JP2017057450A - シートの搬送装置及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置等を提供する。【解決手段】複数のローラ部によってシートが螺旋状に巻回されて送られるようになっているシートの搬送装置であって、前記各ローラ部は、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の前記シートとの当接部とを有し、前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されている、シートの搬送装置。【選択図】 図２

Description

本発明は、シートの搬送装置及び搬送方法に関する。

従来、帯状のシートを、２つのローラ部に複数回巻き回しながら搬送するシートの搬送装置が用いられている。
この種のシートの搬送装置は、例えば有機ＥＬ（エレクトリルミネッセンス）素子の製造装置に用いられている。

かかる有機ＥＬ素子の製造装置においては、シートの搬送装置によって、帯状のシートとしての基材を供給し、蒸着源による蒸着によって、供給された基材に陽極層、発光層（有機ＥＬ層）、陰極層といった蒸着層を形成するように構成されている。
ここで、求められる厚さを有する蒸着層を形成するためには、蒸着時間をできるだけ長く確保する必要がある。

そこで、第１のローラ部としてのキャンローラと、第２のローラ部とを有するシートの搬送装置であって、第２のローラ部の回転軸が、キャンローラの回転軸に対して所定の角度で傾斜するように配され、基材が双方のローラに一定の張力で架け渡されて螺旋状に巻回されながら搬送されるように構成されたシートの搬送装置を備え、キャンローラと接触しているシートとしての基材の領域に蒸着源から気化材料を吐出して、蒸着層を形成するように構成された有機ＥＬ素子の製造装置が提案されている（特許文献１参照）。この有機ＥＬ素子の製造装置は、上記シートの搬送装置を備えることによって、蒸着時間を長く確保することができるため、求められる厚さを有する蒸着層を形成することが可能となる。

しかし、このように、第１のローラ部に対して第２のローラ部を傾斜させ、これら第１のローラ部及び第２のローラ部に基材を架け渡しながら螺旋状に巻回させて搬送すると、巻回されているシートの走行位置が、ローラ部の軸方向にずれる場合がある。このようにシートの走行位置がずれると、例えば上記した有機ＥＬ素子の製造装置においては、基材上に所望の厚さを有する蒸着層を形成することが困難になる等、不具合が生じることになる。

例えば図１２に示すように、一のローラ部７０の回転方向に対して傾斜する方向にシート５２を架け渡し、シート５２を斜めに搬送すると、ローラ部７０とシート５２との間の摩擦力に起因して、ローラ部７０がシート５２を巻き込もうとする。この巻き込みは、図１３に示すように、ローラ部７０の軸方向Ｘにおいて、シート５２を、破線で示すように、その搬送方向とは反対の方向に移動させることになる。このように、ローラ部７０による巻き込みにシート５２が追従して移動する結果、ローラ部７０に架け渡されているシート５２の位置ずれが生じることになる。その結果、ローラ部７０を２つ用いてシート５２を螺旋状に搬送しようとすると、各ローラ部７０でシート５２の位置ずれが生じることになる。さらに、上記位置ずれが大きくなり過ぎると、ローラ部７０からシート５２が脱落してしまうおそれもある。

そこで、このようなローラ部での位置ずれを抑制する技術が提案されている。
例えば、ローラ部として、外周面に複数の孔部が形成されたローラ本体と、孔部を通して外周面よりも径方向外方に突出するように、且つ、回転可能であるように前記孔部に収容された複数の球状の回転体と、該回転体を、径方向内方から回転可能に支持する筒状の支持部とを備えたものが提案されている（特許文献２参照）。

このようなローラ部でシートを斜めに搬送すると、ローラ本体が回転し、シートを巻き込もうとしても、球状の回転体が自由方向に回転することによって、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。従って、ローラ部に架け渡されているシートの位置ずれを抑制することが可能となる。

また、例えば、ローラ部として、その周面部に細い紐帯を有するものが提案されている。具体的には、該紐帯は、回転軸と同方向に延在するように周方向に複数配されており、且つ、回転軸と同方向に移動可能に構成されている。また、シートが紐帯と当接した状態でシートの進行と共に紐帯が回転軸と同方向に移動し、シートが紐帯から離れたとき、バネやゴム製テープといった位置戻し装置によって紐帯が初期位置に戻されるように構成されている（特許文献３参照）。

