JP2017057450A - シートの搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置等を提供する。【解決手段】複数のローラ部によってシートが螺旋状に巻回されて送られるようになっているシートの搬送装置であって、前記各ローラ部は、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の前記シートとの当接部とを有し、前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されている、シートの搬送装置。【選択図】 図2
Description
本発明は、シートの搬送装置及び搬送方法に関する。
従来、帯状のシートを、2つのローラ部に複数回巻き回しながら搬送するシートの搬送装置が用いられている。
この種のシートの搬送装置は、例えば有機EL(エレクトリルミネッセンス)素子の製造装置に用いられている。
この種のシートの搬送装置は、例えば有機EL(エレクトリルミネッセンス)素子の製造装置に用いられている。
かかる有機EL素子の製造装置においては、シートの搬送装置によって、帯状のシートとしての基材を供給し、蒸着源による蒸着によって、供給された基材に陽極層、発光層(有機EL層)、陰極層といった蒸着層を形成するように構成されている。
ここで、求められる厚さを有する蒸着層を形成するためには、蒸着時間をできるだけ長く確保する必要がある。
ここで、求められる厚さを有する蒸着層を形成するためには、蒸着時間をできるだけ長く確保する必要がある。
そこで、第1のローラ部としてのキャンローラと、第2のローラ部とを有するシートの搬送装置であって、第2のローラ部の回転軸が、キャンローラの回転軸に対して所定の角度で傾斜するように配され、基材が双方のローラに一定の張力で架け渡されて螺旋状に巻回されながら搬送されるように構成されたシートの搬送装置を備え、キャンローラと接触しているシートとしての基材の領域に蒸着源から気化材料を吐出して、蒸着層を形成するように構成された有機EL素子の製造装置が提案されている(特許文献1参照)。この有機EL素子の製造装置は、上記シートの搬送装置を備えることによって、蒸着時間を長く確保することができるため、求められる厚さを有する蒸着層を形成することが可能となる。
しかし、このように、第1のローラ部に対して第2のローラ部を傾斜させ、これら第1のローラ部及び第2のローラ部に基材を架け渡しながら螺旋状に巻回させて搬送すると、巻回されているシートの走行位置が、ローラ部の軸方向にずれる場合がある。このようにシートの走行位置がずれると、例えば上記した有機EL素子の製造装置においては、基材上に所望の厚さを有する蒸着層を形成することが困難になる等、不具合が生じることになる。
例えば図12に示すように、一のローラ部70の回転方向に対して傾斜する方向にシート52を架け渡し、シート52を斜めに搬送すると、ローラ部70とシート52との間の摩擦力に起因して、ローラ部70がシート52を巻き込もうとする。この巻き込みは、図13に示すように、ローラ部70の軸方向Xにおいて、シート52を、破線で示すように、その搬送方向とは反対の方向に移動させることになる。このように、ローラ部70による巻き込みにシート52が追従して移動する結果、ローラ部70に架け渡されているシート52の位置ずれが生じることになる。その結果、ローラ部70を2つ用いてシート52を螺旋状に搬送しようとすると、各ローラ部70でシート52の位置ずれが生じることになる。さらに、上記位置ずれが大きくなり過ぎると、ローラ部70からシート52が脱落してしまうおそれもある。
そこで、このようなローラ部での位置ずれを抑制する技術が提案されている。
例えば、ローラ部として、外周面に複数の孔部が形成されたローラ本体と、孔部を通して外周面よりも径方向外方に突出するように、且つ、回転可能であるように前記孔部に収容された複数の球状の回転体と、該回転体を、径方向内方から回転可能に支持する筒状の支持部とを備えたものが提案されている(特許文献2参照)。
例えば、ローラ部として、外周面に複数の孔部が形成されたローラ本体と、孔部を通して外周面よりも径方向外方に突出するように、且つ、回転可能であるように前記孔部に収容された複数の球状の回転体と、該回転体を、径方向内方から回転可能に支持する筒状の支持部とを備えたものが提案されている(特許文献2参照)。
このようなローラ部でシートを斜めに搬送すると、ローラ本体が回転し、シートを巻き込もうとしても、球状の回転体が自由方向に回転することによって、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。従って、ローラ部に架け渡されているシートの位置ずれを抑制することが可能となる。
また、例えば、ローラ部として、その周面部に細い紐帯を有するものが提案されている。具体的には、該紐帯は、回転軸と同方向に延在するように周方向に複数配されており、且つ、回転軸と同方向に移動可能に構成されている。また、シートが紐帯と当接した状態でシートの進行と共に紐帯が回転軸と同方向に移動し、シートが紐帯から離れたとき、バネやゴム製テープといった位置戻し装置によって紐帯が初期位置に戻されるように構成されている(特許文献3参照)。
このようなローラ部でシートを斜めに搬送すると、ローラ部が回転し、シートを巻き込もうとしても、軸方向におけるシートの移動に伴って紐帯が移動する。これにより、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。従って、ローラ部に架け渡されているシートの位置ずれを抑制することが可能となる。
しかし、上記特許文献2に示すようなローラ部では、架けられる基材に向かって開口する孔部に球状の回転体が支持されているため、シートに付着した異物が、孔部と回転体との間に噛み込み、ローラ部の故障を引き起こすおそれがある。
また、上記特許文献3に示すようなローラ部では、紐帯が種々の断面形状を有し得るため、シートに対して紐帯の当接面が局所的に接触する等によってその当接状態が安定せず、その結果、シートに振動が発生したり、不要な張力がかかったりして、これによるシートの位置が生じるおそれがある。
