JP2017054920A - ウェハホルダおよび半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハの処理時に、ウェハの温度分布のばらつきを抑制することができるウェハホルダおよび半導体製造装置を提供する。【解決手段】本実施形態によるウェハホルダは、ウェハ支持部を備える。ウェハ支持部は、ウェハの搭載領域の端部に設けられている。第1部分は、ウェハ支持部よりも搭載領域の中心部側に設けられている。搭載領域の外側のウェハホルダの表面を基準として、第1部分の第1深さは、ウェハ支持部の第2深さ、および、第1部分よりも搭載領域の中心部側にある第3部分の第3深さよりも深い。第2部分は、ウェハ支持部よりも搭載領域の中心部側に設けられている。搭載領域の外側のウェハホルダの表面を基準として、第2部分の第4深さは、第2および第3深さよりも浅く、かつ、第1深さよりも浅い。【選択図】図3
Description
本発明による実施形態は、ウェハホルダおよび半導体製造装置に関する。
MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)装置等の成膜装置では、半導体ウェハを処理する際に、ウェハホルダ上に半導体ウェハを載置し、そのウェハホルダを加熱および回転させながら、半導体ウェハ上にプロセスガスを供給する。これにより、半導体ウェハ上に所望の材料膜を成膜することができる。このような成膜処理において、半導体ウェハの温度分布のばらつきが大きいと、成膜された材料膜の膜厚等がばらつく。成膜処理中において、半導体ウェハの温度は、その半導体ウェハを保持するウェハホルダの熱伝導特性に大きく依存するため、ウェハホルダからウェハへの熱伝導特性を可及的に均一にすることが望まれている。
ウェハの処理時に、ウェハの温度分布のばらつきを抑制することができるウェハホルダおよび半導体製造装置を提供する。
本実施形態によるウェハホルダは、ウェハ支持部を備える。ウェハ支持部は、ウェハの搭載領域の端部に設けられている。第1部分は、ウェハ支持部よりも搭載領域の中心部側に設けられている。搭載領域の外側のウェハホルダの表面を基準として、第1部分の第1深さは、ウェハ支持部の第2深さ、および、第1部分よりも搭載領域の中心部側にある第3部分の第3深さよりも深い。第2部分は、ウェハ支持部よりも搭載領域の中心部側に設けられている。搭載領域の外側のウェハホルダの表面を基準として、第2部分の第4深さは、第2および第3深さよりも浅く、かつ、第1深さよりも浅い。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に従った成膜装置1の斜視断面図である。成膜装置1は、例えば、MOCVD装置であり、反応チャンバ10と、ウェハホルダ(サセプタ)20と、駆動部30と、ヒータ40と、ガス供給部50と、放射温度計60と、排気口70とを備えている。
図1は、第1の実施形態に従った成膜装置1の斜視断面図である。成膜装置1は、例えば、MOCVD装置であり、反応チャンバ10と、ウェハホルダ(サセプタ)20と、駆動部30と、ヒータ40と、ガス供給部50と、放射温度計60と、排気口70とを備えている。
反応チャンバ10は、ウェハホルダ20上に搭載された半導体ウェハ(以下、単にウェハともいう)Wの表面に材料膜を成膜するために用いられる。反応チャンバ10の内部は、ウェハWを処理する際に、真空引きされており減圧状態となっている。
ウェハホルダ20は、第1面としての上面に設けられた搭載領域(ポケット)にウェハWを搭載することができる。本実施形態では、ウェハホルダ20は、例えば、3枚のウェハWを搭載可能である。しかし、ウェハホルダ20に搭載可能なウェハWの数は、特に限定しない。ウェハホルダ20は、その中心部(図2のC20)で軸31と結合されており、軸31(C20)を中心として略水平面内で回転することができる。軸31は、駆動部30に接続されており、駆動部30によって回転駆動される。また、ウェハホルダ20は、その下方に配置されたヒータ40からの熱を受けて、その熱によりウェハWを加熱する。ウェハホルダ20は、反応チャンバ10から着脱可能であり、他のウェハホルダと交換可能に構成されている。
駆動部30は、軸31を介してウェハホルダ20を矢印Aの方向またはその逆方向に回転させることができる。