このようなローラ部でシートを斜めに搬送すると、ローラ部が回転し、シートを巻き込もうとしても、軸方向におけるシートの移動に伴って紐帯が移動する。これにより、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。従って、ローラ部に架け渡されているシートの位置ずれを抑制することが可能となる。

特開２０１３−１３９６２１号公報 特開２０１３−１６１５７０号公報 特表２０１２−５１６９４６号公報

しかし、上記特許文献２に示すようなローラ部では、架けられる基材に向かって開口する孔部に球状の回転体が支持されているため、シートに付着した異物が、孔部と回転体との間に噛み込み、ローラ部の故障を引き起こすおそれがある。

また、上記特許文献３に示すようなローラ部では、紐帯が種々の断面形状を有し得るため、シートに対して紐帯の当接面が局所的に接触する等によってその当接状態が安定せず、その結果、シートに振動が発生したり、不要な張力がかかったりして、これによるシートの位置が生じるおそれがある。

上記事情に鑑み、本発明は、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置及び搬送方法を提供することを課題とする

本発明に係るシートの搬送装置は、
帯状のシートが巻きかけられる複数のローラ部を備え、
前記複数のローラ部に前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記各ローラ部は、
前記各ローラ部の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、前記ローラ部の回転軸と同方向に延在する複数の支持部であって、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、
前記シートと当接する複数の当接部であって、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の当接部とを有し、且つ、
前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されており、
前記複数のローラ部によって順次搬送されることによって、前記シートが螺旋状に搬送されるように構成されている。

かかる構成によれば、各ローラ部において、ローラ部の回転方向と傾斜する方向にシートをローラ部に架けながら搬送する際、複数の支持部に伴った複数の当接部の回動によってローラ部がシートを巻き込もうとしても、該複数の当接部が回転軸と同方向に移動可能であることによって、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。これにより、シートの位置ずれを抑制することが可能となり、その結果、各ローラ部によって順次搬送されることによってシートが螺旋状に搬送される際に、シートが所望の走行位置からずれることを抑制し得る。
また、シートに向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部の故障を抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、２つのローラ部でシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障を抑制することが可能となる。

上記構成のシートの搬送装置においては、
前記複数の当接部の前記シートと当接する面は、前記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されていることが好ましい。

かかる構成によれば、各ローラ部において、当接部のシートと当接する面（当接面）が上記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されていることによって、シートに対して各当接部の当接面全体を接触させることができ、また、シートに対する各当接面の接触面積を増加させることができるため、その当接状態を安定させることができる。これにより、シートに振動が発生したり、不要な張力がかかったりすることを抑制することができるため、シートの位置ずれをより抑制することが可能となる。加えて、当接面が上記仮想円に沿うように形成されていることによって、上記仮想円に沿うように形成されていない場合よりも、該当接面と接触しているときに、径方向（回転軸向かう方向）におけるシートの振動（上下動）が発生することを抑制し得るため、その振動に起因したシートの位置ずれを抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

上記構成のシートの搬送装置においては、
前記各ローラ部は、前記複数の支持部に伴って前記複数の当接部が回動する際、搬送している前記シートに当接させるように該複数の当接部を前記回転軸と同方向に沿って移動させるガイド部を、さらに有することが好ましい。

かかる構成によれば、シートの進行経路に合わせて、複数の当接部をシートに、より確実に当接させることが可能となる。これにより、シートの位置ずれを、より確実に抑制することができる。
ここで、上記特許文献３に示すように、バネ等によって複数の当接部を戻すような構成を採用した場合には、各当接部がシートの進行に伴って回転軸と同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部を戻す力が当接部に作用すると、この力によってシートの位置ずれが発生するおそれがある。また、シートの進行に伴う各当接部の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シートの進行に伴う各当接部の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部によって複数の当接部をガイドすることによって、各当接部の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部にかからないため、その分、シートの位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

上記構成のシートの搬送装置においては、
前記ガイド部が、前記複数の支持部よりも前記回転軸側に配されていることが好ましい。

かかる構成によれば、ガイド部が複数の支持部よりも回転軸側（内側）に配されていることによって、ガイド部が複数の支持部よりも回転軸と反対の側（外側）に配されている場合よりも、装置の小型化を図ることができる。また、複数の支持部よりも外側に位置するシートに対するガイド部の干渉を抑制し得るため、この干渉に起因するシートの位置ずれの発生も抑制できる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

