WO2013172561A2 - 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일 - Google Patents

절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일 Download PDF

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    • G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales

Definitions

  • the present invention relates to a method for measuring an absolute position, and more particularly, to a method of calculating an absolute position by reading a scale pattern symbolizing a pseudo random code and calculating an exact absolute position using a symbol phase.
  • the present invention relates to an absolute position measuring method, and more particularly, to a method for calculating an absolute position by optically reading a binary scale using an absolute position binary code (APBC).
  • APBC absolute position binary code
  • Absolute position encoders are known that allow the readhead to determine an absolute position using an absolute position scale.
  • Such an encoder includes a ruler with one track having unique position data formed successively along the measuring dimension of the ruler.
  • these absolute position encoders are difficult to provide accurate position due to the resolution limitation of the inherent data.
  • Incremental position encoders are also devices for measuring the relative position of two objects.
  • the incremental scale encoder can recognize the same pattern arranged at regular intervals and provide an accurate relative position.
  • incremental position encoders cannot provide absolute positions.
  • Laser interferometers and optical encoders are typical position sensors.
  • the laser interferometer counts and sub-divides the interference fringes to measure position with sub-nanometer resolution.
  • the period of the interference fringe is determined by the wavelength of the laser light source.
  • Optical encoders use scale.
  • the scale has a uniform and periodic pattern.
  • the pattern has a pitch of several to tens of micrometers.
  • the optical encoder processes the interference fringe or intensity profile to obtain position readouts.
  • the laser interferometer can achieve high precision.
  • the laser interferometer requires well controlled environmental conditions and delicate alignment.
  • the position value is obtained by accumulating relative displacements from the initial position.
  • the incremental position measurement is applied in many applications such as precision stage and position monitoring.
  • the incremental position measurement only measures relative displacement and requires initialization with an additional sensor to measure the absolute position.
  • the absolute position measurement increases the efficiency and robustness of the precision system. Because absolute position measurement does not require initialization, it can handle various emergencies. The absolute position measurement also has advantages in applications where power consumption must be tightly controlled.
  • Absolute encoders require a specially designed scale. Absolute position binary code (APBC) is encoded at this scale. Initially, the APBC was encoded using multi-track code, and incremental tracks were added for high resolution. However, the complex configuration and alignment issues of the encoder head are inevitable due to the multi-track configuration of this scale.
  • APBC Absolute position binary code
  • the technical problem to be solved of the present invention is to provide an absolute position encoder that can know the absolute position.
  • An absolute position measuring method uses an N-stage using a first symbol having a first width and indicating a first state and a second symbol having the first width and indicating a second state. forming a scale pattern by replacing pseudo-random-code repeatedly placed with a sequence of linear feedback transition registers of stages; And the first symbol is divided into two or more first symbol regions of different structures, and the second symbol is divided into two or more second symbol regions of different structures, and the first symbol and the At least one overlapping region having the same structure by overlapping the second symbols is present, and extracts at least one data for the smallest minimum region among the overlapping region, the first symbol regions, and the second symbol regions. And extracting a sensing signal with respect to the measurement width dw of the length cwd of the codeword composed of the N stages.
  • the first width is at least three times the width of the minimum area, the first symbol is divided equally into the minimum area, the second symbol is equal to the minimum area, and the like.
  • At least one step may further include.
  • the first symbol may be divided into three equal intervals into the minimum region, and the second symbol may be divided into three equal intervals into the minimum region.
  • the pseudo-random-code may be a maximum legnth sequence.
  • it may have two or three sensing signals for one overlapping area.
  • the overlapping regions there are two overlapping regions, and the overlapping regions may be spaced apart from each other.
  • the overlapping region is two, it may be disposed continuously to the overlapping region.
  • the sensing signal may be an optical signal reflected at the scale.
  • the sensing signal may be an optical signal transmitted through the scale.
  • the first width may be several macrometers to several millimeters.
  • the absolute position measuring scale has an N stage by using a first symbol having a first width and indicating a first state and a second symbol having the first width and indicating a second state. It contains a scale pattern formed by replacing a pseudo-random-code repeatedly placed with a sequence of linear feedback transition registers.
  • the first symbol is divided into two or more first symbol regions, the second symbol is divided into two or more second symbol regions, and the first symbol and the second symbol overlap to form the same structure. At least one overlapping region exists.
  • the first symbol and the second symbol may include at least one bar pattern.
  • the pseudo-random-code may be a maximum legnth sequence.
  • the overlapping regions there are two overlapping regions, and the overlapping regions may be spaced apart from each other.
  • the overlapping region is two, it may be disposed continuously to the overlapping region.
  • An absolute position measuring apparatus uses an N-stage by using a first symbol having a first width and indicating a first state and a second symbol having the first width and indicating a second state.
  • a scale comprising a scale pattern formed by replacing a pseudo-random-code repeatedly placed with a sequence of linear feedback transition registers of a stage;
  • the first symbol is divided into two or more first symbol regions, the second symbol is divided into two or more second symbol regions, and the first symbol and the second symbol overlap to form the same structure.
  • At least one overlapping region is present, and at least one data is extracted for the smallest minimum region among the overlapping region, the first symbol regions, and the second symbol regions, and the length of a codeword composed of the N stages is extracted.
  • (cwd) a sensor array for measuring a sensing signal for a measurement width dw or more;
  • the first width is at least three times the width of the minimum region, the first symbol is divided equally into the minimum region, the second symbol is divided equally into the minimum region, and the measurement width
  • a processor configured to add the detection signals by adding the detection signals measured at intervals of the first width within a range.
  • the processor specifies the overlap region of the first symbol and the second symbol by using the summation signal, and analyzes a codeword based on the overlap region to obtain approximately absolute position information.
  • code absolute position information may be extracted, and fine absolute position information may be extracted by extracting a phase using the detection signal corresponding to the overlapped region.
  • a data cell representing one bit of an absolute position binary code includes a data section, a neutral section, and a clock section of a relatively fixed position, wherein each section is Providing a binary scale comprising one or more segments, wherein the data cell is sub-divided into equal segments at equal intervals, the binary position consisting of the absolute position binary code; Acquiring the binary scale image through an optical system and an optical sensor array; And calculating the absolute position by processing the image.
  • the magnification of the optical system is determined such that the width of the image corresponding to one segment is an integer multiple of the pixel width of the photosensor array.
  • the data section may move by an integer multiple of the segment width to represent a binary state inside the data cell.
  • processing the image to calculate an absolute position includes: finding a clock pixel that is most closely aligned with the clock section in a pixel subset corresponding to one data cell width; Assigning the order of the clock pixel as a clock pixel index in the pixel subset corresponding to one data cell width; Circularly shifting the clock pixel index in a direction of decreasing the clock pixel index to obtain an absolute code pixel index; Determining a binary state of a pixel subset using the intensity of absolute code pixels corresponding to the absolute code pixel index in each pixel subset; Converting the binary code of the pixel subsets whose binary state is determined into an absolute position code through a lookup table; Finding a data pixel corresponding to a position of the data section with a maximum intensity in each pixel subset; Calculating a relative phase of the data section using pixel values around the data pixel; Subtracting by -2 ⁇ when the relative phase is zero or more; The method may further include calculating the absolute position using the absolute
  • a method comprising removing a length dependent error term using a linear regression technique; And correcting the nonlinear error of the sub-division process by a sinusoidal function according to the relative phase.
  • the data cell may represent one bit of a first absolute position binary code in a first direction and one bit of a second absolute position binary code in a second direction perpendicular to the first direction. have.
  • a data cell representing one bit of an absolute position binary code includes a data section, a neutral section, and a clock section, wherein each section is one or more regular interval segments.
  • the data cell comprises: a binary scale sub-divided into equal segments at said intervals, said binary position comprising said absolute position binary code; A light source for irradiating light to the scale; An optical system for focusing the light transmitted through the binary scale or reflected from the binary scale; And an optical sensor array for sensing the image of the binary scale.
  • the magnification of the optical system is determined such that the width of the image corresponding to one segment is an integer multiple of the pixel width of the photosensor array.
  • the optical system comprises: an objective lens unit for irradiating the output light of the light source to the scale; And an image lens unit reflecting light reflected from the scale and passing through the objective lens unit to the optical sensor array.
  • a collimator lens for converting the light of the light source into parallel light; And a beam splitter configured to change the optical path of the parallel light to provide the objective lens unit and provide the light provided from the objective lens unit to the image lens unit.
  • a data cell representing one bit of an absolute position binary code (APBC) in a binary scale includes a data section, a neutral section, and a clock section, each section including one or more regular interval segments. And the data cell is sub-divided into equal segments at equal intervals and consists of the absolute position binary code.
  • APBC absolute position binary code
  • the data section may move to indicate a binary state inside the data cell.
  • the dimensional data cell comprises a first data section, a first neutral section, and a first clock section in a relatively fixed position in a first direction, each section comprising one or more segments, wherein the two-dimensional data cell is described above. Sub-divided into equal intervals into segments.
  • the two-dimensional data cell includes a second data section, a second neutral section, and a second clock section in a relatively fixed position in a second direction perpendicular to the first direction, each section comprising one or more segments.
  • the two-dimensional data cell is subdivided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,0) state when a mark pattern is formed to fill an intersection area of the first data section and the second data section.
  • the two-dimensional data cell displays a (1,0) state.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,1) state.
  • the two-dimensional data cell moves in the first direction by the width of the first neutral region and in the second direction by the width of the second neutral region to form the mark pattern. Display.
  • the two-dimensional data cells may be arranged in two dimensions to form a two-dimensional absolute position scale.
  • the dimensional data cell comprises a first data section, a first neutral section, and a first clock section in a relatively fixed position in a first direction, each section comprising one or more segments, wherein the two-dimensional data cell is described above. Sub-divided into equal intervals into segments.
  • the two-dimensional data cell includes a second data section, a second neutral section, and a second clock section in a relatively fixed position in a second direction perpendicular to the first direction, each section comprising one or more segments.
  • the two-dimensional data cell is subdivided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,0) state when a first mark pattern is formed to fill an intersection area of the first data section and the second data section.
  • the two-dimensional data cell displays a (1,0) state when the first mark pattern extends in the first direction by the width of the first neutral region to form the second mark pattern.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,1) state when the first mark pattern extends in the second direction by the width of the second neutral region to form the third mark pattern.
  • a fourth mark mark pattern is formed in the two-dimensional data cell.
  • (1,1) status is displayed.
  • the two-dimensional data cells may be arranged in two dimensions to form a two-dimensional absolute position scale.
  • An absolute position measuring apparatus provides information about an absolute position in one scale pattern.
  • the absolute position measuring device may provide a more precise absolute position by extracting the phase of the pattern in order to provide a more precise position.
  • the present invention provides a new method of absolute position measurement.
  • the absolute position measurement method uses a single track binary code, and the absolute position code is encoded by changing a phase of one binary state representation.
  • Sub-division of the single track binary code is possible by sensing the state position of the binary state representation used for absolute position encoding.
  • the absolute position encoding does not interfere with the sub-division process.
  • any pseudo-random sequence can be used as the absolute location code.
  • the method proposed in the present invention does not require an additional sensing unit for the sub-division.
  • the proposed method can be realized with a simple configuration and efficient data processing.
  • an absolute positioning device was installed using a binary code scale, a microscope imaging system, and a CCD camera. In comparison with the laser interferometer, the absolute position measuring device showed a resolution of less than 50 nm and a nonlinear error of less than ⁇ 60 nm after compensation.
  • FIG. 1 is a view showing a position measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the position measuring device of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a pseudo noise code according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a first symbol or a second symbol according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a scale pattern to which the first symbol or the second symbol of FIG. 4 is applied.
  • FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a position measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating a position measuring method according to an embodiment of the present invention.
  • 8A is a diagram for explaining a case where a sensor array is aligned with the scale pattern.
  • 8B is a diagram for explaining a case where a sensor array is misaligned with the scale pattern.
  • 9A is a diagram for explaining a case where a sensor array is aligned with the scale pattern.
  • 9B is a diagram for explaining a case in which a sensor array is misaligned with the scale pattern.
  • 15 is a view illustrating an absolute position measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 illustrates the intensity intensity of the APBC in the image of the optical sensor array according to an embodiment of the present invention.
