JP2017056613A - 保護層付きグラファイトシートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】グラファイトシートに高分子フィルムや樹脂コーティング膜を設ける場合であっても、グラファイトシートへの熱伝導性を高く維持できるようにする。【解決手段】硬化した硬化型樹脂層４をグラファイトシート２の片面又は両面に保護層として有する保護層付きグラファイトシートの製造方法において、グラファイトシート２の表面に液状の硬化型樹脂層４をコーティングによって形成する工程と、液状の硬化型樹脂層４に高分子フィルム５の単体又は高分子フィルム５を含むシートを貼付ける貼付け工程と、貼付け工程後の液状の硬化型樹脂層４を硬化させて保護層とする樹脂硬化工程とを有しており、貼付け工程において高分子フィルム５によって液状の硬化型樹脂層４に圧力がかかる。【選択図】図１

Description

本発明は、グラファイトシートの少なくとも片面、すなわち片面又は両面に保護層が形成されて成る保護層付きグラファイトシートの製造方法に関する。ここで「保護層」とは、グラファイトシートに電気絶縁性を付与する機能、グラファイトシートからグラファイトの粉末が脱落することを防止する機能、及びグラファイトシートの機械的強度を高める機能の少なくとも１つの機能を持った層である。

グラファイトシートは従来から知られている。このグラファイトシートは、例えば、膨張黒鉛を圧延処理することによって製造される。このグラファイトシートは、また、ポリイミドフィルムに熱処理及び圧延処理を施すことによって製造される。このグラファイトシートは薄くて熱伝導性が高いことから、ノート型コンピュータ、スマートフォン等といった細密な電子機器のための冷却用部材として活用されている。

従来、特許文献１によれば、グラファイトシートの表面に保護層としての高分子フィルムを貼り付けることが知られている。グラファイトシートに高分子フィルムを貼り付けるのは、導電性の高いグラファイトシートに電気絶縁性が高い高分子フィルムを貼り付けることにより、電子機器の内部の電子部材にグラファイトシートを追加的に設けた場合でも電気の短絡を防止できるようにするためである。

また、従来、特許文献２によれば、グラファイトシートの表面に溶液状の樹脂を塗布することにより保護層としての樹脂コーティング膜を設けることが知られている。グラファイトシートの表面に樹脂コーティング膜を設けるのは、グラファイトシートの表面の電気的な絶縁化、機械的強度の向上、及びグラファイト粉末の脱離防止、等のためである。

以上から分かるように、本明細書におけるグラファイトシートの「保護層」は、グラファイトシートに電気絶縁性を付与する機能、グラファイトシートからグラファイトの粉末が脱落することを防止する機能、及びグラファイトシートの機械的強度を高める機能の少なくとも１つの機能を持った層である。

特開平１１−２６８９７６号公報 特開２００２−０１２４８５号公報

特許文献１のようにグラファイトシートにあらかじめ高分子フィルムを貼付けたり、特許文献２のようにグラファイトシートに樹脂コーティング膜を設けたりすることにより、グラファイトシートの電気絶縁性を高めることができる。しかしながら、本発明者の知見によれば、グラファイトシートに高分子フィルムを設けた場合には、グラファイトシートへの熱伝導性が低下することが分かった。

また、樹脂コーティング膜を設ける場合、特許文献２のようなコーティング方法では、均一且つ安定的にコーティング膜を形成することは困難である。このようにコーティング膜が不均一なため、保護層付きグラファイトシートの熱伝導性が安定しないことが分かった。

本発明者は、グラファイトシートに高分子フィルムや樹脂コーティング膜を設ける場合でも、グラファイトシートへの熱伝導性を高く維持できるようにするために、実験及び考察を重ねて行った。その結果、次の知見を得た。

すなわち、グラファイトシートの表面は必ずしも全くの平坦状態ではなく、微小な凹凸が存在する。その結果、片面に接着層または粘着層を有した高分子フィルムを、その接着層または粘着層の面においてグラファイトシートに貼り合わせる場合は、上記の微小な凹凸に接着層または粘着層が完全に入り込まないため、グラファイトシートと高分子フィルムとの間に空気層が発生する。

また、グラファイトシートの表面に樹脂コーティング膜を設ける場合は、上記の微小な凹凸面にコーティング液が馴染むが、コーティング液がその凹凸に沿ってしまうため、グラファイトシート上の樹脂コーティングの面状態が不均一になる。このような不均一な面状態を回避するため、コーティング液として有機溶剤で希釈したものを採用する方法がある。しかしながら、この方法を採用した場合には、有機溶剤が圧延したグラファイトシートの内部に浸透し、そのグラファイトシートを高温下に放置すると、その有機溶剤が気化してグラファイトシートと樹脂コーティング膜との間に浮きを生じさせるという問題があった。

上記のようにグラファイトシートと高分子フィルムとの間に空気層が発生すること、及びグラファイトシートと樹脂コーティング膜との間に浮きが生じること、がグラファイトシートへの熱伝導性の低下を招いているのではないか、という知見を本発明者は得た。

本発明は、上記の知見に基づいて成されたものであって、高分子フィルムや樹脂コーティング膜等といった保護膜をグラファイトシートに設ける場合であっても、グラファイトシートへの熱伝導性を高く維持できるようにすることを目的とする。

本発明に係る第１の保護層付きグラファイトシートの製造方法は、硬化した硬化型樹脂層をグラファイトシートの少なくとも片面に保護層として有する保護層付きグラファイトシートの製造方法において、前記グラファイトシートの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティングによって形成する工程と、前記液状の硬化型樹脂層に高分子フィルムの単体又は高分子フィルムを含むシートを貼付ける貼付け工程と、前記貼付け工程後の前記液状の硬化型樹脂層を硬化させて前記保護層とする樹脂硬化工程とを有しており、前記貼付け工程において前記高分子フィルムによって前記液状の硬化型樹脂層に圧力がかかることを特徴とする。

グラファイトシートの表面には多数の微細な凹凸が存在する。この凹部に空気が存在するとグラファイトシートへの熱伝導性を低下させる原因となる。本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法によれば、硬化前の液状の硬化型樹脂層に圧力がかかるので、グラファイトシートの表面の凹部に空気が溜まることを防止できる。こうしてグラファイトシートの表面に空気が溜まることを防止することにより、グラファイトシートの熱伝達率の低下を抑えることができ、これによりグラファイトシートの冷却効率の低下を抑えることができる。

次に、本発明に係る第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法は、硬化した硬化型樹脂層をグラファイトシートの少なくとも片面に保護層として有する保護層付きグラファイトシートの製造方法において、高分子フィルムの単体又は高分子フィルムを含むシートの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティングによって形成する工程と、前記液状の硬化型樹脂層にグラファイトシートを貼り付ける貼付け工程と、前記貼付け工程後の前記液状の硬化型樹脂層を硬化させて前記保護層とする樹脂硬化工程とを有しており、前記貼付け工程において前記グラファイトシートによって前記液状の硬化型樹脂層に圧力がかかることを特徴とする。