本発明に係るシートの搬送方法は、
前記シートの搬送装置を用い、前記シートを前記複数ローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送する。

かかる構成によれば、上記シートの搬送装置を用いてシートを複数のローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送することによって、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障を抑制することが可能となる。

本発明によれば、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置及び搬送方法が提供される。

本発明の一実施形態に係るシートの搬送装置を備えた有機ＥＬ素子の製造装置の概略正面図 本実施形態のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ローラ部の概略側面図 図２の蒸着用ローラ部の各ローラ部を示す概略図 図３のローラ部から当接部を取り外した状態を示す概略図 図４の状態から支持部及び保持部を取り外した状態を示す概略図 図３のローラ部を図３の軸方向と平行な方向に切断した断面を示す概略断面図 ローラ部における当接部を示す概略正面図 ローラ部における当接部の回転軸周りの配置を示す概略側面図 有機ＥＬ素子の横断面図 本発明の他の実施形態に係るローラ部におけるシートと当接している当接部周辺を部分的に示す部分拡大正面図 本発明の他の実施形態に係るローラ部におけるシートと当接している当接部周辺を部分的に示す部分拡大背面図 従来のシートの搬送装置に備えられたローラ部を示す概略正面図 従来のシートの搬送装置に備えられたローラ部で搬送されるシートの状態を示す概略図

以下、本発明の一実施形態に係るシートの搬送装置について、該シートの搬送装置（以下、単に「搬送装置」ともいう。）が有機ＥＬ素子の製造装置（以下、単に「製造装置」ともいう）に備えられた態様について、図１〜図８を参酌して説明する。

本実施形態に係る製造装置１は、図１に示すように、内部が真空である複数（図例では３つ）の真空室３と、帯状のシートとしての基材５２が真空室３の内部を通過するように、基材５２を搬送する基材５２の搬送装置２と、気化材料を基材５２に蒸着すべく、基材５２に向けて気化材料を吐出する複数の蒸着源１３とを備える。
基材５２の搬送装置２は、基材５２が複数回巻きかけられる２つのローラ部２１を備えている。２つのローラ部２１は、蒸着源１３とともに蒸着を行うべく基材５２が螺旋状に巻回された蒸着用ローラ部４を構成している。

真空室３は、基材５２の搬送方向に沿って連設されている。また、各真空室３の内部が真空となるように、各真空室３には、真空ポンプ等の真空発生装置（図示せず）が接続されている。

各蒸着源１３は、真空室３の内部に配置されていると共に、基材５２と上下方向（鉛直方向）で対面するように配置されている。具体的には、各蒸着源１３は、蒸着用ローラ部４の下方に配置されている。また、各蒸着源１３は、加熱により気化させた気化材料を、基材５２に向けて吐出するようになっている。具体的には、各蒸着源１３は、気化材料を、上方向に向けて吐出するようになっている。

図１、図２に示すように、基材５２の搬送装置２は、基材５２を螺旋状に搬送する蒸着用ローラ部４を備えている。また、搬送装置２は、基材５２を蒸着用ローラ部４に送り出して供給する送り出しローラ（供給部）５と、蒸着用ローラ部４によってガイドされた基材５２を巻き取って回収する巻き取りローラ（回収部）６とを備える。送り出しローラ５及び巻き取りローラ６は、真空室３の外部で且つ上流側に配置されている。

蒸着用ローラ部４は、帯状の基材５２が巻きかけられる２つのローラ部２１を備え、該２つのローラ部２１のうち、一方のローラ部（図１、図２の下側に位置する第１のローラ部）２１から送られた基材５２が、他方のローラ部（図１、図２の上側に位置する第２のローラ部）２１に巻きかけられて再び第１のローラ部２１に巻きかけられ、且つ、順次その繰り返しにより、シート５２が螺旋状に巻回されて送られるようになっている。
また、各ローラ部２１の回転軸Ｒと同方向に配された複数の当接部２５に順次搬送されることによって、基材５２が螺旋状に搬送されるようになっている。

