JP4846331B2 - 光電式エンコーダ、及び、そのスケール - Google Patents

光電式エンコーダ、及び、そのスケール Download PDF

Info

Publication number
JP4846331B2
JP4846331B2 JP2005293228A JP2005293228A JP4846331B2 JP 4846331 B2 JP4846331 B2 JP 4846331B2 JP 2005293228 A JP2005293228 A JP 2005293228A JP 2005293228 A JP2005293228 A JP 2005293228A JP 4846331 B2 JP4846331 B2 JP 4846331B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scale
value
image
photoelectric encoder
correlation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005293228A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006226987A (ja
Inventor
愛彦 江口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2005293228A priority Critical patent/JP4846331B2/ja
Publication of JP2006226987A publication Critical patent/JP2006226987A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4846331B2 publication Critical patent/JP4846331B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、スケール上のビットパターンの画像を検出器で取得して、スケールと検出器の相対変位を検出するようにされた光電式エンコーダ、及び、そのスケールに係り、特に、マイクロメータやインジケータ等のバッテリ駆動の小型変位測定機、更にリニアスケールに用いるのに好適な、光電式エンコーダ、及び、そのスケールに関する。
特許文献1〜4に記載されている如く、図1(特許文献4の例)に示すように、絶対位置を得ようとするバイナリパターンや、M系列等の擬似乱数列を表現したABSコード608を有するトラックをスケール607上に配置して、透過又は反射により得られる光信号を検出器601で検出し、その2値化された値から絶対位置を復号する光電式絶対位置検出(ABS)エンコーダが知られている。図において、600は検出ヘッド、601a、601bは、それぞれ、X方向終端又は前端のABSコード検出器、602はマーカ検出器、603は、シフトレジスタ604、変換回路605、606、シフトレジスタ制御信号発生回路610を備えた信号処理回路である。
しかしながら、この装置では、初期位置をスケール607又は検出ヘッド600の移動を行なわずに検出するためには、特許文献2のように、必要ビット長分の長い検出器が必要になる。
又、別の手法としては、絶対位置を示すトラックを並列に必要ビット分配置して、同時に検出器も同数用意する方法もある。
更に、ビットパターンの境界で0か1か不定になるのを防ぐため、特許文献3のように、検出ポイントを3点に増やしたり、特許文献4のように、検出器を移動させる方法もある。
あるいは、より高精度な位置を得るために、特許文献1〜4のように、図1に示した如く、インクリメンタルコード609を備えたトラックを併用し、内挿したインクリメンタルのカウントと絶対位置を合成することも行なわれている。
又、特許文献5のように、2次元のイメージセンサを用いて、画像相関を計算することも行なわれている。
特開平7−286861号公報 特開2000−234941号公報 特開2002−131088号公報 特開2002−168655号公報(図6) 特開2002−230560号公報
しかしながら、単一のトラックで高精度を得るためには、スケールを微細加工しなければならず、コスト高になる。又、絶対位置コードの読出しが不正確になり勝ちである。更に、特許文献1乃至4のように、インクリメンタルのスケールトラックを併用する方法では、常時インクリメンタルの信号を読む必要があり、消費電力が増加してしまうため、低消費電力が必要なバッテリ駆動の機器への搭載が制限されてしまう。又、インクリメンタルトラックを増やす分だけコストも増加する。
又、特許文献5のように、画像の半分相当の領域を用いて画像相関を行う方法では、例えば一次元のみの相関を行った場合でも、画像相関演算のための演算量が膨大で、そのままでは、消費電力、コスト、サイズの面からバッテリ駆動の小型変位測定機には採用できない等の問題点を有していた。
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、低消費電力、低価格で且つ高精度、高分解能であって、より広範囲の絶対位置の表現や誤り訂正符号の付加が可能な光電式エンコーダ、及び、そのスケールを提供することを課題とする。