上記の第１の保護層付きグラファイトシートの製造方法においては、グラファイトシートの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティング（すなわち、塗布）し、その硬化型樹脂層を硬化させる前にその硬化型樹脂に高分子フィルムを貼り付けた。これに対し、この第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法においては、高分子フィルムの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティングし、その硬化型樹脂層を硬化させる前にその硬化型樹脂層にグラファイトシートを貼り付けた。つまり、第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法においては、硬化型樹脂層をコーティングする相手をグラファイトシートから高分子フィルムへ変更している。

この第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法においても、硬化前の液状の硬化型樹脂層に圧力がかかるので、グラファイトシートの表面の凹部に空気が溜まることを防止できる。こうしてグラファイトシートの表面に空気が溜まることを防止することにより、グラファイトシートの熱伝達率の低下を抑えることができ、これによりグラファイトシートの冷却効率の低下を抑えることができる。

上記の第１及び第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法のそれぞれの１つの発明態様においては、前記グラファイトシートがロール状態から巻き出されることによって当該グラファイトシートに第１の張力がかかり、前記高分子フィルムの単体又は前記高分子フィルムを含むシートがロール状態から巻き出されることによって当該高分子フィルムの単体又は当該高分子フィルムを含むシートに第２の張力がかかり、前記貼付け工程によって形成された複合材であって、前記グラファイトシート、前記硬化型樹脂層及び前記高分子フィルムを含む複合材には前記第１の張力及び前記第２の張力と反対方向に作用する第３の張力がかかる。

この発明態様によれば、グラファイトシート、高分子フィルム及び複合材の全ての平面内に均一な張力が発生するので、保護層付きグラファイトシートの前面に歪みや変形が発生することを防止できる。

上記の第１及び第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法の他の１つの発明態様において、前記高分子フィルムを含むシートは、前記硬化型樹脂に対して剥離性を有する剥離層を、当該硬化型樹脂に貼り合わされる面に有している。「剥離性を有する剥離層」は、例えば、シリコーン系剥離材、フッ素系剥離材、メラミン系剥離材によって形成される。

この構成によれば、硬化型樹脂層及び高分子フィルムの２つを保護層として有する保護層付きグラファイトシートを完成させた後、高分子フィルムを硬化型樹脂層から剥離することができる。こうすれば、グラファイトシートの表面に形成される保護膜が硬化型樹脂層だけになるので、保護層付きグラファイトシートの全体の厚みを薄くすることができる。これにより、厚みが非常に薄い電子機器に対して本発明の保護層付きグラファイトシートを適用することが可能になる。

上記の第１及び第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法のさらに他の発明態様において、前記高分子フィルムの単体と前記硬化型樹脂層は、互いに剥離性を有する材料によって形成されている。「互いに剥離性を有する材料」としては、例えば、高分子フィルムをフッ素フィルムとし、硬化型樹脂層をアクリル系樹脂とする組合せによって実現できる。また、硬化型樹脂層の配合を適切に調整することにより、種々の高分子フィルムと種々の硬化型樹脂層との間に剥離性を持たせることができる。

この構成によれば、硬化型樹脂層及び高分子フィルムの２つを保護層として有する保護層付きグラファイトシートを完成させた後、高分子フィルムを硬化型樹脂層から剥離することができる。こうすれば、グラファイトシートの表面に形成される保護膜が硬化型樹脂層だけになるので、保護層付きグラファイトシートの全体の厚みを薄くすることができる。これにより、厚みが非常に薄い電子機器に対して本発明の保護層付きグラファイトシートを適用することが可能になる。

上記の第１及び第２の保護層付きグラファイトシートの製造方法のさらに他の発明態様において、前記高分子フィルムを含むシートは、貼り合わされる面の反対側の面に、粘着層又は接着層及び剥離フィルム層を有する。

この発明態様によれば、保護層付きグラファイトシートが完成した後に剥離フィルムを高分子フィルムから剥離することにより、保護層付きグラファイトシートを接着層又は粘着層によって、ＰＣ等といった電子機器の内部やスマートフォン等といった電子情報端末の内部にある発熱部材又はその周囲の別部材に貼り付けることができる。

グラファイトシートの表面には多数の微細な凹凸が存在する。この凹部に空気が存在するとグラファイトシートへの熱伝導性を低下させる原因となる。本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法によれば、硬化前の液状の硬化型樹脂層に圧力がかかるので、グラファイトシートの表面の凹部に空気が溜まることを防止できる。こうしてグラファイトシートの表面に空気が溜まることを防止することにより、グラファイトシートへの熱伝導性の低下を抑えることができる。

本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の一実施形態を実現するための製造装置を示す側面図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法によって製造される保護層付きグラファイトシートの複数例を示す図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法によって製造される保護層付きグラファイトシートの他の複数例を示す図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の他の実施形態を実現するための製造装置を示す側面図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の第１の実施例の主要工程を模式的に示す図である。 図５の製造方法によって製造された保護層付きグラファイトシートを示す断面図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の第１の比較例の主要工程を模式的に示す図である。 図７の製造方法によって製造された保護層付きグラファイトシートを示す断面図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の第２の実施例の主要工程を模式的に示す図である。 図５の製造方法によって製造された保護層付きグラファイトシートを示す断面図である。 本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法の第２の比較例の主要工程を模式的に示す図である。 図１１の製造方法によって製造された保護層付きグラファイトシートを示す断面図である。 実施例の結果を評価するための温度測定系の一例を示す図である。 １つの実施例の結果を示すグラフである。 他の１つの実施例の結果を示すグラフである。

以下、本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、本明細書に添付した図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。

（保護層付きグラファイトシートの一例）
図２（ａ）は、本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法によって製造される保護層付きグラファイトシートの一例を示している。図２（ａ）において、保護層付きグラファイトシート１Ａは、グラファイトシート２と、保護層３とを有している。保護層３は、樹脂コーティング層４と、高分子フィルム５とを有している。

保護層付きグラファイトシート１Ａは、例えば、任意の貼り付け方法によって熱源又はその周囲の別部材に貼り付けられる。熱源は、例えば、スマートフォン等といった電子情報端末に内蔵されたＣＰＵ（Central Processing Unit）である。熱源で発した熱はグラファイトシート２を介して外部へ放熱される。

（グラファイトシート）
グラファイトシート２は、例えば、黒鉛粉末をバインダー樹脂と混合してシートにしたものや、膨張黒鉛を圧延してシート状にしたものや、ポリイミドフィルムに熱処理及び圧延処理を施してシートにしたものである。

（樹脂コーティング層）
樹脂コーティング層４は、樹脂をコーティング（すなわち、塗布）することによって形成された層である。樹脂は硬化型樹脂である。これ以降、樹脂コーティング層４を形成する硬化型樹脂を同じ符号４で呼称することがある。硬化型樹脂の硬化方法は生産性の観点から電離放射線硬化が好ましい。特に、放射線の生産性から紫外線硬化が好ましい。電離放射線硬化型化合物としては、不飽和モノマー、オリゴマー、樹脂又はそれらを含む組成物が好ましい。具体的には、紫外線アクリレート化合物が好ましい。アクリレート化合物としては、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、シリコンアクリレートが一般的である。