２つのローラ部２１のうち、第１のローラ部２１が蒸着源１３と対向する位置に配されている。

本実施形態では、２つのローラ部２１は、同様に構成されている。これらローラ部２１は、各ローラ部２１の回転軸Ｒと同方向に配された複数の当接部２５に順次搬送されるように、回転軸Ｒ（図６参照）と同方向において互いに異なる位置に、互いに間隔を空けて配されている。

図２〜６に示すように、ローラ部２１は、該ローラ部２１の回転軸Ｒを中心に有する回転不能な軸部２２と、軸部２２の周りにローラ部２１の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、ローラ部２１の回転軸Ｒと同方向に延在する複数の支持部２３であって、回転軸Ｒを中心として回動可能な複数の支持部２３と、基材５２と当接する複数の当接部２５であって、回転軸Ｒと同方向に沿って移動可能であるように複数の支持部２３に支持された複数の当接部２５とを有し、該複数の当接部２５の基材５２と当接する面（当接面）２６は、回転軸Ｒを中心とした仮想円Ｐに沿うように形成されている。
ローラ部２１は、支持部２３に伴って当接部２５が回動する際、搬送している基材５２に当接させるように該当接部２５を回転軸Ｒと同方向に移動させるガイド部３５を、さらに有する。
ローラ部２１は、支持部２３の両端部を保持しつつ、軸部２２に回転可能に支持された保持部３１を、さらに有する。

複数の支持部２３は、基材５２と当接する複数の当接部２５を回転軸Ｒと同方向に移動可能に支持するものである。
複数の支持部２３は、ローラ部２１の回転方向に等間隔となるように間隔を空けて配されており、ローラ部２１の回転軸Ｒと同方向に延在されている。
各支持部２３は、回転軸Ｒを中心として回動可能に構成されている。
本実施形態では、各支持部２３は、保持部３１に回転不能に保持されており、保持部３１の回転と共に回動可能となっている。
複数の支持部２３の数量、長さ等は、基材５２の進行軌跡等に応じて適宜設定すればよい。

複数の当接部２５は、基材５２と当接するものである。
複数の当接部２５は、回転軸Ｒと同方向に延在しており、且つ、回転軸Ｒと同方向に移動可能であるように複数の支持部２３に支持されている。
また、各支持部２３に、複数の当接部２５が支持されている。
本実施形態では、各支持部２３に当接部２５が複数配されているが、その他の実施形態では、各支持部２３に当接部２５が１つ配されていてもよい。

各当接部２５は、基材５２と当接可能な面（当接面）２６を有している。
本実施形態では、各当接部２５は、図８に示すように、その当接面２６が回転軸Ｒを中心とした仮想円Ｐに沿うように形成されている。すなわち、各当接部２５は、回転軸Ｒと同方向にローラ部２１を見たとき、回転軸Ｒを中心とし、半径が一定である仮想円Ｐの一部（円弧）を構成するように形成されている。

各当接部２５は、回転不能であるように各支持部２３に支持されている。
このように、各当接部２５が回転不能に各支持部２３に支持されている、すなわち、各当接部２５が自転しないように構成されていることによって、かかる自転に起因した基材５２の巻き込みの発生を抑制し得るため、その分、基材５２の位置ずれを抑制することが可能となる。

各当接部２５は、例えば、リニアボールスプライン機構によって各支持部２３に支持されており、これにより、各当接部２５が回転軸Ｒと同方向（支持部２３の長手方向）に移動可能となっている。

本実施形態では、基材５２は、ローラ部２１における一端側から他端側に向かって、ローラ部２１の回転方向と傾斜した方向から複数の当接部２５と接触し、これに支持されて進行するようになっている。具体的には、基材５２は、上記一端側から他端側に向かって、回転軸Ｒを中心とした螺旋の一部を描きながら所定の経路で進行するようになっている。

回転軸Ｒと同方向における各当接部２５の長さ、数量、及び、回転軸Ｒと同方向において各当接部２５が移動可能な距離は、特に限定されず、基材５２の進行軌跡等に応じて適宜設定すればよい。本実施形態では、回転軸Ｒと同方向において各当接部２５が移動可能な距離は、ガイド部３５によって決定されるようになっている。

