JP7045116B1 - 光切断法による位相解析を用いた変位計測方法とその装置 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、計測対象物が持つパターンの移動をカメラで撮影し、画像内のパターンの移動から計測対象物の変位を計測するディジタル画像相関法と呼ばれる方法が開示されている。
特許文献2には、計測対象物にマーカーを取り付け、前記マーカーを撮影した画像内のマーカーの移動量から、計測対象物の変位を計測する方法が開示されている。
特許文献3には、マーカーとして2次元格子パターンを用い、前記2次元格子パターンの位相解析を行うことにより、計測対象物の変位を高精度に求めるサンプリングモアレ法と呼ばれる方法が開示されている。
さらに、レーザー変位計や三次元計測としてよく使われる計測方法として、特許文献4に示されるように光切断法がある。前記光切断法は、図1に示すように、計測対象物にレーザースリット光を投影し、投影方向と異なる方向から撮影することで、図2に示すように前記計測対象物の変位量に応じて撮影された画像内でのスリット光の位置が変化する変化量を計測する。この計測方法を用いることにより、図3に示すように大型構造物においても変位量を計測することができる。また、前記光切断法は、変位量をレーザーラインの方向に沿った分布として計測することで、構造物の変形を計測することができる。
また、特許文献4に開示される方法は、撮像された画像内のレーザーライン像の位置の変化を読み取る際の精度が高くない。これは、レーザーライン像の位置を求めるために、輝度の重心の位置を求めることがおこなわれているためである。
そこで、本発明の目的は、構造物に対して光切断法を高精度に実施可能とする方法及び装置を提供することである。
本発明の一態様は、スリット光を計測対象物の表面に投射し、前記計測対象物面で反射した前記スリット光を回折現象が発生する光学素子により回折させ、前記光学素子により生成された複数本の平行な線状の回折光を撮像し、撮像された前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する方法である。前記光学素子による回折効率に応じて前記複数本の平行な線状の回折光の輝度を補正してもよい。撮像された前記複数本の平行な線状の回折光の方向にフィルタリング処理を行ってもよい。前記計測対象物の表面に投射する前記スリット光を生成するタイミングを、前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を前記光学素子により回折させて生成した前記複数本の平行な線状の回折光を撮像するカメラの露光タイミングと同期させてもよい。前記計測対象物の位置をセンシングするセンサーの信号を用いて撮像するタイミングを決めてもよい。
本発明は、鉄橋,道路橋,高速道路の高架などのインフラ構造物や工場設備などの構造物に対して、光切断法による変位計測を高精度にするために、光切断光に対して位相解析を行い、構造物の変形の前後の位相差から構造物の変位を求める。
位相解析を行うために、光切断光として撮影されるレーザー光のライン画像として、複数本の平行なライン光画像を用いる。その方法として、図4に示すように、(1)複数の光源を平行に並べてライン光を投影する、(2)回折現象が発生する光学素子として回折格子を用いて平行ライン光を形成し投影する、(3)1ラインのスリット光を投影し、撮影時に回折現象が発生する光学素子を用いて複数ライン光として撮影する、がある。
その理由は、(2)の方法は回折現象が発生する光学素子によって投影されるスリット光の輝度が弱められ、その弱まったスリット光をカメラで撮影する。その際に、計測対象物の背景部分の輝度は回折現象が発生する光学素子によって弱められることなくカメラで撮影される。これに対して(3)の方法は、計測対象物の表面に投影されるスリット光は輝度が弱められていないが、撮影時には回折現象が発生する光学素子によって輝度が弱められるため、(2)の場合と同じ輝度として撮影される。このとき、背景部分については回折現象が発生する光学素子を通り弱められたものとして撮影されるため、(2)の方法の場合よりも暗い像として撮影される。すなわち、ライン光の部分の輝度は(2)の方法と(3)の方法では同一であるが、背景部分の輝度は(3)の方法の方が(2)の方法よりも暗くなる。その結果、(2)の方法よりも(3)の方法が、コントラストの良いライン画像として撮影されることになる。コントラストのよい画像が得られることで、位相解析を行う際にはノイズが少なく精度のよい位相値を求めることが可能となる。なお、本明細書におけるコントラストとは、背景部分とライン光の部分の輝度の比率を意味している。
なお、回折現象が発生する光学素子として、光が特定の方向に強く回折する特性を持つストライプ状の回折格子、ロンキールーリング、そのように設計された回折光学素子がある。
<1>変形前の位相分布
撮影画像から位相解析を行う具体的な方法を説明する。図6に計測対象物が変形する前に撮影した複数本の平行な線状の回折光の画像を模式的に示す。計測対象物の表面に投影されたスリット光は回折格子により回折され複数本の平行な線状の回折光として撮影画像ではi方向の線として撮影されているとする。中央の太い線が0次の回折光によって撮影された回折光であり、その上下に±1次の回折によって得られた回折光、さらにその上下に±2次の回折によって得られた回折光が撮影されている様子が示されている。図6では輝度の高い部分を黒線で表している。
