JP2017049010A - 電磁界プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】直交する２つのループを組み合わせた従来の電磁界プローブでは、５層以上の多層基板やインナービアを使用するなど構造が複雑となる問題がある。また、２つのループは構成が異なるため２つのループの感度に差異が生じる課題がある【解決手段】第１の平面上に位置する第１のループ型導体と、第１の平面と概ね直交関係にある第２の平面上に位置する第２のループ型導体とを備え、第１のループ型導体と第２のループ型導体は接続され、この接続により一対の端子を有する分岐点を持たない導線が形成される電磁界プローブとする。【選択図】図１

Description

この発明は、測定対象から生じる電磁界を測定する電磁界プローブに関するものである。

電磁界プローブの検出方式として一般に用いられる方式の１つにループアンテナがある。従来のループアンテナは、単一平面内に形成されるループ構造を持ち、測定対象から生じる磁束がループ面を通過するように配置することでループに誘導電流が生じ、これにより測定対象を流れる電流を検出する（例えば、特許文献１）。また、直交する３つのループを組み合わせ、直交する３つの異なる方向の磁束の検出に対応したループを積層プリント基板で製造する構造も考案されている（例えば、特許文献２）。さらに、積層プリント基板で２つの異なる方向の磁束を検出するループの製造方法も考案されている（例えば、特許文献３）。

特開２００７−１８７５３９号公報 特開平１１−２９５４０２号公報 特開２０１１−０２４１６８号公報

プリント基板配線の電流を測定する際、特許文献１に記載の単一平面上に形成されたループ構造をもつ従来技術では、ループ面を基板と垂直かつ配線方向と平行な向きに配置すれば、配線の電流による磁束がループ面を通るため検出することができる。しかし、ループ面を配線方向と垂直な向きに配置すると、磁束がループ面を通らないため、検出できない。従って、測定対象の配線の向きに応じてプローブの角度（ループ面の角度）を変える必要がある問題がある。

また、特許文献２に記載される直交する３つのループを組み合わせた従来技術では、プローブの角度を変えずに直交する３つの方向の配線の電流が検出できるが、８層以上の多層基板や、インナービアを使用するなど構造が複雑となる。また、３つのループそれぞれに出力端子を設ける必要があり、後段で必要となる検出回路の規模が大きくなる問題がある。

さらに、特許文献３に記載される直交する２つのループを組み合わせた従来技術では、プローブの角度を変えずに一つの出力端子で直交する２つの方向の配線の電流を検出できるが、５層以上の多層基板やインナービアを使用するなど構造が複雑となる問題がある。また、基板の平面と平行な面に形成されるループは内層の導体パターンのみで構成されるのに対し、基板の平面と垂直な面に形成されるループは表層の導体パターンとビアで構成され、２つのループの感度に差異が生じる問題がある。さらに、このようなループをプリント基板で製造しようとした場合、製造可能な基板の厚みによりループ構造のサイズが制限されてしまうという問題もある。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、さまざまな方向に走る基板配線の電流をプローブの向きを変えずに検出可能であり、かつ、簡単な構造を有し容易に作成可能な電磁界プローブを実現することを目的とする。

この発明に係る電磁界プローブは、第１の平面上に位置する第１のループ型導体と、前記第１の平面と概ね直交関係にある第２の平面上に位置する第２のループ型導体とを備え、前記第１のループ型導体と前記第２のループ型導体は接続され、この接続により一対の端子を有する分岐点を持たない導線が形成されることを特徴とする。

この発明の電磁界プローブによれば、さまざまな方向に走る基板配線の電流を電磁界プローブの向きを変えずに検出可能であり、かつ、簡単な構造を有するため容易に作成することができる。

この発明の実施の形態１に係る電磁界プローブのループ構造。 この発明の実施の形態１に係る電磁界プローブをプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上に配置した図。 この発明の実施の形態１に係る電磁界プローブを信号配線６ｂ’の上に配置した図。 この発明の実施の形態２に係る電磁界プローブのループ構造。 この発明の実施の形態２に係る電磁界プローブの別のループ構造を示す図。 この発明の実施の形態２に係る電磁界プローブをプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上に配置した状態を示す図。 この発明の実施の形態３に係る電磁界プローブのループ構造。 この発明の実施の形態３に係る電磁界プローブをプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上に配置した状態を示す図。 この発明の実施の形態４に係る電磁界プローブのループ構造。 この発明の実施の形態４に係る電磁界プローブで配線を流れる電流の検出原理を示す図。 この発明の実施の形態４に係る電磁界プローブの中心が信号配線６ｂからずれた環境を示す図。