ヒータ40は、ウェハホルダ20の下方に配置されており、軸31(ウェハホルダ20の中心)を中心として略同心円状に配置されている。ヒータ40の下方には、断熱材41やリフレクタ等が設けられている。
ガス供給部50は、反応チャンバ10の上部に設けられており、ガス供給源(図示せず)からの原料ガスをウェハW上に供給する。
放射温度計60は、反応チャンバ10の上部に設けられた窓61に配置されており、窓61を介してウェハWの温度を計測する。
このような成膜装置10は、ウェハWをウェハホルダ20とともに加熱しかつ回転させ、ウェハWの上面に化合物半導体結晶の原料となる原料ガスを供給することによってウェハWの上面上に化合物半導体層をエピタキシャル成長させる。原料ガスは、成膜に用いられた後に排気口70から排出される。
例えば、化合物半導体層の一例としてIII族窒化物半導体層を成膜する場合、原料ガスには、III族元素を含む有機金属と窒素を含むアンモニアNH3とを用いる。有機金属としては、例えば、III族のGaを含むトリメチルガリウム(TMG)またはトリエチルガリウム(TEG)、例えば、III族のAlを含むトリメチルアルミニウム(TMA)またはトリエチルアルミニウム(TEA)、例えば、III族のInを含むトリメチルインジウム(TMI)またはトリエチルインジウム(TEI)が挙げられる。また、n型のドーパントとしては、モノシラン(SiH4)やジシラン(Si2H6)をSi原料として用いることができ、あるいは、ゲルマンガス(GeH4)やテトラメチルゲルマニウム((CH3)4Ge)やテトラエチルゲルマニウム((C2H5)4Ge)をGe原料として用いることができる。一方、p型のドーパントとしては、例えばビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)またはビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム(EtCp2Mg)をMgの原料として用いることができる。さらに、アンモニアに代えて、ヒドラジン(N2H4)を用いることもできる。なお、上述した有機金属ガス以外にも、他のIII族元素を含有させた構成とすることができ、必要に応じてGe、Si、Mg、Ca、Zn、Be等のドーパントを含有させることができる。
図2は、第1の実施形態によるウェハホルダ20の平面図である。ウェハホルダ20は、例えば、3枚のウェハWを搭載可能なように3つの搭載領域Rを有する。3つの搭載領域Rは、ウェハホルダ20の第1面としての表面上に、ウェハホルダ20の中心部C20からほぼ等しい距離だけ離れた位置に略均等に配置されている。搭載領域Rは、ウェハWよりも幾分大きな径を有する略円形状であり、ウェハWを載置したときにウェハWを受容するように窪んでいる。尚、搭載領域Rの平面形状は、ウェハWに適合した形状(例えば、相似形)であればよく、特に限定しない。
図3は、1つの搭載領域Rにおける熱伝導の様子を模式的に示した断面図である。図3は、図2の3−3線に沿った断面に対応する。図4は、ウェハ支持部26の構成を示す平面図である。以下、図3および図4を参照して、ウェハホルダ20の搭載領域Rの構造をより詳細に説明する。
ウェハホルダ20は、第1面F1と、第1面F1とは反対側にある第2面F2とを有する。第1面F1は、ウェハWを搭載可能な上面であり、ウェハWの搭載領域Rが設けられている。第2面F2は、ヒータ40からの熱を受ける裏面である。ヒータ40からの熱は、矢印で示すようにウェハホルダ20の第2面F2から第1面F1へ向かってウェハホルダ20内を伝達し、第1面F1の搭載領域R上に載置されたウェハWへ伝達する。搭載領域RとウェハWとの間には間隙Gがあり、第1面F1からの熱は、間隙Gを介してウェハWへ伝達される。ウェハホルダ20からウェハWへの熱伝導については、後で詳細に説明する。
ウェハホルダ20は、搭載領域Rにおいて、ウェハ支持部26と、第1部分21と、第2部分22と、第3部分23とを備えている。
ウェハ支持部26は、搭載領域Rの端部に設けられており、ウェハWを載置した際にウェハWの端部に接触してウェハWを支持する。ウェハ支持部26の上面F26は、搭載領域Rの外部の第1面F1よりも幾分窪んでおり、搭載領域Rの外縁に段差STが設けられる。これにより、ウェハホルダ20が回転したときに、ウェハWが第1面F1または上面F26に対して略平行方向に移動しても、ウェハWの端部が段差STの側面に当たる。従って、ウェハWは、搭載領域Rからはみ出ることなく、搭載領域R内に保持される。