本発明は、スケール上のビットパターンの画像を検出器で取得して、スケールと検出器の相対変位を検出するようにされた光電式エンコーダにおいて、前記ビットパターンを、共通の部分とベクトル値が順次割り当てられた部分とでなるフレームパターンを持つように変調すると共に、前記ベクトル値を、擬似乱数列を、使用するベクトル値の次元で区切ったものとすることにより、前記課題を解決したものである。
又、前記変調されたビットパターン内に共通で現われる部分を参照画像として画像相関を行なうようにしたものである。
又、画像相関値のピーク位置を用いて、絶対位置コードのデコード開始位置を正確に決定できるようにしたものである。
又、画像相関した値を使用して、最小二乗法によるフィッティングや特許文献5に記載の方法により、相関値の極値を高精度で推定できるようにしたものである。
又、前記ピーク検出を必要最低限行なうことで、画像相関を終了するようにして、計算量を削減したものである。
又、得られた相関値の極値と絶対位置コードを合成することで、高精度な絶対位置が得られるようにしたものである。
本発明は、又、共通の部分とベクトル値が順次割り当てられた部分とでなるフレームパターンを持つように変調されたビットパターンを備え、前記ベクトル値が、擬似乱数列を、使用するベクトル値の次元で区切ったものとされていることを特徴とする光電式エンコーダのスケールを提供するものである。
本発明によれば、スケール上のビットパターンが共通の部分を持つように変調されているので、ビットパターンの位置を正確に知ることができ、境界で0か1か不定になって精度が低下することがない。従って、検出ポイントを増やしたり、検出器を移動したり、検出範囲を幅広くして検出器を大型化することなく、ビットパターンを正確に読み込むことが可能となり、1次元1トラックのスケールで、低消費電力、低価格の絶対位置用アブソリュートエンコーダを供給できる。
更に、前記ビットパターンにベクトル値を割り当てて多値化したので、より広範囲の絶対位置の表現や誤り訂正符号の付加が可能となる。
、前記ベクトル値擬似乱数列を、使用するベクトル値の次元で区切ったものとしたので、絶対位置を単一のトラックで検出可能となる。
又、前記変調されたビットパターン内に共通で現われる部分を参照画像として画像相関を行なうようにした場合には、演算量の少ない画像相関演算でも、高精度のエンコーダを実現できる。
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
参考形態は、図2に示す如く、図3で示されるフレームパターンが、図4に示す如く、擬似乱数列で配置されたトラックのみを配置したスケール10と、発光素子22、レンズ24及び受光素子アレイ26が搭載された検出器20と、信号処理装置30とを備えている。
前記信号処理装置30は、前記受光素子アレイ26の出力のノイズを除去して増幅するためのノイズフィルタ・増幅回路32と、該ノイズフィルタ・増幅回路32の出力のアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器34と、該A/D変換器34の出力信号を補正する信号補正回路36と、該信号補正回路36の出力の相関演算を行なう相関演算回路38と、該相関演算回路38の出力により絶対(ABS)位置を演算するABS演算回路40と、該ABS演算回路40で得られたABS位置と前記相関演算回路38で得られた内挿位置を合成して絶対位置として出力する位置合成回路42とを含んで構成される。
このような構成において、前記レンズ24により拡大又は等倍とされたスケール10の透過像が受光素子アレイ26で検出され、検出信号は、信号処理装置30に伝送され、位置演算により位置が求められる。なお、図2の例は透過型で示したが、反射型の光学系として、発光素子22をレンズ24や受光素子アレイ26と同じ側に配置してもよい。
前記スケール10には、図3に示すようなフレームパターンが、図4に示すようにスケールの移動方向に沿って、例えば9ビットのM系列数列として配置されている。
前記フレームパターンとしては、図3に示した如く、絶対位置を示すためコードとして、「1」、「0」の値を変調したフレームパターンを用いることができる。この「1」、「0」のパターンは、同一幅の周期と共通するイメージ(この例ではスタートビット付近)を持つ。このパターンを持った「1」、「0」を、スケール10上に擬似乱数として測長方向に配置する。擬似乱数としては、M系列、ゴールド系列等がある。なお、M系列やゴールド系列以外の擬似乱数を用いることもできる。
前記エンコーダは、測長方向に沿って受光素子アレイ26を持ち、発光素子22がスケール10を照らすことにより、スケール10の透過又は反射のイメージを得ることができる。受光素子の幅は、必要な分解能との関係で決定され、受光素子の数は、測長範囲及び受光素子の幅により決定される。