上記事情に鑑み、本発明は、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置及び搬送方法を提供することを課題とする
本発明に係るシートの搬送装置は、
帯状のシートが巻きかけられる複数のローラ部を備え、
前記複数のローラ部に前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記各ローラ部は、
前記各ローラ部の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、前記ローラ部の回転軸と同方向に延在する複数の支持部であって、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、
前記シートと当接する複数の当接部であって、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の当接部とを有し、且つ、
前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されており、
前記複数のローラ部によって順次搬送されることによって、前記シートが螺旋状に搬送されるように構成されている。
帯状のシートが巻きかけられる複数のローラ部を備え、
前記複数のローラ部に前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記各ローラ部は、
前記各ローラ部の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、前記ローラ部の回転軸と同方向に延在する複数の支持部であって、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、
前記シートと当接する複数の当接部であって、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の当接部とを有し、且つ、
前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されており、
前記複数のローラ部によって順次搬送されることによって、前記シートが螺旋状に搬送されるように構成されている。
かかる構成によれば、各ローラ部において、ローラ部の回転方向と傾斜する方向にシートをローラ部に架けながら搬送する際、複数の支持部に伴った複数の当接部の回動によってローラ部がシートを巻き込もうとしても、該複数の当接部が回転軸と同方向に移動可能であることによって、該巻き込みにシートが追従して移動することを抑制できる。これにより、シートの位置ずれを抑制することが可能となり、その結果、各ローラ部によって順次搬送されることによってシートが螺旋状に搬送される際に、シートが所望の走行位置からずれることを抑制し得る。
また、シートに向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部の故障を抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、2つのローラ部でシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障を抑制することが可能となる。
また、シートに向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部の故障を抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、2つのローラ部でシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障を抑制することが可能となる。
上記構成のシートの搬送装置においては、
前記複数の当接部の前記シートと当接する面は、前記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されていることが好ましい。
前記複数の当接部の前記シートと当接する面は、前記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されていることが好ましい。
かかる構成によれば、各ローラ部において、当接部のシートと当接する面(当接面)が上記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されていることによって、シートに対して各当接部の当接面全体を接触させることができ、また、シートに対する各当接面の接触面積を増加させることができるため、その当接状態を安定させることができる。これにより、シートに振動が発生したり、不要な張力がかかったりすることを抑制することができるため、シートの位置ずれをより抑制することが可能となる。加えて、当接面が上記仮想円に沿うように形成されていることによって、上記仮想円に沿うように形成されていない場合よりも、該当接面と接触しているときに、径方向(回転軸向かう方向)におけるシートの振動(上下動)が発生することを抑制し得るため、その振動に起因したシートの位置ずれを抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
上記構成のシートの搬送装置においては、
前記各ローラ部は、前記複数の支持部に伴って前記複数の当接部が回動する際、搬送している前記シートに当接させるように該複数の当接部を前記回転軸と同方向に沿って移動させるガイド部を、さらに有することが好ましい。
前記各ローラ部は、前記複数の支持部に伴って前記複数の当接部が回動する際、搬送している前記シートに当接させるように該複数の当接部を前記回転軸と同方向に沿って移動させるガイド部を、さらに有することが好ましい。
かかる構成によれば、シートの進行経路に合わせて、複数の当接部をシートに、より確実に当接させることが可能となる。これにより、シートの位置ずれを、より確実に抑制することができる。