電離放射線硬化のための放射線の波長は、紫外線、電子線、α線、γ線、等が挙げられる。電離放射線硬化波長として紫外線を使用する場合は、光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、アセトフェニン系、ベンゾフェニン系、等といった公知の光重合開始剤を用いることができる。また、オリゴマー型光重合開始剤を用いることもできる。

（塗布方法）
硬化型樹脂４をグラファイトシート２または高分子フィルム５へ塗布する方法は、例えば、バーコード法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法、スクリーン印刷法、ディスペンサ塗布法、等がある。

（液状の硬化型樹脂）
液状の硬化型樹脂４は、室温２３℃の環境下で粘度１０ｍｐａ・ｓ（ミリパスカル秒）以上且つ１０００００ｍｐａ・ｓ以下の範囲内の所定値であることが望ましい。より好ましくは、粘度１００ｍｐａ・ｓ以上且つ１００００ｍｐａ・ｓ以下の範囲内の所定値である。

粘度１０ｍｐａ・ｓ以上と規定するのは、粘度が１０ｍｐａ・ｓ未満であると、ラミネート圧力がかかったときに、液が流れ、グラファイトシート２と高分子フィルム５の間に液状の硬化型樹脂を保持することができず、接着の機能及び密着硬化の機能の発現が困難であるからである。

また、粘度が１０ｍｐａ・ｓ未満であると硬化型樹脂は有機溶剤で希釈した塗材に近くなるため、圧延したグラファイトシートの内部に浸透するおそれが高い。硬化型樹脂が内部に浸透したグラファイトシートを高温下に放置すると、硬化型樹脂層が気化し、これにより、グラファイトシートと保護層である硬化型樹脂層との間に浮きを生じさせるという問題がある。

また、粘度１０００００ｍｐａ・ｓ以下と規定するのは、粘度が１０００００ｍｐａ・ｓを越えると、ラミネート圧力がかかったときに、高分子フィルム５及び硬化型樹脂３，１０を介してグラファイトシート２に過剰な圧力がかかり、グラファイトシート２が変形する可能性が高いからである。

（高分子フィルム）
高分子フィルム５は、厚さ２μｍ〜１００μｍの絶縁性材料である。高分子フィルム５は、例えばポリエステルフィルムである。ポリエステルフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルムが代表的であり、さらに、ポリイミドフィルム等の縮合高分子フィルム、芳香族高分子フィルム、ポリプロピレンのような鎖状高分子フィルムが使用できる。

本実施形態の保護層付きグラファイトシート１Ａによれば、グラファイトシート２によって高い熱伝導性を発揮できる。また、硬化型樹脂層４及び高分子フィルム５によって、グラファイトシート２に電気絶縁性を付与できる。また、硬化型樹脂層４及び高分子フィルム５によって、グラファイトシート２からグラファイトの粉末が脱落することを防止できる。さらに、硬化型樹脂層４及び高分子フィルム５によって、グラファイトシート２の機械的強度を高めることができる。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第１の実施形態）
図１は、本発明に係る保護層付きグラファイトシートの製造方法を実現する製造装置の一実施形態を示している。本実施形態の保護層付きグラファイトシートの製造装置７は、第１ロール巻出し装置８と、樹脂ディスペンサ９と、貼合せ手段としてのローラ１０ａ，１０ｂと、樹脂硬化装置としての紫外線照射装置１１と、引張り手段としての搬送ローラ１２ａ及び１２ｂとを有している。

第１ロール巻出し装置８は、グラファイトシート２をロール状に保持すると共にそのグラファイトシート２を直線状に巻き出す（すなわち送り出す）機能を果たす。グラファイトシート２は単体であっても良いし、台紙に支持された状態であっても良い。巻き出されたグラファイトシート２は後述する複合材１５へと成形された後に搬送ローラ１２ａ，１２ｂによって引き出される。具体的には、搬送ローラ１２ａ及び１２ｂの一方はモータ等といった動力源によって所定の駆動力で複合材１５を搬送する。そして、第１ロール巻出し装置８は所定の制動力を発揮しつつ、シートの搬送方向へ従動回転する。

樹脂ディスペンサ９は所定量の液状の硬化型樹脂４をグラファイトシート２の表面に供給する。液状の硬化型樹脂４は、柔らか過ぎず硬過ぎず、所定の硬さを有している。具体的には、液状の硬化型樹脂４は、粘度１０ｍｐａ・ｓ以上且つ１０００００ｍｐａ・ｓ以下の範囲内の所定の粘度を有している。

グラファイトシート２の搬送方向Ｂに沿って貼合せローラ１０ａ，１０ｂの上流側の位置に第２ロール巻出し装置１６が設けられている。第２ロール巻出し装置１６は高分子フィルム５をロール状に保有しており、さらに高分子フィルム５を直線状に送り出す機能を実現する。巻き出された高分子フィルム５は貼合せローラ１０ａ，１０ｂの所で硬化型樹脂４に貼り合わされる。

貼合せローラ１０ａ，１０ｂの働きにより、グラファイトシート２、硬化型樹脂４及び高分子フィルム５の積層体である複合材１５が形成される。そして、貼合せローラ１０ａ，１０ｂの後流側の位置にその複合材１５が送り出される。この複合材１５は搬送ローラ１２ａ，１２ｂによってさらに搬送される。こうして搬送される複合材１５は、必要に応じて、切断装置（図示せず）によって所定の長さに切断されたり、巻取り装（図示せず）によってロール状に巻き取られたりする。

搬送ローラ１２ａ，１２ｂによって引っ張られて搬送される複合材１５は紫外線照射装置１１から放射された紫外線Ｒを受ける。特に、紫外線Ｒが硬化型樹脂４に照射される。これにより、硬化型樹脂４が硬化する。

貼合せローラ１０ａ，１０ｂは高分子フィルム５を硬化型樹脂４へ押し付ける。この場合の押付力は必要以上に大きくなる必要はない。大きくなり過ぎると、複合材１５に歪みが発生するからである。また、大きくなり過ぎると、多量の硬化型樹脂４が外部へはみ出すおそれがあるからである。

グラファイトシート２は基本的には微細なグラファイト粒子によって形成されているので、その表面を微視的に見ると、多数の凹凸が存在する。このグラファイトシート２の表面に硬化型樹脂４が、圧力がかからない状態で単に載せられているだけであると、グラファイトシート２の表面の多数の凹部の所でこのグラファイトシート２と硬化型樹脂４との間に空気が存在することになる。また、硬化型樹脂４がグラファイトシート２の表面の凹凸になじみ、その結果、硬化型樹脂層４の表面も凹凸になる。

