JP2017049603A - 電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミラー駆動装置1は、固定フレームと、可動フレーム14と、ミラーと、永久磁石10とを備える。可動フレーム14は、基材100と、駆動コイル18と、被覆層102と、絶縁層104とを有する。基材100は、主面S4側に位置し且つスパイラル状に延びる溝部100aを含む。駆動コイル18は、溝部100a内に配置された金属材料によって構成されている。被覆層102は、溝部100aの開口を覆うように主面S4上まで延びると共に、駆動コイル18を構成する金属材料の拡散を抑制する金属材料で構成されている。絶縁層104は、主面S4上及び被覆層102上に配置されている。駆動コイル18の内側端部に電気的に接続された引き出し導体28bは、絶縁層104を介して駆動コイル18と立体的に交差している。
【選択図】図3
Description
Claims (5)
- 主面側に位置し且つ前記主面に対して直交する方向から見て渦巻状に形成された溝部を含む、シリコン基材と、
前記溝部に配置され且つ前記主面に対して直交する方向から見て渦巻状に形成されたコイル配線部と、
前記主面上及び前記コイル配線部上に配置された第1の絶縁層とを備え、
前記コイル配線部の内側端部には、引き出し導体の一端が電気的に接続されており、
前記引き出し導体の他端は、前記コイル配線部の外側に引き出されており、
前記引き出し導体は、前記第1の絶縁層を介して前記コイル配線部と立体的に交差しており、
前記第1の絶縁層のうち前記コイル配線部に対応する領域が平坦ではない、電子部品。 - 前記シリコン基材は、前記主面と前記溝部の内壁面とに沿って配置された第2の絶縁層を有する、請求項1に記載の電子部品。
- 前記第2の絶縁層は前記シリコン基材が熱酸化された酸化シリコンで構成されている、請求項2に記載の電子部品。
- シード層が、前記第2の絶縁層と前記コイル配線部のうち前記溝部内に配置された部分との間に配置されている、請求項2又は3に記載の電子部品。
- 前記シード層はTiNにより構成されている、請求項4に記載の電子部品。
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