  • 17 is a flowchart illustrating an absolute position measuring method according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 illustrates an intensity profile of a 10-bit binary code according to an embodiment of the present invention.
  • 19 is a diagram comparing the results of the absolute position measuring apparatus according to an embodiment of the present invention and the laser interferometer.
  • 20 is a diagram comparing the measurement results of the absolute position measuring device and the laser interferometer according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 22 is a diagram illustrating a data cell of 2D binary scale according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating a two-dimensional absolute position scale using a data cell of a two-dimensional binary scale according to an embodiment of the present invention.
  • 24 is a diagram illustrating a data cell of a two-dimensional binary scale according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating a two-dimensional absolute position scale using data cells of a two-dimensional binary scale according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a view showing a position measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the position measuring device of FIG. 1.
  • the position measuring apparatus 100 includes a scale 110 on which a scale pattern 112 is formed and a detector 120 extracting absolute position information stored in the scale pattern 112. can do.
  • the sensing unit 120 may be manufactured in a transmissive or reflective type.
  • the detector 120 includes a light source 122, a lens 124 that focuses the light reflected by the scale pattern 112, a sensor array 125 that senses the focused light, and the sensor array 125. And a processing unit 126 for processing data.
  • the output light of the light source 122 may provide light to the scale pattern 112 through the transparent window 123.
  • the scale pattern 112 is described in detail below.
  • the scale pattern can be recorded in a magnetic manner.
  • the sensing unit may include a magnetic sensor array.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a pseudo noise code according to an embodiment of the present invention.
  • the maximum length sequence is a sequence having a maximum length period among sequences that can be generated by using transition registers of a given N stages. For example, for three stages, the maximum code length is 7 and the period of the maximum length sequence is 9. For four stages, the maximum code length is 15 and the period of the maximum length sequence is 18. In the case of 12 stages, the maximum code length is 4095 and the period of the maximum length sequence is 4106. The absolute position corresponding to the maximum code length may be indicated.
  • the maximum length sequence may be "111001011", and in the case of four stages, the maximum length sequence may be "111100010011010111".
  • the values of the N registers constitute a codeword, which may indicate an absolute position.
  • the scale pattern may be formed of a maximum length sequence or gold sequence having 10 or more stages.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a first symbol or a second symbol according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a scale pattern to which the first symbol or the second symbol of FIG. 4 is applied.
  • the pseudo noise code needs to have a specific pattern or symbol in order to be applied to the scale.
  • the pseudo noise code can provide a coarse absolute position.
  • the scale pattern uses a predetermined symbol to specify the exact position using the phase of the pseudo noise code.
  • the scale pattern 112 is formed by substituting a pseudo-random-code repeatedly arranged with a sequence of linear feedback transition registers of N stages. The value of the sequence is replaced with a first symbol or a second symbol. Therefore, in order to know the absolute position, it is necessary to read the scale pattern at least the length of the code word.
  • the scale pattern is repeatedly arranged with a unit length d.
  • the code word is determined by the value of the transition register of the N stage.
  • the first symbol 10 has a first width w and represents a first state "HIGH”.
  • the second symbol 20 has a first width w and represents a second state "LOW”.
  • the second symbol 20 has a structure different from that of the first symbol 10.
  • the first width w may be several micrometers to several millimeters.
  • the first symbol 10 is divided into two or more first symbol regions 11 and 12 having different structures.
  • the second symbol 20 is divided into two or more second symbol regions 21 and 22 having different structures.
  • the first symbol 10 and the second symbol 20 overlap, the first symbol 10 and the first symbol so that at least one overlapping region 13a, 23a, 13c, 23c having the same structure exists.
  • Two symbols 20 are designed.
  • the first symbol 10 and the second symbol 20 may have a bar code form. Therefore, the first symbol 10 and the second symbol 20 may include at least one bar pattern.
  • the first symbol regions 11 and 12 are, in order, a white (1/3) w pattern and a black (2/3) w.
  • the widths of the second symbol regions 21 and 22 are, in order, white (2/3) w and black (1/3) w.
  • the overlapping regions 13a, 23a, 13c, and 23c include the first overlapping regions 13a and 23a and the second overlapping regions 13c and 23c spaced apart from each other.
  • the first overlapping regions 13a and 23a are first white (1/3) w
  • the second overlapping regions 13c and 23c are the last black (1/3) w.
  • the minimum area width is (1/3) w. If the first symbol 10 is divided into too many first symbol regions, a lot of data is required to recognize the first symbol 10. Therefore, the first symbol 10 and the second symbol 10 are preferably divided into three intervals of the minimum region.
  • the first symbol 10 is composed of a white minimum region 13a, a black minimum region 13b, and a black minimum region 13c arranged in succession.
  • the second symbol 20 includes a white minimum region 23a, a white minimum region 23b, and a black minimum region 23c that are disposed in succession.
  • the scale pattern 112 may be sensed by the sensor array 125.
  • the sensor array 125 may be arranged in the advancing direction of the scale pattern 112.
  • the unit sensors constituting the sensor array 125 may be arranged in the advancing direction of the scale pattern 112 at regular intervals.
  • the interval between the unit sensors may be an integer multiple of the width of the minimum area.
  • the sensor array 125 may obtain at least one data for the minimum area.
  • the sensor array 125 may extract at least one data of the smallest minimum region among the overlapping region, the first symbol regions, and the second symbol regions.
  • the measurement width dw of the sensor array 125 may correspond to or more than a length cwd of the code word composed of the N stages.
  • the sensor array 125 may output a sensing signal.
  • the first symbol 10 and the second symbol 20 have overlapping regions.
  • the overlapping region periodically appears along the scale pattern 112.
  • the width of the first symbol 10 and the width of the second symbol 20 are equal to the first width w. Therefore, when the data collected at the intervals of the first width are summed in the measurement width dw, the overlapping area can be confirmed.
  • the first width w may be three times the width of the minimum region, and the first symbol 10 is divided into three equal intervals.
  • the second symbol 20 is divided into three equally spaced intervals.
  • the summation signals are extracted by summing the detection signals collected at the intervals of the first width w.
  • the summation signals are zero. May be 3,3.
  • the summation signals may be displayed as follows. 0,3,3 / 3,3,0 / 3,0,2 / 0,2,3 / 2,3,0 / 3,0,1 / 0,1,3 / 1,3,0 / 3, 0,1 / ...
  • the position where the sum of the sum signals is 0 or 3 is the position of the overlap region.
  • 0 may occur once for certain summation signals and 3 may occur once or twice for some summation signals.
  • the sum value of the sum signal is 3, in order to identify the overlapping area, the length or the measurement width dw of the sensor array 125 may be increased.
  • the length of the sensor array 125 may be the length cwd of one code word plus the first width w of an integer multiple n.
  • dw cwd + n x w.
  • N is a positive integer of zero or more.
  • the summation signals of the sensor array having a predetermined length that are confirmed experimentally or theoretically can find the overlapping area.
  • FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a position measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating a position measuring method according to an embodiment of the present invention.
  • one sensor is disposed. That is, one sensing signal is measured for each minimum region of the scale pattern (S110).
  • B1 is a sensing signal corresponding to the first minimum region
  • B2 is a sensing signal corresponding to the second minimum region.
  • the first sensing signal, the fourth sensing signal, and the seventh sensing signal may be provided to the summer 127, and may output the first sum signal A1.
  • the sensing signals B1 to B9 and the summation signals A1 to A3 may be provided to the auxiliary processor 128 to be variously calculated and processed.
  • the summation signal is checked to find the overlapped area.
  • the first sum signal A1 is the sum of the detection signals B1, B4, and B7
  • the second sum signal A2 is the sum of the detection signals B2, B5, and B8, and the third sum signal A3. Is the sum of the detection signals B3, B6, and B9.
  • the code words can be known using the sense signals B1 to B9.
  • the code word may provide an approximately absolute position through the table (S115 and S116).
  • the detection signals B1 to B9 may be interpreted as the code words. For example, three consecutive symbols make up one code word, which is " 111 ".
  • the codeword can be converted to an absolute position in comparison with the table stored in the memory.
  • the approximately absolute position is less accurate. Therefore, precise position specification using the overlapping area and the measured data is required.
  • phase calculation position may be determined (S117). Accordingly, the phase between the prediction sensing signals and the measured sensing signals may be calculated through an algorithm (S118). The phase and the approximately absolute position may be combined with each other to provide a detailed absolute position (S119). The precision of the detailed absolute position using the phase may be about one hundredth of the width of the minimum region.
  • 8A is a diagram for explaining a case where a sensor array is aligned with the scale pattern.
  • 8B is a diagram for explaining a case where a sensor array is misaligned with the scale pattern.
  • the scale pattern may include a transparent portion “0” and an opaque portion “1”.
  • the measured detection signals B1 to B9 are optical signals transmitted through the scale pattern.
  • the sensing signals B1 to B9 may be fitted into the sensing signal pattern 114.
  • the sensing signal pattern 114 may be formed to correspond to a known code word using the measured sensing signal.
  • the code word may be interpreted using the measured sense signal.
  • the detection signal When the measured detection signal is larger than the reference signal, the detection signal may be recognized as a LOW state.
  • the detection signal When the measured detection signal is smaller than the reference signal, the detection signal may be recognized as a HIGH state. .
  • the eighth sensing signal B8 and the ninth sensing signal B9 may provide auxiliary information about the first sensing signal B1.
  • the eighth sense signal B8 and the ninth sense signal B9 may provide a related second state with reference to the second symbol.
  • the first sensing signal B1 may provide an associated first state with reference to the structure and sequence of the first symbol.
  • the measured sensing signals B1 to B9 may be fitted into the sensing signal pattern 114.
  • the measured sensing signals B1 to B9 are different according to the alignment state of the sensor array 125 and the scale pattern 112. This difference represents the phase ⁇ according to the alignment state of the sensor array 125 and the scale pattern 112.
  • the phase ⁇ may additionally provide additional relative position information at the approximately absolute position. Accordingly, the phase ⁇ and the approximately absolute position may be combined to provide an absolute position.
  • the phase ⁇ may be calculated through a conventional phase tracking algorithm.
  • the predicted sensed signals in the aligned state may be generated based on the read code word. That is, the phase calculation position can be determined. Accordingly, the phase between the prediction sensed signals and the measured sensed signals can be calculated.
  • FIG. 9A illustrates a case where a sensor array is aligned with the scale pattern when two sensors are disposed with respect to one minimum area.
  • FIG. 9B is a diagram illustrating a case where a sensor array is misaligned with the scale pattern when two sensors are disposed with respect to one minimum area.
  • the scale pattern may include a reflective portion 0 and a transparent portion 1.
  • the measured detection signals B1 to B18 are optical signals reflected by the scale pattern 112.
  • the sensing signals B1 to B18 may be fitted into the sensing signal pattern 114.
  • the sensing signal pattern 114 may be formed to correspond to a known code word using the measured sensing signal.
  • the summation signal may be obtained using B1, B7, and B13.
  • the code word may be interpreted using the measured sensing signal.
  • the sensing signals B1 and B2 are smaller than the reference signal, the sensing signals B1 and B2 may be recognized as a low state, and the measured sensing signals B3 may be recognized as low.
  • the detection signal may be recognized as a high state.
  • the measured sensing signals B1 to B18 may be fitted into the sensing signal pattern 114.
  • the measured sensing signal shows a difference according to the alignment state of the sensor array and the scale pattern. This difference represents the phase ⁇ according to the alignment state of the sensor array 125 and the scale pattern 112.
  • the phase ⁇ may additionally provide additional relative position information at the approximately absolute position. Accordingly, the phase ⁇ and the approximately absolute position may be combined to provide a detailed absolute position.
  • the phase ⁇ may provide a phase within the range of the minimum region.
  • the first symbol 10a is divided into two or more first symbol regions having different structures
  • the second symbol 20a is divided into two or more second symbol regions having different structures.
  • At least one piece of data is extracted for the smallest minimum area among the symbol areas, and a detection signal is extracted for a measurement width dw or more of the length cwd of the codeword consisting of the N stages.
  • One overlapping area exists.
  • the first width w is three times the width of the minimum region, the first symbol is divided into three equal intervals into the minimum region, the second symbol is divided into three equal intervals into the minimum region,
  • the summation signals are extracted by summing the sensing signals measured at intervals of the first width within a range of the measurement width.
  • the first symbol may be composed of white (1/3) w, black (1/3) w, and white (1/3) w.
  • the second symbol may be composed of white (2/3) w and black (1/3) w. In this case, however, the length of the sensor array must be equal to or longer than the length of the code word in order to identify the overlapping area.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating symbols according to another embodiment of the present invention.
  • a first width is four times the width of the minimum area
  • the first symbol 10b is divided into four equal intervals into the minimum area
  • the second symbol 20b is equal to the minimum area.
  • the detection signals are divided by four, and the detection signals measured at the intervals of the first width within the range of the measurement width are summed to extract the summation signals.
  • the first symbol may be composed of black (1/4) w, white (1/2) w, and black (1/4) w.
  • the second symbol may be composed of white (3/4) w and black (1/4) w.
  • the overlap regions black (1/4) w, black (1/4) w) are disposed in succession with each other.
  • the length of the sensor array must be equal to or longer than the length of the code word in order to identify the overlapping area.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating symbols according to another embodiment of the present invention.
  • the first width is five times the width of the minimum area
  • the first symbol 10c is divided into five parts at equal intervals
  • the second symbol 20c is the minimum area. 5 divided by equal intervals, and the summation signals are extracted by summing the sensing signals measured at intervals of the first width within the range of the measurement width.