ウェハ支持部26は、搭載領域Rの外縁の一部に設けられている。例えば、図4に示す搭載領域Rの平面図において、ウェハ支持部26は、搭載領域Rの外縁の6カ所に設けられており、ウェハWは、その6つのウェハ支持部26によって支持されてもよい。ウェハ支持部26は、ウェハWが破線で示すように搭載領域Rの一方側に移動してもウェハWを支持可能なように配置される。勿論、ウェハ支持部26の数やサイズは特に限定しない。
図3を再度参照し、第1部分21は、ウェハ支持部26と同様に搭載領域Rの外縁近傍に設けられている。ウェハ支持部26が設けられている箇所では、第1部分21は、ウェハ支持部26よりも搭載領域Rの中心部CR側に設けられており、ウェハ支持部26と第1部分21よりも搭載領域Rの中心部CR側にある第3部分23との間に介在している。また、第1部分21は、搭載領域Rの外周全体に亘って設けられているのではなく、ウェハWの外縁の一部に対向するように、搭載領域Rの外周の一部に対応して局所的に設けられている。第1部分21が設けられる位置は、後で図5の平面図を参照して説明する。
搭載領域Rの外側のウェハホルダ20の表面F20を基準として、第1部分21の第1深さT1は、ウェハ支持部26の第2深さT2よりも深い。尚且つ、第1深さT1は、第3部分23におけるウェハホルダ20の第3深さT3よりも深い。これにより、第1部分21の表面F21は、ウェハ支持部26および第3部分23のそれぞれの表面F26、F23よりも裏面F2側へ窪んでおり、溝部TRを構成する。溝部TRは、搭載領域Rの端部に設けられ、搭載領域Rに搭載されたウェハWの端部に対向するように設けられる。この溝部TRの機能については後述する。
第2部分22は、第1部分21と同様に、搭載領域Rの外縁近傍に設けられている。ウェハ支持部26が設けられている箇所では、第2部分22は、ウェハ支持部26よりも搭載領域Rの中心部CR側に設けられており、ウェハ支持部26と第3部分23との間に介在している。第2部分22は、搭載領域Rの外周全体に亘って設けられているのではなく、ウェハWの外縁の他の部分に対向するように、搭載領域Rの外周の他の部分に対応して局所的に設けられている。即ち、第2部分22は、搭載領域Rの端部のうち第1部分21が設けられた箇所以外の箇所に設けられている。第2部分22が設けられる位置は、後で図5の平面図を参照して説明する。
搭載領域Rの外側のウェハホルダ20の表面F20を基準として、第2部分22の第4深さT4は、ウェハ支持部26における第2深さT2、および、第3部分23における第3深さT3以下である。尚且つ、第4深さT4は、第1部分21における第1深さT1よりも浅い。これにより、第2部分22の表面F22は、ウェハ支持部26および第3部分23のそれぞれの表面F26、F23よりも裏面F2側へ窪んでいてもよく、あるいは、表面F26またはF23とほぼ面一であってもよい。従って、第2部分22の表面F22は、溝部を構成してもよく、溝部を構成してなくともよい。第4深さT4は第1部分21における第1深さT1よりも浅いので、第2部分22に溝部がある場合、その溝部は、第1部分21の溝部TRよりも浅い。即ち、第2部分22も、第1部分21と同様に、ウェハWの端部に対向するように設けられているが、必ずしも溝を構成していない。
第3部分23は、ウェハ支持部26、第1および第2部分21、22よりも搭載領域Rの中心部CRの近くに設けられており、搭載領域Rの中心部CRにおいて突出する凸形状となっている。即ち、第3部分23の表面F23は、搭載領域Rの中心部CRから搭載領域Rの外縁に向かうに従って第2面F2へ近づくように凸形状を有する。例えば、成膜装置1において、N型AlGaN単結晶層(図示せず)をエピタキシャル成長させるとき、ウェハWはサファイア基板とN型AlGaN単結晶層との格子定数の差によって歪みが生じる。これにより、ウェハWは、図3に示すように、凸形状に反る。第3部分23は、ウェハWの反りよる凸形状に対応するように凸形状に形成されている。即ち、第3部分23の凸形状は、半導体デバイスの特性に最も影響する層(例えば、N型AlGaN単結晶層等)を成膜するときに、ウェハWの凸形状に適合するように形成されている。