しかしながら、本実施形態では貼合せローラ１０ａ，１０ｂによって液状の硬化型樹脂４に所望の圧力が加えられるので、液状の硬化型樹脂４がグラファイトシート２に所定の力で押し付けられる。この結果、グラファイトシート２と硬化型樹脂４との間に空気が存在することが無くなる。また、硬化型樹脂４は高分子フィルム５によって平面的に均一に押されるので、硬化型樹脂４はグラファイトシート２の表面に密着する。

このようにグラファイトシート２と硬化型樹脂３との間に空気が存在することを防止し、さらに、硬化型樹脂４を均一且つ平滑にすれば、グラファイトシート２が有している高い熱伝導性を有効且つ安定に活用できる。

本実施形態では第１ロール巻出し装置８から送り出したグラファイトシート２と第２ロール巻出し装置１６から送り出した高分子フィルム５とによって複合材１５を形成し、この複合材１５を搬送ローラ１２ａ，１２ｂによって搬送することにした。すなわち、グラファイトシート２及び高分子フィルム５をロール搬送方式によって搬送することにした。このため、グラファイトシート２には搬送方向Ｂと逆方向に張力Ｆ１がかかり、高分子フィルム５には搬送方向Ｂと逆方向に張力Ｆ２がかかり、他方、複合材１５には搬送方向Ｂと同じ方向に張力Ｆ３がかかっている。

このような張力Ｆ１，Ｆ２及びＦ３の作用により、グラファイトシート２、高分子フィルム５及び複合材１５には引っ張りの張力が常に面内方向に均一に生じることになり、その結果、グラファイトシート２、高分子フィルム５及び複合材１５の平面性が確保される。従来は、グラファイトシート２に相当するフィルム、高分子フィルム５に相当するフィルム、及び複合材１５に相当するフィルムの各フィルムに適切な張力をかけることなく、貼合せローラ１０ａ，１０ｂに相当するローラによってそれらのフィルムを搬送するように構成されていた。このため、それらのフィルムに歪みが発生していた。これに対し、本実施形態では、引っ張りの張力によってグラファイトシート２、高分子フィルム５及び複合材１５の平面性を確保するようにしたので、各フィルムに歪みが発生することを防止できた。

本実施形態では、図１において貼合せローラ１０ａ，１０ｂの直ぐ後に紫外線照射装置１１を配置しなければならないという特段の理由は存在しない。複合材１５はロール搬送されることにより、どの位置においても適切な引っ張り張力を受けていて平面性が確保されているからである。このため、貼合せローラ１０ａ，１０ｂと紫外線照射装置１１は互いに遠く離れて設置しても何等の問題が無い。このように貼合せローラ１０ａ，１０ｂと紫外線照射装置１１とを離して設置すれば、紫外線照射装置１１から放射される紫外線が貼合せローラ１０ａ，１０ｂに何等かの影響を及ぼすことがなくなるので、非常に好都合である。

ところで、図１において、貼合せローラ１０ａ，１０ｂと紫外線照射装置１１とが互いに近接状態で配置されていると、貼合せローラ１０ａ，１０ｂに紫外線が当たって貼合せローラ１０ａ，１０ｂに悪影響が及ぶおそれがある。例えば、貼合せローラ１０ａ，１０ｂが変質したり、熱によって変形したりすることにより、硬化型樹脂４と高分子フィルム５との貼り付け状態が悪くなるおそれがある。

本実施形態では、貼合せローラ１０ａ，１０ｂに悪影響が及ばないように貼合せローラ１０ａ，１０ｂと紫外線照射装置１１との間の距離を適切に大きく設定している。このため、本実施形態では、紫外線Ｒによる硬化型樹脂４の硬化時に、紫外線Ｒが貼合せローラ１０ａ，１０ｂに悪影響を及ぼすことがなくなり、そのため、貼合せローラ１０ａ，１０ｂによる押圧力が不均一になることも無くなり、そのため、貼合せ１０ａ，１０ｂによって複合材１５に悪影響が与えられることもなくなる。そして、複合材１５は張力によって平面性を維持している。

また、本実施形態では、樹脂ディスペンサ９から硬化型樹脂層４が一定量供給される。このため、貼合せローラ１０ａ．１０ｂによる貼合せステージでは平面的に均一で適切な圧力が硬化型樹脂層４に加えられる。こうして、硬化型樹脂層４が平面的に均一にグラファイトシート表面の凹凸に押し付けられる。

以上の説明から理解されるように、本実施形態の製造方法によって製造された図２（ａ）の保護層付きグラファイトシート１Ａはグラファイトシート２を有している。グラファイトシート２は高い熱伝導性を有しているので、保護層付きグラファイトシート１Ａも高い熱伝導性を発揮できる。従って、熱源を冷却するための部材として保護層付きグラファイトシート１Ａを用いれば、薄くて効率の高い冷却部材を提供できる。

グラファイトシート２は高い熱伝導性を有すると共に高い電気伝導性も有している。従って、グラファイトシート２だけによって熱源のための冷却部材を形成した場合には、熱源及びその周辺の金属部材がショート（すなわち電気的に短絡）してしまうおそれがある。しかしながら本実施形態の製造方法によって製造された図２（ａ）の保護層付きグラファイトシート１Ａにおいては、絶縁性部材である高分子フィルム５が絶縁性部材である硬化型樹脂４によってグラファイトシート２に貼り付けられているので、グラファイトシート２に適切な絶縁性が付与される。

また、本実施形態の製造方法によれば、図１において貼合せローラ１０ａ，１０ｂによって硬化型樹脂４に平面的に均一な所望の圧力が加えられるので、硬化型樹脂４がグラファイトシート２に平面的に均一な所定の力で押し付けられる。この結果、グラファイトシート２と硬化型樹脂４との間に空気が存在することが無くなり、硬化型樹脂４はグラファイトシート２の表面に密着する。このようにグラファイトシート２と硬化型樹脂４との間に空気が存在することを防止すれば、グラファイトシート２が有している高い熱伝導性を有効に活用できる。

本発明者の実験により次のことが分かった。すなわち、本実施形態の製造方法のようにグラファイトシート２上に硬化型樹脂４を塗りながら、さらに絶縁性の高分子フィルム５によって硬化型樹脂４をグラファイトシート２の表面に押し付けることにより、保護層付きグラファイトシートを作成することにすれば、その保護層付きグラファイトシートを用いて熱源を冷却する場合に、グラファイトシート上に絶縁性の硬化型樹脂だけを塗るときや、グラファイトシート上に絶縁性の高分子フィルムだけを貼り付けるときに比べて、熱源の温度を２〜５℃程度余計に冷却することができた。つまり、本実施形態の製造方法を用いることにより、グラファイトシート２が持っている高い熱伝導性を有効に活用できることが分かった。

（変形例１）
図１の実施形態では、搬送ローラ１２ａ及び１２ｂによって複合材１５を搬送することにした。しかしながら、搬送ローラ１２ａ，１２ｂに代えて、図４に示すように、ロール巻取り装置１７によって複合材１５を巻き取ることもできる。この場合でも、複合材１５には引っ張りの張力Ｆ３が作用する。この張力Ｆ３の働きにより、複合材１５に歪みが発生することを防止できる。

