JP2017040482A - 曲面を基準面とする三次元形状計測方法 - Google Patents

曲面を基準面とする三次元形状計測方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017040482A
JP2017040482A JP2015160644A JP2015160644A JP2017040482A JP 2017040482 A JP2017040482 A JP 2017040482A JP 2015160644 A JP2015160644 A JP 2015160644A JP 2015160644 A JP2015160644 A JP 2015160644A JP 2017040482 A JP2017040482 A JP 2017040482A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase value
phase
reference plane
dimensional
coordinate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015160644A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6666670B2 (ja
Inventor
藤垣 元治
Motoharu Fujigaki
元治 藤垣
俊雅 坂口
Toshimasa Sakaguchi
俊雅 坂口
涼汰 氏家
Ryota Ujiie
涼汰 氏家
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2015160644A priority Critical patent/JP6666670B2/ja
Publication of JP2017040482A publication Critical patent/JP2017040482A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6666670B2 publication Critical patent/JP6666670B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】基準面の移動が短くてすむ三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】計測対象となる物体に格子投影し、位相解析を行う第1ステップと、注目画素に関して、位相解析によって得られた位相値から、キャリブレーションによりもとめた関係に基づいて、移動量を求める第2ステップと、位相値から、基準面上の位相値を求める第3ステップと、基準面上の位相値から基準面座標テーブルを用いて注目画素の三次元位置を特定する第4ステップと、第4ステップで特定した三次元位置に移動量を加算し、注目画素に写されている物体上の三次元位置の座標を求める第5ステップと、を備え、第1〜第5のステップを、全画素について行うことで、物体の形状計測を行う。
【選択図】図5