具体的には、各当接部２５は、ガイド部３５の溝部３７と係合する係合部２７を有している。該係合部２７は、各当接部２５における基材５２との当接面２６と反対の側から突出している。
係合部２７は、複数の突起部２７ａを有している。図７に示すように、各突起部２７ａは、先端部に溝部３７の底面と摺動可能に当接するベアリングを有しており、溝部３７の壁面と当接する突起部２７ａは、該壁面と摺動可能に当接するベアリングをさらに有している。なお、係合部２７の形状は、かかる態様に特に限定されるものではない。
この係合部２７がガイド部３５の溝部３７に係合していることによって、回転軸Ｒと同方向における各当接部２５の移動方向及び移動量が規制されるようになっている。この各当接部２５の移動方向及び移動距離は、基材５２の進行軌跡等に応じて設定され得る。
ガイド部３５の詳細については、後述する。

保持部３１は、軸部２２に対して回転可能に設けられ、駆動装置４７によって軸部２２に対して（すなわち、回転軸Ｒを中心として）回転するようになっている。この保持部３１の回転に伴って、支持部２３が回転軸Ｒを中心として回動するようになっている。
ここでは、保持部３１は２つ設けられている。

具体的には、図６に示すように、保持部３１は、例えばボールベアリングを介して、軸部２２に対して回転可能であるように、該軸部２２に支持されている。また、一方の保持部３１（図６の右側の保持部３１）は、回転可能に軸受部４９に支持され、且つ、駆動装置４７と連結されており、該駆動装置４７によって、保持部３１が回転軸Ｒを中心として回転するようになっている。また、保持部３１が回転すると、この回転に伴って、複数の支持部２３及び複数の当接部２５が回転軸Ｒを中心として回動するようになっている。

ガイド部３５は、複数の支持部２３に伴って複数の当接部２５が回動する際、搬送している基材５２に当接させるように該複数の当接部２５を回転軸Ｒと同方向に沿って移動させるものである。
ガイド部３５は、複数の支持部２３よりも軸部２２側に配されている。すなわち、ガイド部３５は、軸部２２と複数の支持部２３との間に配されている。
ガイド部３５は、回転不能に軸部２２に固定されている。

ガイド３５は、溝部３７を有しており、この溝部３７に複数の当接部２５の係合部２７が係合されるようになっている。溝部３７は、基材５２と当接しながら回転軸Ｒと同方向に複数の当接部２５を移動させ、基材５２から当接部２５が離間した後、再び基材５２と当接する位置に複数の当接部２５を戻すことができるような軌道を描くように環状に形成されている。
このように、軸部２２に固定されたガイド部３５が溝部３７を有していることにより、軸部２２及びガイド部３５に対して、複数の支持部２３及び複数の当接部２５が回動すると、複数の当接部２５の係合部２７が溝部３７にガイドされて回転軸Ｒと同方向に移動し、この移動に伴って、複数の当接部２５が回転軸Ｒと同方向に移動するようになっている。

上記のように構成された２つのローラ部２１が、各ローラ部２１の回転軸Ｒと同方向に配された複数の当接部２５に順次搬送されるように、回転軸Ｒと同方向において互いに異なる位置に、互いに間隔を空けて配されていることによって、基材５２が螺旋状に搬送されるようになっている。また、当接部２５に対応して、回転軸Ｒと同方向に環状の溝部３７が複数形成されている。
具体的には、一方のローラ部（第１のローラ部）２１の一の環状に配された複数の当接部２５によって搬送された基材５２が、上記他方のローラ部（第２のローラ部）２１の一の環状に配された複数の当接部２５によって搬送されて再び上記第１のローラ部２１の上記一の環状に配された複数の当接部２５に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部２５に搬送され、該複数の当接部２５に搬送された基材５２が、上記第２のローラ部２１の上記一の環状に配された当接部２５に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部２５によって搬送され、且つ、順次その繰り返しにより、基材５２が螺旋状に搬送されるようになっている。

次に、本実施形態に係る基材５２の搬送装置２の動作を説明しつつ、該搬送装置２を用いた基材５２の搬送方法について説明する。

送り出しローラ５から２つのローラ部２１のうち、一方のローラ部（図１、図２の下側に位置する第１のローラ部）に向かって基材５２が送り出される。第１のローラ部２１の一端側から他端側に向かって、該第１のローラ部２１の回転方向と傾斜する方向から基材５２が送られると、送られた基材５２は、一の環状に配された複数の当接部２５に架けられる。該複数の当接部２５に架けられた基材５２は、回転軸Ｒを中心とした複数の支持部２３の回動、及び、ガイド部３５にガイドされた該複数の当接部２５の回転軸Ｒと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材５２は、このように第１のローラ部２１によって搬送されながら他方のローラ部（図１の上側の第２のローラ部）２１に搬送される。

