JP2015167086A - 有機el素子の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】蒸着源からの熱によって基材が伸長した場合であっても、基材の位置ずれが生じないようにする有機EL素子の製造装置を提供する。【解決手段】真空室1と、帯状の基材32に気化材料を蒸着するための蒸着源3と、蒸着源とともに基材に蒸着を行うべく、基材を螺旋状に巻回可能な蒸着用ロール装置4と、を備える。蒸着用ロール装置は、第1ロール7と、第1ロールの回転軸に対して傾斜する回転軸を有する複数の第2ロール8と、を含む。第1ロールと第2ロールとの間隔を変更すべく、第2ロールの位置を調整する位置調整部をさらに備える有機EL素子の製造装置。【選択図】図1
Description
本発明は、有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子の製造装置及び製造方法に関する。
近年、低消費電力を実現可能な次世代の発光素子として、有機EL素子が注目されている。有機EL素子は、陽極と、陰極と、陽極と陰極の間に設けられた発光層を含む有機層と、を有する。有機層は、例えば、陽極側に設けられる正孔輸送層と、陰極側に設けられる電子輸送層と、正孔輸送層と電子輸送層の間に設けられる発光層と、を有する。正孔輸送層は、発光層に正孔を注入する機能を有する。電子輸送層は、発光層に電子を注入する機能を有する。
上記の有機EL素子を製造する方法として、ロールプロセスによる真空蒸着法が知られている。この方法により有機EL素子を製造する製造装置は、内部が真空である複数の真空室と、帯状の基材が真空室の内部を通過するように、基材を所定の方向に沿って走行させる走行装置と、基材の搬送経路の中途部に設けられるとともに、この基材に接するキャンロールと、基材に向けて気化材料を吐出する複数の蒸着源と、キャンロールに一体に設けられるとともに、キャンロールに接する基材を所定の位置において蒸着源から遮蔽する遮蔽装置(マスク装置)とを備える(特許文献1参照)。
製造装置における走行装置は、帯状の基材を送る送り出しロールと、所定の蒸着が行われた基材を巻き取る巻き取りロールを有する。送り出しロールから送り出される基材には、真空室内の蒸着源による蒸着によって、陽極層、有機層、陰極層が形成される。
真空室内では、蒸着源の近傍位置に配置されるキャンロールに基材が巻回され、キャンロールの回転とともに、蒸着源から吐出される気化材料が基材表面に付着されて膜(層)が形成される。
上記のような真空蒸着法によって有機層を形成する場合に、求められる層の厚さを実現するためには、蒸着時間をできるだけ長く確保する必要がある。このために、ネルソンロールとよばれる一対のロールが使用される(特許文献2参照)。
ネルソンロールは、一方のロールの回転軸を他方のロールの回転軸に対して所定の角度で傾斜するように配置することによって構成される。ネルソンロールは、基材を螺旋状に巻回させて搬送できる。基材は、一定の張力がかけられた状態で、ネルソンロールに螺旋状に巻き付けられる。
上記のようなネルソンロールを使用して蒸着を行う場合、基材は、ネルソンロールによって搬送される間に、蒸着源からの熱によって伸長してしまう。伸長が生じると、基材の位置がずれてしまい、基材の所定位置に所望の蒸着ができなくなってしまう。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、蒸着源からの熱によって基材が伸長した場合であっても、基材の位置ずれが生じないようにする、有機EL素子の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る有機EL素子の製造装置は、真空室と、帯状の基材に気化材料を蒸着するための蒸着源と、前記蒸着源とともに前記基材に蒸着を行うべく、基材を螺旋状に巻回可能な蒸着用ロール装置と、を備え、前記蒸着用ロール装置は、第1ロールと、前記第1ロールの回転軸に対して傾斜する回転軸を有する複数の第2ロールと、を含み、前記第1ロールと前記第2ロールとの間隔を変更すべく、前記第2ロールの位置を調整する位置調整部をさらに備える。
かかる構成によれば、位置調整部によって第2ロールの位置を調整することで、第1ロールと第2ロールとの間隔を変更することが可能になる。これにより、蒸着源による熱によって、基材が伸長する場合であっても、これを解消し、基材に適切な張力を作用させることで、基材の位置ずれを防止できるようになる。
また、本発明に係る有機EL素子の製造装置によれば、前記第2ロールは、第1ロールよりも小さな少なくとも2つのロール部を含むことが望ましい。
かかる構成によれば、第2ロールのロール部を第1ロールよりも小さく構成することによって、有機EL素子の製造装置を小型化することができる。