  • the first symbol 10 may be composed of white (1/5) w, black (2/5) w, and white (2/5) w.
  • the second symbol 20 may be composed of black (2/5) w and white (3/5) w.
  • the length of the sensor array must be equal to or longer than the length of the code word in order to identify the overlapping area.
  • the overlap regions are spaced apart from each other.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating symbols according to another embodiment of the present invention.
  • the first width is six times the width of the minimum area
  • the first symbol 10d is divided into six equal intervals into the minimum area
  • the second symbol 20d is the minimum area. 6 are divided at equal intervals, and the summation signals are extracted by summing the sensing signals measured at intervals of the first width within the range of the measurement width.
  • the first symbol 10 may be composed of white (2/3) w and black (1/3) w.
  • the second symbol 20 may be composed of white (1/2) w, black (1/3) w, and white (1/6) w.
  • the overlap regions are spaced apart from each other. In this case, however, the length of the sensor array must be equal to or longer than the length of the code word in order to identify the overlapping area.
  • Absolute position binary code was encoded using Manchester coding.
  • the absolute position encoder is not limited to the APBC representation, conventional pseudo-random binary sequences can be easily applied, and additional sensing units are required for sub-division based on the Moire principle. do.
  • the absolute position encoder uses binary scale.
  • the APBC is encoded by erasing one binary state representation on an incremental scale.
  • both methods rely on the sub-division algorithm used for the periodic incremental scale.
  • the methods have error sources that are unavoidable in the sub-division process.
  • the APBC is encoded by phase shifting the position of one binary state representation.
  • This absolute position encoding can represent any pseudo-random binary sequence without limitation and does not interfere with the sub-division process.
  • decoding and sub-division of the APBC can be performed simultaneously without additional sensing methods and data acquisition.
  • This feature allows us to implement an absolute positioning system with simple configuration and efficient data processing.
  • a data cell representing one data bit of the APBC consists of three sections.
  • One data cell includes a data section (D), a clock section (C), and a neutral section (N).
  • Each section contains one or more segments.
  • each data cell consists of three or more segments.
  • the data section and the clock section may have different binary states, and the neutral section may have the same state as the clock section.
  • the clock section is repeated in a periodic position, which provides us with an alignment key pattern for data processing.
  • the location of the data section is shifted to indicate another second binary state of each data cell in the APBC.
  • the movement is possible at other sites except for the clock section.
  • the shift magnitude is an integer multiple of one segment width.
  • the neutral section is segments that do not belong to the data section and the clock section.
  • each data cell consists of six segments and each section consists of two segments.
  • the data section has been moved by one segment to indicate the "1" state (second binary state).
  • Sub-division of the APBC is required to obtain high resolution.
  • Sub-divided absolute position is calculated by sensing the positions of the data sections.
  • the sub-division process is performed using data obtained for absolute position decoding without additional sensing or data acquisition.
  • the position measuring method according to the present invention does not remove the information about the sub-division to encode the APBC.
  • 15 is a view illustrating an absolute position measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the measurement principle is described assuming that a single track binary code is made of a reflective chrome mask and the absolute position is calculated by analyzing the reflected intensity profile of the single track binary code.
  • the absolute position measuring apparatus 300 for obtaining the intensity profile may include a binary scale 310, an optical system 320, a light source 360, and a photo-sensor array 340.
  • the photosensor array 340 may be a CCD or a photodiode array.
  • the optical system 320 may include an objective lens unit 322 and an imaging lens unit 324.
  • the light provided by the light source 360 is changed into parallel light through the collimation lens 362.
  • the parallel light is provided to the beam separator 364 and provided to the objective lens unit 322.
  • the light passing through the objective lens unit 322 is reflected by the binary scale 310 and provided through the objective lens unit 322 and the beam splitter 364 to the imaging lens unit 324.
  • Light passing through the imaging lens unit 324 provides an image of the scale to the optical sensor array 340.
  • the image acquired by the photosensor array 340 is provided to the processing unit 350 to process the data.
  • the data processing depends on the structural nature of the binary code that must be maintained in the intensity profile.
  • the width of the image of one segment is equal to an integer multiple of the pixel width of detector array of the photosensor array 340. Should match. Therefore, magnification of the optical system 320 should be adjusted to satisfy the above condition.
  • the relative position of the data sections in the intensity profile should be calculated with sub-pixel resolution.
  • phase calculation algorithm used in the phase-shifting interferometery.
  • the phase calculation algorithm can calculate the phase of a sinusoidal intensity profile precisely with a small number of equally spaced pixel data.
  • the fully-resolved image of the binary code is not a sinusoidal shape but a rectangular shape.
  • the FFT spectrum of the image has odd order high harmonic terms except for a first order term representing a single frequency sinusoidal function.
  • NA numerical aperture
  • FIG. 16 illustrates the intensity intensity of the APBC in the image of the optical sensor array according to an embodiment of the present invention.
  • 17 is a flowchart illustrating an absolute position measuring method according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 16 and 17, we used the binary code configuration shown in Figure 14. Gray and white colors represent reflective and non-reflective areas, respectively.
  • An n-bit linear shift feedback register (LSFR) was used for the APBC generation.
  • the APBC has a combination of 2n-1 numbers except when all n bits are zero-state.
  • the magnification of the optical system 320 is adjusted so that the width of one pixel of the photosensor array corresponds to the width of one segment.
  • the photosensor array acquires an intensity profile or an image of a binary scale (S202).
  • an intensity profile of 6 X n pixels is required for data processing of n-bit APBC.
  • the 4-bit binary code was shifted with respect to a 24-pixel light sensor array by about one fifth of the pixel width to show a general situation. From this intensity profile, the absolute position with the sub-divided resolution can be obtained through the following procedure.
  • the clock pixels may be detected by checking an intensity sum S m of pixels having a 6-pixel interval.
  • I j represents the intensity of the j th pixel. Since the clock sections are periodic non-reflective areas, the sum of the intensities of Cp has a minimum value.
  • One data cell width corresponds to one pixel subset.
  • the absolute code pixel index A pi is obtained by circularly shifting in a direction of decreasing the clock pixel index by 2 (S122).
  • the absolute code pixel index A pi is three.
  • Binary states of the subset are determined using the intensities of the absolute code pixels A p corresponding to the absolute code pixel index A pi in each pixel subset (S224). If the pixel has an intensity greater than the average intensity of all the absolute code pixels A ps , then the subset containing the pixel is determined to be in a "1" state (second binary state). In the opposite case, the subset represents a " 0 " state (first binary state).
  • the obtained binary code is converted into an absolute location code p LUT using a lookup table (LUT) (S226).
  • the subdivision of the APBC is processed in two steps. First of all, we have A pi use with The relative position between the sensor array and the scale having a resolution of one pixel is obtained. In the next step, using a phase calculation algorithm, the relative position of the data section is calculated with high resolution.
  • the second pixel from the previous pixels A p is assigned to D p.
  • the subset to have its "1" state the previous pixel one pixel from A p is assigned to D p.
  • the precise relative position of the data section is calculated using pixel values around D p (S242).
  • the intensity distribution of the three pixels around the D p may be the same for all pixel subsets. Averages of the pixel values of the same order are used to calculate the precise relative position. Thus, we can avoid iterative calculation of the relative position of each D p . In this example, three pixel value sets were used in the calculation except subset 1 was an incomplete set.
  • Each pixel position has a ⁇ / 2 phase difference in the sinusoidal intensity profile of the data section.
  • a phase calculation algorithm to obtain a phase ⁇ representing the relative position of the data section.
  • the phase calculation algorithm is given by
  • Ii represents the i-th pixel intensity of the detector array.
  • the phase ⁇ has a value ranging from - ⁇ / 2 to - ⁇ .
  • the first term on the right side is the decoded absolute position with the resolution of one cell.
  • the second term represents a particular pixel. 6 is the number of pixels per cell.
  • the third term is the relative phase of D P in one pixel. Here, the conversion factor is 2/3.
  • the pitch of the sinusoidal profile of D p is 4 pixels and the pitch of one cell is 6 pixels. To obtain the absolute position value p abs in the longitudinal direction, the sum of the three terms is multiplied by the pitch of the data cell (p).
  • Single track binary code scales are fabricated from quartz through a photo-mask fabrication process.
  • the chrome pattern forms reflective areas that give high intensity values in the scale image.
  • the width of one segment is 5 ⁇ m and the width of one cell is 30 ⁇ m.
  • the binary code sequence was generated using LSFR.
  • the pixel size of the 2D camera is 7.4 ⁇ m ⁇ 7.4 ⁇ m.
  • the 6-pixel width is filled with the image of one cell.
  • a one-dimensional intensity profile is obtained by averaging the 2D images in the vertical direction.
  • Reflective mirrors for binary scales and laser interferometers were fixed to the moving parts of the moving stage.
  • the laser interferometer provides a basis for performance evaluation.
  • the computer captures the 2D image of the code scale using an image grabber, processes and captures the captured image within 1 ms.
  • FIG. 18 illustrates an intensity profile of a 10-bit binary code according to an embodiment of the present invention.
  • 19 is a diagram comparing the results of the absolute position measuring apparatus according to an embodiment of the present invention and the laser interferometer.
  • the intensity profile is obtained by averaging partial images (60 pixels by 40 pixels).
  • the 10-bit binary code using LSFR represents the 1023 case and corresponds to the 30 mm range when the pitch of the data cell is 30 ⁇ m.
  • the dotted line shows the average intensity of the pixels for the calculation of the relative phase.
  • the binary scale is moved in the 25 mm range by a DC motor driven stage. Displacement is simultaneously measured by the absolute positioning system and the laser interferometer.
  • Comparison results show no abnormal deviations and are consistent within ⁇ 0.5 ⁇ m.
  • the deviation is calculated as residuals in linear regression to eliminate the effects of cosine error and scale factor error.
  • the deviation is due to an error term that is not proportional to the measured length.
  • the error term results from the nonlinearity in the binary code scale and the sub-division process.
  • 20 is a diagram comparing the measurement results of the absolute position measuring device and the laser interferometer according to an embodiment of the present invention.
  • the binary scale was shifted in 50 nm steps using a PZT actuator.
  • the stepwise displacement of 50 nm is measurable and the repeatability is less than 15 nm.
  • the nonlinear error in the sub-division process is obtained as a deviation from the laser interferometer measurement.
  • the nonlinear error is plotted relative to the relative phase ⁇ .
  • the nonlinear error is of periodic nature and appears to be a sinusoidal signal having six periods within the pitch of the data cell. This kind of error is due to the intensity profile not being a perfect sinusoidal function. This kind of error has high harmonic terms.
  • the harmonic term may in particular be a third-order harmonic term.
  • the objective lens portion has removed the harmonic terms of the intensity profile, some of the harmonic terms still remain and cause nonlinear errors in the sub-division process.
  • This periodic nonlinear error can be expressed as a sinusoidal function of phase ⁇ .
  • the amplitude A ne of the error can be calibrated by fitting the error value to the sinusoidal function.
  • a correction term expressed as A ne x sin (4 ⁇ + ⁇ ) we can reduce the nonlinear error below ⁇ 0.06 ⁇ m.
  • 22 is a diagram illustrating a data cell of a 2D binary scale according to an embodiment of the present invention.
  • a two-dimensional binary scale is two-dimensional data representing one bit of a first absolute position binary code in a first direction and one bit of a second absolute position binary code in a second direction perpendicular to the first direction.
  • the cell comprises a first data section (3/8), a first neutral section (2/8), and a first clock section (3/8) in a relatively fixed position in a first direction, each section being one
  • two-dimensional data cells are sub-divided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell includes a second data section, a second neutral section, and a second clock section in a relatively fixed position in a second direction perpendicular to the first direction, each section comprising one or more segments.
  • the two-dimensional data cell is subdivided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,0) state when a mark pattern is formed to fill an intersection area of the first data section and the second data section.
  • the two-dimensional data cell displays a (1,0) state.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,1) state.
  • the two-dimensional data cell moves in the first direction by the width of the first neutral region and in the second direction by the width of the second neutral region to form the mark pattern. Display.
  • two-dimensional data cells may be arranged in two dimensions to form a two-dimensional absolute position scale, and one-dimensional absolute position information in each direction may be recorded.
  • the method of obtaining the first absolute position in the first direction and the method of obtaining the second absolute position in the second direction are the same as described in the one-dimensional binary scale.
  • 24 is a diagram illustrating a data cell of a 2D binary scale according to another embodiment of the present invention.
  • the two-dimensional binary scale represents two bits of one bit of a first absolute position binary code in a first direction and one bit of a second absolute position binary code in a second direction perpendicular to the first direction.
  • the cell comprises a first data section (3/8), a first neutral section (2/8), and a first clock section (3/8) in a relatively fixed position in a first direction, each section being one
  • two-dimensional data cells are sub-divided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell includes a second data section, a second neutral section, and a second clock section in a relatively fixed position in a second direction perpendicular to the first direction, each section comprising one or more segments.
  • the two-dimensional data cell is subdivided into equal segments at equal intervals.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,0) state when a first mark pattern is formed to fill an intersection area of the first data section and the second data section.
  • the two-dimensional data cell displays a (1,0) state when the first mark pattern extends in the first direction by the width of the first neutral region to form the second mark pattern.
  • the two-dimensional data cell displays a (0,1) state when the first mark pattern extends in the second direction by the width of the second neutral region to form the third mark pattern.
  • the two-dimensional data cells may be arranged in two dimensions to form a two-dimensional absolute position scale, and one-dimensional absolute position information in each direction may be recorded.