実施の形態１．
この発明の実施の形態１に係る電磁界プローブについて説明する。

図１はこの発明の実施の形態１に係る電磁界プローブのループ構造の一例を示す図である。図１において、細い破線の立方体はプリント基板をイメージするための補助線であり、ＸＹ平面はプリント基板の板面を示し、Ｚ方向はプリント基板の厚み方向を表している。１１ａは磁界を検出するための金属導体のループ構造をもつ電磁界プローブ、２はループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａに生じる検出電流を引き出す１対の端子である。ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａは長方形のループを中心で９０度折り曲げたような構造となっており、ＸＺ平面とＹＺ平面（基板の板面に垂直で、互いに直交する２つの面）に沿った２つの異なる平面を使ってループを形成している。ここでは、第１の平面であるＸＺ平面上に位置するループ導体を第１のループ型導体１２ａ、第２の平面であるＹＺ平面上に位置するループ導体を第２のループ型導体１３ａと呼ぶ。すなわち、本実施の形態１を構成する金属導体のループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａは、第１の平面上に位置する第１のループ型導体１２ａと、第１の平面と概ね直交関係にある第２の平面上に位置する第２のループ型導体１３ａとを備え、第１のループ型導体１２ａと第２のループ型導体１３ａは接続され、この接続により一対の端子を有する分岐点を持たない導線が形成される。

また、本実施の形態１の電磁界プローブにおいて、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａの下辺はプリント基板の１つの層（第１の層）の配線として形成され、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａの上辺はプリント基板の異なる層（第２の層）の配線として形成される。また、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａの上辺と下辺の間はビアで接続される。すなわち、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａのＸＹ平面上の経路はプリント基板のパターン配線で製造され、Ｚ方向はビアで製造される。なお、第１の層と第２の層を形成するプリント基板は、プリント基板以外の基板とすることもできる。

次に、図１の電磁界プローブのループ構造を用いて配線を流れる電流の検出原理について説明する。図２はプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上に電磁界プローブを配置した状態を示す図である。信号配線６ｂに電流３が図２の矢印の方向に流れると、信号配線６ｂに沿って磁界４が生じる。この磁界４の一部がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａのＹＺ平面に構成されるループ面を通ると、誘導電流５がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａに生じ、これを端子２で検出することができる。

また、図３はループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａを図２の信号配線６ｂをＺ軸に対して９０度回転させた信号配線６ｂ’に配置した状態を示す図である。図３のように電磁界プローブのループ構造を信号配線６ｂ’の上に配置する場合も、電流３’が図３の矢印の方向に流れると、信号配線６ｂ’に沿って磁界４’が生じる。この磁界４’がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａのＸＺ平面に構成されるループ面を通ることで、誘導電流５’がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ａに生じ、これを端子２で検出することができる。

以上のように、長方形のループ導体を中心で９０度折り曲げたような構造でループ構造をもつ電磁界プローブを構成し、端子を設けることで、電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、およびＹ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

また、図１の構成では、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａの下辺及び上辺はそれぞれプリント基板の異なる層の配線として形成され、その上辺と下辺の間はビアで接続されるので、２層基板の配線とビアのみで直交する２つの方向のループ導体を構成できる。さらに、プリント基板の信号配線を測定対象とする場合、信号配線の磁界は配線の近傍に集中しているため、厚み方向にループ面積を広げても感度は大きく向上しないが、Ｘ方向およびＹ方向にループ導体を広げることで効率よく磁界がループ導体を通過するので、容易に感度を上げることができ、プリント基板でループ導体を作る場合に適した構造である。

また、特許文献３は一方のループ導体を基板に垂直な平面（例えばＸＺ平面）に形成し、他方のループ導体を基板に水平な平面（ＸＹ平面）に形成しているのに対し、本実施の形態では２つのループ導体とも基板に垂直な平面（ＸＺ平面とＹＺ平面）に形成している点で異なる。このため、特許文献３では５層基板が必要で、さらにインナービアという特殊なビアも必要であるのに対し、本実施の形態に記載の発明は２層基板と貫通ビアのみでより簡単に製造することができる。さらに、特許文献３では基板に水平な平面のループ導体は内層の導体パターンのみで形成されるのに対し、基板に垂直な平面のループ導体は表層の導体パターンとビアで形成する必要があり、ループ導体を構成する導体構造の違いにより基板に水平な方向の磁界と、基板に垂直な方向の磁界の検出感度に違いが生じる可能性がある。これに対し、本実施の形態では、２つの平面のループ導体は完全に同じ導体構造であるので、同じ感度で検出することができる。