ここで、上記特許文献3に示すように、バネ等によって複数の当接部を戻すような構成を採用した場合には、各当接部がシートの進行に伴って回転軸と同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部を戻す力が当接部に作用すると、この力によってシートの位置ずれが発生するおそれがある。また、シートの進行に伴う各当接部の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シートの進行に伴う各当接部の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部によって複数の当接部をガイドすることによって、各当接部の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部にかからないため、その分、シートの位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
ここで、上記特許文献3に示すように、バネ等によって複数の当接部を戻すような構成を採用した場合には、各当接部がシートの進行に伴って回転軸と同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部を戻す力が当接部に作用すると、この力によってシートの位置ずれが発生するおそれがある。また、シートの進行に伴う各当接部の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シートの進行に伴う各当接部の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部によって複数の当接部をガイドすることによって、各当接部の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部にかからないため、その分、シートの位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
上記構成のシートの搬送装置においては、
前記ガイド部が、前記複数の支持部よりも前記回転軸側に配されていることが好ましい。
前記ガイド部が、前記複数の支持部よりも前記回転軸側に配されていることが好ましい。
かかる構成によれば、ガイド部が複数の支持部よりも回転軸側(内側)に配されていることによって、ガイド部が複数の支持部よりも回転軸と反対の側(外側)に配されている場合よりも、装置の小型化を図ることができる。また、複数の支持部よりも外側に位置するシートに対するガイド部の干渉を抑制し得るため、この干渉に起因するシートの位置ずれの発生も抑制できる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
本発明に係るシートの搬送方法は、
前記シートの搬送装置を用い、前記シートを前記複数ローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送する。
前記シートの搬送装置を用い、前記シートを前記複数ローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送する。
かかる構成によれば、上記シートの搬送装置を用いてシートを複数のローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送することによって、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障を抑制することが可能となる。
本発明によれば、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置及び搬送方法が提供される。
以下、本発明の一実施形態に係るシートの搬送装置について、該シートの搬送装置(以下、単に「搬送装置」ともいう。)が有機EL素子の製造装置(以下、単に「製造装置」ともいう)に備えられた態様について、図1〜図8を参酌して説明する。
本実施形態に係る製造装置1は、図1に示すように、内部が真空である複数(図例では3つ)の真空室3と、帯状のシートとしての基材52が真空室3の内部を通過するように、基材52を搬送する基材52の搬送装置2と、気化材料を基材52に蒸着すべく、基材52に向けて気化材料を吐出する複数の蒸着源13とを備える。
基材52の搬送装置2は、基材52が複数回巻きかけられる2つのローラ部21を備えている。2つのローラ部21は、蒸着源13とともに蒸着を行うべく基材52が螺旋状に巻回された蒸着用ローラ部4を構成している。
基材52の搬送装置2は、基材52が複数回巻きかけられる2つのローラ部21を備えている。2つのローラ部21は、蒸着源13とともに蒸着を行うべく基材52が螺旋状に巻回された蒸着用ローラ部4を構成している。
真空室3は、基材52の搬送方向に沿って連設されている。また、各真空室3の内部が真空となるように、各真空室3には、真空ポンプ等の真空発生装置(図示せず)が接続されている。
各蒸着源13は、真空室3の内部に配置されていると共に、基材52と上下方向(鉛直方向)で対面するように配置されている。具体的には、各蒸着源13は、蒸着用ローラ部4の下方に配置されている。また、各蒸着源13は、加熱により気化させた気化材料を、基材52に向けて吐出するようになっている。具体的には、各蒸着源13は、気化材料を、上方向に向けて吐出するようになっている。
図1、図2に示すように、基材52の搬送装置2は、基材52を螺旋状に搬送する蒸着用ローラ部4を備えている。また、搬送装置2は、基材52を蒸着用ローラ部4に送り出して供給する送り出しローラ(供給部)5と、蒸着用ローラ部4によってガイドされた基材52を巻き取って回収する巻き取りローラ(回収部)6とを備える。送り出しローラ5及び巻き取りローラ6は、真空室3の外部で且つ上流側に配置されている。
蒸着用ローラ部4は、帯状の基材52が巻きかけられる2つのローラ部21を備え、該2つのローラ部21のうち、一方のローラ部(図1、図2の下側に位置する第1のローラ部)21から送られた基材52が、他方のローラ部(図1、図2の上側に位置する第2のローラ部)21に巻きかけられて再び第1のローラ部21に巻きかけられ、且つ、順次その繰り返しにより、シート52が螺旋状に巻回されて送られるようになっている。
また、各ローラ部21の回転軸Rと同方向に配された複数の当接部25に順次搬送されることによって、基材52が螺旋状に搬送されるようになっている。