Description

本発明は、位相シフト法と全空間テーブル化手法を用いる三次元形状計測方法に関する。
大型物体に対する三次元形状計測は従来の小型のものの計測と同様に、ラインLED光源から格子プレートを通して格子パターンを投影し、位相シフト法と全空間テーブル化手法を用いる。物体に投影された格子パターンのゆがみを位相解析し、物体の形状を求める(特許文献1を参照)。
特開2008−281491号公報
全空間テーブル化手法において通常、平面の基準面を用いる。基準面が平面の場合、図1のように大型物体の下端から上端まで基準面を長距離移動させなければならない問題がある(図1における距離d)。
そこで、本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、基準面の移動が短くてすむ三次元形状計測方法を提供することである。
本願の請求項1に係る発明は、表面に二次元格子模様を有する曲面を有する基準面の三次元座標を求める第1ステップと、初期位置における基準面の三次元座標を求める第2ステップと、注目画素の前記二次元格子模様上の位相値を位相解析方法により読み取る第3ステップと、前記第2ステップにより求めた三次元座標と前記第3ステップにより読み取った位相値とから、前記位相値に対して前記三次元座標を要素としてもつ基準面座標テーブルを作成する第4ステップと、を含む基準面座標テーブル作成方法である。
ここで、「表面に二次元格子模様を有する曲面」とは、二次元格子シートを貼り付けた曲面であってもよいし、二次元格子模様を印刷して設けてもよい。計測対象となる物体の形状にある程度合わせた曲面を基準面とした場合、短い距離での移動で計測が可能となる(図2における距離d)。
請求項2に係る発明は、表面に二次元格子模様を有する曲面を有する基準面を所定方向に微小量ずつ移動させる第1ステップと、前記基準面を前記微小量移動させたときに、注目画素が撮影されている点における投影格子の位相値を求める第2ステップと、位相解析方法により前記注目画素の前記基準面上の位相値を求める第3ステップと、を備え、前記第1〜前記第3のステップについて、格子投影による位相値が所定の値を超える範囲まで繰り返し行い、前記投影格子による位相値と前記微小量ずつ移動させた移動量との関係を求める第4ステップと、前記投影格子の位相値と前記基準面上の位相値との関係を求める第5ステップと、を含むキャリブレーション方法である。
請求項3に係る発明は、計測対象となる物体に格子投影し、位相解析を行う第1ステップと、注目画素に関して、前記位相解析によって得られた位相値から、前記請求項2のキャリブレーション方法によりもとめた前記関係に基づいて、移動量を求める第2ステップと、前記位相値から、前記基準面上の位相値を求める第3ステップと、前記基準面上の位相値から前記請求項1の基準面座標テーブルを用いて注目画素の三次元位置を特定する第4ステップと、前記第4ステップで特定した三次元位置に前記移動量を加算し、前記注目画素に写されている前記物体上の三次元位置の座標を求める第5ステップと、を備えることで、物体表面上の注目点の座標値を求める手法である。
請求項4に係る発明は、前記請求項3の第1〜第5のステップを、全画素について行うことで、物体の形状計測を行う方法である。
本発明により、基準面の移動が短くてすむ三次元形状計測方法を提供できる。
平面の基準面を用いた場合の基準面の移動を説明する図である。 曲面の基準面を用いた場合の基準面の移動を説明する図である。 二次元格子を貼り付けた曲面の基準面を説明する図である。 x方向の位相値φxとy方向の位相値φyの対応関係を示す図である。 格子投影の様子を説明する図である。 位相値θとΔzの関係を示す図である。 位相値θとφxの関係を示す図である。 位相値θとφyの関係を示す図である。 物体を置いた時の格子投影の様子を示す図である。 物体を置いた時の位相値θとΔzの関係を示す図である。 物体を置いた時の位相値θとφxの関係を示す図である。 物体を置いた時の位相値θのφyの関係を示す図である。 物体を置いた時のφxとφyの対応関係を示す図である。 二次元格子を貼り付けた基準面を示す図である。 実験の様子を示す図である。 位相値θとΔzの関係を示す図である。 位相値θと位相値φxの関係を示す図である。 位相値θと位相値φyの関係を示す図である。 位相値θから求めるΔzを説明する図である。 位相値θから求まる位相値φxを説明する図である。 位相値θから求まる位相値φyを説明する図である。
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
1.基準面の構造と基準面座標テーブルの作成<準備段階1>
(1)図3に示されるように、二次元格子シートを貼り付けた曲面を基準面とする。二次元格子のx方向,y方向の各線には順番に格子番号を割り振る。
(2)二次元格子のx方向,y方向それぞれの位相値をφx,φyとする。格子番号に2πをかけると位相値になる。また、格子線の間も位相値として細かく読み取ることができるようになる。
(3)初期位置の基準面において、あらかじめ別手法(例、カメラを使った三角法)により基準面全体のx,y,z座標を求め、また注目する1画素の格子シート上の位相値φx,φyを、位相解析方法の一つの方法であるところのサンプリングモアレ法により読み取る。それをもとに図4に示すようなφx,φyに対して(x,y,z)を要素として持つ二次元テーブル(基準面座標テーブル)を作成する。なお、サンプリングモアレ法の他に、フーリエ変換方法、あるいは、重み付け位相解析方法などの手法を用いることができる。
2.キャリブレーション作業<準備段階2>
(1)図5中の直線Lで示すカメラで撮影した1画素(i,j)について説明する。ここでは、例として示す注目画素は基準面の初期位置Rにおける格子番号29番目付近を撮影しているものとする。
(2)格子投影の様子を図5に示す。基準面をz方向に少しずつ平行移動する。その移動量をΔzとする。x方向に振られている番号(0,1,2,・・・,28,29,30)はx方向の格子番号を示す。また、z方向に振られている番号Ri(R,R,・・・R)は平行移動させた基準面の位置番号として示す。
(3)基準面をΔzだけ移動させたときに、注目画素が撮影されている点における投影格子の位相値θを求める。さらに、サンプリングモアレ法により注目画素の格子シート上の位相値φx,φyを求める。
