とする。もちろん、汚れ判定の精度が極めて高ければ、演算可能数を、理論上の最低数に対して1.1倍〜1.3倍の範囲で設定することもできる。
相関演算に必要な分のデータが揃ってしまえば(ST141:YES)、量子化(および汚れ判定)を終了し(ST140:YES)、符号化(ST150)に移行する。
一方、マスキングOFFのビット数が所定数に達していない場合には(ST141:NO)、パラメータnがビット数の上限に達したか確認する(ST142)。
ビット数が上限に達していればもちろん終了する(ST142:YES)。
相関演算に必要なデータが得られずに(ST141:NO)、ビット数の上限に達していると(ST142:YES)、これはスケールが汚れすぎて、もはや信頼できる相関演算は不可能である。したがって、スケール汚れの警告をユーザに報知しておく(ST143)。
パラメータnがビット数の上限に達していなければ(ST142:NO)、もちろん、引き続き量子化(ST121)および汚れ判定(ST130A)を継続する(ST140:NO、ST145)。
このあとの符号化(ST150)以降の相関演算(ST160)は第2実施形態に倣えばよいので説明は割愛する。
本第3実施形態によれば、相関演算に必要な分だけ確度が高い量子化値が得られたところで量子化および符号化の処理を終了してしまう。したがって、演算処理の高速化、信号処理部の負担軽減を図ることができる。
もちろん、相関演算に用いる符号の数も少なくなるのであるから、演算処理の高速化や信号処理の負担軽減の効果は絶大である。
なお、本発明は上記実施形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記実施形態では、ABSスケールが反射型である場合を例示したが、ABSスケールを透過型としてもよいことはもちろんである。
量子化値の確度が高ければマスキングをオフし(ST135)、量子化値が不確かであればマスキングをオン(ST136)にするとしたが、これは一例である。確度が高いというフラグを用いてもよいし、不確かであるというフラグを用いてもよく、同等な効果が得られれば手段は問わない。
上記実施形態では直線型のスケールおよびエンコーダを例示したが、本発明はロータリーエンコーダにも適用できることはもちろんである。
100…アブソリュート型光電式エンコーダ、
200…スケール、
300…検出ヘッド部、310…光源、320…レンズ、330…受光部、340…フォトダイオードアレイ、341…フォトダイオード、342…スイッチ、
400…信号処理部、410…イメージ取得部、420…相関演算部、
500…信号処理部、510…イメージ取得部、520…量子化部、530…判定部、540…マスキング部、550…符号化部、560…相関演算部、570…中央制御部。

Claims (7)