図4の例では、破線で示す範囲Aが実際に撮像される範囲を示し、スケール10が画面左方に移動し、撮像範囲が右側に移動している状態を示している。左端側にあるフレームのスタートビットを検出し、定められたフレーム間隔順に、右側にあるフレームをデコードしていくと、9ビットのコードが得られる。このときデコードされるスケール上のパターンは、スケールの移動に伴い、図4に示すように10Eh→01Dh→1D1hと変わっていく。これらの値は、測長範囲内でただ一度しか現われない値で、絶対位置と1対1の関係がある。従って、この値から絶対位置を知ることができる。しかし、受光素子幅とスケールの実際的な製造の問題により、かなりの高倍率の光学系を用いなければ、サブミクロン以下の位置精度を得ることはできない。
そこで、本参考形態では、図4に示した単一のトラックを持つスケールで高分解能を得るために、画像相関を使用する。即ち、特許文献5と同様に、参照イメージと撮像した実イメージ間の差又は積の絶対値の和を用いて、両イメージ間の相違を数値化する。但し、本参考形態では、特許文献5のように、画面半分ほどの大きさのイメージ同士を比較するのではなく、図5に示す如く、「1」、「0」のフレームに共通のイメージ部分から選択した必要最小限の大きさを持ったパターンとする。参照イメージのサイズは、大きい方が精度の向上が期待できるが、演算量が増加する。又、参照イメージはスケールのデザインによっても変わってくる。適用するシステムによって、フレーム及び参照イメージの最適なデザインを選択することができる。本参考形態では、図3で示されたスケールのスタートビット付近の画像のみを、図5に示した如く参照イメージとする。
参照イメージは、実際の代表的な画像から得てもよいし、人工的に作成しても良い。図6に参照イメージの他の例を示す。
以下、図7に示すフローチャートを参照して全体の処理手順を説明する。
まず、ステップ100で、前記ノイズフィルタ・増幅回路32、A/D変換器34及び信号補正回路36を介して、画像データを取得する。
次いでステップ110で、前記相関演算回路38により、図8に示す如く、相関演算を行なう。なお、図8では差を用いる差分法を示したが、積を用いる掛け算法を使用しても良い。
次いでステップ120で、得られた画像相関値から、図9に示す如く、逆凸状に現われるピークを検出し、そのピーク付近の相関値を利用して、図10(特許文献5の図12に対応)に示す如く、真のピークを内挿演算する。内挿演算には、特許文献5に記載されている方法や、最小二乗法による多項式のフィッティングによる推定を用いることができる。又、このピーク検出により、ABSコードのデコード開始位置を精度良く決めることができる。なお、相関演算は画面全域で行なう必要は無く、ピークを検出し、内挿のために必要な最低限のみ求めれば、計算を終了して計算量を削減することができる。スタートビットは、図3に示した如く、「1」、「0」のどちらのパターンにも存在するので、擬似乱数列の値によって、画像相関を行なう範囲が大きく増加したり、検出できなくなったりすることがない。
次いでステップ130で、前記ABS演算回路40により、ピーク位置を基準にABS情報を取得し、ステップ140で、ABSデータを復号する。
次いで、ステップ150で内挿演算を行なった後、ステップ160で、前記位置合成回路42により、光学系の倍率を考慮してABS位値と内挿位値を合成すれば、求める絶対位置を算出することができる。
以下、具体的な合成演算の方法の例を図11を参照して説明する。
まず、M系列のデータをデコード開始した位置XABSを求める。この位置は単なるピク
セル番号ではなく、サブピクセル以下の値が必要である。
ABS=Xp−Spitch・n …(1)
:内挿演算のピーク検出位置
pitch:スケールの1フレーム長、実施例では120μ
n:内挿演算位置からABSコード開始位置までのフレーム数
次に原点位置からのABSフレーム番号PABSを光学倍率Soptを加味して加えると、求める位置Xは、次式で得られる。
X=(PABS・Spitch−XABS)/Sopt+X0 …(2)
ABS:デコードされたABSフレーム番号
ABS:M系列ABSコードのデコード開始位置
opt:光学倍率
0:オフセット調整値
これらの手法により、全長を比較する場合に比べて、計算量の大幅な削減が可能となり、消費電力を大きく低減することができる。
参考形態においては、ピーク検出を、画像の歪みの少ない中心部分のみで行なっているので、少ない計算負荷で高精度の測定を行なうことができる。なお、両端の2個所で行なって、ミスアライメントの影響を受け難くしたり、あるいは、全体で行なうことも可能である。
なお、前記参考形態の変調ビットパターンは、1フレームで1ビットの信号しか表現していないため、撮像範囲と製造上の制限から来るスケールの最小幅の関係から、表現できる絶対位置範囲が数百mmに限られていた。例えば、フレーム長が120μm、マーク最小幅が20μm、撮像範囲が1.44mm(イメージセンサで12フレームを一度に撮影)としたとき、表現可能な絶対位置範囲は約245mmである。又、リニアスケール等の用途では、ゴミやノイズによるビットの読み取り誤りの検出や訂正を行なうため、更に多くの情報を付加しなければならず、リニアスケールへの適用は難しかった。
次に、表現可能な絶対位置範囲を広げて、リニアスケールにも適用可能とした、本発明の第実施形態を詳細に説明する。
本実施形態は、参考形態と同じ装置構成において、スケールデザインを改良したものである。