次に、計測対象物が変形した時に撮影された画像を図9に示す。この図9の場合は、i方向の中央付近に大きな変位が現れている場合の画像を模式的に示している。図10には図9に破線で示されているj方向の断面を示す。この断面の輝度分布に対して位相解析を行い、位相値を求める。この時、基準点には、上述の変形前に撮影した画像から求めた基準点j0(i)を用い、その基準点j0(i)を中心として2n-1画素の領域を位相解析領域とする。この位相解析領域の輝度に対して、重み付け位相解析法などの位相解析を行うことで、位相値θtを求める。
数2式における係数a(i)を求める手法を2通り示す。まず1番目の方法は、カメラとレーザー光源と計測対象物の位置関係と、回折現象が発生する光学素子のピッチと投影するスリット光の波長を用いて算出する方法である。図14にカメラとレーザー光源と計測対象物の位置関係を示す。計測対象物表面の法線方向からカメラ方向とレーザー光源方向の角度をそれぞれαとβとする。カメラと計測対象物上の注目点(レーザースリット光が投影されている点)までの距離をLとする。レーザー光源の波長をλとし、カメラの前方に取り付けられている回折現象が発生する光学素子を回折格子とみなした場合の格子定数をDとする。
回折現象が発生する光学素子による回折角をγとすると、sinγは数3式のようになる。本発明においては、γが十分小さい場合を考えればよいので、sinγはほぼγと等しいとして、数4式のようにγを表す。
しかし、計測対象が大型の構造物のような場合には、計測対象物を既知の量だけ変位させることは困難である。その場合は、図15に示すように、移動ステージ等によって、カメラとレーザー光源をd0だけ計測対象物方向(-z方向)に平行移動させることで、相対的に計測対象物を移動させることと同じことになる。
一般に回折によって得られる高次の回折光は0次光よりも暗くなる。その減衰の割合は、使用する回折現象が発生する光学素子によって決まっている。このため、あらかじめ調べておき、それを補正するための重み関数を作っておくことができる。図16にj方向の断面の輝度分布I(j)を示す。まず最大となる点jmaxを見つけ、各jにおける輝度I(j)に数11式に示すように重みw(j-jmax)をかけて輝度I’(j)を求める。
橋梁などの大型のインフラ構造物の場合は、変位が急変する部分はほとんどなく、図13に模式的に示したように、徐々に変化するようなものがほとんどである。そのような場合には、i方向に平滑化を行うことで空間分解能が低下しても差し障りはない。本発明においては、撮影した画像に対して、i方向に平滑化を行うことや、位相分布や位相差分布、変位分布に対して平滑化などのフィルタリング処理を行うことで、ノイズ成分を低減させて計測精度を向上させることもできる。
上述のとおり、
(1)位相解析を適用することにより、背景光の影響を少なくして精度よく位置を求めることができる。
(2)等間隔の複数のスリット光を投影した場合と比較して、光源側の構成を簡単にすることができる。
(3)カメラの前に回折現象が発生する光学素子を設置することで、背景光の輝度を下げることができ、それによりコントラストのよい複数本の平行な線状の回折光の画像を撮影することができ、精度向上になる。
(4)回折現象が発生する光学素子としてロンキールーリング(格子模様が付けられたテストチャート用のガラス)を用いることで、安価にすることができる。
(1)実験方法
図17に計測実験の模式図を示す。金属平板を被計測物としてレーザーの正面5mの位置に設置したステージの上に固定する。レーザーラインは被計測物に投射される。回折現象が発生する光学素子としてロンキールーリングを用い、それをカメラのレンズの前に設置する。レーザーとカメラの距離を1mとする。レーザーは波長532nmの緑色のものを使用する。カメラは画素ピッチが6.9μmの産業用カメラを使用した。使用したレンズの焦点距離は12mmで、ロンキールーリングを回折格子とみなした場合の格子定数は0.254mmである。撮像する前に手動でピントを合わせた。実験は手動で被計測物を載せたステージを光源に近づく方向に5mmずつ25mmまで移動し、各位置においてカメラで画像を撮影する。撮影された画像に対して、サンプリングモアレ法によって位相を算出し、0mmの位置における位相との差から変位を算出する。また、同じ画像に対して、輝度の重心を求める手法を使って重心の移動量として変位を算出する。表1に実験条件をまとめる。
図18に0mmと25mmの位置における撮影画像を示す。図18に示されるように、このように中央位置に明るい3本のラインが撮影されており、25mmの場合は、少し下向きに移動していることがわかる。図19にサンプリングモアレ法と重心の移動量を求める方法それぞれの計測結果を示す。これより、サンプリングモアレ法の方が与えた移動量に近い値が算出され、さらにばらつきも小さいものとなっていることがわかる。
(1)カメラの構造
カメラの構造を図20に示す。結像レンズの前面に回折現象が発生する光学素子として回折格子を配置する。この際、回折現象が発生する光学素子のスリットの向きと投影するスリット光の向きを同一に調整することで、前述の回折現象によって、撮像素子には複数本の平行な線状の回折光が撮影される。