また、各ローラ部21の回転軸Rと同方向に配された複数の当接部25に順次搬送されることによって、基材52が螺旋状に搬送されるようになっている。
2つのローラ部21のうち、第1のローラ部21が蒸着源13と対向する位置に配されている。
本実施形態では、2つのローラ部21は、同様に構成されている。これらローラ部21は、各ローラ部21の回転軸Rと同方向に配された複数の当接部25に順次搬送されるように、回転軸R(図6参照)と同方向において互いに異なる位置に、互いに間隔を空けて配されている。
図2〜6に示すように、ローラ部21は、該ローラ部21の回転軸Rを中心に有する回転不能な軸部22と、軸部22の周りにローラ部21の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、ローラ部21の回転軸Rと同方向に延在する複数の支持部23であって、回転軸Rを中心として回動可能な複数の支持部23と、基材52と当接する複数の当接部25であって、回転軸Rと同方向に沿って移動可能であるように複数の支持部23に支持された複数の当接部25とを有し、該複数の当接部25の基材52と当接する面(当接面)26は、回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている。
ローラ部21は、支持部23に伴って当接部25が回動する際、搬送している基材52に当接させるように該当接部25を回転軸Rと同方向に移動させるガイド部35を、さらに有する。
ローラ部21は、支持部23の両端部を保持しつつ、軸部22に回転可能に支持された保持部31を、さらに有する。
ローラ部21は、支持部23に伴って当接部25が回動する際、搬送している基材52に当接させるように該当接部25を回転軸Rと同方向に移動させるガイド部35を、さらに有する。
ローラ部21は、支持部23の両端部を保持しつつ、軸部22に回転可能に支持された保持部31を、さらに有する。
複数の支持部23は、基材52と当接する複数の当接部25を回転軸Rと同方向に移動可能に支持するものである。
複数の支持部23は、ローラ部21の回転方向に等間隔となるように間隔を空けて配されており、ローラ部21の回転軸Rと同方向に延在されている。
各支持部23は、回転軸Rを中心として回動可能に構成されている。
本実施形態では、各支持部23は、保持部31に回転不能に保持されており、保持部31の回転と共に回動可能となっている。
複数の支持部23の数量、長さ等は、基材52の進行軌跡等に応じて適宜設定すればよい。
複数の支持部23は、ローラ部21の回転方向に等間隔となるように間隔を空けて配されており、ローラ部21の回転軸Rと同方向に延在されている。
各支持部23は、回転軸Rを中心として回動可能に構成されている。
本実施形態では、各支持部23は、保持部31に回転不能に保持されており、保持部31の回転と共に回動可能となっている。
複数の支持部23の数量、長さ等は、基材52の進行軌跡等に応じて適宜設定すればよい。
複数の当接部25は、基材52と当接するものである。
複数の当接部25は、回転軸Rと同方向に延在しており、且つ、回転軸Rと同方向に移動可能であるように複数の支持部23に支持されている。
また、各支持部23に、複数の当接部25が支持されている。
本実施形態では、各支持部23に当接部25が複数配されているが、その他の実施形態では、各支持部23に当接部25が1つ配されていてもよい。
複数の当接部25は、回転軸Rと同方向に延在しており、且つ、回転軸Rと同方向に移動可能であるように複数の支持部23に支持されている。
また、各支持部23に、複数の当接部25が支持されている。
本実施形態では、各支持部23に当接部25が複数配されているが、その他の実施形態では、各支持部23に当接部25が1つ配されていてもよい。
各当接部25は、基材52と当接可能な面(当接面)26を有している。
本実施形態では、各当接部25は、図8に示すように、その当接面26が回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている。すなわち、各当接部25は、回転軸Rと同方向にローラ部21を見たとき、回転軸Rを中心とし、半径が一定である仮想円Pの一部(円弧)を構成するように形成されている。
本実施形態では、各当接部25は、図8に示すように、その当接面26が回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている。すなわち、各当接部25は、回転軸Rと同方向にローラ部21を見たとき、回転軸Rを中心とし、半径が一定である仮想円Pの一部(円弧)を構成するように形成されている。
各当接部25は、回転不能であるように各支持部23に支持されている。
このように、各当接部25が回転不能に各支持部23に支持されている、すなわち、各当接部25が自転しないように構成されていることによって、かかる自転に起因した基材52の巻き込みの発生を抑制し得るため、その分、基材52の位置ずれを抑制することが可能となる。
このように、各当接部25が回転不能に各支持部23に支持されている、すなわち、各当接部25が自転しないように構成されていることによって、かかる自転に起因した基材52の巻き込みの発生を抑制し得るため、その分、基材52の位置ずれを抑制することが可能となる。
各当接部25は、例えば、リニアボールスプライン機構によって各支持部23に支持されており、これにより、各当接部25が回転軸Rと同方向(支持部23の長手方向)に移動可能となっている。
本実施形態では、基材52は、ローラ部21における一端側から他端側に向かって、ローラ部21の回転方向と傾斜した方向から複数の当接部25と接触し、これに支持されて進行するようになっている。具体的には、基材52は、上記一端側から他端側に向かって、回転軸Rを中心とした螺旋の一部を描きながら所定の経路で進行するようになっている。
回転軸Rと同方向における各当接部25の長さ、数量、及び、回転軸Rと同方向において各当接部25が移動可能な距離は、特に限定されず、基材52の進行軌跡等に応じて適宜設定すればよい。本実施形態では、回転軸Rと同方向において各当接部25が移動可能な距離は、ガイド部35によって決定されるようになっている。
具体的には、各当接部25は、ガイド部35の溝部37と係合する係合部27を有している。該係合部27は、各当接部25における基材52との当接面26と反対の側から突出している。