(4)上記(2)(3)について、格子投影による位相値θが所定の値(例えば2π)を超える範囲まで行う。
(5)これまでで得た格子投影による位相値θと基準面の移動量Δzの関係のグラフを図6に示す。また、位相値θとφxの関係のグラフを図7に、位相値θとφyの関係のグラフを図8に示す。
(6)上記(1)〜(5)をカメラの全画素について行う。
3.対象物の計測
(1)図9に示すように物体を置いた状態で、格子を投影し、位相解析を行う。このとき、図9では、物体上に点Sで示す位置における位相値φxにあたる格子番号は、例えば27.9を示しているものとする。
(2)注目画素に関して、得られた位相値θから図10のグラフを参照してΔzの値を求める。物体上の点Sはz方向において、例えば2.7mmの位置にあるとして、そのときの位相値θは1.58πとなる。
(3)同様に位相値θから図11を参照してφxを求め、図12を参照してφyを求める。この対応関係から参照して位相値θ=1.58πにおけるφx=27.9*2πを示し、φy=9.7*2πを示している。
(4)最後に図13に示すようにφx,φyからカメラで撮影した注目画素の(x,y,z)を特定する。これまでに得た位相値φx=27.9*2π,φy=9.7*2πはそれぞれ基準面の初期位置での位相値φx=27.9*2π,φy=9.7*2πとなるx座標,y座標と対応している。
(5)上記(4)で求めた座標中のzに、(2)で求めたΔzを加えると、注目画素に写されている物体上の1点の座標(x,y,z)が得られる(z’=z+Δz)。なお、この加算処理は、zの値を離散化することによって、テーブル化することが可能である。
(6)これを全画素について行うことで、平面ではない基準面を用いて形状を計測することが可能となる。
(7)本手法は、投影格子の位相分布を求めた後、投影格子の位相値から注目画素の格子シート上の位相値φx,φyおよび基準面移動量Δzを求めるテーブルを参照し、さらに、位相値φx,φyからx座標,y座標,z座標を求めるテーブルを参照し、z座標に関しては、さらに、基準面移動量Δzを加算することで座標値を求めることがでる手法である。この加算処理も容易にテーブル化することが可能である。すなわち、テーブル参照と短時間で計算できる加算処理のみ、もしくは、テーブル参照のみで高速に三次元座標を得ることができることになる。そのため、本手法を用いたリアルタイムに三次元形状を測定可能な三次元形状計測装置も構築できる。
次に、本発明の実施形態について説明する。
4.キャリブレーション作業<計測準備段階>
本実験では平板を用い、カメラに対して角度α(ここではα=30°と設定している)をつけて設置することで曲面を見立てて計測する。カメラの撮影している一面素のみに着目したとき、基準面の移動に伴って変化する格子投影による位相値θ、二次元格子上の位相値φx,φyとx,y,z座標の対応関係を求める。二次元格子の縦方向と横方向のピッチをそれぞれpxとpyとする。
まず、本実験に用いる基準面として、縦400mm、横550mmの平板を用いる。この平板に図14のようにA4サイズの二次元格子シートを貼り付ける(格子ピッチx方向10mm,y方向10mm)。
この平板を固定させ、移動ステージ上の投影装置をz方向(基準面に近づける方向)に移動させることで本手法によるキャリブレーションを行う。その実験の様子を図15に示す。
(1)初期位置において格子投影し、その位置における位相値θを求め、次に、二次元格子の最も右上に位置する格子位置を原点として、サンプリングモアレ法により二次元格子上の位相値φx,φyを求める。基準面の初期位置での座標は、1.〜3.の原理で説明したように、既知の値として扱うため、本実験では以下の数1式〜数3式より、あらかじめ算出しておく。
この式と二次元格子の位相値φx,φyより求めたx,y,z座標を基準面の初期位置での座標とする。
(2)次に投影装置をΔz(ここでは20mmに設定している)だけ移動させた。
(3)これを格子投影による位相値θが2πを超える範囲までN枚目まで(ここでは0mmから80mmまで20mm間隔で計5回の撮影を行った)繰り返しを行う。
そして得られた基準面の0枚目からN枚目までに基準面ごとにそれぞれ得られた位相値θと移動量Δz,位相値φx,位相値φyの対応関係ができる。本実験では、一画素のみに着目しているためその対応関係を表1に表すことができる。
(4)位相値θに対するΔzと位相値φx,φyのそれぞれの対応を表1から参照したデータをプロットし、グラフとして図16,図17,図18にそれぞれ示す。位相値θと位相値φxの対応関係を示すグラフは、微小変位であるために誤差によりこのような変化を示していると考えられる。なお、図16,図17,図18の横軸は位相値θを表している。
5.対象物上の一点の座標計測<計測段階>
前記4.で一画素のみに着目したキャリブレーションを行い、格子投影による位相値θからΔzと位相値φx,φyの対応を求めることができた。
次に、先ほど撮影しなかった50mmの位置に移動させ、基準面を対象と仮定し、格子を投影する。対象物と見立てて基準面上に投影された位相から、対象物上での着目する一画素の位相値θは1.06となった。その位相値θからΔz,位相値φx,φyをそれぞれ線形補完して求めた値を表2に示す。また、前記4.のキャリブレーションで得た図16から図18のグラフを参照して位相値から得られるΔz,位相値φx,φyを図19,図20,図21に示す。
こうして得たΔzと数3式より初期位置で求めたz座標を加算して数4式より、対象物上のz座標z’を求める。
また、対象物上の位相値θから得た位相値φxからは、ここでは数1式を用いて対象物上のx座標x’を求めることができる。同様にして位相値φyと数2式から対象物上のy座標y’を求めることができる(なお、全画素においてこのキャリブレーションを行う場合、x,y座標は初期位置での位相値φx,φyと対応していることから求まる)。
z’=-10*(-98.941)*sin30°/(2π)+49.52=128.3
x’=10*(-98.941)*cos30°/(2π)=-136.4
y’=10*(-33.95)/(2π)=-54.0
ここで、x座標におけるx’,y座標におけるy’は二次元格子から求められる座標であり、全画素計測の場合位相値マッピングより求める。そのため本実験では、Δzのみ実計測との比較となり、50mmの移動に対しその計測結果は49.52mmとなり、誤差は0.48mmであった。
1 カメラ
2 プロジェクタ
3 基準面