また、本発明は、上記の製造装置を用いて有機EL素子を製造する方法であって、前記蒸着源の熱による前記基材の伸びに応じて、前記位置調整部によって前記第2ロールの位置を調整することにより、前記第1ロールと前記第2ロールとの間隔を変更する間隔変更工程と、前記間隔変更工程によって所定の張力を前記基材に作用させた状態で、前記蒸着源による気化材料の蒸着を行う蒸着工程と、を含む。
かかる構成によれば、位置調整部によって第2ロールの位置を調整することで、第1ロールと第2ロールとの間隔を変更することが可能になる(間隔変更工程)。これにより、蒸着源による熱によって、基材が伸長する場合であっても、これを解消し、基材に適切な張力を作用させることで、基材の位置ずれを防止できるようになる。
本発明によれば、蒸着源からの熱によって基材が伸長した場合であっても、基材の位置ずれが生じないようできる。
以下、本発明に係る有機EL素子の製造装置(以下、単に「製造装置」ともいう)における一実施形態について、図1〜図5を参酌して説明する。
本実施形態に係る製造装置は、図1〜図4に示すように、内部が真空である複数(図例では3つ)の真空室1と、帯状の基材32が真空室1の内部を通過するように、基材32を水平方向(以下、「走行方向」ともいう)Xに沿って走行させる走行装置2と、気化材料を基材32に蒸着すべく、基材32に向けて気化材料を吐出する複数の蒸着源3と、蒸着源3とともに蒸着を行うべく、基材32が螺旋状に巻回される蒸着用ロール装置4とを備える。
真空室1は、走行方向Xに沿って連設されている。また、各真空室1の内部が真空となるように、各真空室1には、真空ポンプ等の真空発生装置(図示せず)が接続されている。
走行装置2は、基材32を送る送り出しロール5と、基材32を巻き取る巻き取りロール6とを備える。送り出しロール5は、真空室1の外部で且つ上流側に配置されている。巻き取りロール6は、真空室1の外部で且つ下流側に配置されている。
各蒸着源3は、真空室1の内部に配置されていると共に、基材32と上下方向(鉛直方向)で対面するように配置されている。具体的には、各蒸着源3は、蒸着用ロール装置4の下方に配置されている。また、各蒸着源3は、加熱により気化させた気化材料を、基材32に向けて吐出している。具体的には、各蒸着源3は、気化材料を、上方向に向けて吐出している。
蒸着用ロール装置4は各真空室1内に配置されている。蒸着用ロール装置4は、1つの第1ロール7と、複数の第2ロール8と、第2ロール8を支持する支持台9と、第2ロール8の位置を調整する位置調整部10と、を有する。なお、第1ロール7及び第2ロール8は、ネルソンロールとして構成される。
第1ロール7は、真空室1内に所定位置に回転可能に支持されている。第1ロール7の回転軸は水平方向に沿って設定されている。
第2ロール8は、支持台9に支持されている。各第2ロール8は、2つのロール部11と、これらのロール部11を支持する支持部材12とを有する。各ロール部11の回転軸は、第1ロール7の回転軸に対して所定の角度で傾斜している。2つのロール部11は所定の間隔を置いて支持部材12に配置されている。各ロール部11の直径は、第1ロール7の直径よりも小さく設定されている。
基材32は、図2に示すように、第1ロール7の一端部から他端部に向かって複数列に巻き付けられている。この基材32は、第1ロール7の回転によって、第1ロール7の一端部から他端部に向かって搬送される。
支持部材12は、第2ロール8を支持する第1支持部13と、第1支持部13を支持する第2支持部14と、第1支持部13と第2支持部14との間に設けられる付勢手段15とを有する。
第1支持部13は、2つのロール部11を回転可能に支持するロール支持部16と、付勢手段15を係止する係止部(以下「第1係止部」という)17と、第2支持部14に係合する係合部(以下「第1係合部」という)21とを有する。
ロール支持部16は、図4に示すように、各ロール部11を挟むような2枚の長方形状の板材によって構成される。第1係止部17は、付勢手段15の一部に当接することにより、付勢手段15を係止する。第1係合部21は、上下方向に沿って設けられる筒状部として構成される。この第1係合部21の下端部は、第2支持部14と係合するように開口している。
第2支持部14は、第1支持部13の第1係合部21と係合する係合部(以下「第2係合部」という)22と、付勢手段15を係止する係止部(以下「第2係止部」という)18と、支持台9に係合する係合部(以下「第3係合部」という)23とを有する。
第2係合部22は円柱状又は円筒状に構成される。第2係合部22の外径は、第1係合部の内径よりも小さく設定される。これにより、第2係合部22の上部は、第1係合部21内に挿通される。第2係止部18は、第2係合部22の中途部に設けられるフランジ部である。第3係合部23は、例えば円筒状または円柱状に構成される。
付勢手段15は、第1係止部17と第2係止部18との間に配置されている。本実施形態において、付勢手段15としてコイルバネ(圧縮バネ)が採用される。このコイルバネは、その内側に第1支持部13の第1係合部21が挿通された状態で、第1係止部17と第2係止部18とにより係止される。この付勢手段15は、基材32に適切な張力を付与するとともに、過度の張力が基材32に作用したときに、基材32が破損しないようにするためのものである。