即ち、絶対位置を示すためのコードとして、1つのフレームにベクトル値を割り当てて多値化し、複数のフレームでベクトルの全ての値を表現するようなコードを用いる。図12は、2ビットの値を持つフレーム、図13は、3ビットの値を持つフレーム、図14は、4ビットの値を持つフレームの例を示している。
いずれの次元のフレームの場合も、各ビットパターンは、同一の幅であり、共通する部分を持つ。図12、図13、図14の例では、ビットパターンの左端付近が、黒から白に変化する共通イメージ(参照イメージと称する)となっている。又、共通する部分以外のイメージには、参照イメージと同じ部分があってはならない。そして、参考形態と同様に、スケール上に擬似乱数を測長方向に配置するが、このとき、擬似乱数列を、使用するベクトルの次元で区切り、そのベクトル値に該当するフレームを割り当てて、スケールパターンとする。擬似乱数としては、M系列、gold系列等を用いることができる。なお、第実施形態によるスケールデザインは、図12〜図14に示したものに限定されず、他にも多くの変形例が可能である。又、ベクトル値も図に示した、上から4個(図12)、8個(図13)、16個(図14)に限定されず、任意の組合せをデコードに用い、残りの予備の部分を誤り訂正等に使うことができる。ビット長も、5ビット以上にしても良い。
例として、スタートビットに当たる最小線幅を20μm、その他の線幅を20μm×Nとしたときに、それぞれのベクトルの次元数M別の表現に必要なフレーム長Lを表1に示す。
Figure 0004846331
又、それぞれの例において、表現できる絶対位置範囲Pは、次の関係式で示される。
P=L*2^(N−1) …(3)
N={ROUND(F/L)−1}*M …(4)
※ROUND()は丸めの意味
L:1フレーム長
N:撮像範囲内のビット数
F:イメージセンサ等を用いたときの実体の撮像範囲
M:ベクトル次元数(多値化数)
例えばベクトル次元をM=3として、1フレーム長L=160μm、撮像範囲F=1.44mmとした場合、全てのビットで絶対位置を表現すると、表現可能な絶対位置範囲Pは、次のようになる。
P=0.160*2^{(ROUND(1.44/0.16)−1)*3−1}
=1342177[mm] …(5)
次元Mが4の場合、同様な計算により24159191[mm]となる。結果を表1の表現可能な絶対位置範囲Pに示す。
これらの結果から、参考形態と同様の光学系、マーク最小ピッチ幅を用いた場合でも、ベクトル化(多値化)により実用上十分な範囲の絶対位置を示すことができることが分かる。
又、これらのビット情報に誤り検出符号を付加することで、ゴミやノイズ等によるビット読み取りミスにも対応できる。
図15に、このベクトル化(多値化)方法を使用して、スケールを設計する方法を示す。まず、参考形態と同様にM系列を用いて、必要な長さの擬似乱数列を作成する。図15に示したように3ビットの多値化を行なう場合には、求められた擬似乱数列を3ビット毎に区切り、各区切り毎に該当するデザインを割り当てていき、全ての数列にビットパターンを割り当てれば終了となる。
デコードする場合は、参考形態と同様に、画像相関を利用してスタートビット付近の参照イメージを検出し、1フレーム毎にビットパターンを切り出し、ビットパターン毎のベクトル値を取り出し、擬似乱数列として合成すればよい。画像相関によるサブピクセル以下の値の演算も、参考形態と同様に行なうことができる。
この第実施形態によれば、参考形態より広範囲なABS位置を表現できるので、リニアエンコーダ等、広範囲のアブソリュートエンコーダを供給できる。又、誤り訂正符号を付加することにより、信頼性の高いエンコーダを供給することができる。
なお、本エンコーダ方式は、1次元の受光素子アレイだけでなく、汎用で安価な2次元の受光素子マトリックスを用いた場合にも応用できる。
前記実施形態においては、本発明が、アブソリュートエンコーダに適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、インクリメンタルエンコーダにも同様に適用できる。
特許文献4に記載された従来のABSエンコーダの一例の構成を示す斜視図 本発明に係る光電式エンコーダの参考形態の全体構成を示す正面図 参考形態で用いられているフレームパターンを示す平面図 同じくスケール上のフレームパターンの配置例を示す平面図 同じく参照イメージを示す平面図 同じく参照イメージの変形例を示す平面図 同じく処理手順を示す流れ図 同じく差分法による相関計算の様子を示す平面図 同じく画像相関値の計算結果の例を示す線図 同じく内挿の様子を示す線図 同じくABS値と内挿値の合成の様子を示す平面図 本発明の実施形態で用いられている2ビットの場合のフレームパターンを示す平面図 同じく3ビットの場合のフレームパターンを示す平面図 同じく4ビットの場合のフレームパターンを示す平面図 同じくスケール上のフレームパターンの配置方法を示す平面図
符号の説明
10…スケール
20…検出器
22…発光素子
24…レンズ
26…受光素子アレイ
30…信号処理装置
32…ノイズフィルタ・増幅回路
34…A/D変換器
36…信号補正回路
38…相関演算回路
40…ABS演算回路
42…位置合成回路