以上で述べたように、本実施の形態１に係る電磁界プローブは、第１の平面上に位置する第１のループ型導体１２ａと、第１の平面と概ね直交関係にある第２の平面上に位置する第２のループ型導体１２ｂとを備え、第１のループ型導体１２ａと第２のループ型導体１２ｂは接続され、この接続により一対の端子を有する分岐点を持たない導線が形成されることを特徴とする。この構成によって、簡単な構成で、ループ構造を持つ電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、およびＹ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

また、本実施の形態１に係る電磁界プローブでは、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１２ｂの下辺の配線を形成する第１の層と、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１２ｂの上辺の配線を形成する第２の層とを含む基板を備えたことを特徴とする。この構成によって、２つの平面のループ導体である第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａは完全に同じ導体構造であるので、同じ感度で検出することができる。

また、本実施の形態１に係る電磁界プローブでは、一対の端子は第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａの上辺に位置することを特徴とする。このような構成により、簡易な構成で電流を検出することができる。

また、本実施の形態１に係る電磁界プローブでは、第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａは概ね同じ形状及び大きさのループ導体であることを特徴とする。このような構成により、２つの平面のループ導体である第１のループ型導体１２ａ及び第２のループ型導体１３ａに対して、同じ感度で検出することができる。

実施の形態２．
実施の形態１では、互いに直交する２つの平面上に位置するループ型導体を有する電磁界プローブの構成を開示したのに対し、実施の形態２では互いに直交する２つの平面上に位置する２つのループ型導体がそのループ型導体の中心付近で互いに交差する電磁界プローブの構成を記載する。

図４はこの発明の実施の形態２に係るループ構造をもつ電磁界プローブの一例を示す図である。図４において、細い破線の立方体はプリント基板をイメージするための補助線であり、ＸＹ平面はプリント基板の板面を示し、Ｚ方向はプリント基板の厚み方向を表している。１１ｂは磁界を検出するための金属導体のループ構造をもつ電磁界プローブ、２はループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂに生じる検出電流を引き出す１対の端子であり、金属導体のループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂは第１の平面上に位置する第１のループ型導体１２ｂと第２の平面上に位置する第２のループ型導体１３ｂを備えている。

ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂはＸＺ平面とＹＺ平面の直交する２つの面に沿った２つのループ導体である第１のループ型導体１２ｂと第２のループ型導体１３ｂを形成しており、第１のループ型導体１２ｂと第２のループ型導体１３ｂは中心で交差している。また、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂは途中で短絡することなく一筆書きで形成されている。ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂのＸＹ平面上の経路はプリント基板のパターン配線で製造され、Ｚ方向はビアで製造される。また、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂの下辺にてＸ方向のパターン配線がＹ方向のパターン配線と短絡しないように交差している太い破線部分はジャンパーケーブルや０Ω抵抗などを使用して接続する。

図５はこの発明の実施の形態２に係る別のループ構造の一例を示す図である。図４との構造の違いは、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｃの下辺にてＸ方向のパターン配線がＹ方向のパターン配線を異なる層で形成することで、短絡しないようにしている点である。

次に、図６の電磁界プローブのループ構造を用いて配線を流れる電流の検出原理について説明する。図６はプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上にループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｂを配置した状態を示す図である。信号配線６ｂに電流３が図の方向に流れると、信号配線６ｂに沿って磁界４が生じる。この磁界４の一部がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｃのＹＺ平面に構成されるループ面を通ると、誘導電流５がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｃに生じ、これを端子２で検出することができる。また、図２と図３の関係と同様に、信号配線６ｂがＺ軸に対し９０度回転した配置の場合も、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｃのＸＺ平面に構成されるループ面に磁界が通り、誘導電流がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｃに生じ、これを端子２で検出することができる。

以上のように、本実施の形態２に係る電磁界プローブでは、互いに直交する２つの面に沿った２つのループ導体である第１のループ型導体１２ｂと第２のループ型導体１３ｂを中心付近で交差するように一筆書きの要領で構成し、端子を設ける。この構成によって、電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、およびＹ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