第２のローラ部２１の一端側から他端側に向かって、該第２のローラ部２１の回転方向と傾斜する方向から基材５２が送られると、送られた基材５２は、一の環状に配された複数の当接部２５に架けられる。該複数の当接部２５に架けられた基材５２は、回転軸Ｒを中心とした複数の支持部２３の回動、及び、ガイド部３５にガイドされた該複数の当接部２５の回転軸Ｒと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材５２は、このように第２のローラ部２１によって搬送されながら第１のローラ部２１に再び搬送される。

第１のローラ部には、該第１のローラ部２１の回転方向と傾斜する方向から基材５２が送られ、送られた基材５２は、上記一の環状に配された複数の当接部２５に下流側において隣接する（回転軸Ｒと同方向において基材５２の搬送方向下流側直近の）環状に配された複数の当接部２５に架けられる。該当接部２５に架けられた基材５２は、上記と同様にして、回転軸Ｒを中心とした支持部２３の回動、及び、ガイド部３５にガイドされた該当接部２５の回転軸Ｒと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材５２は、このように第２のローラ部２１によって搬送されながら第２のローラ部２１に再び搬送される。

これらが順次繰り返されることによって、基材５２は、２つのローラ部２１に螺旋状に巻回されながら搬送される。

このように、搬送装置２を用いた基材５２の搬送方法は、送り出しローラ５から送り出された基材５２を、該基材５２が架けられた２つのローラ部２１に螺旋状に巻回しながら搬送し、巻き取りローラ６で巻き取ることによって、搬送する。

本実施形態の有機ＥＬ素子５１の製造装置１によって製造される有機ＥＬ素子５１は、図９に示すように、基材５２の一方側の面に蒸着源１３からの気化材料が蒸着されて形成される陽極層５３と、陽極層５３の上から気化材料が蒸着されて形成される有機層５４と、有機層５４の上から気化材料が蒸着されて形成される陰極層５５とを備える。

陽極層５３は、例えば、インジウム−亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）等の透明導電材や、金、銀、アルミニウム等の金属で形成されている。

有機層５４は、陽極層５３の上に配置される正孔輸送層５８と、正孔輸送層５８の上に配置される有機ＥＬ層５９と、有機ＥＬ層５９の上に配置される電子輸送層６０とを備える。そして、有機層５４は、陽極層５３と陰極層５５とが接触するのを防止するように、陽極層５３及び陰極層５５間に配置されている。

正孔輸送層５８は、例えば、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、４，４'−ビス［Ｎ−４−（Ｎ，Ｎ−ジ−ｍ−トリルアミノ）フェニル］−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（ＤＮＴＰＤ）等で形成されている。また、有機ＥＬ層５９は、例えば、トリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ３）、イリジウム錯体（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）をドープした４，４'−Ｎ，Ｎ'−ジカルバゾニルビフェニル（ＣＢＰ）等で形成されている。さらに、電子輸送層６０は、例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、酸化リチウム（Ｌｉ_２Ｏ）等で形成されている。

陰極層５５は、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム銀の合金、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含む合金等で形成されている。

基材５２は、導電性を有する導電層５６と、絶縁性を有する絶縁層５７とを備える。そして、導電層５６は、金属基板で構成されており、例えば、ステンレス、銅、ニッケル等の金属で形成されている。また、絶縁層５７は、導電層５６の一方側の面全体を覆うように配置され、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の光硬化性樹脂や、薄ガラス等で形成されている。

次に、本実施形態の搬送装置２を用いた有機ＥＬ素子５１の製造方法について説明する。

有機ＥＬ素子５１を製造するには、搬送装置２によって、基材５２を送り出しローラ５から蒸着用ローラ部４を介して巻き取りローラ６に向けて走行させる。基材５２は、図１に示すように、基材５２の搬送方向における上流側の真空室３の内部、中央の真空室３の内部、下流側の真空室３の内部の順に搬送される。基材５２は、各真空室３内に配置される蒸着用ローラ部４において螺旋状に巻回されている。すなわち、すなわち、基材５２は、蒸着用ローラ部４の２つのローラ部２１に順次架けられて螺旋状に巻回されている。

