JP2017054921A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一の実施形態によれば、パターン形成方法は、基板上に被加工層、第1膜、および第2膜を形成し、前記第2膜に第1および第2凹部を形成することを含む。前記方法はさらに、前記第1および第2凹部内に第3膜と第4膜とを形成し、前記第4膜の相分離により、前記第4膜内に第1および第2パターンを形成することを含む。前記方法はさらに、前記第2パターンを使用して、前記第1凹部内の前記第3膜を加工し、その下の前記第1膜を加工することを含む。前記方法はさらに、前記第1、第2、および第3膜上に、前記第1凹部を塞ぎ、前記第2凹部を塞がない第5膜を形成し、前記第5膜を使用して、前記第2凹部内の前記第3膜とその下の前記第1膜とを加工し、前記第1、第2、または第3膜を使用して、前記被加工層を加工することを含む。
【選択図】図5
Description
図1〜図7は、第1実施形態のパターン形成方法を示す断面図である。本実施形態のパターン形成方法は、例えばNANDフラッシュメモリを製造するために使用される。
5:レジスト層、6:第2マスク層、7:ポリマー膜、
7a:第1パターン、7b:第2パターン、8:有機膜
Claims (9)
- 基板上に被加工層を形成し、
前記被加工層上に第1膜を形成し、
前記第1膜上に第2膜を形成し、
前記第2膜に、第1幅を有する第1凹部と、前記第1幅よりも長い第2幅を有する第2凹部とを形成し、
前記第1および第2凹部内に第3膜を形成し、
前記第1および第2凹部内の前記第3膜上に、第1部分と第2部分とを有するポリマーを含む第4膜を形成し、
前記第1部分と前記第2部分との相分離により、前記第4膜内に、前記第1部分を含む第1パターンと、前記第2部分を含む第2パターンとを形成し、
前記第1パターンを除去し、
前記第2パターンをマスクとして使用して、前記第1凹部内の前記第3膜を加工し、
前記第2パターンと前記第3膜の少なくともいずれかをマスクとして使用して、前記第1凹部下の前記第1膜を加工し、
前記第1、第2、および第3膜上に、前記第1凹部を塞ぎ、前記第2凹部を塞がない第5膜を形成し、
前記第5膜をマスクとして使用して、前記第2凹部内の前記第3膜と、前記第2凹部下の前記第1膜とを加工し、
前記第1、第2、および第3膜の少なくともいずれかをマスクとして使用して、前記被加工層を加工する、
ことを含むパターン形成方法。 - 前記相分離は、前記第1凹部内で発生し、前記第2凹部内では発生しない、請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記相分離は、前記第1および第2凹部内で発生する、請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第3膜は、前記第1凹部内で第1最小膜厚を有し、前記第2凹部内で前記第1最小膜厚よりも薄い第2最小膜厚を有するように形成される、請求項1から3のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記ポリマーは、前記第1部分として第1ポリマーブロックを有し、前記第2部分として第2ポリマーブロックを有するブロックコポリマーである、請求項1から4のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記第5膜は、炭素を含有する、請求項1から5のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 基板上に被加工層を形成し、
前記被加工層上に第1膜を形成し、
前記第1膜上に第2膜を形成し、
前記第2膜に、第1幅を有する第1凹部と、前記第1幅よりも長い第2幅を有する第2凹部と、前記第2幅よりも長い第3幅を有する第3凹部とを形成し、
前記第1、第2、および第3凹部内に第3膜を形成し、
前記第1、第2、および第3凹部内の前記第3膜上に、第1部分と第2部分とを有するポリマーを含む第4膜を形成し、
前記第1部分と前記第2部分との相分離により、前記第4膜内に、前記第1部分を含む第1パターンと、前記第2部分を含む第2パターンとを形成し、
前記第1パターンを除去し、
前記第2パターンをマスクとして使用して、前記第1凹部内の前記第3膜を加工し、
前記第2パターンと前記第3膜の少なくともいずれかをマスクとして使用して、前記第1凹部下の前記第1膜を加工し、
前記第1、第2、および第3膜上に、前記第1凹部を塞ぎ、前記第2および第3凹部を塞がない第5膜を形成し、
前記第5膜をマスクとして使用して、前記第2および第3凹部内の前記第3膜と、前記第2および第3凹部下の前記第1膜とを加工し、
前記第1、第2、および第3膜の少なくともいずれかをマスクとして使用して、前記被加工層を加工する、
ことを含むパターン形成方法。 - 前記相分離は、前記第1および第3凹部内で発生し、前記第2凹部内では発生しない、請求項7に記載のパターン形成方法。
- 前記第3膜は、前記第1凹部内で第1最小膜厚を有し、前記第2凹部内で前記第1最小膜厚よりも薄い第2最小膜厚を有し、前記第3凹部内で前記第2最小膜厚よりも薄い第3最小膜厚を有するように形成される、請求項7または8に記載のパターン形成方法。
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