係合部27は、複数の突起部27aを有している。図7に示すように、各突起部27aは、先端部に溝部37の底面と摺動可能に当接するベアリングを有しており、溝部37の壁面と当接する突起部27aは、該壁面と摺動可能に当接するベアリングをさらに有している。なお、係合部27の形状は、かかる態様に特に限定されるものではない。
この係合部27がガイド部35の溝部37に係合していることによって、回転軸Rと同方向における各当接部25の移動方向及び移動量が規制されるようになっている。この各当接部25の移動方向及び移動距離は、基材52の進行軌跡等に応じて設定され得る。
ガイド部35の詳細については、後述する。
係合部27は、複数の突起部27aを有している。図7に示すように、各突起部27aは、先端部に溝部37の底面と摺動可能に当接するベアリングを有しており、溝部37の壁面と当接する突起部27aは、該壁面と摺動可能に当接するベアリングをさらに有している。なお、係合部27の形状は、かかる態様に特に限定されるものではない。
この係合部27がガイド部35の溝部37に係合していることによって、回転軸Rと同方向における各当接部25の移動方向及び移動量が規制されるようになっている。この各当接部25の移動方向及び移動距離は、基材52の進行軌跡等に応じて設定され得る。
ガイド部35の詳細については、後述する。
保持部31は、軸部22に対して回転可能に設けられ、駆動装置47によって軸部22に対して(すなわち、回転軸Rを中心として)回転するようになっている。この保持部31の回転に伴って、支持部23が回転軸Rを中心として回動するようになっている。
ここでは、保持部31は2つ設けられている。
ここでは、保持部31は2つ設けられている。
具体的には、図6に示すように、保持部31は、例えばボールベアリングを介して、軸部22に対して回転可能であるように、該軸部22に支持されている。また、一方の保持部31(図6の右側の保持部31)は、回転可能に軸受部49に支持され、且つ、駆動装置47と連結されており、該駆動装置47によって、保持部31が回転軸Rを中心として回転するようになっている。また、保持部31が回転すると、この回転に伴って、複数の支持部23及び複数の当接部25が回転軸Rを中心として回動するようになっている。
ガイド部35は、複数の支持部23に伴って複数の当接部25が回動する際、搬送している基材52に当接させるように該複数の当接部25を回転軸Rと同方向に沿って移動させるものである。
ガイド部35は、複数の支持部23よりも軸部22側に配されている。すなわち、ガイド部35は、軸部22と複数の支持部23との間に配されている。
ガイド部35は、回転不能に軸部22に固定されている。
ガイド部35は、複数の支持部23よりも軸部22側に配されている。すなわち、ガイド部35は、軸部22と複数の支持部23との間に配されている。
ガイド部35は、回転不能に軸部22に固定されている。
ガイド35は、溝部37を有しており、この溝部37に複数の当接部25の係合部27が係合されるようになっている。溝部37は、基材52と当接しながら回転軸Rと同方向に複数の当接部25を移動させ、基材52から当接部25が離間した後、再び基材52と当接する位置に複数の当接部25を戻すことができるような軌道を描くように環状に形成されている。
このように、軸部22に固定されたガイド部35が溝部37を有していることにより、軸部22及びガイド部35に対して、複数の支持部23及び複数の当接部25が回動すると、複数の当接部25の係合部27が溝部37にガイドされて回転軸Rと同方向に移動し、この移動に伴って、複数の当接部25が回転軸Rと同方向に移動するようになっている。
このように、軸部22に固定されたガイド部35が溝部37を有していることにより、軸部22及びガイド部35に対して、複数の支持部23及び複数の当接部25が回動すると、複数の当接部25の係合部27が溝部37にガイドされて回転軸Rと同方向に移動し、この移動に伴って、複数の当接部25が回転軸Rと同方向に移動するようになっている。
上記のように構成された2つのローラ部21が、各ローラ部21の回転軸Rと同方向に配された複数の当接部25に順次搬送されるように、回転軸Rと同方向において互いに異なる位置に、互いに間隔を空けて配されていることによって、基材52が螺旋状に搬送されるようになっている。また、当接部25に対応して、回転軸Rと同方向に環状の溝部37が複数形成されている。
具体的には、一方のローラ部(第1のローラ部)21の一の環状に配された複数の当接部25によって搬送された基材52が、上記他方のローラ部(第2のローラ部)21の一の環状に配された複数の当接部25によって搬送されて再び上記第1のローラ部21の上記一の環状に配された複数の当接部25に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部25に搬送され、該複数の当接部25に搬送された基材52が、上記第2のローラ部21の上記一の環状に配された当接部25に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部25によって搬送され、且つ、順次その繰り返しにより、基材52が螺旋状に搬送されるようになっている。
具体的には、一方のローラ部(第1のローラ部)21の一の環状に配された複数の当接部25によって搬送された基材52が、上記他方のローラ部(第2のローラ部)21の一の環状に配された複数の当接部25によって搬送されて再び上記第1のローラ部21の上記一の環状に配された複数の当接部25に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部25に搬送され、該複数の当接部25に搬送された基材52が、上記第2のローラ部21の上記一の環状に配された当接部25に下流側において隣接する環状に配された複数の当接部25によって搬送され、且つ、順次その繰り返しにより、基材52が螺旋状に搬送されるようになっている。
次に、本実施形態に係る基材52の搬送装置2の動作を説明しつつ、該搬送装置2を用いた基材52の搬送方法について説明する。