（変形例２）
図１の実施形態及び図４の実施形態では、第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を送り出し、そのグラファイトシート２に硬化型樹脂層４を塗布によって形成し、第２ロール巻出し装置１６によって高分子フィルム５を送り出し、貼合せローラ１０ａ，１０ｂによって高分子フィルム５を硬化型樹脂層４に押し付けた。

しかしながら、この構成に代えて、第１ロール巻出し装置８によって高分子フィルム５を送り出し、その高分子フィルム５に硬化型樹脂層４を塗布によって形成し、第２ロール巻出し装置１６によってグラファイトシート２を送り出し、貼合せローラ１０ａ，１０ｂによってグラファイトシート２を硬化型樹脂層４に押し付けるように構成しても良い。なお、この場合には、光を通過させ難いグラファイトシート２が硬化型樹脂層４の上に位置するので、紫外線照射装置１１は光を通過させ易い高分子フィルムが在る側、すなわち図１及び図４の下側に配設される。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第２の実施形態）
本実施形態では図２（ｂ）に示す保護層付きグラファイトシート１Ｂを製造するものとする。図２（ｂ）において、保護層付きグラファイトシート１Ｂは、グラファイトシート２と、保護層３とを有している。保護層３は、樹脂コーティング層４と、剥離層２０と、高分子フィルム５とを有している。

グラファイトシート２、樹脂コーティング層４及び高分子フィルム５の各要素は図２（ａ）に示した保護層付きグラファイトシート１Ａと同じ材料によって形成できる。一方、図２（ｂ）の剥離層２０は、高分子フィルム５を硬化型樹脂層４から剥離する時の抵抗力によってグラファイトシート１Ｂ又は硬化型樹脂層４の層間破壊やグラファイトシート１Ｂと硬化型樹脂層４との界面破壊を起こすこと無く、剥がすことができるようにする層である。この剥離層２０は、例えば、シリコーン系剥離材、フッ素系剥離材、メラミン系剥離材によって形成される。

保護層付きグラファイトシート１Ｂを使用する際には、高分子フィルム５を硬化型樹脂層４から剥がした後、グラファイトシート２及び硬化型樹脂層４から成る保護層付きグラファイトシート１Ｂを熱源、例えばＣＰＵへ貼り付ける。この場合、高分子フィルム５は実用上は保護層としては作用せず、硬化型樹脂層４だけが保護層として機能する。保護層が硬化型樹脂層４だけであると、保護層付きグラファイトシート１Ｂの厚みを薄くすることができるので、厚みの薄い電子機器や厚みの薄い電子情報端末に対する放熱要素として本実施形態の保護層付きグラファイトシート１Ｂを有効に使用できる。

図２（ｂ）の保護層付きグラファイトシート１Ｂを製造するための本実施形態に係る製造方法は、図１の第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、このグラファイトシート２の表面にディスペンサ９によって硬化型樹脂４を供給して硬化型樹脂層４を形成する。また、高分子フィルム５の片面に剥離層２０を形成して成るシートを第２ロール巻出し装置１６によって巻き出す。この場合、当該シートは、剥離層２０が硬化型樹脂層４に接触するように送り出される。

貼合せ手段としての貼合せローラ１０ａ及び１０ｂによって高分子フィルム５が硬化型樹脂層４へ所望の圧力で押し付けられる。硬化型樹脂層４は未だ液状であるので、高分子フィルム５によって圧力がかけられた硬化型樹脂層４はグラファイトシート２の表面の凹部に入り込んで当該凹部を埋める。これにより、グラファイトシート２と硬化型樹脂層４との間に空気が残ることを防止できる。これにより、保護層付きグラファイトシート１Ｂの熱伝導性の低下を防止できる。

（変形例）
上記説明では、第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、そのグラファイトシート２の表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によって高分子フィルム５を巻き出した。この構成に代えて、第１ロール巻出し装置８によって高分子フィルム５を巻出し、その高分子フィルム５の表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によってグラファイトシート２を巻き出すように構成しても良い。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第３の実施形態）
本実施形態では図２（ｃ）に示す保護層付きグラファイトシート１Ｃを製造するものとする。図２（ｃ）において、保護層付きグラファイトシート１Ｃは、グラファイトシート２と、保護層３とを有している。保護層３は、樹脂コーティング層４と、高分子フィルム２５とを有している。

グラファイトシート２及び樹脂コーティング層４の各要素は、図２（ａ）に示した保護層付きグラファイトシート１Ａと同じ材料によって形成できる。一方、図２（ｃ）の高分子フィルム２５と硬化型樹脂層４は、互いに剥離性を有する材料によって形成されている。また、これらの高分子フィルム２５と硬化型樹脂層４は、硬化型樹脂層４の硬化後に、高分子フィルム２５を硬化型樹脂層４から剥離する時の抵抗力によって、高分子フィルム２５と硬化型樹脂層４の界面において破壊が起きない材料によって形成されている。あるいは、高分子フィルム２５と硬化型樹脂層４は、硬化型樹脂層４の硬化後に、高分子フィルム２５を硬化型樹脂層４から剥離する時の抵抗力によって、高分子フィルム２５の層間、硬化型樹脂層４の層間、及びグラファイトシートの層間の少なくとも１つの層間において破壊が起きない材料によって形成されている。

なお、硬化型樹脂層と高分子フィルムとが互いに剥離性を有するというのは、硬化型樹脂層と高分子フィルムとの適合性や相性に依存するものであり、それらの材料を厳密に特定することは非常に難しい。しかしながら、硬化型樹脂層及び高分子フィルムのそれぞれの材料としては、例えば、高分子フィルム２５をフッ素フィルムとし、硬化型樹脂層４をアクリル系樹脂とする組合せが考えられる。

なお、硬化型樹脂層の配合を適切に調整することにより、種々の高分子フィルムと種々の硬化型樹脂層との間に剥離性を持たせることができる。

保護層付きグラファイトシート１Ｃを使用する際には、高分子フィルム２５を硬化型樹脂層４から剥がした後、グラファイトシート２及び硬化型樹脂層４から成る保護層付きグラファイトシート１Ｃを熱源、例えばＣＰＵへ貼り付ける。この場合、高分子フィルム２５は実用上は保護層としては作用せず、硬化型樹脂層４だけが保護層として機能する。保護層が硬化型樹脂層４だけであると、保護層付きグラファイトシート１Ｃの厚みを薄くすることができるので、厚みの薄い電子機器や厚みの薄い電子情報端末に対する放熱要素として本実施形態の保護層付きグラファイトシート１Ｃを有効に使用できる。

図２（ｃ）の保護層付きグラファイトシート１Ｃを製造するための本実施形態に係る製造方法は、図１又は図４の第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、このグラファイトシート２の表面にディスペンサ９によって硬化型樹脂４を供給して硬化型樹脂層４を形成する。一方、高分子フィルム２５を第２ロール巻出し装置１６によって巻き出す。