また、図４の構成であれば、２層基板と０Ω抵抗１個程度の簡単な構造で、直交する２つの方向のループを構成できる。また、図５の構成であれば、３層基板の配線とビアのみで直交する２つの方向のループ導体を構成できる。

実施の形態３．
実施の形態２では互いに直交する２つの平面で形成された２つのループ導体がループ導体の中心付近で互いに交差する電磁界プローブの構成を示したのに対し、実施の形態３では互いに直交する２つの平面で形成されたループ導体の配線が交差しない電磁界プローブの構成について述べる。

図７はこの発明の実施の形態３に係る電磁界プローブのループ構造の一例を示す図である。図７のループ構造が図４のループ構造と異なるのはループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄの配線方法のみであり、図７ではループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄの下面の配線を中心付近で９０度曲げて互いに交差しないようにし、上面のＹ方向の配線は、端子２の間を通すようにした点である。すなわち、図７では、第１のループ型導体１２ｄ及び第２のループ型導体１３ｄはそれぞれ同一平面上に離間して配置された２つの下辺を有し、第１のループ型導体１２ｄの第１の下辺と第２のループ型導体１３ｄの第１の下辺及び第１ループ型導体１２ｄの第２の下辺と第２のループ型導体１３ｄの第２の下辺がそれぞれ接続されることにより、第１ループ型導体１２ｄ及び第２のループ型導体１３ｄの下辺が同一平面上で交差しない構成としている。

次に、図８のループ構造を用いて配線を流れる電流の検出原理について説明する。図８はプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上にループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄを配置した状態を示す図である。信号配線６ｂに電流３が図の方向に流れると、下面のＹ方向のループ配線には、それぞれ５ａと５ｂの誘導電流が生じる。この２つの誘導電流５ａ、５ｂはループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄを同じ方向に流れるように誘導されているので、その合成電流を端子２で検出することができる。また、図２と図３の関係と同様に、信号配線６ｂがＺ軸に対し９０度回転した配置の場合も、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄのＸＺ平面に構成されるループ面に磁界が通り、誘導電流がループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｄに生じ、これを端子２で検出することができる。

以上のように、互いに直交する２つの面に沿った２つのループ導体を中心で交差しないように一筆書きの要領で構成し、端子を設けることで、電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、およびＹ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。また、図７の構成であれば、２層基板の配線とビアのみで直交する２つの方向のループ導体を構成できる。

すなわち、本実施の形態３に係る電磁界プローブでは、第１のループ型導体１２ｄ及び第２のループ型導体１３ｄはそれぞれ同一平面上に離間して配置された２つの下辺を有し、第１のループ型導体１２ｄの第１の下辺と第２のループ型導体１３ｄの第１の下辺及び第１ループ型導体１２ｄの第２の下辺と第２のループ型導体１３ｄの第２の下辺がそれぞれ接続されることにより、第１ループ型導体１２ｄ及び第２のループ型導体１３ｄの下辺が同一平面上で交差しない構成としている。このような構成により、簡易な構成で電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、およびＹ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

実施の形態４．
実施の形態１〜３では、互いに直交する２つの平面を使ってループ導体を形成する電磁界プローブの構成を示したのに対し、実施の形態４では互いに直交する３つの平面で３つのループ導体を形成する電磁界プローブの構成について記載する。

図９はこの発明の実施の形態４に係る電磁界プローブのループ構造の一例を示す図である。図９の電磁界プローブのループ構造が図７のループ構造と異なるのは、図９ではループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｅの配線によるループ導体がＸＺ平面、ＹＺ平面以外にＸＹ平面のループ導体も構成するようにし、互いに直交する３つのループ導体を構成した点である。具体的には、図９の下面のＸ方向の配線の右側の位置で他の配線と短絡しないようにＸＹ平面のループ導体となるよう配線し、その後、ＸＹ平面のループ配線の開始位置付近でビアにより上面に配線を伸ばし、既に配線済みのＸＺ平面のループ導体と同じ面内を通って端子２に接続するようにしている。
本実施の形態４の電磁界プローブは第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eと接続されることにより第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eと一体化された２端子を有する１つのループ型導体を形成し、第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eの属する２つの平面と概ね直交関係にある第３の平面上に位置する第３のループ型導体１４eを備える。