上流側の真空室３では、内部に配置されている蒸着源１３及び蒸着用ローラ部４によって、基材５２に陽極層５３が形成される。その後、基材５２の陽極層５３が形成された部分は、中央の真空室３に移る。基材３２の陽極層５３が形成された部分には、この真空室３内の蒸着源１３及び蒸着用ローラ部４によって、有機層５４が陽極層５３に重なるように形成される。次に、基材３２の有機層５４が形成された部分は、下流側の真空室３に移る。基材５２の有機層５４が形成された部分には、この真空室３内の蒸着源１３及び蒸着用ローラ部４によって、陰極層５６が有機層５４に重なるように形成される。各真空室３では、具体的には、蒸着用ローラ部４によって送られて、第２のローラ部２１と蒸着源１３との間を通過する際に、蒸着源１３によって気化材料が基材５２に蒸着される。

このように、搬送装置２によって基材５２を搬送しながら、蒸着源１３及び蒸着用ローラ部４による蒸着工程を行うことにより、基材５２に有機ＥＬ素子５１が形成される。

以上の通り、本実施形態のシート５２の搬送装置２によれば、各ローラ部２１において、ローラ部２１の回転方向と傾斜する方向にシート５２をローラ部２１に架けながら搬送する際、複数の支持部２３に伴った複数の当接部２５の回動によってローラ部２１がシート５２を巻き込もうとしても、該複数の当接部２５が回転軸Ｒと同方向に移動可能であることによって、該巻き込みにシート５２が追従して移動することを抑制できる。これにより、シート５２の位置ずれを抑制することが可能となり、その結果、各ローラ部２１によって順次搬送されることによってシート５２が螺旋状に搬送される際に、シート５２が所望の走行位置からずれることを抑制し得る。
また、シート５２に向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部２１の故障を抑制し得る。
従って、シート５２の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数（ここでは２つ）のローラ部２１でシート５２を螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部２１の故障を抑制することが可能となる。

本実施形態のシート５２の搬送装置２においては、
複数の当接部２５のシート５２と当接する面（当接面）２６は、回転軸Ｒを中心とした仮想円Ｐに沿うように形成されている。

かかる構成によれば、各ローラ部２１において、当接部２５のシート５２との当接面２６が回転軸Ｒを中心とした仮想円Ｐに沿うように形成されていることによって、シート５２に対して各当接部２５の当接面２６全体を接触させることができ、また、シート５２に対する各当接面２６の接触面積を増加させることができるため、その当接状態を安定させることができる。これにより、シート５２に振動が発生したり、不要な張力がかかったりすることを抑制することができるため、シート５２の位置ずれをより抑制することが可能となる。
従って、シート５２の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

本実施形態のシート５２の搬送装置２においては、
各ローラ部２１は、複数の支持部２５に伴って複数の当接部２５が回動する際、搬送しているシート５２に当接させるように該複数の当接部２５を回転軸Ｒと同方向に沿って移動させるガイド部３５を、さらに有している。

かかる構成によれば、シート５２の進行経路に合わせて、複数の当接部２５をシート５２に、より確実に当接させることが可能となる。これにより、シート５２の位置ずれを、より確実に抑制することができる。
ここで、バネ等によって複数の当接部２５を戻すような構成を採用した場合には、各当接部２５がシート５２の進行に伴って回転軸Ｒと同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部２５を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部２５を戻す力が当接部２５に作用すると、この力によってシート５２の位置ずれが発生するおそれがある。また、シート５２の進行に伴う各当接部２５の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シート５２の進行に伴う各当接部２５の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部３５によって複数の当接部２５をガイドすることによって、各当接部２５の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部２５にかからないため、その分、シート５２の位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シート５２の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

本実施形態のシート５２の搬送装置２においては、
ガイド部３５が、複数の支持部２３よりも回転軸Ｒ側に配されている。

かかる構成によれば、ガイド部３５が複数の支持部２３よりも回転軸Ｒ側（内側）に配されていることによって、ガイド部３５が複数の支持部２３よりも回転軸Ｒと反対の側（外側）に配されている場合よりも、装置の小型化を図ることができる。また、複数の支持部２３よりも外側に位置するシート５２に対するガイド部３５の干渉を抑制し得るため、この干渉に起因するシート５２の位置ずれの発生も抑制できる。
従って、シート５２の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。