貼合せ手段としての貼合せローラ１０ａ及び１０ｂによって高分子フィルム２５が硬化型樹脂層４へ所望の圧力で押し付けられる。硬化型樹脂層４は未だ液状であるので、高分子フィルム２５によって圧力がかけられた硬化型樹脂層４はグラファイトシート２の表面の凹部に入り込んで当該凹部を埋める。これにより、グラファイトシート２と硬化型樹脂層４との間に空気が残ることを防止できる。これにより、保護層付きグラファイトシート１Ｃの熱伝導性の低下を防止できる。

（変形例）
上記説明では、第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、そのグラファイトシート２の表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によって高分子フィルム２５を巻き出した。この構成に代えて、第１ロール巻出し装置８によって高分子フィルム２５を巻出し、その高分子フィルム２５の表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によってグラファイトシート２を巻き出すように構成しても良い。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第４の実施形態）
本実施形態では図３（ｄ）に示す保護層付きグラファイトシート１Ｄを製造するものとする。図３（ｄ）において、保護層付きグラファイトシート１Ｄは、グラファイトシート２と、保護層３と、粘着層又は接着層２１と、剥離シート２２とを有している。保護層３は、樹脂コーティング層４と、高分子フィルム５とを有している。グラファイトシート２、樹脂コーティング層４及び高分子フィルム５の各要素は図２（ａ）に示した保護層付きグラファイトシート１Ａと同じ材料によって形成できる。

（粘着層又は接着層）
図３（ｄ）の粘着層又は接着層２１は、例えば、アクリル、アクリル系化合物、ウレタン、ウレタン化合物、シリコーン、シリコーン系化合物によって形成される。「接着」は「同種又は異種の固体の面と面とを貼り合わせて一体化させること」をいうものとする。「接着剤」はその接着を実現する材料である。「粘着」は接着の概念に含まれる１つの作用である。「粘着」は粘着剤を用いて接着を行うことであり、「粘着剤」は「被接着部材同士を貼り合わせるときには流動性のある半固体であり、そのままの状態で被着体に濡れ、その後も状態の変化を起こさずに常温で短時間にわずかな圧力を加えるだけで被着体に接着する材料」である。

粘着剤は、感圧性接着剤（Pressure-sensitive Adhesive）と呼ばれることがある。粘着剤はそれ自体を単体で扱うことが難しい。そのため粘着剤は、各種のフィルム上にコートされた形の粘着製品になっていることが一般的である。このような粘着製品は、例えば、粘着テープ、両面テープである。

（剥離紙）
剥離フィルム層としての剥離紙２２は、いわゆるセパレータであり、粘着層又は接着層２１を支持できる強度を持った任意の材料によって形成されている。

図３（ｄ）の保護層付きグラファイトシート１Ｄにおいて剥離紙２２を粘着層又は接着層２１から剥がして粘着層又は接着層２１を外部へ露出させた上で、その粘着層又は接着層２１を熱源、例えばＣＰＵへ貼り付けることにより、保護層付きグラファイトシート１Ｄをその熱源に貼り付けることができる。この保護層付きグラファイトシート１Ｄの作用により、グラファイトシート２の電気絶縁性を高めることができる。

図３（ｄ）の保護層付きグラファイトシート１Ｄを製造するための本実施形態に係る製造方法は、図１又は図４の第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、このグラファイトシート２の表面にディスペンサ９によって硬化型樹脂４を供給して硬化型樹脂層４を形成する。一方、高分子フィルム５の片面に粘着層又は接着層２１及び剥離紙２２を貼り付けて成る高分子フィルム含有シートを第２ロール巻出し装置１６によって巻き出す。この場合、当該高分子フィルム含有シートは、高分子フィルム５が硬化型樹脂層４に接触するように送り出される。

貼合せ手段としての貼合せローラ１０ａ及び１０ｂによって高分子フィルム５が硬化型樹脂層４へ平面的に均一な所望の圧力で押し付けられる。硬化型樹脂層４は未だ液状であるので、高分子フィルム５によって圧力がかけられた硬化型樹脂層４はグラファイトシート２の表面の凹部に入り込んで当該凹部を埋める。これにより、グラファイトシート２と硬化型樹脂層４との間に空気が残ることを防止できる。これにより、保護層付きグラファイトシート１Ｃの熱伝導性の低下を抑えることができる。

（変形例）
上記説明では、第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、そのグラファイトシート２の表面に硬化型樹脂層４を形成し、高分子フィルム５を含むシートを第２ロール巻出し装置１６によって巻き出した。この構成に代えて、高分子フィルム５を含むシートを第１ロール巻出し装置８によって巻出し、その高分子フィルム５を含むシートの表面に硬化型樹脂層４を形成し、そして第２ロール巻出し装置１６によってグラファイトシート２を巻き出すように構成しても良い。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第５の実施形態）
本実施形態では図３（ｅ）に示す保護層付きグラファイトシート１Ｅを製造するものとする。図３（ｅ）において、保護層付きグラファイトシート１Ｅは、グラファイトシート２と、保護層３とを有している。保護層３は、樹脂コーティング層４と、易接着層２３と、高分子フィルム５とを有している。グラファイトシート２、樹脂コーティング層４及び高分子フィルム５の各要素は図２（ａ）に示した保護層付きグラファイトシート１Ａと同じ材料によって形成できる。

易接着層２３は、高分子フィルム５と硬化型樹脂層４との接着性を高くするための層である。この易接着層２３は、例えば、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂によって形成される。

保護層付きグラファイトシート１Ｅを使用する際には、高分子フィルム５又はグラファイトシート２のいずれか一方が熱源、例えばＣＰＵへ貼り付けられることにより、保護層付きグラファイトシート１Ｅがその熱源に貼り付けられる。

図３（ｅ）の保護層付きグラファイトシート１Ｅを製造するための本実施形態に係る製造方法は、図１又は図４の第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、このグラファイトシート２の表面にディスペンサ９によって硬化型樹脂４を供給して硬化型樹脂層４を形成する。一方、高分子フィルム５の片面に易接着層２３を形成して成る高分子フィルム含有シートを第２ロール巻出し装置１６によって巻き出す。この場合、当該高分子フィルム含有シートは、易接着層２３が硬化型樹脂層４に接触するように送り出される。

貼合せ手段としての貼合せローラ１０ａ及び１０ｂによって高分子フィルム５を含むシートが硬化型樹脂層４へ所望の圧力で押し付けられる。硬化型樹脂層４は未だ液状であるので、高分子フィルム５を含むシートによって圧力がかけられた硬化型樹脂層４はグラファイトシート２の表面の凹部に入り込んで当該凹部を埋める。これにより、グラファイトシート２と硬化型樹脂層４との間に空気が残ることを防止できる。これにより、保護層付きグラファイトシート１Ｅの熱伝導性の低下を防止できる。