送り出しローラ5から2つのローラ部21のうち、一方のローラ部(図1、図2の下側に位置する第1のローラ部)に向かって基材52が送り出される。第1のローラ部21の一端側から他端側に向かって、該第1のローラ部21の回転方向と傾斜する方向から基材52が送られると、送られた基材52は、一の環状に配された複数の当接部25に架けられる。該複数の当接部25に架けられた基材52は、回転軸Rを中心とした複数の支持部23の回動、及び、ガイド部35にガイドされた該複数の当接部25の回転軸Rと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材52は、このように第1のローラ部21によって搬送されながら他方のローラ部(図1の上側の第2のローラ部)21に搬送される。
第2のローラ部21の一端側から他端側に向かって、該第2のローラ部21の回転方向と傾斜する方向から基材52が送られると、送られた基材52は、一の環状に配された複数の当接部25に架けられる。該複数の当接部25に架けられた基材52は、回転軸Rを中心とした複数の支持部23の回動、及び、ガイド部35にガイドされた該複数の当接部25の回転軸Rと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材52は、このように第2のローラ部21によって搬送されながら第1のローラ部21に再び搬送される。
第1のローラ部には、該第1のローラ部21の回転方向と傾斜する方向から基材52が送られ、送られた基材52は、上記一の環状に配された複数の当接部25に下流側において隣接する(回転軸Rと同方向において基材52の搬送方向下流側直近の)環状に配された複数の当接部25に架けられる。該当接部25に架けられた基材52は、上記と同様にして、回転軸Rを中心とした支持部23の回動、及び、ガイド部35にガイドされた該当接部25の回転軸Rと同方向の移動と共に、進行方向下流側に送られる。基材52は、このように第2のローラ部21によって搬送されながら第2のローラ部21に再び搬送される。
これらが順次繰り返されることによって、基材52は、2つのローラ部21に螺旋状に巻回されながら搬送される。
このように、搬送装置2を用いた基材52の搬送方法は、送り出しローラ5から送り出された基材52を、該基材52が架けられた2つのローラ部21に螺旋状に巻回しながら搬送し、巻き取りローラ6で巻き取ることによって、搬送する。
本実施形態の有機EL素子51の製造装置1によって製造される有機EL素子51は、図9に示すように、基材52の一方側の面に蒸着源13からの気化材料が蒸着されて形成される陽極層53と、陽極層53の上から気化材料が蒸着されて形成される有機層54と、有機層54の上から気化材料が蒸着されて形成される陰極層55とを備える。
陽極層53は、例えば、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、インジウム−錫酸化物(ITO)等の透明導電材や、金、銀、アルミニウム等の金属で形成されている。
有機層54は、陽極層53の上に配置される正孔輸送層58と、正孔輸送層58の上に配置される有機EL層59と、有機EL層59の上に配置される電子輸送層60とを備える。そして、有機層54は、陽極層53と陰極層55とが接触するのを防止するように、陽極層53及び陰極層55間に配置されている。
正孔輸送層58は、例えば、銅フタロシアニン(CuPc)、4,4'−ビス[N−4−(N,N−ジ−m−トリルアミノ)フェニル]−N−フェニルアミノ]ビフェニル(DNTPD)等で形成されている。また、有機EL層59は、例えば、トリス(8−ハイドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、イリジウム錯体(Ir(ppy)3)をドープした4,4'−N,N'−ジカルバゾニルビフェニル(CBP)等で形成されている。さらに、電子輸送層60は、例えば、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、酸化リチウム(Li2O)等で形成されている。
陰極層55は、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム銀の合金、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含む合金等で形成されている。
基材52は、導電性を有する導電層56と、絶縁性を有する絶縁層57とを備える。そして、導電層56は、金属基板で構成されており、例えば、ステンレス、銅、ニッケル等の金属で形成されている。また、絶縁層57は、導電層56の一方側の面全体を覆うように配置され、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の光硬化性樹脂や、薄ガラス等で形成されている。
次に、本実施形態の搬送装置2を用いた有機EL素子51の製造方法について説明する。
有機EL素子51を製造するには、搬送装置2によって、基材52を送り出しローラ5から蒸着用ローラ部4を介して巻き取りローラ6に向けて走行させる。基材52は、図1に示すように、基材52の搬送方向における上流側の真空室3の内部、中央の真空室3の内部、下流側の真空室3の内部の順に搬送される。基材52は、各真空室3内に配置される蒸着用ローラ部4において螺旋状に巻回されている。すなわち、すなわち、基材52は、蒸着用ローラ部4の2つのローラ部21に順次架けられて螺旋状に巻回されている。
上流側の真空室3では、内部に配置されている蒸着源13及び蒸着用ローラ部4によって、基材52に陽極層53が形成される。その後、基材52の陽極層53が形成された部分は、中央の真空室3に移る。基材32の陽極層53が形成された部分には、この真空室3内の蒸着源13及び蒸着用ローラ部4によって、有機層54が陽極層53に重なるように形成される。次に、基材32の有機層54が形成された部分は、下流側の真空室3に移る。基材52の有機層54が形成された部分には、この真空室3内の蒸着源13及び蒸着用ローラ部4によって、陰極層56が有機層54に重なるように形成される。各真空室3では、具体的には、蒸着用ローラ部4によって送られて、第2のローラ部21と蒸着源13との間を通過する際に、蒸着源13によって気化材料が基材52に蒸着される。