また、ウェハホルダ20の上方から見た平面図において、第3部分23の凸形状の頂部(中心部CR)は、ウェハWの凸形状の頂部にほぼ一致させる。これにより、第3部分23の表面F23とウェハWとの距離(間隙Gの間隔)が搭載領域Rの第3部分23において略均一になる。その結果、ウェハホルダ20の第3部分23においては、熱をほぼ均一にウェハWへ伝達することができる。尚、ウェハWの反りが凹形状になる場合には、第3部分23は、それに対応するように凹形状にしてもよい。また、図3では、第3部分23と第1部分21との境界部が表面F21に対して略垂直方向に段差を有する。しかし、第3部分23と第1部分21との境界部、並びに、第3部分23と第2部分22との境界部において、第3部分23は、緩やかな傾斜で第1部分21または第2部分22と繋がっていてもよい。
次に、ウェハホルダ20からウェハWへの熱伝導について説明する。
上述のように、第3部分23においては、熱をほぼ均一にウェハWへ伝達することができる。一方、搭載領域Rの端部において、熱は、図3の矢印hで示すように、ウェハWが直接接触するウェハ支持部26や段差STからもウェハWへ伝導する。このため、成膜中におけるウェハWの端部の温度は、ウェハWの中心部(第3部分に対応するウェハW領域)の温度に比べて高くなる傾向にある。また、ウェハホルダ20または搭載領域RにおけるウェハWの位置に依っても、ウェハWに伝達される熱はばらつき易い。
そこで、本実施形態によるウェハホルダ20は、搭載領域Rの端部において、ウェハホルダ20の深さ(厚み)の異なる第1部分21および第2部分22を設けている。第1部分21が設けられた搭載領域Rの端部には、溝部TRが設けられる。従って、第1部分21の表面F21は、搭載領域Rに載置されたウェハWの端部から比較的離れている。即ち、第1部分21では、ウェハホルダ20とウェハWの端部との距離が大きくなる。これにより、ウェハホルダ20からの熱がウェハWへ伝達し難くなり(熱抵抗が高くなり)、第1部分21に対向するウェハWの端部の温度は、比較的低くなる。一方、第2部分22が設けられた搭載領域Rの端部には、溝部TRが設けられていない。あるいは、溝部が設けられていてもその溝部は、第1部分21の溝部TRよりも浅い。従って、第2部分22の表面F22は、搭載領域Rに載置されたウェハWの端部に比較的近い。即ち、第2部分22では、ウェハホルダ20とウェハWの端部との距離が小さくなる。これにより、ウェハホルダ20からの熱がウェハWへ伝達し易くなり(熱抵抗が低くなり)、第2部分22に対向するウェハWの端部の温度は、比較的高くなる。
このように、本実施形態によれば、搭載領域Rの端部おいて、ウェハWとウェハホルダ20の表面(F21またはF22)との距離を変化させることによって、ウェハホルダ20の第1および第2部分21、22からの熱伝導度(熱コンダクタンス)を調節し、その結果、ウェハWにおける温度分布のばらつきを抑制することができる。尚、第1部分21の溝部TRの深さ、幅および長さは、特定しないが、ウェハWの温度分布のばらつきの状況によって適切に設定すればよい。
図5は、第1および第2部分21、22の位置をより詳細に示す平面図である。図5において、第1部分21は、参照符号21_1〜21_4で示している。それ以外の搭載領域Rの端部は第2部分22である。尚、図5は、ウェハWを搭載していないウェハホルダ20の平面図を示している。また、便宜的に、図5では、ウェハ支持部26の図示を省略している。
上述のように、成膜処理中において、第1部分21に対応(対向)するウェハWの端部の温度が比較的低くなり、第2部分22に対応(対向)するウェハWの端部の温度が比較的高くなる。本実施形態では、この特性を利用して、ウェハWの端部の温度分布のばらつきを抑制するように第1および第2部分21、22の位置を設定する。
(遠心力を考慮した第1部分21の位置)
成膜処理中において、ウェハホルダ20は、その中心部C20を軸として矢印A1またはA2方向に回転する。このとき、ウェハWには遠心力が印加され、ウェハWは、搭載領域Rの範囲内において、ウェハホルダ20の中心部C20から放射方向へ移動する。従って、ウェハWは、搭載領域Rのうち、ウェハホルダ20の中心部C20から最も離れた段差STに接触する。この場合、段差STに接触するウェハWの端部において温度が高くなると考えられるので、第1部分21_1は、搭載領域Rのうちウェハホルダの中心部から最も離れた部分に設けられる。これにより、第1部分21_1と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