支持台9は、上部が開口する箱形状に構成される。支持台9は、真空室1内の所定位置に固定されている。支持台9は、第2支持部14と位置調整部10とを保持する保持部材26を有する。保持部材26は、第2支持部14の第3係合部23が挿通される挿通部27と、位置調整部10を保持する保持壁部28とを有する。
保持部材26の挿通部27は、第2支持部14の第3係合部23が挿通される凹部又は孔として構成される。この挿通部27は、第2係合部22に形状に対応して、円形に構成される。保持部材26は、挿通部27に第2支持部14の第3係合部23が挿通されることにより、この第2支持部14を保持している。
保持部材26の保持壁部28は、挿通部27の底部に位置している。この保持壁部28には、位置調整部10を保持するためのねじ孔28aが貫通形成されている。
位置調整部10は、保持壁部28に形成されたねじ孔28aに螺合するねじ部材10aを含む。このねじ部材10aの軸部は、ねじ孔28aに螺合されるとともに、第3係合部23の端面に当接している。位置調整部10は、ねじ部材10aを回転駆動させる駆動手段(図示せず)によって自動的にねじ部材10aを操作できるように構成されてもよい。
本発明によって製造される有機EL素子31は、図5に示すように、基材32の一方側の面に蒸着源3からの気化材料が蒸着されて形成される陽極層33と、陽極層33の上から気化材料が蒸着されて形成される有機層34と、有機層34の上から気化材料が蒸着されて形成される陰極層35とを備える。
陽極層33は、陽極層33は、例えば、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、インジウム−錫酸化物(ITO)等の透明導電材や、金、銀、アルミニウム等の金属で形成されている。
有機層34は、陽極層33の上に配置される正孔輸送層38と、正孔輸送層38の上に配置される有機EL層39と、有機EL層39の上に配置される電子輸送層40とを備える。そして、有機層34は、陽極層33と陰極層35とが接触するのを防止するように、陽極層33及び陰極層35間に配置されている。
正孔輸送層38は、例えば、銅フタロシアニン(CuPc)、4,4'−ビス[N−4−(N,N−ジ−m−トリルアミノ)フェニル]−N−フェニルアミノ]ビフェニル(DNTPD)等で形成されている。また、有機EL層39は、例えば、トリス(8−ハイドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、イリジウム錯体(Ir(ppy)3)をドープした4,4'−N,N'−ジカルバゾニルビフェニル(CBP)等で形成されている。さらに、電子輸送層40は、例えば、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、酸化リチウム(Li2O)等で形成されている。
陰極層35は、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム銀の合金、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含む合金等で形成されている。
基材32は、導電性を有する導電層36と、絶縁性を有する絶縁層37とを備える。そして、導電層36は、金属基板で構成されており、例えば、ステンレス、銅、ニッケル等の金属で形成されている。また、絶縁層37は、導電層36の一方側の面全体を覆うように配置され、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の光硬化性樹脂や、薄ガラス等で形成されている。
次に、本実施形態に係る有機EL素子31の製造方法について説明する。
有機EL素子31を製造するには、走行装置2を駆動することにより、基材32を送り出しロール7から巻き取りロール8に向けて走行させる。基材32は、図1に示すように、走行方向Xにおける上流側の真空室1の内部、中央の真空室1の内部、下流側の真空室1の内部の順に搬送される。基材32は、各真空室1内に配置される蒸着用ロール装置4に対して螺旋状に巻回されている。すなわち、基材32は、蒸着用ロール装置4の第1ロール7及び第2ロール8に対して複数列に巻き付けられている。
上流側の真空室1では、内部に配置されている蒸着源3及び蒸着用ロール装置4によって、基材32に陽極層33が形成される。その後、基材32は中央の真空室1に移る。基材32には、この真空室1内の蒸着源3及び蒸着用ロール装置4によって、有機層34が陽極層33に重なるように形成される。次に、基材32は、下流側の真空室1に移る。基材32には、この真空室1内の蒸着源3及び蒸着用ロール装置4によって、陰極層36が有機層34に重なるように形成される。