Claims (7)

  1. スケール上のビットパターンの画像を検出器で取得して、スケールと検出器の相対変位を検出するようにされた光電式エンコーダにおいて、
    前記ビットパターンが、共通の部分とベクトル値が順次割り当てられた部分とでなるフレームパターンを持つように変調されると共に、
    前記ベクトル値が、擬似乱数列を、使用するベクトル値の次元で区切ったものとされていることを特徴とする光電式エンコーダ。
  2. 前記変調されたビットパターン内に共通で現われる部分を参照画像として画像相関を行なうことを特徴とする請求項に記載の光電式エンコーダ。
  3. 画像相関値のピーク位置を用いて、絶対位置コードのデコード開始位置を決定することを特徴とする請求項に記載の光電式エンコーダ。
  4. 画像相関した値を使用して、相関値の極値を推定することを特徴とする請求項に記載の光電式エンコーダ。
  5. 前記ピーク検出を必要最低限行なうことで、画像相関を終了することを特徴とする請求項に記載の光電式エンコーダ。
  6. 得られた相関値の極値と絶対位置コードを合成して高精度な絶対位置を得ることを特徴とする請求項に記載の光電式エンコーダ。
  7. 共通の部分とベクトル値が順次割り当てられた部分とでなるフレームパターンを持つように変調されたビットパターンを備え、前記ベクトル値が、擬似乱数列を、使用するベクトル値の次元で区切ったものとされていることを特徴とする光電式エンコーダのスケール。
JP2005293228A 2005-01-18 2005-10-06 光電式エンコーダ、及び、そのスケール Active JP4846331B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005293228A JP4846331B2 (ja) 2005-01-18 2005-10-06 光電式エンコーダ、及び、そのスケール

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005010621 2005-01-18
JP2005010621 2005-01-18
JP2005293228A JP4846331B2 (ja) 2005-01-18 2005-10-06 光電式エンコーダ、及び、そのスケール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006226987A JP2006226987A (ja) 2006-08-31
JP4846331B2 true JP4846331B2 (ja) 2011-12-28

Family

ID=36988471

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005293228A Active JP4846331B2 (ja) 2005-01-18 2005-10-06 光電式エンコーダ、及び、そのスケール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4846331B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9651403B2 (en) 2012-05-15 2017-05-16 Korea Research Institute Of Standards And Science Absolute position measurement method, absolute position measurement apparatus and scale