Claims (4)

  1. 表面に二次元格子模様を有する曲面を有する基準面の三次元座標を求める第1ステップと、
    初期位置における基準面の三次元座標を求める第2ステップと、
    注目画素の前記二次元格子模様上の位相値を位相解析方法により読み取る第3ステップと、
    前記第2ステップにより求めた三次元座標と前記第3ステップにより読み取った位相値とから、前記位相値に対して前記三次元座標を要素としてもつ基準面座標テーブルを作成する第4ステップと、
    を含む基準面座標テーブル作成方法。
  2. 表面に二次元格子模様を有する曲面を有する基準面を所定方向に微小量ずつ移動させる第1ステップと、
    前記基準面を前記微小量移動させたときに、注目画素が撮影されている点における投影格子の位相値を求める第2ステップと、
    位相解析方法により前記注目画素の前記基準面上の位相値を求める第3ステップと、
    を備え、前記第1〜前記第3のステップについて、格子投影による位相値が所定の値を超える範囲まで繰り返し行い、前記投影格子による位相値と前記微小量ずつ移動させた移動量との関係を求める第4ステップと、
    前記投影格子の位相値と前記基準面上の位相値との関係を求める第5ステップと、
    を含むキャリブレーション方法。
  3. 計測対象となる物体に格子投影し、位相解析を行う第1ステップと、
    注目画素に関して、前記位相解析によって得られた位相値から、前記請求項2のキャリブレーション方法によりもとめた前記関係に基づいて、移動量を求める第2ステップと、
    前記位相値から、前記基準面上の位相値を求める第3ステップと、
    前記基準面上の位相値から前記請求項1の基準面座標テーブルを用いて注目画素の三次元位置を特定する第4ステップと、
    前記第4ステップで特定した三次元位置に前記移動量を加算し、前記注目画素に写されている前記物体上の三次元位置の座標を求める第5ステップと、
    を備える、座標算出方法。
  4. 前記請求項3の第1〜第5のステップを、全画素について行うことで、物体の形状計測を行う方法。
JP2015160644A 2015-08-17 2015-08-17 曲面を基準面とする三次元形状計測方法 Active JP6666670B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015160644A JP6666670B2 (ja) 2015-08-17 2015-08-17 曲面を基準面とする三次元形状計測方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015160644A JP6666670B2 (ja) 2015-08-17 2015-08-17 曲面を基準面とする三次元形状計測方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017040482A true JP2017040482A (ja) 2017-02-23
JP6666670B2 JP6666670B2 (ja) 2020-03-18

