JP2017045787A - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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図1に、本発明の窒化物半導体発光素子の一例である実施の形態の窒化物半導体発光素子1の模式的な断面図を示す。図1に示す例の窒化物半導体発光素子1は、基板3と、基板3上に、順次設けられた、バッファ層5と、窒化物半導体下地層7と、n型コンタクト層8と、低温n型窒化物半導体層10(vピット発生層)と、窒化物半導体多層構造体120と、多重量子井戸発光層14と、3層のp型窒化物半導体層16,17,18とを備えている。
基板3としては、たとえば、サファイアなどの絶縁性基板、またはGaN、SiC若しくはZnOなどの導電性基板を用いることができる。基板3の厚さは特に限定されないが、窒化物半導体層の成長時における基板の厚さは、900μm以上1200μmであることが好ましく、窒化物半導体発光素子の使用時の基板の厚さは、50μm以上300μm以下であることが好ましい。
バッファ層5としては、たとえばAls0Gat0Ou0N1−u0(0≦s0≦1、0≦t0≦1、0≦u0≦1、s0+t0≠0)からなる式で表わされる窒化物半導体層を用いることが好ましく、AlN層またはAlON層であることがより好ましい。
窒化物半導体下地層7は、たとえば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により、バッファ層5の表面上に形成することができる。
n型コンタクト層8としては、たとえば、Alx1Gay1Inz1N(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1≦1、x1+y1+z1≠0)の式で表わされるIII族窒化物半導体からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができる。中でも、n型コンタクト層8としては、Alx2Ga1−x2N(0≦x2≦1、好ましくは0≦x2≦0.5、より好ましくは0≦x2≦0.1)層にn型ドーパントがドープされた層を用いることがより好ましい。
低温n型窒化物半導体層10としては、たとえば、一般式Alx2Gay2Inz2N(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2≦1、x2+y2+z2≠0)で表わされる窒化物半導体材料からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いることができる。好ましくは、一般式Alx2Ga1−x2N(0≦x2≦1、好ましくは0≦x2≦0.3、より好ましくは0≦x2≦0.1)で表される窒化物半導体材料からなる層または一般式Inz2Ga1−z2N(0≦z2≦1、好ましくは0≦z2≦0.3、より好ましくは0≦z2≦0.1)で表される窒化物半導体材料からなる層にn型ドーパントがドープされた層を用いる。
窒化物半導体多層構造体120は、たとえば一般式Alx4Gay4Inz4N(0≦x4≦1、0≦y4≦1、0≦z4≦1、x4+y4+z4≠0)とAlx5Gay5Inz5N(0≦x5≦1、0≦y5≦1、0≦z5≦1、x5+y5+z5≠0)からなるバンドギャップエネルギーの異なる2つの層を繰り返し積層することで形成される。窒化物半導体多層構造の組成は多重量子井戸発光層14からの発光を吸収しない、つまり、多重量子井戸発光層14より高いバンドギャップエネルギーを取りうる材料ならいかなる組み合わせも許されるが、SiドープGaNからなるワイドバンドギャップ層とSiドープInGaNからなるナローバンドギャップ層を繰り返し積層した構造が多重量子井戸発光層14の結晶性が向上し、より好ましい。
図2に、本発明の窒化物半導体発光素子に好適に用いられる多重量子井戸発光層14のバンドギャップエネルギー図の一例を示す。図2の横軸は積層方向の層厚を示しており、左方向がp型窒化物半導体層に近い側を意味している。また、図の縦軸はバンドギャップエネルギーの大きさを示しており、上方向にバンドギャップエネルギーが大きいことを意味している。
p型窒化物半導体層16,17,18としては、それぞれ独立に、たとえばAls4Gat4Inu4N(0≦s4≦1、0≦t4≦1、0≦u4≦1、s4+t4+u4≠0)層にp型ドーパントがドープされた層を用いることが好ましく、Als4Ga(1−s4)N(0<s4≦0.4、好ましくは0.1≦s4≦0.3)層にp型ドーパントがドープされた層を用いることがより好ましい。
n電極21およびp電極25は、窒化物半導体発光素子に駆動電力を供給するための電極である。図に示すように、n電極21およびp電極25は、パッド電極部分のみで構成されているが、たとえば電流拡散を目的とする細長い突出部(枝電極)などがn電極21および/またはp電極25に接続されていてもよい。
キャリア濃度は電子またはホールの濃度を意味し、n型ドーパントの量またはp型ドーパントの量だけでは決定されない。このようなキャリア濃度は窒化物半導体発光素子の電圧対容量特性の結果に基づいて算出されるものであり、電流が注入されていない状態のキャリア濃度のことを指しており、イオン化した不純物、ドナー化した結晶欠陥およびアクセプター化した結晶欠陥から発生したキャリアの合計である。
まず、凸部と凹部とからなる凹凸形状が上面に形成されたサファイア基板3(直径が150mm)を準備した。凸部は、図1に示す凸部3aの断面形状を有しており、高さが0.6μm程度の円錐形の先端部を有し(円錐形の底部における円の直径は1.2μm)、隣り合う頂点間隔は2μmであった。また、凹部は、図1に示す凹部3bの断面形状を有していた。
図3は、実施例2で作製された窒化物半導体発光素子における多重量子井戸構造を示すバンドギャップエネルギー図である。実施例2では、第2波長(405nm)の第2発光層における第2量子井戸層の層数が3層となっている以外は実施例1と同様とした。
図4は、実施例3で作製された窒化物半導体発光素子における多重量子井戸構造を示すバンドギャップエネルギー図である。実施例3では、第2波長(405nm)の第2発光層における第2量子井戸層の層数を3層とし、第1量子井戸層よりn層側に、さらに複数の第3の量子井戸層が3層形成され、第2量子井戸層と第3の量子井戸層との膜厚が略等しい以外は実施例1と同様とした。
実施例3について発明の効果を検証するため、第1量子井戸層と第2量子井戸層の層厚が同じでそれ以外は実施例3と同様とする比較例1の窒化物半導体発光素子を作製した(第1量子井戸層の層厚を3.38nmとしたこと以外は図4に示した例と同様)。
Claims (5)
- n型窒化物半導体層と、
p型窒化物半導体層と、
前記n型窒化物半導体層と前記p型窒化物半導体層との間に設けられた多重量子井戸発光層と、を備え、
前記多重量子井戸発光層は、前記p型窒化物半導体層に近い側から、第2発光層と、第1発光層とを備え、
前記第1発光層は、少なくとも1つの第1量子井戸層を備え、
前記第2発光層は、少なくとも1つの第2量子井戸層を備え、
前記第2量子井戸層は、前記第1量子井戸層よりもバンドギャップエネルギーが大きく、かつ、前記第1量子井戸層よりも層厚が小さいことを特徴とする、窒化物半導体発光素子。 - 前記第2量子井戸層は複数層で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第1量子井戸層よりn層側に、さらに複数の第3量子井戸層が形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第2量子井戸層と前記第3量子井戸層との層厚が略等しいことを特徴とする、請求項3に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記第2量子井戸層の層厚は2nm以上5nm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子。
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