成膜処理中において、ウェハホルダ20は、その中心部C20を軸として矢印A1またはA2方向に回転する。このとき、ウェハWには遠心力が印加され、ウェハWは、搭載領域Rの範囲内において、ウェハホルダ20の中心部C20から放射方向へ移動する。従って、ウェハWは、搭載領域Rのうち、ウェハホルダ20の中心部C20から最も離れた段差STに接触する。この場合、段差STに接触するウェハWの端部において温度が高くなると考えられるので、第1部分21_1は、搭載領域Rのうちウェハホルダの中心部から最も離れた部分に設けられる。これにより、第1部分21_1と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
(隣接する搭載領域Rを考慮した第1部分21の位置)
搭載領域RはウェハWの平面形状に適合するように略円形を有する。このため、ウェハホルダ20が複数の搭載領域Rを有する場合、隣接する複数の搭載領域R同士が、最も接近している部分がある。成膜処理中において、熱は、ウェハホルダ20のうちウェハWによって被覆されている搭載領域Rにおいて滞留し易く、ウェハWの無い領域(即ち、搭載領域R以外の領域)において発散し易い。従って、隣接する搭載領域R同士が最も接近した部分において、ウェハWの温度が比較的高くなると考えられる。
搭載領域RはウェハWの平面形状に適合するように略円形を有する。このため、ウェハホルダ20が複数の搭載領域Rを有する場合、隣接する複数の搭載領域R同士が、最も接近している部分がある。成膜処理中において、熱は、ウェハホルダ20のうちウェハWによって被覆されている搭載領域Rにおいて滞留し易く、ウェハWの無い領域(即ち、搭載領域R以外の領域)において発散し易い。従って、隣接する搭載領域R同士が最も接近した部分において、ウェハWの温度が比較的高くなると考えられる。
そこで、本実施形態では、図5に示すようにウェハホルダ20が第1〜第3搭載領域R1〜R3を有する場合、第1部分21_2は、第1〜第3搭載領域R1〜R3の互いに隣接する部分に設けられる。即ち、第1搭載領域R1の第1部分21_2は、該第1搭載領域R1のうち第2搭載領域R2および第3搭載領域R3に最も近い部分に設けられている。同様に、第2搭載領域R2の第1部分21_2は、該第2搭載領域R2のうち第1搭載領域R1および第3搭載領域R3に最も近い部分に設けられている。さらに同様に、第3搭載領域R3の第1部分21_2は、該第3搭載領域R3のうち第1搭載領域R1および第2搭載領域R2に最も近い部分に設けられている。これにより、第1部分21_2と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
(ウェハホルダ20の回転速度の加減速を考慮した第1部分21の位置)
ウェハホルダ20は、成膜処理中において回転速度を変更する場合がある。例えば、複数の材料膜を連続して成膜する場合、第1材料膜を成膜した後、第2材料膜を成膜する際に、駆動部30は、ウェハホルダ20の回転速度を変更する場合がある。このような場合、搭載領域Rに載置されたウェハWには加速度が印加され、ウェハWは、搭載領域Rの範囲内において、ウェハホルダ20の中心部C20を軸とした回転方向A1またはA2へ移動する。即ち、ウェハWは、ウェハホルダ20の中心部C20を中心として搭載領域Rの中心部CRを通る円CLと交差する各搭載領域Rの2つの端部にある段差STに接触する。段差STに接触するウェハWの端部では、温度が高くなると考えられるので、第1部分21_3、21_4は、円CLと交差する搭載領域Rの2つの端部にそれぞれ設けられている。これにより、第1部分21_1と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