上記の蒸着工程において、蒸着用ロール装置4における第1ロール7及び第2ロール8に巻回される基材32は、蒸着源3からの熱によって伸長する。この伸長量は、第1ロール7及び第2ロール8に巻き付けられる基材32の列ごとに異なる。
より具体的には、基材32は、第1ロール7の一端部から他端部に向かうにつれて、蒸着源3からの熱によって徐々に加熱されることになる。したがって、第1ロール7及び第2ロール8に巻き付けられた基材32は、第1ロール7の一端部から他端部に向かうにつれて、次第に伸長量が大きくなる。各列における基材32の伸長量に応じて、基材32のたるみによる位置ずれが生じないように、各第2ロール8の位置を調整して、第1ロール7と第2ロール8の位置を変更する必要がある。以下、第2ロール8の位置を調整することにより、第1ロール7と第2ロール8の間隔を変更する工程を、間隔変更工程と呼ぶ。
この間隔変更工程は、予め基材32の各列における伸長量を測定しておき、その測定値に基づき、位置調整部10を操作することにより行われる。例えば、走行装置2を作動させる前に、位置調整部10におけるねじ部材10aを駆動することによって、第2ロール8のロール部11を、第1ロール7から離れるように移動させる。これにより、基材32における伸長が解消され、基材32の各列に適切な張力が付与されることになる。
上記のような間隔変更工程を経て、蒸着源3及び蒸着用ロール装置4による蒸着工程を行うことにより、基材32に有機EL素子31が形成される。
以上説明した本発明に係る有機EL素子31の製造装置及び製造方法によれば、位置調整部10によって第2ロール8の位置を調整することで、第1ロール7と第2ロール8との間隔を変更すること(間隔変更工程)が可能になる。これにより、蒸着源3からの熱によって基材32が伸長する場合に、これを解消し、基材32に適切な張力を作用させることで、基材32の位置ずれを防止できるようになる。
また、前記第2ロール8が、第1ロール7よりも小さな少なくとも2つのロール部11を備えることにより、有機EL素子31の製造装置の構成を小型化することができる。
なお、本発明に係る有機EL素子31の製造装置及び製造方法は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
上記の実施形態において、第2ロール8が2つのロール部11を備える構成を例示したが、これに限定されない。第2ロール8におけるロール部11は、1つでもよく、3つ以上であってもよい。
上記の実施形態において、位置調整部10がねじ部材10aによって構成される例を示したが、これに限定されない。例えば、モータによる昇降機構やシリンダその他の手段を用いて第2ロール8の位置を調整するようにしてもよい。
1…真空室、2…走行装置、3…蒸着源、4…蒸着用ロール装置、5…送り出しロール、6…巻き取りロール、7…第1ロール、8…第2ロール、9…支持台、10…位置調整部、10a…ねじ部材、11…ロール部、12…支持部材、13…第1支持部、14…第2支持部、15…付勢手段、16…ロール支持部、17…第1係止部、18…第2係止部、21…第1係合部、22…第2係合部、23…第3係合部、26…保持部材、27…挿通部、28…保持壁部、28a…ねじ孔、31…有機EL素子、32…基材、33…陽極層、34…有機層、35…陰極層、36…導電層、37…絶縁層、38…正孔輸送層、39…有機EL層、40…電子輸送層、X…走行方向
Claims (3)
- 真空室と、
帯状の基材に気化材料を蒸着するための蒸着源と、
前記蒸着源とともに前記基材に蒸着を行うべく、基材を螺旋状に巻回可能な蒸着用ロール装置と、を備え、
前記蒸着用ロール装置は、第1ロールと、前記第1ロールの回転軸に対して傾斜する回転軸を有する複数の第2ロールと、を含み、
前記第1ロールと前記第2ロールとの間隔を変更すべく、前記第2ロールの位置を調整する位置調整部をさらに備える、有機EL素子の製造装置。 - 前記第2ロールは、少なくとも2つのロール部を含み、前記各ロール部は、前記第1ロールよりも小さく構成される、請求項1に記載の有機EL素子の製造装置。
- 請求項1又は2に記載の有機EL素子の製造装置を用いて有機EL素子を製造する方法であって、
前記蒸着源の熱による前記基材の伸びに応じて、前記位置調整部によって前記第2ロールの位置を調整することにより、前記第1ロールと前記第2ロールとの間隔を変更する間隔変更工程と、
前記間隔変更工程によって所定の張力を前記基材に作用させた状態で、前記蒸着源による気化材料の蒸着を行う蒸着工程と、を含む、有機EL素子の製造方法。
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2014
- 2014-03-03 JP JP2014040956A patent/JP2015167086A/ja active Pending
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