このように、搬送装置2によって基材52を搬送しながら、蒸着源13及び蒸着用ローラ部4による蒸着工程を行うことにより、基材52に有機EL素子51が形成される。
以上の通り、本実施形態のシート52の搬送装置2によれば、各ローラ部21において、ローラ部21の回転方向と傾斜する方向にシート52をローラ部21に架けながら搬送する際、複数の支持部23に伴った複数の当接部25の回動によってローラ部21がシート52を巻き込もうとしても、該複数の当接部25が回転軸Rと同方向に移動可能であることによって、該巻き込みにシート52が追従して移動することを抑制できる。これにより、シート52の位置ずれを抑制することが可能となり、その結果、各ローラ部21によって順次搬送されることによってシート52が螺旋状に搬送される際に、シート52が所望の走行位置からずれることを抑制し得る。
また、シート52に向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部21の故障を抑制し得る。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数(ここでは2つ)のローラ部21でシート52を螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部21の故障を抑制することが可能となる。
また、シート52に向かって開口する孔部に回転体を収容する構成を採用しなくても、上記位置ずれを抑制できるため、異物の混入を抑制することができる。これにより、異物の混入に起因したローラ部21の故障を抑制し得る。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数(ここでは2つ)のローラ部21でシート52を螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部21の故障を抑制することが可能となる。
本実施形態のシート52の搬送装置2においては、
複数の当接部25のシート52と当接する面(当接面)26は、回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている。
複数の当接部25のシート52と当接する面(当接面)26は、回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている。
かかる構成によれば、各ローラ部21において、当接部25のシート52との当接面26が回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されていることによって、シート52に対して各当接部25の当接面26全体を接触させることができ、また、シート52に対する各当接面26の接触面積を増加させることができるため、その当接状態を安定させることができる。これにより、シート52に振動が発生したり、不要な張力がかかったりすることを抑制することができるため、シート52の位置ずれをより抑制することが可能となる。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
本実施形態のシート52の搬送装置2においては、
各ローラ部21は、複数の支持部25に伴って複数の当接部25が回動する際、搬送しているシート52に当接させるように該複数の当接部25を回転軸Rと同方向に沿って移動させるガイド部35を、さらに有している。
各ローラ部21は、複数の支持部25に伴って複数の当接部25が回動する際、搬送しているシート52に当接させるように該複数の当接部25を回転軸Rと同方向に沿って移動させるガイド部35を、さらに有している。
かかる構成によれば、シート52の進行経路に合わせて、複数の当接部25をシート52に、より確実に当接させることが可能となる。これにより、シート52の位置ずれを、より確実に抑制することができる。
ここで、バネ等によって複数の当接部25を戻すような構成を採用した場合には、各当接部25がシート52の進行に伴って回転軸Rと同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部25を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部25を戻す力が当接部25に作用すると、この力によってシート52の位置ずれが発生するおそれがある。また、シート52の進行に伴う各当接部25の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シート52の進行に伴う各当接部25の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部35によって複数の当接部25をガイドすることによって、各当接部25の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部25にかからないため、その分、シート52の位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
ここで、バネ等によって複数の当接部25を戻すような構成を採用した場合には、各当接部25がシート52の進行に伴って回転軸Rと同方向に移動しようとすると、この方向と反対の方向に各当接部25を戻す力がかかるおそれがある。このように各当接部25を戻す力が当接部25に作用すると、この力によってシート52の位置ずれが発生するおそれがある。また、シート52の進行に伴う各当接部25の移動距離に応じて、バネ等による上記戻す力が変化するため、シート52の進行に伴う各当接部25の移動が安定し難くなるおそれもある。
しかし、上記ガイド部35によって複数の当接部25をガイドすることによって、各当接部25の移動を妨げる上記バネ等に起因した戻す力が該各当接部25にかからないため、その分、シート52の位置ずれを十分に抑制することができる。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
本実施形態のシート52の搬送装置2においては、
ガイド部35が、複数の支持部23よりも回転軸R側に配されている。
ガイド部35が、複数の支持部23よりも回転軸R側に配されている。