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4989313B2 (ja) * 2007-05-28 2012-08-01 株式会社トプコン 絶対角度演算装置
JP5203024B2 (ja) 2008-04-15 2013-06-05 株式会社ミツトヨ 絶対位置測長型エンコーダ
JP5011201B2 (ja) * 2008-05-01 2012-08-29 株式会社ミツトヨ 絶対位置測長型エンコーダ
JP5103267B2 (ja) 2008-05-13 2012-12-19 株式会社ミツトヨ 絶対位置測長型エンコーダ
GB0909724D0 (en) 2009-06-05 2009-07-22 Renishaw Plc Position measurement encoder and method of operation
JP2011058988A (ja) * 2009-09-11 2011-03-24 Mitsutoyo Corp 変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラム
JP5381754B2 (ja) * 2010-01-29 2014-01-08 株式会社ニコン エンコーダ
JP5560873B2 (ja) * 2010-04-21 2014-07-30 株式会社ニコン エンコーダ及びエンコーダの位置検出方法
JP5379761B2 (ja) * 2010-08-06 2013-12-25 キヤノン株式会社 アブソリュートエンコーダ
JP5832088B2 (ja) * 2010-12-15 2015-12-16 キヤノン株式会社 ロータリーエンコーダ
KR101341804B1 (ko) 2012-05-15 2013-12-16 한국표준과학연구원 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일
JP6634249B2 (ja) * 2015-09-14 2020-01-22 株式会社ミツトヨ 絶対位置検出型光電式エンコーダ
JP5974154B2 (ja) * 2015-10-28 2016-08-23 キヤノン株式会社 ロータリーエンコーダ
JP6744066B2 (ja) * 2016-03-25 2020-08-19 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5764893A (en) * 1980-10-08 1982-04-20 Tokyo Optical Encoder
JPH0663740B2 (ja) * 1987-09-28 1994-08-22 住友重機械工業株式会社 アライメントマークの位置検出方法
JPH0526688A (ja) * 1991-07-19 1993-02-02 Furuno Electric Co Ltd ロータリエンコーダ
DE59805985D1 (de) * 1997-06-28 2002-11-21 Kostal Leopold Gmbh & Co Kg Verfahren zum bestimmen der absoluten winkelstellung des lenkrades eines kraftfahrzeuges sowie optoelektronischer lenkwinkelsensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9651403B2 (en) 2012-05-15 2017-05-16 Korea Research Institute Of Standards And Science Absolute position measurement method, absolute position measurement apparatus and scale

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006226987A (ja) 2006-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4846331B2 (ja) 光電式エンコーダ、及び、そのスケール
JP4885630B2 (ja) 二次元エンコーダ、及び、そのスケール
EP2414782B1 (en) A one-dimension position encoder
US8110792B2 (en) Absolute position length measurement type encoder
TWI519766B (zh) 位置判定方法及裝置
CN100516780C (zh) 采用串联多比特内插子编码器的绝对编码器
KR102008632B1 (ko) 앱솔루트 인코더
US9651403B2 (en) Absolute position measurement method, absolute position measurement apparatus and scale
CN102095439B (zh) 单码道绝对位置编码方法、解码方法及测量装置
US20110316527A1 (en) Encoder readhead
JP5079644B2 (ja) 位置測定装置
US7565256B2 (en) Displacement detecting encoder
US20050072016A1 (en) Position measuring device
EP2878928B1 (en) Absolute encoder, signal processing method, program, driving apparatus, and industrial machine
CN102003976B (zh) 单码道绝对位置编码方法、解码方法及测量装置
GB2353421A (en) Determining the position between two parts which move relative to each other
CN112585645A (zh) 多轴位置感测系统
US20150377654A1 (en) Method and System for Estimating Positions Using Absolute Encoders
US9322675B2 (en) Absolute encoder and method of obtaining absolute position by a plurality of quantized data based on a plurality of extrema
JPH0335111A (ja) 絶対位置検出装置
KR102041890B1 (ko) 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 장치, 및 컬러 스케일
WO2017043249A1 (en) Method and apparatus for determining position on scale
CN113029002B (zh) 一种直线位移测量装置及方法
JP2017044500A (ja) アブソリュートエンコーダ、駆動装置および産業装置
CN115597638A (zh) 绝对角度测量方法和光电编码器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080904

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110607

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110726

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111011

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111012

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4846331

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250