（変形例）
上記説明では、第１ロール巻出し装置８によってグラファイトシート２を巻出し、そのグラファイトシート２の表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によって高分子フィルム５を含むシートを巻き出した。この構成に代えて、第１ロール巻出し装置８によって高分子フィルム５を含むシートを巻出し、その高分子フィルム５を含むシートの表面に硬化型樹脂層４を形成し、第２ロール巻出し装置１６によってグラファイトシート２を巻き出すように構成しても良い。

（保護層付きグラファイトシートの製造方法の第６の実施形態）
図１、図２、図３及び図４を用いて説明した上記の実施形態においては、高分子フィルム５，２５又は高分子フィルム５を含むシートをグラファイトシート２の片側の面に貼り付ける例を説明した。これから説明する本実施形態は、グラファイトシート２の両側の面に高分子フィルム５，２５又は高分子フィルム５を含むシートを貼り付ける例である。

本実施形態においては、図４に示したように、グラファイトシート２、硬化型樹脂層４及び高分子フィルム５が積層されて成る複合材１５が貼合せローラ１０ａ，１０ｂによって形成され、その複合材１５内の硬化型樹脂層４が紫外線照射装置からの紫外線照射を受けて硬化する。そして、その複合材１５がロール巻取り装置１７によって巻き取られる。

ロール巻取り装置１７によって巻き取られた複合材１５のグラファイトシート２の反対面に対して、再度、同一の処理工程が実行される。これにより、グラファイトシート２の反対面に保護層を形成できる。このときに用いる高分子フィルムは、図２（ａ）に示すような高分子フィルム５の単体であっても良いし、図２（ｂ）、図２（ｃ）、図３（ｄ）及び図３（ｅ）に示すように高分子フィルム５を含むシートとしても良い。

（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。

例えば、以上に説明した実施形態では硬化型樹脂として紫外線硬化型樹脂を用いたが、硬化型樹脂は紫外線以外の電磁波によって硬化する任意の樹脂を適用できる。また、電磁波以外の物理量、例えば熱によって硬化する樹脂を適用することも可能である。

また、貼合せ手段はローラ方式の貼合せ装置（貼合せローラ１０ａ，１０ｂ）に限られず、他の任意の押圧方式の貼合せ装置を用いることができる。

また、樹脂供給手段はディスペンサ９に限られず、他の任意の樹脂供給機器を採用できる。

（実施例１）
図５に示すように、厚さ６μｍの高分子フィルム（ＰＥＴ：ポリエチレンテレフタレート）の片面に厚さ４μｍの粘着層を形成し、この粘着層によって剥離フィルム（シリコーン系剥離層付きＰＥＴ）を高分子フィルムに粘着することによって形成された高分子フィルム含有シート（日栄化工株式会社製ＧＬ−１０）を用意した。

そして、高分子フィルムの反対面に図１の製造装置７のディスペンサ９によって、紫外線硬化型アクリル系樹脂（ケミテック株式会社製ＴＲＹＺ−３０４）をコーティングして、厚さ１０μｍの硬化型樹脂層を形成した。さらに、この硬化型樹脂層を硬化させる前に図１の貼合せローラ１０ａ，１０ｂによって厚さ２５μｍのグラファイトシートを硬化型樹脂層に押し付けならが、高分子フィルムにグラファイトシートを貼り付けて、図６に示す保護層付きグラファイトシート１Ｆを製造した。

この保護層付きグラファイトシート１Ｆを図１３に示すように５０ｍｍ×５０ｍｍの平面形状に形成し、この保護層付きグラファイトシート１Ｆを熱源である１５ｍｍ×１５ｍｍのセラミックヒータの片面に貼り付けた。さらに、熱源の反対面に熱電対Ｔ１を貼り付けた。この熱電対Ｔ１によって熱源の温度を測定した。さらに、周辺に熱電対Ｔ４を設置した。この熱電対Ｔ４によって周辺温度を測定した。

（比較例１）
図７に示すように、厚さ４μｍの高分子フィルム（ＰＥＴ）の片面に厚さ３μｍの粘着層（アクリル系粘着材）と剥離フィルム（シリコーン系剥離層付きＰＥＴ）とを積層し、さらに、反対側の片面に厚さ３μｍの粘着層を形成して成る高分子フィルム含有シート（日栄化工株式会社製ＮｅｏＦｉｘ１０）を用意した。

この高分子フィルム含有シートを厚さ２５μｍのグラファイトシートの片面に、単に、貼り合わせて図８に示す保護層付きグラファイトシート３１を作成した。この保護層付きグラファイトシート３１を５０ｍｍ×５０ｍｍの平面形状に形成し、この保護層付きグラファイトシート３１を図１３に示すように熱源である１５ｍｍ×１５ｍｍのセラミックヒータの片面に貼り付けた。

さらに、熱源の反対面に熱電対Ｔ１を貼り付けた。この熱電対Ｔ１によって熱源の温度を測定した。さらに、周辺に熱電対Ｔ４を設置した。この熱電対Ｔ４によって周辺温度を測定した。

（対比）
実質的なヒータ温度ΔＴ１は、ヒータ温度Ｔ１と周辺温度Ｔ４との差（Ｔ１−Ｔ４）によって得られる。この実質的なヒータ温度ΔＴ１の時間的な変動の様子を測定したところ、図１４に示すグラフが得られた。また、最終的なヒータ温度（Ｔ１）、周辺温度（Ｔ４）及び実質ヒータ温度（ΔＴ１）は次の表１の通りであった。

表1

表１から理解されるように、実質的なヒータ温度（ΔＴ１）は、比較例１が４３．７℃であり、実施例１が４１．７℃であり、実施例１の温度は比較例１に対して（４３．７−４１．７）＝２．０℃だけ低かった。このことは、実施例１の保護層付きグラファイトシート１Ｆは比較例１に対して温度２．０℃分だけ熱伝導性が高いことを示している。

（実施例２）
図９に示すように、厚さ１０μｍの硬化型樹脂層（紫外線硬化型アクリル系樹脂であるケミテック株式会社製ＴＲＹＺ−３０４）を図４に示す本発明に係る製造装置７によって厚さ２５μｍのグラファイトシートの片面の表面にコーティングし、さらに、厚さ６μｍの高分子フィルム（ＰＥＴ）に厚さ４μｍの粘着層を形成して成る高分子フィルム含有シート（日栄化工株式会社製ＧＬ−１０）を図４に示す本発明に係る製造装置７によって厚さ１０μｍの硬化型樹脂層に押し付けながら貼り付けた。

さらに、厚さ２５μｍのグラファイトシートの反対面に、図１に示す本発明に係る製造装置７によって厚さ１０μｍの硬化型樹脂層（紫外線硬化型アクリル系樹脂であるケミテック株式会社製ＴＲＹＺ−３０４）をコーティングし、さらに剥離処理付き高分子フィルム（ニッパ株式会社製ＰＥＴ５０×１−Ｖ２）を図１に示す本発明に係る製造装置７によって厚さ１０μｍの硬化型樹脂層に押し付けながら貼り付けた。