  1. 絶対位置検出型の光電式エンコーダに使用されるスケールであって、
    前記スケールには、疑似ランダム符号系列に従った2準位符号パターンが測長方向に沿って設けられており、
    前記符号パターンの一つの符号は2ビットの組み合わせで構成されているとともに、2準位符号を表現するのに3種類以上のビット組合せパターンが使用されている
    ことを特徴とするスケール。
  2. 請求項1に記載のスケールにおいて、
    前記2準位符号パターンの一つの符号を、符号"1"または符号"0"とし、
    一つの符号を表わす2ビットの一つのビットを、LまたはHとするとき、
    Lの配置が連続する上限値があり、かつ、Hの配置が連続する上限値がある
    ことを特徴とするスケール。
  3. 請求項2に記載のスケールにおいて、
    前記符号"0"を表現するビットの組合せパターンが2種類以上あり、
    前記符号"0"が連続する場合には、隣の組合せパターンとは異なる種類の組合せパターンが使用される
    ことを特徴とするスケール。
  4. 請求項2または請求項3に記載のスケールにおいて、
    前記符号"1"は、LとHとの組み合わせであるAパターンで表わされ、
    符号"0"は、LとLとの組み合わせであるBパターンと、HとHとの組み合わせであるCパターンと、で表わされ、
    符号"0"が連続する場合には、前記Bパターンと前記Cパターンとが交互に使用されている
    ことを特徴とするスケール。
  5. 請求項1に記載のスケールにおいて、
    前記2準位符号パターンの一つの符号を、符号"1"または符号"0"とし、
    一つの符号を表わす2ビットの一つのビットを、LまたはHまたはMとするとき、
    前記符号"1"は、LとHとの組み合わせであるAパターンで表わされ、
    前記符号"0"は、LとLとの組み合わせであるBパターンと、HとHとの組み合わせであるCパターンと、2ビットともMとするDパターンと、のうちから選択される2つ以上のパターンで表現され、
    前記符号"0"が連続する場合には、隣の組合せパターンとは異なる種類の組合せパターンが使用される
    ことを特徴とするスケール。
  6. 請求項3から請求項5のいずれかに記載のスケールにおいて、
    符号"1"と符号"0"とを交換するように読み替えたようにした
    ことを特徴とするスケール。
  7. 請求項1から請求項6のいずれかに記載のスケールと、
    前記スケールに沿って相対的に移動可能に設けられ、前記スケール上の前記擬似ランダム符号系列に基づいて前記スケール上の絶対位置を検出する検出部と、を備える
    ことを特徴とする光電式エンコーダ。
JP2015180631A 2015-09-14 2015-09-14 絶対位置検出型光電式エンコーダ Active JP6634249B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015180631A JP6634249B2 (ja) 2015-09-14 2015-09-14 絶対位置検出型光電式エンコーダ
EP16187735.2A EP3141874B1 (en) 2015-09-14 2016-09-08 Absolute position detection type photoelectric encoder
US15/262,423 US10119844B2 (en) 2015-09-14 2016-09-12 Scale for an absolute position detection type photoelectric encoder with three or more two-bit combination patterns are used to represent a two-level code pattern
CN201610827562.2A CN107024235B (zh) 2015-09-14 2016-09-14 标尺和光电编码器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015180631A JP6634249B2 (ja) 2015-09-14 2015-09-14 絶対位置検出型光電式エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017058138A true JP2017058138A (ja) 2017-03-23
JP6634249B2 JP6634249B2 (ja) 2020-01-22

Family

ID=56888980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015180631A Active JP6634249B2 (ja) 2015-09-14 2015-09-14 絶対位置検出型光電式エンコーダ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10119844B2 (ja)
EP (1) EP3141874B1 (ja)
JP (1) JP6634249B2 (ja)
CN (1) CN107024235B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020008312A (ja) * 2018-07-03 2020-01-16 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダの信号処理方法
DE102023133130A1 (de) 2022-12-16 2024-06-27 Mitutoyo Corporation Skala, Encoder vom elektromagnetischen Induktionstyp und Herstellungsverfahren für Skala

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10724877B2 (en) * 2017-10-23 2020-07-28 Mitutoyo Corporation Compact pseudorandom scale and read head for an inductive type absolute position encoder
KR102041890B1 (ko) * 2018-02-13 2019-11-27 한국표준과학연구원 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치, 및 컬러 스케일