Abstract

본 발명은 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일을 제공한다. 이 스케일은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함한다. 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재한다.

Description

절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일
본 발명은 절대 위치 측정 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로 의사 랜덤 코드를 심볼화한 스케일 패턴을 판독하여 대략 절대 위치를 산출하고, 심볼의 위상을 이용하여 정확한 절대 위치를 산출하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 절대 위치 측정 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로 절대 위치 이진 코드(APBC)를 이용한 이진 스케일을 광학적으로 판독하여 절대 위치를 산출하는 방법에 관한 것이다.
절대 위치 스케일(scale)을 이용하여 판독헤드가 절대 위치를 결정할 수 있도록 하는 절대 위치 인코더(absolute position encoder)가 알려져있다. 이와 같은 인코더는, 눈금자의 측정 차원(measuring dimension)을 따라 연속적으로 형성된 고유 위치 데이터를 갖는 하나의 트랙을 갖는 눈금자를 포함한다. 하지만, 이러한 절대 위치 인코더는 고유 데이터의 분해능 한계로 인해 정확한 위치를 제공하기 어렵다.
또한, 인크리맨탈 위치 인코더(incremental position encoder)은 두 물체의 상대 위치를 측정하는 장치이다. 인크리맨탈 스케일 인코더는 일정 간격으로 배치된 동일한 패턴을 인식하여 정확한 상대 위치를 제공할 수 있다. 하지만, 인크리맨탈 위치 인코더는 절대 위치를 제공할 수 없다.
따라서, 절대 위치와 정확한 위치를 제공하는 새로운 구조의 인코더가 요구된다.
다양한 정밀 시스템(precision systems) 및 과학 기계(scientific instruments) 에서, 정밀한 위치 측정은 구동 시스템(actuating systems)을 모니터링하고 제어하는 기본 요소이다. 레이저 간섭계와 광학 인코더는 전형적인 위치 센서들이다. 레이저 간섭계는 간섭 무늬를 카운팅하고 서브-분할(sub-dividing)하여 서브-나노미터 해상도를 가지고 위치를 측정한다. 상기 간섭 무늬의 주기는 레이저 광원의 파장에 의하여 결정된다.
광학 인코더는 스케일을 사용한다. 상기 스케일은 균일하고 주기적인 패턴을 가진다. 상기 패턴은 수 내지 수십 마이크로 미터의 피치를 가진다. 상기 광학 인코더는 간섭 무늬 또는 강도 프로파일(intensity profile)을 처리하여 위치 값(position readouts)을 얻는다.
상기 레이저 간섭계는 높은 정밀도를 달성할 수 있다. 그러나, 상기 레이저 간섭계는 잘 제어된 환경 조건(well controlled environmental condition) 및 세심한 정렬(delicate alignment)을 요구한다.
증분 위치 측정(incremental position measurement)에서, 위치 값은 초기 위치로부터 상대 변위를 누적하여 얻어진다. 상기 증분 위치 측정은 정밀 스테이지 및 위치 모니터링과 같은 많은 응용 분야에 적용되고 있다.
그러나, 상기 증분 위치 측정은 오직 상대 변위를 측정하고, 절대 위치를 측정하기 위하여 추가적인 센서를 사용한 초기화를 요구한다.
상기 절대 위치 측정은 정밀 시스템의 효율성과 강건성(robustness)을 증가시킨다. 왜냐하면, 절대 위치 측정은 초기화를 요구하지 않고, 다양한 돌발 상황(emergency events)을 처리할 수 있다. 상기 절대 위치 측정은 전력 소모가 엄격하게 제어되어야하는 응용분야에서도 장점을 가진다.
절대 인코더는 특별히 설계된 스케일을 요구한다. 절대 위치 이진 코드(absolute position binary code; APBC)는 상기 스케일에 인코딩된다. 초기에는, 상기 APBC는 멀티-트랙 코드(multi-track code)를 사용하여 인코딩되었고, 증분형 트랙(incremental track)이 높은 분해능을 위하여 추가되었다. 그러나, 인코더 헤드의 복잡한 구성(complex configuration)과 정렬 문제(alignment issue)는 상기 스케일의 멀티-트랙 구성에 기인하여 불가피하다.
따라서, 절대 위치와 정확한 위치를 제공하는 새로운 구조의 인코더가 요구된다.
본 발명의 해결하고자 하는 기술적 과제는 절대 위치를 알 수 있는 절대 위치 인코더를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 절대 위치 측정 방법은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 스케일 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제1 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 추출하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출하는 단계; 상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하는 단계; 상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 대략 절대 위치 정보(coarse absolute position information)를 추출하는 단계; 및 상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 상세 절대 위치 정보(fine absolute position information)를 추출하는 단계; 중에서 적어도 하나의 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 심볼(symbol)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 하나의 상기 중첩 영역에 대하여 2 개 또는 3 개의 감지 신호를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 감지 신호는 상기 스케일에서 반사된 광 신호일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 감지 신호는 상기 스케일을 투과한 광 신호일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 폭은 수 마크로미터 내지 수 밀리미터일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 절대 위치 측정용 스케일은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함한다. 상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼은 적어도 하나의 바 패턴을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 절대 위치 측정 장치는 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함하는 스케일; 상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 측정하는 센서 어레이; 상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 제공하는 처리부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 처리부는 상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하고, 상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 대략 절대 위치 정보(coarse absolute position information)를 추출하고, 상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 상세 절대 위치 정보(fine absolute position information)를 추출할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 방법에서 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된 이진 스케일을 제공하는 단계; 광학계 및 광센서 어레이를 통하여 상기 이진 스케일의 이미지를 획득하는 단계; 및 상기 이미지를 처리하여 절대 위치를 산출하는 단계를 포함한다. 상기 광학계의 배율은 하나의 세그먼트에 대응하는 이미지의 폭이 상기 광센서 어레이의 픽셀 폭의 정수 배가 되도록 정한다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 테이터 섹션은 상기 데이터 셀 내부에서 이진 상태를 나타내기 위하여 상기 세그먼트 폭의 정수 배로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 이미지를 처리하여 절대 위치를 산출하는 단계는: 하나의 데이터 셀 폭에 대응하는 픽셀 서브셋에서 상기 클락 섹션과 가장 근접하게 정렬된 클락 픽셀을 찾는 단계; 하나의 데이터 셀 폭에 대응하는 상기 픽셀 서브셋에서 상기 클락 픽셀의 차수를 클락 픽셀 인덱스로 할당하는 단계; 상기 클락 픽셀 인덱스를 감소시키는 방향으로 상기 클락 픽셀 인덱스을 순환적으로 이동(circularly shifting)하여 절대 코드 픽셀 인덱스를 얻는 단계; 각 픽셀 서브셋에서 상기 절대 코드 픽셀 인덱스에 대응하는 절대 코드 픽셀들의 세기를 이용하여 픽셀 서브셋의 이진 상태를 결정하는 단계; 이진 상태가 결정된 픽셀 서브셋들의 이진 코드는 룩업 테이블을 통하여 절대위치 코드로 변환되는 단계; 각 픽셀 서브셋에서 최대의 세기를 가지고 상기 데이터 섹션의 위치에 대응하는 데이터 픽셀을 찾는 단계; 상기 데이터 픽셀 주위의 픽셀값들을 사용하여 상기 데이터 섹션의 상대 위상을 계산하는 단계; 상기 상대 위상이 영 이상인 경우 -2π 만큼 빼는 단계; 상기 절대 위치 코드, 상기 절대 코드 픽셀 인덱스, 및 상기 상대 위상을 이용하여 상기 절대 위치를 계산하는 단계;들 중에서 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 선형 회귀 기법을 사용하여 길이 의존 에러 항을 제거하는 단계; 및 서브-분할 과정의 비선형 에러를 상기 상대 위상에 따른 사인파형 함수로 보정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 데이터 셀은 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타낼 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치에서 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된 이진 스케일; 상기 스케일에 광을 조사하는 광원; 상기 이진 스케일을 투과하거나 상기 이진 스케일에서 반사된 광을 집속하는 광학계; 및 상기 이진 스케일의 이미지를 감지하는 광센서 어레이를 포함한다. 상기 광학계의 배율은 하나의 세그먼트에 대응하는 이미지의 폭이 상기 광센서 어레이의 픽셀 폭의 정수 배가 되도록 정한다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 광학계는: 상기 스케일에 상기 광원의 출력광을 조사하는 대물렌즈부; 및 상기 스케일에서 반사되어 상기 대물 렌즈부를 통과한 광을 상기 광센서 어레이에 집속하는 이미지 렌즈부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 콜리메이터 렌즈; 및 상기 평행광의 광 경로를 변경하여 상기 대물 렌즈부에 제공하고 상기 대물 렌즈부에서 제공되는 광을 상기 이미지 렌즈부에 제공하는 빔 분리기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 이진 스케일에서 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 상기 데이터 섹션은 상기 데이터 셀 내부에서 이진 상태를 나타내기 위하여 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 2차원 이진 스케일에서 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션, 제1 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 마크 패턴이 형성된 경우 (0,0) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀을 2차원으로 배열하여 2차원 절대 위치 스케일을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 2차원 이진 스케일에서 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션, 제1 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 제1 마크 패턴이 형성된 경우, (0,0) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 상기 제2 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 연장되어 상기 제3 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 제4 마크 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시한다. 상기 2차원 데이터 셀을 2차원으로 배열하여 2차원 절대 위치 스케일을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 절대 위치 측정 장치는 하나의 스케일 패턴 안에 절대 위치에 대한 정보를 제공한다. 또한, 절대 위치 측정 장치는 더욱 정밀한 위치를 제공하기 위하여 패턴의 위상을 추출하여 더욱 정밀한 절대 위치를 제공할 수 있다.
본 발명은 새로운 절대 위치 측정 방법을 제공한다. 상기 절대 위치 측정 방법은 싱글 트랙 이진 코드(single track binary code)를 사용하고, 절대 위치 코드는 하나의 이진 상태 표현(one binary state representation)의 위상을 변화시켜 인코딩된다.
상기 싱글 트랙 이진 코드의 구조적 성질(structural property)을 사용하여 효율적으로 디코딩될 수 있다. 상기 싱글 트랙 이진 코드의 서브-분할(sub-division)은 절대 위치 인코딩을 위하여 사용되는 상기 이진 상태 표현의 상태 위치를 감지하여 가능하다. 따라서, 상기 절대 위치 인코딩은 서브-분할 과정과 간섭하지 않는다. 따라서, 어떠한 의사-랜덤 시퀀스(pseudo-random sequence)도 상기 절대 위치 코드로 사용될 수 있다.
본 발명에서 제안된 방법은 상기 서브-분할을 위한 추가적인 센싱부를 요구하지 않는다. 상기 제안된 방법은 간단한 구조(configuration) 및 효율적인 데이터 처리로 실현될 수 있다.