Family

ID=58206212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015160644A Active JP6666670B2 (ja) 2015-08-17 2015-08-17 曲面を基準面とする三次元形状計測方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6666670B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110612428A (zh) * 2017-05-08 2019-12-24 藤垣元治 使用特征量的三维测量方法及其装置
CN112815873A (zh) * 2020-12-16 2021-05-18 南京玻璃纤维研究设计院有限公司 一种复杂曲面体的定位检测装置及检测方法
JP7045116B1 (ja) 2021-07-30 2022-03-31 国立大学法人福井大学 光切断法による位相解析を用いた変位計測方法とその装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008281491A (ja) * 2007-05-11 2008-11-20 Wakayama Univ 多数の基準面を用いた形状計測方法および形状計測装置
JP2013178174A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Motoharu Fujigaki 複数の格子を用いた三次元形状計測装置
US20150138565A1 (en) * 2013-11-18 2015-05-21 Seiko Epson Corporation Calibration method and shape measuring apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008281491A (ja) * 2007-05-11 2008-11-20 Wakayama Univ 多数の基準面を用いた形状計測方法および形状計測装置
JP2013178174A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Motoharu Fujigaki 複数の格子を用いた三次元形状計測装置
US20150138565A1 (en) * 2013-11-18 2015-05-21 Seiko Epson Corporation Calibration method and shape measuring apparatus
JP2015099050A (ja) * 2013-11-18 2015-05-28 セイコーエプソン株式会社 キャリブレーション方法、及び形状測定装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110612428A (zh) * 2017-05-08 2019-12-24 藤垣元治 使用特征量的三维测量方法及其装置
CN110612428B (zh) * 2017-05-08 2021-07-16 藤垣元治 使用特征量的三维测量方法及其装置
US11257232B2 (en) 2017-05-08 2022-02-22 University Of Fukui Three-dimensional measurement method using feature amounts and device using the method
CN112815873A (zh) * 2020-12-16 2021-05-18 南京玻璃纤维研究设计院有限公司 一种复杂曲面体的定位检测装置及检测方法
JP7045116B1 (ja) 2021-07-30 2022-03-31 国立大学法人福井大学 光切断法による位相解析を用いた変位計測方法とその装置
JP2023019970A (ja) * 2021-07-30 2023-02-09 国立大学法人福井大学 光切断法による位相解析を用いた変位計測方法とその装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6666670B2 (ja) 2020-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6151406B2 (ja) 基板検査方法
TWI573984B (zh) 圖像匹配系統及方法
JP2012058076A (ja) 3次元計測装置及び3次元計測方法
WO2018163530A1 (ja) 3次元形状計測装置、3次元形状計測方法、及びプログラム
JP5582267B1 (ja) 連続走査型計測装置
JP5818341B2 (ja) 形状計測装置および形状計測方法
US9441959B2 (en) Calibration method and shape measuring apparatus
JP2011064482A (ja) 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法
EP3441715A1 (en) Measurement method, measurement device, measurement program, and computer-readable recording medium having measurement program recorded thereon
CN105579809B (zh) 测量方法、测量装置以及计算机可读记录介质
JP2009036589A (ja) 校正用ターゲット、校正支援装置、校正支援方法、および校正支援プログラム
JP4058421B2 (ja) 振動計測装置及びその計測方法
JP6666670B2 (ja) 曲面を基準面とする三次元形状計測方法
JP6035031B2 (ja) 複数の格子を用いた三次元形状計測装置
JP2014153287A (ja) 形状計測装置および形状計測方法
JP5466325B1 (ja) 物体に取り付けた格子の画像から物体の物理量を測定する方法
JP5956296B2 (ja) 形状計測装置及び形状計測方法
JP6533914B2 (ja) 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体
JPH1096606A (ja) 形状計測方法及び装置
JP3217243U (ja) 非接触式表面輪郭走査装置
KR101436403B1 (ko) 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법 및 이를 이용한 측정 장치
JP5667891B2 (ja) 形状計測方法
JP6486010B2 (ja) 形状計測装置および形状計測方法
RU2583852C2 (ru) Графо-проекционный муаровый способ измерения
JP2012177611A (ja) 三次元形状計測装置、および三次元形状計測方法

Legal Events

Date Code Title Description
A80 Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80

Effective date: 20150915

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180426

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190212

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190305

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190426

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190917

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200221

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6666670

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250