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1082744B (de) * 1958-03-28 1960-06-02 Feinmechanik Verfahren zum Messen oder Steuern von Bewegungen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
DE50203793D1 (de) * 2002-01-17 2005-09-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
DE10244547B4 (de) * 2002-09-25 2010-11-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung einer absoluten Position
US20050088667A1 (en) * 2003-10-23 2005-04-28 Yeo Chiau W. Absolute position encoder requiring less than one encoding track per bit
JP4846331B2 (ja) * 2005-01-18 2011-12-28 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ、及び、そのスケール
JP4953653B2 (ja) * 2006-02-15 2012-06-13 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
JP5021244B2 (ja) * 2006-07-03 2012-09-05 株式会社ミツトヨ 変位検出エンコーダ
US9087248B2 (en) * 2006-12-11 2015-07-21 Ncr Corporation Method, system, and apparatus for a multiple path image scanner
US7709784B2 (en) * 2008-04-30 2010-05-04 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical encoder with code wheel misalignment detection and automatic gain control
JP5112989B2 (ja) * 2008-08-20 2013-01-09 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
EP2318810B1 (en) * 2008-08-26 2018-08-01 The University Court Of The University Of Glasgow Uses of electromagnetic interference patterns
EP2199752B1 (en) * 2008-12-17 2019-08-28 Fagor, S.Coop. Absolute position encoder
EP2314990B1 (en) * 2009-10-23 2014-05-14 Mitutoyo Corporation Photoelectric encoder
JP5553669B2 (ja) 2010-04-16 2014-07-16 株式会社ミツトヨ 光学式絶対位置測長型エンコーダ
CN101924585B (zh) * 2010-08-10 2013-10-02 中国科学院计算技术研究所 一种两级码本的构造与信道反馈方法
CN101922947A (zh) * 2010-08-20 2010-12-22 西南交通大学 一种光电编码器
CN102095439B (zh) * 2010-08-27 2012-07-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 单码道绝对位置编码方法、解码方法及测量装置
JP2013221795A (ja) * 2012-04-13 2013-10-28 Nikon Corp エンコーダ、及び駆動装置
WO2013172561A2 (ko) * 2012-05-15 2013-11-21 한국표준과학연구원 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일
JP6161325B2 (ja) * 2013-02-27 2017-07-12 キヤノン株式会社 アブソリュートエンコーダ
CN103557878B (zh) * 2013-07-26 2015-12-02 广东工业大学 一种绝对光栅尺的多轨道编码方法
JP6359254B2 (ja) * 2013-09-03 2018-07-18 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
CN104713479B (zh) * 2015-03-11 2017-04-12 吉林大学珠海学院 一种绝对式直线光栅尺及其编码方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020008312A (ja) * 2018-07-03 2020-01-16 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダの信号処理方法
US11054287B2 (en) 2018-07-03 2021-07-06 Mitutoyo Corporation Signal processing method for photoelectric encoder
JP7114371B2 (ja) 2018-07-03 2022-08-08 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダの信号処理方法
DE102023133130A1 (de) 2022-12-16 2024-06-27 Mitutoyo Corporation Skala, Encoder vom elektromagnetischen Induktionstyp und Herstellungsverfahren für Skala

Also Published As

Publication number Publication date
EP3141874A1 (en) 2017-03-15
CN107024235A (zh) 2017-08-08
EP3141874B1 (en) 2018-12-26
CN107024235B (zh) 2021-04-06
US10119844B2 (en) 2018-11-06
US20170074687A1 (en) 2017-03-16
JP6634249B2 (ja) 2020-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6744066B2 (ja) 光電式エンコーダ
JP6634249B2 (ja) 絶対位置検出型光電式エンコーダ
JP4895304B2 (ja) 測距方法および装置
CN101504277B (zh) 一种光学三维传感获取物体三维图像的方法
JP4447875B2 (ja) 絶対位置を測定する方法
US20050072016A1 (en) Position measuring device
JP5021244B2 (ja) 変位検出エンコーダ
JP2008268215A (ja) エンコーダ
CN106122162B (zh) 流体缸
US9810555B2 (en) Absolute encoder that provides increased accuracy against defect in scale thereof
FR3031596A1 (fr) Systeme de mesure par ultrasons et son procede de gestion
CN101750108B (zh) 绝对位置编码器
CN110672136B (zh) 用于光电编码器的信号处理方法
JP7044604B2 (ja) 光電式エンコーダの信号処理方法
JP4885630B2 (ja) 二次元エンコーダ、及び、そのスケール
CN117190910A (zh) 一种多元格雷相位编码的高频条纹解包裹方法
EP2312273B1 (en) Displacement detector, displacement detection method and computer program product
JP2015137955A (ja) アブソリュートエンコーダ
US20030187609A1 (en) Position transducer
US9322675B2 (en) Absolute encoder and method of obtaining absolute position by a plurality of quantized data based on a plurality of extrema
KR102041890B1 (ko) 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치, 및 컬러 스케일
JP7486843B2 (ja) 光飛行時間測定において距離決定をテストするためのテストデータを生成する装置及び方法
US20230375373A1 (en) Encoder and information processing method
FR2966240A1 (fr) Procede de detection d'un dysfonctionnement d'au moins un photorecepteur equipant un capteur de position angulaire de type codeur absolu

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180807

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190522

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190612

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190808

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191126

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191216

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6634249

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250