상기 제안된 방법을 증명하고 평가하기 위하여, 절대 위치 측정 장치가 이진 코드 스케일, 현미경 이미징 시스템, 및 CCD 카메라를 사용하여 설치되었다. 레이저 간섭계과 비교 결과에서, 상기 절대 위치 측정 장치는 50 nm 미만의 해상도를 보이고, 보상 후 ±60 nm 미만의 비선형 에러를 보였다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 위치 측정 장치를 설명하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 의사 잡음 코드를 설명하는 도면들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 심볼 또는 제2 심볼을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 4의 제1 심볼 또는 제2 심볼을 적용한 스케일 패턴을 설명하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 장치를 설명하는 개념도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 8a는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 8b는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 비정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 9a는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 9b는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 비정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 심볼들을 나타내는 도면들이다.
도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 이진 코드 인코딩을 나타낸다.
도 15는 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치를 설명하는 도면이다.
도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광센서 어레이의 이미지에서 APBC의 세기 강도를 나타낸다.
도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 18은 본 발명의 일 실시 예에 따른 10-비트 이진 코드의 세기 프로파일을 나타낸다.
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치의 결과와 레이저 간섭계의 결과를 비교하는 도면이다.
도 20은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치와 레이저 간섭계의 측정 결과를 비교하는 도면이다.
도 21은 에러 보상 전 및 후의 서브-분할 과정에서 비선형 에러를 나타낸다.
도 22는 본 발명의 일 실시 예들에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 나타내는 도면이다.
도 23은 본 발명의 일 실시 예들에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 이용한 2차원 절대 위치 스케일을 나타내는 도면이다.
도 24은 본 발명의 일 실시 예들에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 나타내는 도면이다.
도 25는 본 발명의 일 실시 예들에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 이용한 2차원 절대 위치 스케일을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 위치 측정 장치를 설명하는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 위치 측정 장치(100)는 스케일 패턴(112)이 형성된 스케일(110)과 상기 스케일 패턴(112)에 저장된 절대 위치 정보를 추출하는 감지부(120)를 포함할 수 있다.
상기 감지부(120)는 투과형 또는 반사형으로 제작될 수 있다. 상기 감지부(120)는 광원(122), 상기 스케일 패턴(112)에서 반사된 광을 집속하는 렌즈(124), 상기 집속된 광을 감지하는 센서 어레이(125), 상기 센서 어레이(125)의 데이터를 처리하는 처리부(126)를 포함한다. 상기 광원(122)의 출력광은 투명 창문(123)을 통하여 상기 스케일 패턴(112)에 광을 제공할 수 있다. 상기 스케일 패턴(112)은 이하 상세히 설명된다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 스케일 패턴은 자기적인 방식으로 기록될 수 있다. 따라서, 상기 감지부는 자기 센서 어레이를 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 의사 잡음 코드를 설명하는 도면들이다.
도 3을 참조하면, 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 천이 레지스터(shift register,212)를 이용하여 발생된다. 최대 길이 시퀀스(maximum length sequence)는 주어진 N 개의 스테이지의 천이 레이지스터들을 이용하여 발생시킬 수 있는 시퀀스 중에서 최대 길이의 주기를 가지는 시퀀스이다. 예를 들어, 3 개의 스테이지인 경우, 최대 코드 길이는 7 이며, 최대 길이 시퀀스(maximum length sequence)의 주기는 9이다. 4 개의 스테이지인 경우, 최대 코드 길이는 15이며, 최대 길이 시퀀스(maximum length sequence)의 주기는 18이다. 또한, 12 개의 스테이지인 경우, 최대 코드 길이는 4095이고, 최대 길이 시퀀스(maximum length sequence)의 주기는 4106다. 최대 코드 길이에 대응하는 절대 위치가 표시될 수 있다.
예를 들어, 3 개의 스테이지인 경우, 최대 길이 시퀀스는 "111001011"일 수있고, 4 개의 스테이지인 경우, 최대 길이 시퀀스는 "111100010011010111"일 수 있다.
표 1
레지스터 값코드워드 절대 위치
111 1
110 2
100 3
001 4
010 5
101 6
011 7
N 개의 레지스터의 값들은 코드 워드(codeword)를 구성하고, 상기 코드 워드는 절대 위치를 나타낼 수 있다.
의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 다양하게 변형될 수 있다. 통상적으로, 스케일 패턴은 10 개 이상의 스테이지를 가지는 최대길이 시퀀스(maximum length sequence) 또는 골드 시퀀스(Gold sequence)로 형성될 수 있다.
설명의 간편함을 위하여, 3 개의 스테이지를 갖는 천이 레이지스터들에 의하여 발생된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)에 대하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 심볼 또는 제2 심볼을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 4의 제1 심볼 또는 제2 심볼을 적용한 스케일 패턴을 설명하는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 의사 잡음 코드는 스케일에 적용되기 위하여, 특정한 패턴 또는 심볼을 가질 필요가 있다. 상기 의사 잡음 코드가 스케일 패턴에 적용되면, 대략 절대 위치(coarse absolute position)를 제공할 수 있다. 상기 스케일 패턴은 상기 의사 잡음 코드의 위상을 이용하여 정확한 위치를 특정하기 위하여 소정의 심볼을 사용한다.
구체적으로, 스케일 패턴(112)은 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀸스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된다. 상기 시퀸스의 값은 제1 심볼 또는 제2 심볼로 대체된다. 따라서, 절대 위치를 알기 위하여, 적어도 코드 워드의 길이 이상의 스케일 패턴의 판독이 필요하다. 상기 스케일 패턴은 단위 길이(d)를 가지고 반복적으로 배치된다. 상기 코드 워드는 N 스테이지(stage)의 천이 레지스터의 값에 의하여 결정된다.
제1 심볼(10)은 제1 폭(w)을 가지고 제1 상태("HIGH")를 나타낸다. 또한, 제2 심볼(20)은 상기 제1 폭(w)을 가지고 제2 상태("LOW")를 나타낸다. 상기 제2 심볼(20)은 상기 제1 심볼(10)과 다른 구조를 가진다. 상기 제1 폭(w)은 수 마이크로 미터 내지 수 밀리미터일 수 있다.
상기 제1 심볼(10)은 서로 다른 구조의 2 개 이상의 제1 심볼 영역들(11,12)로 분할된다. 상기 제2 심볼(20)은 서로 다른 구조의 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들(21,22)로 분할된다. 상기 제1 심볼(10)과 상기 제2 심볼(20)이 중첩된 경우, 동일한 구조를 가지는 중첩 영역(13a,23a,13c,23c)이 적어도 하나는 존재하도록 상기 제1 심볼(10) 및 제2 심볼(20)은 설계된다. 상기 제1 심볼(10) 및 상기 제2 심볼(20)은 바코드 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 제1 심볼(10) 및 상기 제2 심볼(20)은 적어도 하나의 바 패턴(bar pattern)을 포함할 수 있다.
상기 제1 심볼 영역들(11,12)은 순서대로 백색 (1/3) w 패턴, 흑색 (2/3) w이다. 또한, 제2 심볼 영역들(21,22)의 폭은 순서대로 백색 (2/3) w, 흑색 (1/3) w이다. 따라서, 중첩 영역(13a,23a,13c,23c)은 서로 이격된 제1 중첩 영역(13a,23a)과 제2 중첩영역(13c,23c)을 포함한다. 상기 제1 중첩 영역(13a,23a)은 처음으로 나타나는 백색 (1/3)w 이고, 제2 중첩 영역(13c,23c)은 마지막으로 나타나는 흑색 (1/3) w이다. 최소 영역의 폭은 (1/3)w이다. 만약, 상기 제1 심볼(10)이 너무 많은 제1 심볼 영역들로 분할되면, 상기 제1 심볼(10)을 인식하기 위하여 많은 데이터가 필요하다. 따라서, 상기 제1 심볼(10) 및 상기 제2 심볼(10)은 최소 영역을 간격으로 3 분할되는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 제1 심볼(10)은 연속적으로 배치된 백색 최소 영역(13a), 흑색 최소 영역(13b), 및 흑색 최소 영역(13c)으로 구성된다. 또한, 상기 제2 심볼(20)은 연속적으로 배치된 백색 최소 영역(23a), 백색 최소 영역(23b), 및 흑색 최소 영역(23c)으로 구성된다.
상기 제1 심볼(10)과 상기 제2 심볼(20)을 이용하여 상기 의사 랜덤 코드 또는 시퀸스를 대체하면, 스케일 패턴(112)이 형성된다. 절대 위치를 알기 위하여, 상기 코드 워드 이상의 상기 스케일 패턴(112)의 판독이 필요하다.
상기 스케일 패턴(112)은 센서 어레이(125)에 의하여 감지될 수 있다. 상기 센서 어레이(125)는 상기 스케일 패턴(112)의 진행방향으로 배열될 수 있다. 상기 센서 어레이(125)를 구성하는 단위 센서는 일정한 간격으로 상기 스케일 패턴(112)의 진행 방향으로 배열될 수 있다. 상기 단위 센서의 간격은 상기 최소 영역의 폭의 정수배일 수 있다. 따라서, 상기 센서 어레이(125)는 상기 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 획득할 수 있다.
상기 센서 어레이(125)는 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출할 수 있다. 또한, 상기 센서 어레이(125)의 측정 폭(dw)은 상기 N 스테이지로 구성된 코드 워드의 길이(cwd) 이상에 대응할 수 있다. 상기 센서 어레이(125)는 감지 신호를 출력할 수 있다.
상기 제1 심볼(10)과 상기 제2 심볼(20)은 중첩 영역을 가지고 있다. 따라서, 상기 중첩 영역은 상기 스케일 패턴(112)을 따라 주기적으로 나타난다. 또한, 상기 제1 심볼(10)의 폭과 상기 제2 심볼(20)의 폭은 제1 폭(w)으로 같다. 따라서, 상기 측정 폭(dw) 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 수집된 데이터를 합산하면, 상기 중첩 영역은 확인될 수 있다.
구체적으로, 제1 폭(w)은 상기 최소 영역의 폭의 3 배일 수 있고, 제1 심볼(10)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할된다. 상기 제2 심볼(20)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할된다.
상기 측정 폭(dw)의 범위 내에서 상기 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터가 수집된 경우, 상기 제1 폭(w)의 간격으로 수집된 감지 신호를 합산하여 합산 신호들이 추출된다. 상기 센서 어레이(112)의 길이가 상기 코드 워드의 길이(cwd)와 동일하고, 상기 센서 어레이(112)의 선두 위치가 상기 스케일 패턴(112)의 초기 위치와 일치한 경우, 상기 합산 신호들은 0,3,3일 수 있다. 상기 센서 어레이(125)가 우측으로 상기 최소 영역의 폭을 단위로 이동함에 따라, 상기 합산 신호들은 다음과 같이 표시될 수 있다. 0,3,3/3,3,0/3,0,2/0,2,3/2,3,0/3,0,1/0,1,3/1,3,0/3,0,1/...
따라서, 합산 신호들의 값이 0 또는 3인 위치가 중첩 영역의 위치이다. 따라서, 특히, 0은 소정의 합산 신호들에 대하여 1회 발생하며, 3은 소정의 합산 신호들에 대하여 1회 또는 2회 발생할 수 있다. 합산 신호의 값이 3인 경우, 이를 기준으로 중첩 영역을 확인하기 위하여, 상기 센서 어레이(125)의 길이 또는 측정 폭(dw)은 증가될 수 있다.
예를 들어, 상기 센서 어레이(125)의 길이는 하나의 상기 코드 워드의 길이(cwd)에 정수배(n)의 제1 폭(w)을 더한 것 일 수 있다. dw= cwd + n x w . 여기서는 n은 영(zero) 이상의 양의 정수이다.
이에 따라, 실험적 또는 이론적으로 확인된 소정의 길이를 가진 상기 센서 어레이의 합산 신호들은 상기 중첩 영역을 찾을 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 장치를 설명하는 개념도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 측정 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 하나의 최소 영역에 대하여, 1 개의 센서가 배치된다. 즉, 스케일 패턴의 각각의 최소 영역에 대하여 1 개의 감지 신호가 측정된다(S110). 이 경우, B1은 제1 최소 영역에 대응하는 감지 신호이고, B2는 제2 최소 영역에 대응하는 감지 신호이다.
상기 제1 감지 신호, 제 4 감지 신호, 및 제7 감지 신호는 합산기(127)에 제공되고, 제1 합산 신호(A1)를 출력할 수 있다. 상기 감지 신호들(B1~B9) 및 상기 합산 신호들(A1~A3)은 보조 처리부(128)에 제공되어 다양하게 연산 및 처리될 수 있다.
중첩 영역을 찾기 위하여 합산 신호를 확인한다(S112). 따라서, 제1 합산 신호(A1)는 감지 신호(B1,B4,B7)의 합이고, 제2 합산 신호(A2)는 감지신호(B2, B5, B8)의 합이고, 제3 합산 신호(A3)는 감지신호(B3,B6,B9)의 합이다. 이 경우, A1=0,A2=3,A3=3일 수 있다. 따라서, A1=0인 것을 통하여, 제1 최소 영역이 중첩 영역임을 알 수 있다. 이어서, 감지 신호 (B1~B9)을 이용하여, 코드 워드를 알 수 있다. 상기 코드 워드는 테이블을 통하여 대략 절대 위치를 제공할 수 있다(S115,S116).
상기 중첩 영역의 위치가 상기 제1 폭의 범위 내에서 알려진 경우, 감지 신호(B1~B9)는 상기 코드 워드로 해석될 수 있다. 예를 들어, 연속적인 3 개의 심볼은 하나의 코드 워드를 구성하고, 상기 코드 워드는 "111"이다. 따라서, 상기 코드워드는 메모리에 저장된 테이블과 비교하여 대략 절대위치로 환산될 수 있다. 하지만, 상기 대략 절대 위치는 정밀도가 떨어진다. 따라서, 상기 중첩 영역과 측정된 데이터를 이용하여 정밀한 위치 특정이 요구된다.