かかる構成によれば、ガイド部35が複数の支持部23よりも回転軸R側(内側)に配されていることによって、ガイド部35が複数の支持部23よりも回転軸Rと反対の側(外側)に配されている場合よりも、装置の小型化を図ることができる。また、複数の支持部23よりも外側に位置するシート52に対するガイド部35の干渉を抑制し得るため、この干渉に起因するシート52の位置ずれの発生も抑制できる。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
従って、シート52の走行位置が所望の位置からずれることをより十分に抑制し得る。
本実施形態のシート52の搬送方法は、
上記シート52の搬送装置2を用い、シート52を複数(ここでは2つ)のローラ部21に螺旋状に巻回しながら搬送する。
上記シート52の搬送装置2を用い、シート52を複数(ここでは2つ)のローラ部21に螺旋状に巻回しながら搬送する。
かかる構成によれば、上記シート52の搬送装置2を用いてシート52を複数のローラ部21に螺旋状に巻回しながら搬送することによって、シート52の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シート52を螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部21の故障を抑制することが可能となる。
本実施形態のシート52の搬送装置2及び搬送方法は、上記の通りであるが、本発明のシートの搬送装置及び搬送方法は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更可能である。
例えば、上記実施形態のシート52の搬送装置2及び搬送方法では、ローラ部21が2つ備えられた態様を示すが、本発明のシートの搬送装置及び搬送方法においては、ローラ部が、3つ以上備えられていてもよい。
例えば、上記実施形態では、ガイド部35の溝部37に複数の当接部25の係合部27を係合させることによって、該複数の当接部25を回転軸Rと同方向に沿って移動させる態様を採用したが、本発明においては、ガイド部35によって複数の当接部25を移動させる態様は、上記実施形態に特に限定されるものではない。また、本発明においては、ガイド部35が備えられていない態様を採用してもよい。
例えば、上記実施形態では、各当接部25が、その当接面26が回転軸Rを中心とした仮想円Pに沿うように形成されている態様を採用したが、本発明においては、各当接部25の断面形状及び当接面25aの形状は、上記実施形態に特に限定されるものではない。
また、上記実施形態では、図2、図6に示すように、径方向(回転軸Rに向かう方向)に見たとき、矩形状に形成された各当接部25を採用したが、該径方向に見たときの各当接部25の形状は、特に限定されるものではない。例えば、図10、図11に示すように、該径方向に見たとき、各当接部25が、矩形以外の平行四辺形(各内角が90°ではない平行四辺形)状に形成されており、複数の当接部25のうち、シート52と当接している当接部25の回転軸R方向の両端縁が面一(一直線状)に配されるように構成されていてもよい。なお、この構成を採用する場合には、図10に示すように、シート52と当接しているときには、該当接している当接部25は上記のように面一に配される。一方、シート52に当接していないときには、必ずしも面一に配されるわけではなく、図11に示すように、階段状に配される(隣接した当接部25間に段差が形成されるように配される)場合もある。かかる当接部25の配置は、シート52の搬送軌道や、ローラ部21の大きさ等によって、決定される。
1:有機EL素子の製造装置、2:シートの搬送装置、3:真空室、4:蒸着用ローラ部、5:送り出しロール、6:巻き取りロール、21:ローラ部、22:軸部、23:支持部、25:当接部、26:当接面、27:係合部、31:保持部、35:ガイド部、37:溝部、52:シート
Claims (5)
- 帯状のシートが巻きかけられる複数のローラ部を備え、
前記複数のローラ部に前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記各ローラ部は、
前記各ローラ部の回転方向に間隔を空けて配され、且つ、前記ローラ部の回転軸と同方向に延在する複数の支持部であって、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、
前記シートと当接する複数の当接部であって、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の当接部とを有し、且つ、
前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されており、
前記複数のローラ部によって順次搬送されることによって、前記シートが螺旋状に搬送されるように構成された、シートの搬送装置。 - 前記複数の当接部の前記シートと当接する面は、前記回転軸を中心とした仮想円に沿うように形成されている、請求項1に記載のシートの搬送装置。
- 前記各ローラ部は、前記複数の支持部に伴って前記複数の当接部が回動する際、搬送している前記シートに当接させるように該複数の当接部を前記回転軸と同方向に沿って移動させるガイド部を、さらに有する、請求項1または2に記載のシートの搬送装置。
- 前記ガイド部が、前記複数の支持部よりも内側に配されている、請求項3に記載のシートの搬送装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のシートの搬送装置を用い、前記シートを前記複数のローラ部に螺旋状に巻回しながら搬送する、シートの搬送方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2015181948A JP2017057450A (ja) | 2015-09-15 | 2015-09-15 | シートの搬送装置及び搬送方法 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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