本実施形態のシート５２の搬送方法は、
上記シート５２の搬送装置２を用い、シート５２を複数（ここでは２つ）のローラ部２１に螺旋状に巻回しながら搬送する。

かかる構成によれば、上記シート５２の搬送装置２を用いてシート５２を複数のローラ部２１に螺旋状に巻回しながら搬送することによって、シート５２の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シート５２を螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部２１の故障を抑制することが可能となる。

本実施形態のシート５２の搬送装置２及び搬送方法は、上記の通りであるが、本発明のシートの搬送装置及び搬送方法は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更可能である。

例えば、上記実施形態のシート５２の搬送装置２及び搬送方法では、ローラ部２１が２つ備えられた態様を示すが、本発明のシートの搬送装置及び搬送方法においては、ローラ部が、３つ以上備えられていてもよい。

例えば、上記実施形態では、ガイド部３５の溝部３７に複数の当接部２５の係合部２７を係合させることによって、該複数の当接部２５を回転軸Ｒと同方向に沿って移動させる態様を採用したが、本発明においては、ガイド部３５によって複数の当接部２５を移動させる態様は、上記実施形態に特に限定されるものではない。また、本発明においては、ガイド部３５が備えられていない態様を採用してもよい。

例えば、上記実施形態では、各当接部２５が、その当接面２６が回転軸Ｒを中心とした仮想円Ｐに沿うように形成されている態様を採用したが、本発明においては、各当接部２５の断面形状及び当接面２５ａの形状は、上記実施形態に特に限定されるものではない。

また、上記実施形態では、図２、図６に示すように、径方向（回転軸Ｒに向かう方向）に見たとき、矩形状に形成された各当接部２５を採用したが、該径方向に見たときの各当接部２５の形状は、特に限定されるものではない。例えば、図１０、図１１に示すように、該径方向に見たとき、各当接部２５が、矩形以外の平行四辺形（各内角が９０°ではない平行四辺形）状に形成されており、複数の当接部２５のうち、シート５２と当接している当接部２５の回転軸Ｒ方向の両端縁が面一（一直線状）に配されるように構成されていてもよい。なお、この構成を採用する場合には、図１０に示すように、シート５２と当接しているときには、該当接している当接部２５は上記のように面一に配される。一方、シート５２に当接していないときには、必ずしも面一に配されるわけではなく、図１１に示すように、階段状に配される（隣接した当接部２５間に段差が形成されるように配される）場合もある。かかる当接部２５の配置は、シート５２の搬送軌道や、ローラ部２１の大きさ等によって、決定される。

１：有機ＥＬ素子の製造装置、２：シートの搬送装置、３：真空室、４：蒸着用ローラ部、５：送り出しロール、６：巻き取りロール、２１：ローラ部、２２：軸部、２３：支持部、２５：当接部、２６：当接面、２７：係合部、３１：保持部、３５：ガイド部、３７：溝部、５２：シート

Claims (5)

1. 帯状のシートが巻きかけられる複数のローラ部を備え、
   前記複数のローラ部に前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
   前記各ローラ部は、
   前記各ローラ部の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、前記ローラ部の回転軸と同方向に延在する複数の支持部であって、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、
   前記シートと当接する複数の当接部であって、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の当接部とを有し、且つ、
   前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されており、
   前記複数のローラ部によって順次搬送されることによって、前記シートが螺旋状に搬送されるように構成された、シートの搬送装置。
2. 前記複数の当接部の前記シートと当接する面は、前記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されている、請求項１に記載のシートの搬送装置。
3. 前記各ローラ部は、前記複数の支持部に伴って前記複数の当接部が回動する際、搬送している前記シートに当接させるように該複数の当接部を前記回転軸と同方向に沿って移動させるガイド部を、さらに有する、請求項１または２に記載のシートの搬送装置。
4. 前記ガイド部が、前記複数の支持部よりも内側に配されている、請求項３に記載のシートの搬送装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のシートの搬送装置を用い、前記シートを前記複数のローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送する、シートの搬送方法。