상기 스케일과 상기 센서 어레이가 정렬된 상태에서의 감지신호와 비정렬된 상태에서의 감지신호 사이의 위상 계산을 위하여, 판독된 코드 워드를 기준으로, 정렬된 상태의 예측 감지 신호들이 생성될 수 있다. 즉, 위상 계산 위치가 결정될 수 있다(S117). 이에 따라, 상기 예측 감지 신호들과 상기 측정된 감지 신호들의 사이의 위상이 알고리즘을 통하여 계산될 수 있다(S118). 상기 위상과 상기 대략 절대 위치는 서로 결합하여, 상세 절대 위치를 제공할 수 있다(S119). 상기 위상을 이용한 상세 절대 위치의 정밀도는 상기 최소 영역의 폭의 수 백분의 1 정도일 수 있다.
도 8a는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 8b는 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 비정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 8a를 참조하면, 상기 스케일 패턴은 투명 부분("0")과 불투명 부분("1")을 포함할 수 있다. 측정된 감지신호(B1~B9)는 스케일 패턴을 투과한 광신호이다. 이 경우, 감지 신호(B1~B9)는 감지 신호 패턴(114)으로 피팅될 수 있다. 상기 감지 신호 패턴(114)은 측정된 감지 신호를 이용하여 이미 알려진 코드 워드에 대응되도록 형성될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 측정된 감지 신호를 이용하여 코드 워드는 해석될 수 있다. 측정된 감지 신호가 기준 신호(referece signal)보다 클 경우, 상기 감지 신호는 LOW 상태로 인식될 수 있으며, 상기 측정된 감지 신호가 기준 신호보다 작을 경우, 상기 감지 신호는 HIGH 상태로 인식될 수 있다.
한편, 제8 감지 신호(B8), 및 제9 감지 신호(B9)는 제1 감지 신호(B1)에 대한 보조 정보를 제공할 수 있다. 제8 감지 신호(B8), 및 제9 감지 신호(B9)는 제2 심볼을 참조하여 관련된 제2 상태를 제공할 수 있다. 또한, 제1 감지 신호(B1)는 제1 심볼의 구조 및 시퀀스를 참조하여 관련된 제1 상태를 제공할 수 있다.
측정된 감지 신호(B1~B9)는 감지 신호 패턴(114)으로 피팅될 수 있다. 예를 들어, 상기 감지 신호 패턴의 최고점에 대하여, 상기 센서 어레이(125)와 상기 스케일 패턴(112)의 정렬 상태에 따라, 측정된 감지 신호(B1~B9)는 차이를 보인다. 이 차이는 상기 센서 어레이(125)와 상기 스케일 패턴(112)의 정렬 상태에 따른 위상(φ)을 나타낸다. 상기 위상(φ)은 추가적으로 상기 대략 절대 위치에 추가적인 상대 위치 정보를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 위상(φ)과 상기 대략 절대 위치는 결합하여 절대 위치가 제공될 수 있다. 상기 위상(φ)은 종래의 위상 추적 알고리즘을 통하여 계산될 수 있다.
정렬된 상태에서의 감지신호와 비정렬된 상태에서의 감지신호 사이의 위상을 위하여, 판독된 코드 워드를 기준으로, 정렬된 상태의 예측 감지 신호들이 생성될 수 있다. 즉, 위상 계산 위치가 결정될 수 있다. 이에 따라, 상기 예측 감지 신호들과 상기 측정된 감지 신호들의 사이의 위상이 계산될 수 있다.
도 9a는 하나의 최소 영역에 대하여 2 개의 센서가 배치된 경우 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 9b는 하나의 최소 영역에 대하여 2 개의 센서가 배치된 경우 센서 어레이가 상기 스케일 패턴과 비정렬된 경우를 설명하는 도면이다.
도 9a를 참조하면, 상기 스케일 패턴은 반사 부분(0)과 투과 부분(1)을 포함할 수 있다. 측정된 감지신호(B1~B18)는 스케일 패턴(112)에서 반사된 광신호이다. 이 경우, 감지 신호(B1~B18)는 감지 신호 패턴(114)으로 피팅될 수 있다. 상기 감지 신호 패턴(114)은 측정된 감지 신호를 이용하여 이미 알려진 코드 워드에 대응되도록 형성될 수 있다.
도 9b를 참조하면, 합산신호는 B1, B7, B13을 이용하여 구해질 수 있다. 이를 통하여, 중복 영역이 확인되면, 측정된 감지 신호를 이용하여 코드 워드는 해석될 수 있다. 예를 들어, 측정된 감지 신호(B1와 B2의 평균값)이 기준 신호보다 작을 경우, 상기 감지 신호(B1,B2)는 로우(LOW) 상태로 인식될 수 있으며, 상기 측정된 감지 신호(B3와 B3의 평균값)가 기준 신호보다 클 경우, 상기 감지 신호는 하이(HIGH) 상태로 인식될 수 있다.
측정된 감지 신호(B1~B18)는 감지 신호 패턴(114)으로 피팅될 수 있다. 예를 들어, 상기 감지 신호 패턴(114)의 특정 최소점에 대하여, 상기 센서 어레이와 상기 스케일 패턴의 정렬 상태에 따라, 측정된 감지 신호는 차이를 보인다. 이 차이는 상기 센서 어레이(125)와 상기 스케일 패턴(112)의 정렬 상태에 따른 위상(φ)을 나타낸다. 상기 위상(φ)은 추가적으로 상기 대략 절대 위치에 추가적인 상대 위치 정보를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 위상(φ)과 상기 대략 절대 위치는 결합하여 상세 절대 위치를 제공할 수 있다. 상기 위상(φ)은 상기 최소 영역의 범위 내에서 위상을 제공할 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 심볼을 설명하는 도면이다.
도 10을 참조하면, 상기 제1 심볼(10a)은 서로 다른 구조의 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼(20a)은 서로 다른 구조의 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼(10a)과 상기 제2 심볼(20a)이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 추출한다. 상기 중첩 영역은 1개 존재한다.
상기 제1 폭(w)은 상기 최소 영역의 폭의 3 배이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출한다. 상기 제1 심볼은 백색 (1/3)w, 흑색 (1/3) w, 및 백색 (1/3) w로 구성될 수 있다. 또한, 제2 심볼은 백색 (2/3)w, 흑색 (1/3) w로 구성될 수 있다. 다만, 이 경우, 중복 영역을 확인하기 위하여, 센서 어레이의 길이는 코드 워드의 길이보다 같거나 길어야 한다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 심볼들을 나타내는 도면이다.
도 11을 참조하면, 제1 폭은 최소 영역의 폭의 4 배이고, 상기 제1 심볼(10b)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 4 분할되고, 상기 제2 심볼(20b)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 4 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출한다. 상기 제1 심볼은 흑색 (1/4)w, 백색 (1/2) w, 및 흑색 (1/4) w로 구성될 수 있다. 또한, 제2 심볼은 백색 (3/4)w, 흑색 (1/4) w로 구성될 수 있다. 중첩 영역(흑색 (1/4) w, 흑색 (1/4) w)은 서로 연속하여 배치된다.
다만, 이 경우, 중복 영역을 확인하기 위하여, 센서 어레이의 길이는 코드 워드의 길이보다 같거나 길어야 한다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 심볼들을 나타내는 도면이다.
도 12를 참조하면, 상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 5 배이고, 상기 제1 심볼(10c)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 5 분할되고, 상기 제2 심볼(20c)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 5 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출한다. 상기 제1 심볼(10)은 백색 (1/5)w, 흑색 (2/5) w, 및 백색 (2/5)w로 구성될 수 있다. 또한, 제2 심볼(20)은 흑색 (2/5)w, 백색 (3/5) w로 구성될 수 있다. 다만, 이 경우, 중복 영역을 확인하기 위하여, 센서 어레이의 길이는 코드 워드의 길이보다 같거나 길어야 한다. 중첩 영역은 서로 이격되어 배치된다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 심볼들을 나타내는 도면이다.
도 13을 참조하면, 상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 6 배이고, 상기 제1 심볼(10d)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 6 분할되고, 상기 제2 심볼(20d)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 6 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출한다. 상기 제1 심볼(10)은 백색 (2/3)w, 흑색 (1/3) w로 구성될 수 있다. 또한, 제2 심볼(20)은 백색 (1/2)w, 흑색 (1/3) w, 및 백색 (1/6)w로 구성될 수 있다. 중첩 영역은 서로 이격되어 배치된다. 다만, 이 경우, 중복 영역을 확인하기 위하여, 센서 어레이의 길이는 코드 워드의 길이보다 같거나 길어야 한다.
이하, 본 발명의 다른 실시예가 설명된다.
단일 트랙 코드를 사용하는 절대 위치 인코더가 종래의 문제점을 극복하기 위하여 개발되었다. 절대 위치 이진 코드(APBC)는 맨체서터 코딩(Manchester coding)을 사용하여 인코딩되었다.
상기 절대 위치 인코더는 APBC 표현에는 제한이 없기 때문에, 통상적인 의사-랜덤 이진 시퀀스는 용이하게 적용될 수 있고, 추가적인 센싱부는 무아레 원리(Moire principle)에 기반하여 서브-분할(sub-division)을 위하여 요구된다.
다른 절대 위치 인코더가 제안되었다. 상기 절대 위치 인코더는 이진 스케일을 사용한다. 상기 이진 스케일에서, APBC는 증분형 스케일에서 하나의 이진 상태 표현(one binary state representation)을 소거함에 따라 인코딩된다.
그러나, 상기 서브-분할 과정을 위하여 상기 증분 정보를 유지하기 위하여, 상기 APBC 표현(expression)은 제한되고, 복잡한 APBC가 새로 개발되어야 한다.
또한, 비록 상기 단일 트랙 스케일은 절대 위치 인코딩의 결과로서 비주기적인 패턴(non-periodic patterns)을 가지만, 두 방법들은 주기적인 증분형 스케일을 위하여 사용된 서브-분할 알고리즘에 의존하기 때문에, 상기 두 방법들은 상기 서브-분할 과정에서 피할 수 없는 오차 요인(error sources)을 가진다.
본 발명에 있어서, 우리는 단일 트랙 이진 코드를 사용하는 새로운 절대 위치 측정 방법을 제안한다. 상기 APBC는 하나의 이진 상태 표현(one binary state representation)의 위치를 위상 이동(phase shifting)함으로써 인코딩된다.
이 절대 위치 인코딩은 제한없이 어떤 의사-랜덤 이진 시퀀스를 표현할 수 있고, 서브-분할 과정과 간섭되지 않는다. 상기 스케일의 강도 프로파일을 분석함으로써, 디코팅 및 상기 APBC의 서브-분할은 추가적인 센싱 방법 및 데이터 획득없이 동시에 수행될 수 있다.
이러한 특성은 우리에게 간단한 구성과 효율적인 데이터 처리를 가지고 절대 위치 측정 시스템을 구현하도록 할 수 있다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 구체적인 동작 원리가 위에서 설명한 것과 다른 관점에서 설명된다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 이진 코드 인코딩을 나타낸다.
[단일 트랙 이진 코드]
APBC의 하나의 데이터 비트(one data bit)을 나타내는 데이터 셀(data cell)은 3개의 섹션으로 구성된다. 하나의 데이터 셀은 데이터 섹션(data section; D), 클락 섹션(clock section; C), 및 중립 섹션(neutral section; N)을 포함한다. 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트(segment)를 포함한다. 따라서, 각 데이터 셀은 3 개 이상의 세그먼트로 구성된다.
"0" 상태 (제1 이진 상태)를 나타내기 위하여, 상기 데이터 섹션과 상기 클락 섹션은 다른 이진 상태를 가지고, 상기 중립 섹션은 상기 클락 섹션과 동일한 상태를 가질 수 있다.
상기 클락 섹션은 주기적인 위치에서 반복되고, 상기 클락 섹션은 우리에게 데이터 처리를 위한 정렬 키 패턴(alignment key pattern)을 제공한다.
상기 데이터 섹션의 위치는 상기 APBC에서 각 데이터 셀의 다른 제2 이진 상태를 나타내도록 이동된다. 상기 이동은 상기 클락 섹션을 제외한 다른 부위에서 가능하다. 상기 이동 크기(shift magnitude)는 하나의 세그먼트 폭(one segment width)의 정수 배이다. 상기 중립 섹션은 데이터 섹션 및 클락 섹션에 속하지 않는 세그먼트들이다.
구체적으로, 각 데이터 셀은 6 개의 세그먼트로 구성되고, 각 섹션은 2 개의 세크먼트로 구성된다. 상기 데이터 섹션은 "1" 상태(제2 이진 상태)를 나타내기 위하여 하나의 세크먼트 만큼 이동되었다.
상기 APBC의 서브-분할이 높은 해상도를 얻기 위하여 요구된다. 서브-분할된 절대 위치(sub-divided absolute position)는 상기 데이터 섹션들의 위치들을 감지하여 계산된다.
상기 서브-분할 과정은 추가적인 센싱부 또는 데이터 획득없이 절대 위치 디코딩을 위하여 획득된 데이터를 사용하여 수행된다. 본 발명에 따른 위치 측정 방법은 상기 APBC을 인코딩하기 위하여 상기 서브-분할에 대한 정보를 제거하지않는다.
따라서, 우리는 상기 서브-분할 과정에서 정확도(accuracy)를 희생하지 않고 절대 위치를 나타내는 어떤 의사-랜덤 코드(Pseudo-Random Code)도 적용할 수 있다.
[데이터 획득]
도 15는 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치를 설명하는 도면이다.
상기 측정 원리는 단일 트랙 이진 코드는 반사적 크롬 마스크로 제조되고, 상기 절대 위치는 상기 단일 트랙 이진 코드의 반사된 강도 프로파일을 분석하여 계산되는 것을 가정하여 설명된다.
따라서, 우리는 데이터 처리를 위하여 강도 프로파일을 얻어야한다. 상기 강도 프로파일을 얻기 위한 절대 위치 측정 장치(300)는 이진 스케일(310), 광학계(320), 광원(360), 및 광센서 어레이(photo-sensor array; 340)를 포함할 수 있다. 상기 광센서 어레이(340)는 CCD 또는 포토다이오드 어레이일 수 있다. 상기 광학계(320)는 대물 렌즈부(322)와 이미징 렌즈부(324)를 포함할 수 있다.
상기 광원(360)이 제공한 광은 콜리메이션 렌즈(362)를 통하여 평행광으로 변경된다. 상기 평행광은 빔 분리기(364)에 제공되고 상기 대물 렌즈부(322)에 제공된다. 상기 대물 렌즈부(322)를 통과한 광은 상기 이진 스케일(310)에서 반사되어 상기 대물 렌즈부(322) 및 상기 빔 분리기(364)를 통과하여 상기 이미징 렌즈부(324)에 제공된다. 상기 이미징 렌즈부(324)를 통과한 광은 광센서 어레이(340)에 상기 스케일의 이미지를 제공한다. 상기 광센서 어레이(340)가 획득한 이미지는 처리부(350)에 제공되어 데이터 처리된다.