ウェハホルダ20は、成膜処理中において回転速度を変更する場合がある。例えば、複数の材料膜を連続して成膜する場合、第1材料膜を成膜した後、第2材料膜を成膜する際に、駆動部30は、ウェハホルダ20の回転速度を変更する場合がある。このような場合、搭載領域Rに載置されたウェハWには加速度が印加され、ウェハWは、搭載領域Rの範囲内において、ウェハホルダ20の中心部C20を軸とした回転方向A1またはA2へ移動する。即ち、ウェハWは、ウェハホルダ20の中心部C20を中心として搭載領域Rの中心部CRを通る円CLと交差する各搭載領域Rの2つの端部にある段差STに接触する。段差STに接触するウェハWの端部では、温度が高くなると考えられるので、第1部分21_3、21_4は、円CLと交差する搭載領域Rの2つの端部にそれぞれ設けられている。これにより、第1部分21_1と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
尚、第1部分21_3、21_4は、いずれか一方を搭載領域Rに設けてもよい。例えば、ウェハホルダ20をA1方向に加速するときにウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制したい場合、第1部分21_3を設けて、第1部分21_4を省略してもよい。これにより、ウェハホルダ20をA1方向に加速するときに、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。逆に、ウェハホルダ20をA2方向に加速するときにウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制したい場合、第1部分21_4を設けて、第1部分21_3は省略してもよい。これにより、ウェハホルダ20をA2方向に加速するときに、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
さらに、第1部分21は、ウェハ支持部26に対応して設けられていてもよい。例えば、図6は、第1部分21_5がウェハ支持部26に対応した搭載領域Rを示す平面図である。図6において、第1部分21は、搭載領域Rの端部のうち21_5で示された部分である。それ以外の搭載領域Rの端部は第2部分22である。尚、図6は、ウェハWを搭載していない搭載領域Rの平面図を示している。
図3を参照して説明したように、ウェハWの温度は、ウェハホルダ20と接触している部分において高くなる。従って、ウェハ支持部26に接触するウェハWの端部の温度が高くなりやすいと考えられる。従って、第1部分21_5は、搭載領域Rの端部うちウェハ支持部26が設けられた部分に設けられてもよい。これにより、第1部分21_1と第2部分22とのウェハWの温度差を低減し、ウェハWの端部における温度分布のばらつきを抑制することができる。
上記第1部分21_1〜21_5は、その全てをウェハホルダ20に設けてもよい。しかし、第1部分21_1〜21_5のいずれか1つ以上をウェハホルダ20に設けてもよい。ただし、搭載領域Rの端部全体に第1部分21を設けてしまうと、搭載領域Rの端部における温度分布のばらつきを抑制できないので、第1部分21は、搭載領域Rの端部の一部に局所的に設けられ、第2部分22は、搭載領域Rの端部の残りの他の部に設けられる。複数の第1部分21_1〜21_5の深さ(T1)は、同じ深さであってもよいが、それぞれ異なる深さであってもよい。複数の第2部分22の深さ(T4)も、同じ深さであってもよいが、それぞれ異なる深さであってもよい。
また、搭載領域Rの端部において、第1部分21と第2部分22との境界部は、段差になっていてもよく、滑らかに傾斜していてもよい。例えば、図7(A)および図7(B)は、第1部分21と第2部分22との境界部を示すウェハホルダ20の断面図である。図7(A)は、第1部分21と第2部分22との境界部が段差になっている。この場合、第1部分21と第2部分22との境界部が明確であるが、
熱伝達特性がこの境界部で大きく変化してしまう。
熱伝達特性がこの境界部で大きく変化してしまう。
一方、図7(B)は、第1部分21と第2部分22との境界部が滑らかに傾斜している。即ち、第1部分21と第2部分22との境界部は、第1部分21の表面F21、第2部分22の表面F22あるいは第1面F1(図3参照)に対して傾斜している。これにより、第1部分21および第2部分22は、滑らかに接続されており熱伝達特性の変化も緩やかになる。従って、境界部が傾斜していることによって、さらにウェハWの温度分布のばらつきの抑制に繋がる。以上のように、本実施形態によるウェハホルダ20は、第1部分21と、第2の部分22とを有する。搭載領域Rの端部において、第1部分21には、比較的深い溝部TRが設けられている。第2の部分22には、溝部TRが設けられていないあるいは比較的浅い溝部が設けられている。また、搭載領域Rの端部において第1および第2部分21、22の位置を適切に設定する。これにより、ウェハホルダ20からの熱伝導度(熱コンダクタンス)を調節し、ウェハ処理時におけるウェハWの温度分布のばらつきを抑制することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