また、図21に示すように、回折現象が発生する光学素子として回折格子を結像レンズと撮像素子の間に配置することも可能である。この場合も、図20の構成と同様に、回折現象が発生する光学素子の向きを回折現象が発生する向きが投影するスリット光の向きと垂直になるように調整することで、前述の回折現象によって、撮像素子には複数本の平行な線状の回折光が撮影される。この構成にすることによって、結像レンズを容易に交換できるようになる。
図25は、カメラとレーザー光源と解析装置を備えた計測装置の基本的な構成を示す。
レーザー光源からスリット光が計測対象物に向けて投影されており、対象物表面に投影されたスリット光の回折光の像を撮影するように回折現象が発生する光学素子が取り付けられたカメラを設置する。カメラで撮影された画像は、解析装置に送信される。解析装置においては、位相解析を行うことで計測対象物の変位量を分布として求める。この構成において、解析装置は画像を記録する画像記録装置として、記録された画像に対して別の解析装置によって変位を求めることもできる。また、カメラと解析装置が一体化していることや、解析装置に無線により画像を伝送する形態も可能である。さらにレーザー光源の代わりに、スリット状の光を投影することができるさまざまな光源にすることも可能である。
Claims (12)
- スリット光を計測対象物の表面に投射し、
前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を回折現象が発生する光学素子により回折させ、複数本の平行な線状の回折光を生成し、
前記光学素子により生成された前記複数本の平行な線状の回折光を撮像し、
撮像された前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する、
方法。 - 前記光学素子による回折効率に応じて前記複数本の平行な線状の回折光の輝度を補正する、請求項1に記載の方法。
- 撮像された前記複数本の平行な線状の回折光の方向にフィルタリング処理を行う、請求項1または2に記載の方法。
- 前記計測対象物の表面に投射する前記スリット光を生成するタイミングを、前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を前記光学素子により回折させて生成した前記複数本の平行な線状の回折光を撮像するカメラの露光タイミングと同期させる、
請求項1~3の何れか一つに記載の方法。 - 前記計測対象物の位置をセンシングするセンサーの信号を用いて撮像するタイミングを決める請求項1~4の何れか一つに記載の方法。
- 前記計測対象物の変位または変形の前後において、請求項1~5の何れか一つに記載の方法により前記複数本の平行な線状の回折光の位相解析を行い、前記位相解析の結果に基づいて前記計測対象物の変位または変形を計測する、計測方法。
- 計測対象物の表面にスリット光を投射する光源と、前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を回折現象が発生する光学素子により回折させ、前記光学素子により生成された複数本の平行な線状の回折光を撮像するカメラと、を同じ方向に同じ距離だけ平行移動させ、前記平行移動の前後の前記複数本の平行な線状の回折光の位相差分布と前記距離との関係を求めることを含む、キャリブレーションを行う方法。
- スリット光を計測対象物の表面に投射する光源と、
前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を回折させ複数本の平行な線状の回折光を生成する回折現象が発生する光学素子と、
前記光学素子により生成された複数本の平行な線状の回折光を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する解析手段と、を備えた、
前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する装置。 - 前記光学素子は透過型光学素子であって、
前記透過型光学素子を、前記カメラの結像レンズの前方に配置、または、前記カメラの結像レンズの後方であって前記カメラの撮像素子の前方に配置、または、方向ごとに焦点距離が異なる光学素子の前方または後方であって前記カメラの結像レンズの前方に配置した、
請求項8に記載の前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する装置。 - 前記回折現象が発生する光学素子は、反射型光学素子であって、前記反射型光学素子が、平面型または曲面型である請求項8に記載の前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する装置。
- スリット光を計測対象物の表面に投射する光源と、
前記計測対象物の表面で反射した前記スリット光を回折させ複数本の平行な線状の回折光を生成する回折現象が発生する光学素子と、
前記光学素子により生成された前記複数本の平行な線状の回折光を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された前記複数本の平行な線状の回折光を位相解析する解析手段と、
前記計測対象物の変形または変位の前後で前記解析手段による位相解析を行って求められる位相差に基づいて、前記計測対象物の変位または変形を算出する算出手段と、
を備えた計測装置。 - 前記計測対象物の位置をセンシングするセンサーを備え、計測対象物の位置に同期して撮像する機能を持つことを特徴とする請求項11に記載の計測装置。
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