상기 데이터 처리는 상기 세기 프로파일에서 유지되어야 하는 상기 이진 코드의 구조적 성질에 의존한다. 따라서, 정밀하게 상기 APBC를 디코딩하기 위하여, 하나의 세그먼트의 이미지의 폭(the width of the image of one segment)은 상기 광센서 어레이(340)의 픽셀 폭(pixel width of detector array)의 정수 배와 일치하여야한다. 따라서, 상기 광학계(320)의 배율(magnification)은 위의 조건을 만족하도록 조절되어야 한다.
상기 APBC의 서브-분할을 위하여, 상기 세기 프로파일(intensity profile)에서 상기 데이터 섹션들의 상대 위치는 서브-픽셀 해상도를 가지고 계산되어야 한다.
무게 중심 알고리즘(center of gravity algorithm) 및 제로-크로싱 알고리즘(zero-crossing algorithm)과 같은 여러 알고리즘들은 피크 검출을 위하여 널리 사용되고 있다. 그러나, 상기 알고리즘들은 충분한 정밀도를 얻기 위하여 많은 픽셀들을 가지고 상기 데이터 섹션의 파크 형상을 나타내는 상기 세기 프로파일을 요구하기 때문에, 상기 알고리즘들은 데이터 획득 및 처리를 위하여 많은 자원 및 계산 시간을 요구한다.
효율적으로 상대 위치를 얻기 위하여, 우리는 위상-이동 간섭계(phase-shifting interferometery)에서 사용되는 위상 계산 알고리즘을 채택하였다. 상기 위상 계산 알고리즘은 작은 수의 등 간격으로 이격된 픽셀 데이터(equally spaced pixel data)를 가지고 정밀하게 사인파형 세기 프로파일(sinusoidal intensity profile)의 위상을 계산할 수 있다.
그러나, 상기 이진 코드의 완전히-분해된 이미지(fully-resolved image)는 사인파 형상(sinusoidal shape)이 아니라 직사각형 형상(rectangular shape)이다.
상기 이미지의 FFT 스펙트럼은 단일 주파수 사인파형 함수를 나타내는 제1 차수 항(first order term)을 제외한 홀수 차수 고조파 항(odd order high harmonic terms)을 가진다. 따라서, 우리는 상기 홀수 차수 고주파 항들을 감소시키고 상기 사인파 함수에 유사한 상기 데이터 섹션의 세기 강도를 얻기 위하여 낮은 개구수(low numerical aperture; NA)를 가진 대물 렌즈부(322)를 사용할 수 있다.
[데이터 처리]
도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광센서 어레이의 이미지에서 APBC의 세기 강도를 나타낸다.
도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 14, 도 16 및 도 17을 참조하면, 우리는 도 14에서 보여진 이진 코드 구성(binary code configuration)을 사용하였다. 그레이(gray clolor) 칼라와 백색 칼라(white colors)는 각각 반사 영역과 비반사 영역을 나타낸다. n-비트 선형 시프트 되먹임 레지스터(n-bit linear shift feedback register; LSFR)이 상기 APBC 발생을 위하여 사용되었다. 상기 APBC는 모든 n 비트가 제로-상태인 경우를 제외하고 2n-1 개수의 조합을 가진다. 광센서 어레이의 하나의 픽셀의 폭이 하나의 세그먼트의 폭에 대응하도록 상기 광학계(320)의 배율은 조절된다. 상기 광센서 어레이는 이진 스케일의 강도 프로파일 또는 이미지를 획득한다(S202).
따라서, 6 X n 픽셀의 세기 프로파일이 n-비트 APBC의 데이터 처리를 위하여 요구된다. 스케일의 전산 모사된 세기 프로파일에서, 4-비트 이진 코드는 일반적인 상황을 보여주기 위하여 상기 픽셀 폭의 1/5 정도로 24-픽셀의 광센서 어레이에 대하여 이동하였다. 이 세기 프로파일로부터, 상기 서브-분할된 해상도를 가진 상기 절대 위치는 다음의 과정을 통하여 얻어질 수 있다.
[클락 픽셀들(Cp)을 찾는 단계(S210)]
우리는 상기 클락 섹션과 가장 접근하여 정렬된 클락 픽셀들(Cp)을 찾는다(S212). 상기 클락 픽셀들은 6-픽셀 간격을 가지는 픽셀들의 세기 합(Sm)을 확인하여 감지될 수 있다.
수학식 1
Figure PCTKR2013003469-appb-M000001
여기서, Ij 는 j 번째 픽셀의 강도를 나타낸다. 상기 클락 섹션들은 주기적인 비-반사적 영역들(periodic non-reflective areas)이기 때문에, 상기 Cp의 세기 합은 최소 값을 가진다. 하나의 데이터 셀 폭은 하나의 픽셀 서브셋(pixel subset)에 대응된다. 상기 Cp의 차수(order of Cp )는 클락 픽셀 인덱스(Cpi = 1, …, 6)로써 할당된다(S214).
[절대 위치 코드를 찾는 단계(S220)]
상기 APBC를 디코딩하기 위하여, 상기 절대 코드 픽셀 인덱스(Api)는 상기 클락 픽셀 인덱스를 2 만큼 감소시키는 방향으로 순환적으로 이동(circularly shifting)하여 얻어진다(S122). 이 예제에서, 상기 절대 코드 픽셀 인덱스(Api)는 3이다.
각 픽셀 서브셋에서 상기 절대 코드 픽셀 인덱스(Api)에 대응하는 상기 절대 코드 픽셀들(Ap)의 세기들을 사용하여, 상기 서브셋의 이진 상태들이 결정된다(S224). 만약, 상기 픽셀이 모든 상기 절대 코드 픽셀들(Aps)의 평균 세기보다 큰 강도를 가지면, 상기 픽셀을 포함하는 상기 서브셋은 "1" 상태(제2 이진 상태)로 결정된다. 반대의 경우, 상기 서브셋은 "0" 상태(제1 이진 상태)를 나타낸다. 얻어진 이진 코드는 룩업 테이블(lookup table; LUT)을 사용하여 절대 위치 코드 (pLUT) 로 변환된다(S226).
상기 APBC의 서브-분할은 두 단계로 처리된다. 우선, 우리는 Api를 사용하여 하나의 픽셀의 해상도를 가지는 광센서 어레이와 스케일 사이의 상대 위치를 얻는다. 다음 단계에서, 위상 계산 알고리즘을 사용하여, 상기 데이터 섹션의 상대 위치가 높은 분해능을 가지고 계산된다.
[상기 데이터 픽셀들을 찾는 단계(S230)]
상술한 위의 단계에서 얻어진 상기 절대 코드 픽셀 인덱스(Api)로부터, 우리는 상기 데이터 섹션의 위치이고 각 픽셋 서브셋에서 최대 세기를 가질 것으로 기대되는 상기 데이터 픽셀들(Dp)을 위치시킨다(S230).
만약, 상기 서브셋이 "0" 상태를 가지면, Ap로부터 2 픽셀들이 앞선 픽셀은 Dp로 할당된다. 상기 서브셋이 "1" 상태를 가지면, Ap로부터 1 픽셀이 앞선 픽셀은 Dp로 할당된다.
[위상 계산 단계(S240)]
상기 데이터 섹션의 정밀한 상대 위치는 Dp 주위의 픽셀 값들을 사용하여 계산된다(S242). 상기 Dp 주위의 3 개 픽셀들의 세기 분포는 모든 픽셀 서브셋에 동일할 수 있다. 동일 차수의 픽셀 값들의 평균(averages of the pixel values of the same order)은 정밀 상대 위치를 계산하기 위하여 사용된다. 따라서, 우리는 각 Dp의 상대 위치의 반복적 계산을 피할 수 있다. 이 예제에서, 3 픽셀 값 셋(three pixel value sets)은 서브셋 1은 불완전한 셋이므로 제외하고 계산에 사용되었다.
각 픽셀 위치는 상기 데이터 섹션의 사인파 세기 프로파일에서 π/2 위상 차이를 가진다. 따라서, 우리는 위상 계산 알고리즘을 사용하여 상기 데이터 섹션의 상대 위치를 나타내는 위상(φ)을 얻을 수 있다. 상기 위상 계산 알고리즘은 다음과 같이 주어진다.
수학식 2
Figure PCTKR2013003469-appb-M000002
여기서, Ii는 감지부 어레이의 i-번째 픽셀 강도를 나타낸다. 상기 위상(φ)은 -π/2 부터 -π 범위의 값을 가진다.
그러나, Dp와 다른 인접한 픽셀(another adjacent pixel)이 유사한 세기 값들을 가지면, 이들 인접한 픽셀들의 합은 Dp들의 합보다 클 수 있고, 상기 위상은 -π/2 부터 -π 범위의 값을 가지지 않는다. 아크탄젠트 함수(arctangent function)의 불연속성 때문에, 상기 위상 값은 -π 근처에서 급격한 변화를 보인다. 상기 불연속성을 보상하기 위하여, 우리는 상기 위상이 양의 값을 가지면 계산된 위상에서 2π를 뺀다(S244).
[절대 위치 값을 계산하는 단계(S250)]
절대 위치 값(pabs)은 다음식으로 주어진다.
수학식 3
Figure PCTKR2013003469-appb-M000003
우변의 제1 항은 하나의 셀의 분해능을 가진 디코딩된 절대 위치이다. 둘째 항은 특정한 픽셀을 나타낸다. 6은 하나의 셀 당 픽셀의 개수이다. 세째 항은 하나의 픽셀 내에서 DP의 상대 위상이다. 여기서, 변환 인자(conversion factor)는 2/3이다. Dp의 사인파형 프로파일의 피치는 4 픽셀이고, 하나의 셀의 피치는 6 픽셀이다. 길이 방향의 절대 위치 값(pabs)을 얻기 위하여, 세 항의 합은 상기 데이터 셀의 피치(pitch of the data cell; p)로 곱해진다.
[실험]
단일 트랙 이진 코드 스케일은 포토-마스크 제작 공정(photo-mask fabrication process)을 통하여 석영 재질로 제작된다. 크롬 패턴은 스케일 이미지에서 높은 세기 값을 주는 반사 영역을 형성한다. 하나의 세그먼트의 폭은 5 μm이고, 하나의 셀의 폭은 30 μm 이다. 상기 이진 코드 시퀀스는 LSFR을 이용하여 생성되었다.
현미경 이미징 시스템은 소정의 개구수(NA= 0.07)과 소정의 배율(M=3)을 가진 대물 렌즈부와 줌(zoom) 렌즈부, 2D CCD 카메라, 및 LED 광원을 포함한다. 상기 2D 카메라의 픽셀 사이즈는 7.4 ㎛ × 7.4 ㎛이다.
우리는 상기 줌 렌즈부의 배율을 조절한다. 이에 따라, 6-픽셀 폭이 하나의 셀의 이미지로 채워진다.
1차원 강도 프로파일(line intensity profile)은 수직 방향의 2D 이미지를 평균하여 얻어진다.
이진 스케일과 레이저 간섭계를 위한 반사 거울은 이동 스테이지의 이동부에 고정되었다. 상기 레이저 간섭계는 성능 평가(performance evaluation)를 위한 기준을 제공한다.
컴퓨터는 상기 코드 스케일의 2D 이미지를 이미지 그래버(image grabber)를 이용하여 캡쳐하고, 1 ms 이내 상기 캡쳐된 이미지를 처리하고 절대위치 판독한다.
도 18은 본 발명의 일 실시 예에 따른 10-비트 이진 코드의 세기 프로파일을 나타낸다.
도 19는 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치의 결과와 레이저 간섭계의 결과를 비교하는 도면이다.
상기 세기 프로파일은 부분 이미지(60 픽셀 X 40 픽셀)를 평균하여 얻어진다. LSFR를 사용한 상기 10-비트 이진 코드는 1023 경우를 표현하고, 상기 데이터 셀의 피치가 30 μm인 경우, 30 mm 범위에 대응된다. 점선은 상대 위상의 계산을 위하여 픽셀들의 평균 세기를 보여준다.
상기 이진 스케일이 DC 모터 구동 스테이지(DC motor driven stage)에 의해 25 mm 범위에서 이동된다. 변위는 상기 절대 위치 측정 시스템 및 레이저 간섭계에 의하여 동시에 측정된다.
비교 결과는 비정상 편차(abnormal deviations)를 보이지 않으며, ±0.5 ㎛ 내에서 일치한다. 상기 편차는 코사인 에러(cosine error)와 스케일 펙터 에러(scale factor error)의 효과를 제거하기 위하여 선형 회귀에서 유수값(residues in linear regression)으로서 계산된다.
상기 선형 회귀를 통하여 길이 의존 에러 항(length dependent error terms)은 제거되기 때문에, 상기 편차는 측정된 길이에 비례하지 않는 에러 항에서 기인한다. 상기 에러 항은 상기 이진 코드 스케일과 상기 서브-분할 과정에서의 비선형성에서 기인한다.
도 20은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절대 위치 측정 장치와 레이저 간섭계의 측정 결과를 비교하는 도면이다.
상기 절대 위치 측정에서 해상도를 평가하기 위하여, 상기 이진 스케일은 PZT 엑튜에이터(actuator)를 사용하여 50 nm 스텝을 가지고 이동되었다. 상기 50 nm의 계단식 변위(stepwise displacement)는 측정가능하고, 반복성(repeatability)은 15 nm 미만이다. 상기 서브-분할 과정에서 상기 비선형 에러는 상기 레이저 간섭계 측정값으로부터 편차로서 얻어진다.
도 21은 에러 보상 전 및 후의 서브-분할 과정에서 비선형 에러를 나타낸다. 상기 비선형 에러는 상대 위상(φ)에 대하여 그려진다. 상기 비선형 에러는 주기적인 특성을 보이며, 상기 데이터 셀의 피치 내에서 6 주기를 가지는 사인파형 신호인 것처럼 보인다. 이러한 종류의 에러는 상기 세기 프로파일이 완벽한 사인파형 함수가 아닌 것에서 기인한다. 이러한 종류의 에러는 고조파 항(high harmonic terms)을 가진다. 상기 고조파 항은 특히 3-차 고조파 항일 수 있다.
비록 상기 대물 렌즈부는 상기 세기 프로파일의 고조파 항을 제거하였지만, 고조파 항의 일부는 여전히 잔존하고 상기 서브-분할 과정에서 비선형 에러를 유발한다.
이 주기적인 비선형 에러는 위상(φ)의 사인파 함수로 표시될 수 있다. 따라서, 상기 에러의 진폭(Ane)은 상기 에러값을 상기 사인파 함수로 피팅하여 교정(calibrated)될 수 있다. Ane × sin(4φ+π) 로 표현되는 보정항을 사용하여, 우리는 ±0.06 ㎛ 미만에서 상기 비선형 에러를 감소시킬 수 있다.
도 22는 본 발명의 일 실시 예에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 나타내는 도면들이다.
도 22를 참조하면, 2차원 이진 스케일은 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션(3/8), 제1 중립 섹션(2/8), 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션(3/8)을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 마크 패턴이 형성된 경우 (0,0) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시한다.
도 23을 참조하면, 상기 2차원 데이터 셀을 2차원으로 배열하여 2차원 절대 위치 스케일을 형성할 수 있고 각 방향의 1차원 절대 위치 정보를 기록할 수 있다.
상기 제1 방향의 제1 절대 위치를 얻는 방법 및 상기 제2 방향의 제2 절대 위치를 얻는 방법은 1차원 이진 스케일에서 설명한 것과 동일하다.
도 24는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 2차원 이진 스케일의 데이터 셀을 나타내는 도면들이다.
도 24를 참조하면, 2차원 이진 스케일은 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션(3/8), 제1 중립 섹션(2/8), 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션(3/8)을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할된다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 제1 마크 패턴이 형성된 경우, (0,0) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 상기 제2 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 연장되어 상기 제3 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시한다.
상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 제4 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시한다.
도 25를 참조하면, 상기 2차원 데이터 셀을 2차원으로 배열하여 2차원 절대 위치 스케일을 형성할 수 있고 각 방향의 1차원 절대 위치 정보를 기록할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.