次に、図９の電磁界プローブのループ構造を用いて配線を流れる電流の検出原理について説明する。図１０はプリント基板６ａ上の信号配線６ｂの上にループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｅを配置した状態を示す図である。信号配線６ｂに電流３が図の矢印の方向に流れると、下面のＹ方向のループ配線には、それぞれ５ａと５ｂの誘導電流が生じる。この２つの誘導電流５ａ、５ｂはループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｅを同じ方向に流れるように誘導されているので、その合成電流を端子２で検出することができる。

また、図２と図３の関係と同様に、信号配線６ｂがＺ軸に対し９０度回転した配置の場合も、同様の原理で、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｅのＸＺ平面に構成されるループ面に磁界が通り、誘導電流が電磁界プローブ１１ｅに生じ、これを端子２で検出することができる。さらに、図１１に示すように、信号配線６ｂが、ループ構造をもつ電磁界プローブ１１ｅの中心からずれた場合にも、ＸＹ平面を通る磁界により誘導電流５が生じ、これを端子２で検出することができる。

以上のように、互いに直交する３つの面に沿った３つのループ導体を、それぞれ交差するように一筆書きの要領で構成し、端子を設けることで、電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向のいずれの磁界も検出することができる。また、図９の構成であれば、２層基板の配線とビアのみで直交する３つの方向のループ導体を構成できる。

すなわち、本実施の形態４の電磁界プローブは第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eと接続されることにより第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eと一体化された２端子を有する１つのループ型導体を形成し、第１のループ型導体１２e又は第２のループ型導体１３eの属する２つの平面と概ね直交関係にある第３の平面上に位置する第３のループ型導体１４eを備えることを特徴とする。このような構成により、簡易な構成で電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

また、本実施の形態４の電磁界プローブでは、第１のループ型導体１２eの下辺及び第２のループ型導体１３eの下辺及び第３のループ型導体１４eは同一のプリント基板の配線として形成されることを特徴とする。このような構成により、このような構成により、簡易な構成で電磁界プローブの角度を変えることなく、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のいずれの信号配線の電流も検出することができる。

２：端子、３、３’：電流、４、４’：磁界、５、５’、５ａ、５ｂ：誘導電流、６ａ：プリント基板、６ｂ、６ｂ’：信号配線、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ：電磁界プローブ、１２ａ、１２ｂ、１２ｄ、１２ｅ：第１のループ型導体、１３ａ、１３ｂ、１３ｄ、１３ｅ：第２のループ型導体、１４ｅ：第３のループ型導体

Claims (9)

1. 第１の平面上に位置する第１のループ型導体と、
   前記第１の平面と概ね直交関係にある第２の平面上に位置する第２のループ型導体とを備え、
   前記第１のループ型導体と前記第２のループ型導体は接続され、この接続により一対の端子を有する分岐点を持たない導線が形成される
   ことを特徴とする電磁界プローブ。
2. 前記第１及び前記第２のループ型導体の下辺の配線を形成する第１の層と、前記第１及び前記第２のループ型導体の上辺の配線を形成する第２の層とを含む基板
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の電磁界プローブ。
3. 前記第１の層と前記第２の層の間はビアで接続されることを特徴とする請求項２に記載の電磁界プローブ。
4. 前記一対の端子は前記第１又は前記第２のループ型導体の上辺に位置することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電磁界プローブ。
5. 前記第１及び前記第２のループ型導体は概ね同じ形状及び大きさのループであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電磁界プローブ。
6. 前記第１及び前記第２のループ型導体は中心付近で交差することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電磁界プローブ。
7. 前記第１及び前記第２のループ型導体はそれぞれ同一平面上に離間して配置された２つの下辺を有し、前記第１ループ型導体の第１の下辺と前記第２のループ型導体の第１の下辺及び前記第１ループ型導体の第２の下辺と前記第２のループ型導体の第２の下辺がそれぞれ接続されることにより、前記第１及び前記第２のループ型導体の下辺が同一平面上で交差しないこと
   を特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電磁界プローブ。
8. 前記第１又は前記第２のループ型導体と接続されることにより前記第１及び前記第２のループ型導体と一体化された２端子を有する１つのループ型導体を形成し、前記第１及び前記第２の平面と概ね直交関係にある第３の平面上に位置する第３のループ型導体と、
   を備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電磁界プローブ。
9. 前記第１のループ型導体の下辺及び前記第２のループ型導体の下辺及び前記第３のループ型導体は同一の基板の配線として形成されることを特徴とする請求項８に記載の電磁界プローブ。

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