1・・・成膜装置、10・・・反応チャンバ、20・・・ウェハホルダ、21・・・第1部分、22・・・第2部分、26・・・ウェハ支持部、30・・・駆動部、40・・・ヒータ、50・・・ガス供給部、60・・・放射温度計、70・・・排気口、W・・・ウェハ、R・・・搭載領域、ST・・・段差、TR・・・溝部
Claims (8)
- ウェハの搭載領域の端部に設けられたウェハ支持部と、
前記ウェハ支持部よりも前記搭載領域の中心部側に設けられた第1部分であって、前記搭載領域の外側の前記ウェハホルダの表面を基準として、該第1部分の第1深さが、前記ウェハ支持部の第2深さ、および、前記第1部分よりも前記搭載領域の中心部側にある第3部分の第3深さよりも深い第1部分と、
前記ウェハ支持部よりも前記搭載領域の中心部側に設けられた第2部分であって、前記搭載領域の外側の前記ウェハホルダの表面を基準として、該第2部分の第4深さが前記第2および第3深さよりも浅く、かつ、前記第1深さよりも浅い第2部分とを備えたウェハホルダ。 - 前記第1部分は、前記搭載領域のうち、前記ウェハホルダの中心部から最も離れた部分に設けられている、請求項1に記載のウェハホルダ。
- 前記ウェハの搭載領域は、第1搭載領域および該第1搭載領域に隣接する第2搭載領域を含み、
前記第1搭載領域の前記第1部分は、前記第2搭載領域に最も近い部分に設けられており、
前記第2搭載領域の前記第1部分は、前記第1搭載領域に最も近い部分に設けられている、請求項1または請求項2に記載のウェハホルダ。 - 前記第1部分は、前記ウェハホルダの中心を中心として前記搭載領域の中心を通る円と交差する前記搭載領域の2つの端部の少なくとも一方に設けられている、請求項1または請求項2に記載のウェハホルダ。
- 前記第1搭載領域の前記第1部分は、前記ウェハホルダの中心を中心として前記第1搭載領域の中心を通る円と交差する前記第1搭載領域の2つの端部の少なくとも一方に設けられ、
前記第2搭載領域の前記第1部分は、前記ウェハホルダの中心を中心として前記第2搭載領域の中心を通る円と交差する前記第2搭載領域の2つの端部の少なくとも一方に設けられている、請求項3に記載のウェハホルダ。 - 前記第1部分は、前記ウェハ支持部が設けられた前記搭載領域の端部に設けられている、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のウェハホルダ。
- 前記第1部分と前記第2部分との境界部は、前記第1部分の表面、前記第2部分の表面あるいは前記ウェハを搭載可能な第1面に対して傾斜している、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のウェハホルダ。
- ウェハを処理するチャンバと、
前記ウェハを搭載可能なウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる駆動部と、
前記ウェハホルダの下方に設けられたヒータと、
前記ウェハの処理に用いるガスを前記チャンバ内へ供給するガス供給部とを備え、
前記ウェハホルダは、
前記ウェハの搭載領域の端部に設けられたウェハ支持部と、
前記ウェハ支持部よりも前記搭載領域の中心部側に設けられた第1部分であって、前記搭載領域の外側の前記ウェハホルダの表面を基準として、該第1部分の第1深さが、前記ウェハ支持部の第2深さ、および、前記第1部分よりも前記搭載領域の中心部側にある第3部分の第3深さよりも深い第1部分と、
前記ウェハ支持部よりも前記搭載領域の中心部側に設けられた第2部分であって、前記搭載領域の外側の前記ウェハホルダの表面を基準として、該第2部分の第4深さが前記第2および第3深さよりも浅く、かつ、前記第1深さよりも浅い第2部分とを備えた、半導体製造装置。
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