Claims (29)

  1. 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 스케일 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출하는 단계;
    상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하는 단계;
    상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 대략 절대 위치 정보(coarse absolute position information)를 추출하는 단계; 및
    상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 상세 절대 위치 정보(fine absolute position information)를 추출하는 단계; 중에서 적어도 하나의 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 심볼(symbol)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되고,
    상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  5. 제2 항에 있어서,
    하나의 상기 중첩 영역에 대하여 2 개 또는 3 개의 감지 신호를 가지는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  7. 제2 항에 있어서,
    상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법.
  8. 제2 항에 있어서,
    상기 감지 신호는 상기 스케일에서 반사된 광 신호인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 감지 신호는 상기 스케일을 투과한 광 신호인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  10. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 폭은 수 마크로미터 내지 수 밀리미터인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  11. 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함하고,
    상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼은 적어도 하나의 바 패턴을 포함하는 것을 특징으로 절대 위치 측정용 스케일.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일.
  15. 제11 항에 있어서,
    상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일.
  16. 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함하는 스케일;
    상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 측정하는 센서 어레이;
    상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 제공하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하고, 상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 대략 절대 위치 정보(coarse absolute position information)를 추출하고, 상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 상세 절대 위치 정보(fine absolute position information)를 추출하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치.
  18. 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된 이진 스케일을 제공하는 단계;
    광학계 및 광센서 어레이를 통하여 상기 이진 스케일의 이미지를 획득하는 단계; 및
    상기 이미지를 처리하여 절대 위치를 산출하는 단계를 포함하고,
    상기 광학계의 배율은 하나의 세그먼트에 대응하는 이미지의 폭이 상기 광센서 어레이의 픽셀 폭의 정수 배인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 데이터 섹션은 상기 데이터 셀 내부에서 이진 상태를 나타내기 위하여 상기 세그먼트 폭의 정수 배로 이동하는 것을 특징으로 절대 위치 측정 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 이미지를 처리하여 절대 위치를 산출하는 단계는:
    하나의 데이터 셀 폭에 대응하는 픽셀 서브셋에서 상기 클락 섹션과 가장 근접하게 정렬된 클락 픽셀을 찾는 단계;
    하나의 데이터 셀 폭에 대응하는 상기 픽셀 서브셋에서 상기 클락 픽셀의 차수를 클락 픽셀 인덱스로 할당하는 단계;
    상기 클락 픽셀 인덱스를 감소시키는 방향으로 상기 클락 픽셀 인덱스를 순환적으로 이동(circularly shifting)하여 절대 코드 픽셀 인덱스를 얻는 단계;
    각 픽셀 서브셋에서 상기 절대 코드 픽셀 인덱스에 대응하는 절대 코드 픽셀들의 세기를 이용하여 픽셀 서브셋의 이진 상태를 결정하는 단계;
    이진 상태가 결정된 픽셀 서브셋들의 이진 코드는 룩업 테이블을 통하여 절대위치 코드로 변환되는 단계;
    각 픽셀 서브셋에서 최대의 세기를 가지고 상기 데이터 섹션의 위치에 대응하는 데이터 픽셀을 찾는 단계;
    상기 데이터 픽셀 주위의 픽셀값들을 사용하여 상기 데이터 섹션의 상대 위상을 계산하는 단계;
    상기 상대 위상이 영 이상인 경우 -2π 만큼 빼는 단계;
    상기 절대 위치 코드, 상기 절대 코드 픽셀 인덱스, 및 상기 상대 위상을 이용하여 상기 절대 위치를 계산하는 단계;들 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    선형 회귀 기법을 사용하여 길이 의존 에러 항을 제거하는 단계; 및
    서브-분할 과정의 비선형 에러를 상기 상대 위상에 따른 사인파형 함수로 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 데이터 셀은 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법.
  23. 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된 이진 스케일;
    상기 스케일에 광을 조사하는 광원;
    상기 이진 스케일을 투과하거나 상기 이진 스케일에서 반사된 광을 집속하는 광학계; 및
    상기 이진 스케일의 이미지를 감지하는 광센서 어레이를 포함하고,
    상기 광학계의 배율은 하나의 세그먼트에 대응하는 이미지의 폭이 상기 광센서 어레이의 픽셀 폭의 정수 배인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치.
  24. 제23 항에 있어서,
    상기 광학계는:
    상기 스케일에 상기 광원의 출력광을 조사하는 대물렌즈부; 및
    상기 스케일에서 반사되어 상기 대물 렌즈부를 통과한 광을 상기 광센서 어레이에 집속하는 이미지 렌즈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치.
  25. 제24 항에 있어서,
    상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 콜리메이터 렌즈; 및
    상기 평행광의 광 경로를 변경하여 상기 대물 렌즈부에 제공하고 상기 대물 렌즈부에서 제공되는 광을 상기 이미지 렌즈부에 제공하는 빔 분리기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치.
  26. 절대 위치 이진 코드(APBC)의 1 비트를 나타내는 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고, 상기 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고, 상기 절대 위치 이진 코드로 구성된 것을 특징으로 하는 이진 스케일.
  27. 제26 항에 있어서,
    상기 테이터 섹션은 상기 데이터 셀 내부에서 이진 상태를 나타내기 위하여 이동하는 특징으로 하는 이진 스케일.
  28. 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션, 제1 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션, 제1 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 마크 패턴이 형성된 경우 (0,0) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 이동하고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 이동하여 상기 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시하는 것을 특징으로 하는 2차원 이진 스케일.
  29. 제1 방향의 제1 절대 위치 이진 코드의 1 비트와 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향의 제2 절대 위치 이진 코드의 1 비트를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제1 방향으로 제1 데이터 섹션, 제1 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제1 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 제2 데이터 섹션, 제2 중립 섹션, 및 상대적으로 고정된 위치의 제2 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 세그먼트를 포함하고, 상기 2차원 데이터 셀은 상기 세그먼트들로 등 간격으로 서브-분할되고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 데이터 섹션과 상기 제2 데이터 섹션의 교집합 영역을 채우는 제1 마크 패턴이 형성된 경우, (0,0) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 상기 제2 마크 패턴이 형성된 경우, (1,0) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭만큼 연장되어 상기 제3 마크 패턴이 형성된 경우, (0,1) 상태를 표시하고,
    상기 2차원 데이터 셀은 상기 제1 마크 패턴이 상기 제1 방향으로 상기 제1 중립 영역의 폭 만큼 연장되고 상기 제2 방향으로 상기 제2 중립 영역의 폭 만큼 연장되어 제4 마크 마크 패턴이 형성된 경우, (1,1) 상태를 표시하는 것을 특징으로 하는 2차원 이진 스케일.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107024235A (zh) * 2015-09-14 2017-08-08 株式会社三丰 标尺和光电编码器
DE102014010759B4 (de) 2014-07-17 2020-06-04 Nils Remmers Verfahren zur Bestimmung einer Position

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016109257A1 (de) * 2016-05-19 2017-11-23 Ic-Haus Gmbh Positionsmessvorrichtung zur Messung einer Absolutposition
EP3415865A1 (en) * 2017-06-12 2018-12-19 TOMRA Sorting NV Detector calibration
CN107462168A (zh) * 2017-08-31 2017-12-12 广东工业大学 一种新型阵列光电传感器光栅位移检测系统及方法
CN108195293A (zh) * 2018-03-26 2018-06-22 磐石电气（常州）有限公司 一种数字式位移传感器及其位移测量方法
WO2019236821A1 (en) * 2018-06-07 2019-12-12 Johnson Philip M Linear and rotary multitrack absolute position encoder and methods using the same
US11106268B2 (en) * 2018-07-29 2021-08-31 Redpine Signals, Inc. Method and system for saving power in a real time hardware processing unit
US11333480B2 (en) * 2019-12-12 2022-05-17 Fujitsu Component Limited Measuring instrument and measure
DE102020107230A1 (de) * 2020-03-17 2021-09-23 Balluff Gmbh Absolutes Positionserfassungssystem mit einem einspurigen Magnetcodeband
US11216024B1 (en) * 2021-03-20 2022-01-04 Sitrus Technology Corporation Referenceless frequency acquisition
EP4242595B1 (de) * 2022-03-10 2024-02-07 Sick Ag Vorrichtung und verfahren zur positions-, längen- oder winkelbestimmung
JP7162784B1 (ja) * 2022-03-23 2022-10-28 三菱電機株式会社 アブソリュートエンコーダおよび電動機

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4484816A (en) * 1980-05-12 1984-11-27 Tokyo Kogaku Kikai K.K. Apparatus for measuring length or angle
JPH0771982A (ja) * 1993-09-02 1995-03-17 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JP2006226987A (ja) * 2005-01-18 2006-08-31 Mitsutoyo Corp 光電式エンコーダ、及び、そのスケール
JP2008014739A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Mitsutoyo Corp 二次元エンコーダ、及び、そのスケール

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4947166A (en) * 1988-02-22 1990-08-07 Dynamics Research Corporation Single track absolute encoder
US6271661B2 (en) * 1999-03-16 2001-08-07 Mitutoyo Corporation Absolute position transducer having a non-binary code-track-type scale
GB9926574D0 (en) 1999-11-11 2000-01-12 Renishaw Plc Absolute position measurement
JP2002188942A (ja) * 2000-12-21 2002-07-05 Olympus Optical Co Ltd 光学式エンコーダ
US6937349B2 (en) 2003-05-02 2005-08-30 Mitutoyo Corporation Systems and methods for absolute positioning using repeated quasi-random pattern
JP5294009B2 (ja) 2008-10-14 2013-09-18 株式会社安川電機 絶対位置検出装置および絶対位置検出装置を搭載したモータ
GB0819767D0 (en) 2008-10-28 2008-12-03 Renishaw Plc Absolute encoder setup indication
US9267819B2 (en) * 2014-06-12 2016-02-23 Mitutoyo Corporation Absolute position encoder scale having plates alternating with varying recesses

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4484816A (en) * 1980-05-12 1984-11-27 Tokyo Kogaku Kikai K.K. Apparatus for measuring length or angle
JPH0771982A (ja) * 1993-09-02 1995-03-17 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JP2006226987A (ja) * 2005-01-18 2006-08-31 Mitsutoyo Corp 光電式エンコーダ、及び、そのスケール
JP2008014739A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Mitsutoyo Corp 二次元エンコーダ、及び、そのスケール

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014010759B4 (de) 2014-07-17 2020-06-04 Nils Remmers Verfahren zur Bestimmung einer Position
CN107024235A (zh) * 2015-09-14 2017-08-08 株式会社三丰 标尺和光电编码器

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