そして、図１０に示すように剥離処理付き高分子フィルムを硬化型樹脂層から剥がし、この状態の保護層付きグラファイトシート１Ｇを図１３に示すように熱源である１５ｍｍ×１５ｍｍのセラミックヒータの片面に貼り付けた。さらに、熱源の反対面に熱電対Ｔ１を貼り付けた。この熱電対Ｔ１によって熱源の温度を測定した。さらに、周辺に熱電対Ｔ４を設置した。この熱電対Ｔ４によって周辺温度を測定した。

（比較例２）
図１１に示すように、厚さ４μｍの高分子フィルム（ＰＥＴ）の片面に厚さ３μｍの粘着層（アクリル系粘着材）と剥離フィルム（シリコーン系剥離層付きＰＥＴ）とを積層し、反対側の片面に厚さ３μｍの粘着層を形成して成る高分子フィルム含有シート（日栄化工株式会社製ＮｅｏＦｉｘ１０）を用意した。

この高分子フィルム含有シートを厚さ２５μｍのグラファイトシートの片面に、単に、貼り合わせて保護層付きグラファイトシート３１を作成した。そしてさらに、厚さ６μｍの高分子フィルム（ＰＥＴ）に厚さ４μｍの粘着層を形成して成る高分子フィルム含有シート（日栄化工株式会社製ＧＬ−１０）を単なる貼合せによって厚さ２５μｍのグラファイトシートの反対側の片面に貼り合わせて図１２に示すような保護層付きグラファイトシート４１を形成した。

この保護層付きグラファイトシート４１を５０ｍｍ×５０ｍｍの平面形状に形成し、この保護層付きグラファイトシート４１を図１３に示すように熱源である１５ｍｍ×１５ｍｍのセラミックヒータの片面に貼り付けた。さらに、熱源の反対面に熱電対Ｔ１を貼り付けた。この熱電対Ｔ１によって熱源の温度を測定した。さらに、周辺に熱電対Ｔ４を設置した。この熱電対Ｔ４によって周辺温度を測定した。

（対比）
実質的なヒータ温度ΔＴ１は、ヒータ温度Ｔ１と周辺温度Ｔ４との差（Ｔ１−Ｔ４）によって得られる。この実質的なヒータ温度ΔＴ１の時間的な変動の様子を測定したところ、図１５に示すグラフが得られた。また、最終的なヒータ温度（Ｔ１）、周辺温度（Ｔ４）及び実質ヒータ温度（ΔＴ１）は次の表２の通りであった。
表２

表２から理解されるように、実質的なヒータ温度（ΔＴ１）は、比較例２が４４．５℃であり、実施例２が４０．１℃であり、実施例２の温度は比較例２に対して（４４．５−４０．１）＝４．４℃だけ低かった。このことは、実施例２の保護層付きグラファイトシート１Ｇは比較例２に対して温度４．４℃分だけ熱伝導性が高いことを示している。

以上の実施例１と比較例１との対比、及び実施例２と比較例２との対比から明らかなように、本発明の製造方法によって製造した保護層付きグラファイトシートは、従来法によって製造された保護層付きグラファイトシートに比べて熱伝導性が高いことが分かった。

また、本発明の製造方法を用いてグラファイトシートの両面に保護層を形成すれば、グラファイトシートの片面だけに保護層を形成した場合に比べて、熱伝導性をより一層向上できることが分かった。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ．保護層付きグラファイトシート、 ２．グラファイトシート、 ３．保護層、 ４．樹脂コーティング層（硬化型樹脂層）、 ５．高分子フィルム、 ７．保護層付きグラファイトシートの製造装置、 ８．第１ロール巻出し装置、 ９．樹脂ディスペンサ、 １０ａ，１０ｂ．貼合せローラ（貼合せ手段）、 １１．紫外線照射装置（樹脂硬化手段）、 １２ａ，１２ｂ．搬送ローラ（引張り搬送手段）、１５．複合材、 １６．第２ロール巻出し装置、 １７．ロール巻取り装置、 ２０．剥離層、 ２１．粘着層又は接着層、 ２２．剥離シート、 ２３．易接着層、 ２５．高分子フィルム、 ３１．保護層付きグラファイトシート、 ４１．保護層付きグラファイトシート、 Ｂ．搬送方向、 Ｒ．紫外線、 Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３．張力

Claims (7)

1. 硬化した硬化型樹脂層をグラファイトシートの少なくとも片面に保護層として有する保護層付きグラファイトシートの製造方法において、
   前記グラファイトシートの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティングによって形成する工程と、
   前記液状の硬化型樹脂層に高分子フィルムの単体又は高分子フィルムを含むシートを貼付ける貼付け工程と、
   前記貼付け工程後の前記液状の硬化型樹脂層を硬化させて前記保護層とする樹脂硬化工程と、を有しており、
   前記貼付け工程において前記高分子フィルムによって前記液状の硬化型樹脂層に圧力がかかる
   ことを特徴とする保護層付きグラファイトシートの製造方法。
2. 硬化した硬化型樹脂層をグラファイトシートの少なくとも片面に保護層として有する保護層付きグラファイトシートの製造方法において、
   高分子フィルムの単体又は高分子フィルムを含むシートの表面に液状の硬化型樹脂層をコーティングによって形成する工程と、
   前記液状の硬化型樹脂層にグラファイトシートを貼り付ける貼付け工程と、
   前記貼付け工程後の前記液状の硬化型樹脂層を硬化させて前記保護層とする樹脂硬化工程と、を有しており、
   前記貼付け工程において前記グラファイトシートによって前記液状の硬化型樹脂層に圧力がかかる
   ことを特徴とする保護層付きグラファイトシートの製造方法。
3. 前記グラファイトシートがロール状態から巻き出されることによって当該グラファイトシートに第１の張力がかかり、
   前記高分子フィルムの単体又は前記高分子フィルムを含むシートがロール状態から巻き出されることによって当該高分子フィルムの単体又は当該高分子フィルムを含むシートに第２の張力がかかり、
   前記貼付け工程によって形成された複合材であって、前記グラファイトシート、前記硬化型樹脂層及び前記高分子フィルムを含む複合材には前記第１の張力及び前記第２の張力と反対方向に作用する第３の張力がかかる、
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の保護層付きグラファイトシートの製造方法。
4. 前記高分子フィルムを含むシートは、前記硬化型樹脂に対して剥離性を有する剥離層を、当該硬化型樹脂に貼り合わされる面に有していることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の保護層付きグラファイトシートの製造方法。
5. 前記高分子フィルムの単体と前記硬化型樹脂層は、互いに剥離性を有する材料によって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の保護層付きグラファイトシートの製造方法。
6. 前記高分子フィルムを含むシートは、貼り合わされる面の反対側の面に、粘着層又は接着層及び剥離フィルム層を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の保護層付きグラファイトシートの製造方法。
7. 請求項４又は請求項５記載の保護層付きグラファイトシートの製造方法において、
   前記樹脂硬化工程の後、前記高分子フィルムを前記硬化型樹脂層から剥離する
   ことを特徴とする保護層付きグラファイトシートの製造方法。

Images