JP2017034231A - 発光素子及びそれを用いた発光装置 - Google Patents

発光素子及びそれを用いた発光装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2017034231A
JP2017034231A JP2016100165A JP2016100165A JP2017034231A JP 2017034231 A JP2017034231 A JP 2017034231A JP 2016100165 A JP2016100165 A JP 2016100165A JP 2016100165 A JP2016100165 A JP 2016100165A JP 2017034231 A JP2017034231 A JP 2017034231A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor layer
electrode
side semiconductor
light emitting
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016100165A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6696298B2 (ja
Inventor
功一 尺長
Koichi Takenaga
功一 尺長
恵滋 榎村
Keiji Enomura
恵滋 榎村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Nichia Chemical Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichia Chemical Industries Ltd filed Critical Nichia Chemical Industries Ltd
Priority to TW105117259A priority Critical patent/TWI690091B/zh
Priority to BR102016015672-6A priority patent/BR102016015672B1/pt
Priority to CN201610528408.5A priority patent/CN106410003B/zh
Priority to KR1020160086362A priority patent/KR102528843B1/ko
Priority to US15/204,395 priority patent/US9786812B2/en
Priority to EP16178547.2A priority patent/EP3125311B1/en
Publication of JP2017034231A publication Critical patent/JP2017034231A/ja
Priority to US15/695,362 priority patent/US10361340B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6696298B2 publication Critical patent/JP6696298B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/0004Devices characterised by their operation
    • H01L33/0008Devices characterised by their operation having p-n or hi-lo junctions
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • H01L33/382Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape the electrode extending partially in or entirely through the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • H01L33/387Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape with a plurality of electrode regions in direct contact with the semiconductor body and being electrically interconnected by another electrode layer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/54Encapsulations having a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204Optical Diode
    • H01L2924/12041LED

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

【課題】輝度分布の偏りなくして均一な発光を得ることができる発光素子及びそれを用いた発光装置を提供することを目的とする。【解決手段】平面形状が六角形の発光素子であって、n側半導体層2nと、n側半導体層2n上に設けられたp側半導体層3pと、平面視においてp側半導体層3pの互いに対角の位置にある3つの角部R2、R4、R6を除く領域に設けられ、n側半導体層2nを露出させる複数の孔6と、p側半導体層3pに接して設けられた第1p電極4pと、第1p電極4p上の3つの角部R1、R3、R5にそれぞれ設けられた第2p電極5nと、第1p電極4p上に設けられ、複数の孔6を通じてn側半導体層2nと電気的に接続されたn電極7nとを備える発光素子。【選択図】図1A

Description

本発明は、発光素子及びそれを用いた発光装置に関する。
従来から、光取り出し効率が良好で、均一な発光を得るための発光素子について、種々の研究がなされている(例えば、特許文献1〜3等参照)。
特開2010−251481号公報 特開2006−203058号公報 特開2008−524831号公報
本発明の実施形態は、発光素子の角部及びその周辺部における発光を最小限にとどめ、上面からの光取り出しをより一層向上させることができる発光素子及びそれを用いた発光装置を提供することを目的とする。
本発明の実施形態に係る発光素子は、
(1)平面形状が六角形の発光素子であって、
n側半導体層と、
前記n側半導体層上に設けられたp側半導体層と、
平面視において前記p側半導体層の互いに対角の位置にある3つの角部を除く領域に設けられ、前記n側半導体層を露出させる複数の孔と、
前記p側半導体層に接して設けられた第1p電極と、
前記第1p電極上の前記3つの角部にそれぞれ設けられた第2p電極と、
前記第1p電極上に設けられ、前記複数の孔を通じて前記n側半導体層と電気的に接続されたn電極と、を備えることを特徴とする。
(2)平面形状が六角形の発光素子であって、
n側半導体層と、
前記n側半導体層上に設けられたp側半導体層と、
平面視において前記p側半導体層の互いに向かい合い、最も遠い位置にある2つの角部を除く領域に設けられ、前記n側半導体層を露出させる複数の孔と、
前記p側半導体層に接して設けられた第1p電極と、
前記第1p電極上の前記3つの角部にそれぞれ設けられた第2p電極と、
前記第1p電極上に設けられ、前記複数の孔を通じて前記n側半導体層と電気的に接続されたn電極と、を備えることを特徴とする。
本発明の実施形態に係る発光装置は、
(3)上記発光素子と、
前記発光素子が設けられる基体と、
前記発光素子を覆う半球状の透光性部材と、を備える。
本発明の実施形態によれば、発光素子の角部及びその周辺部における発光を最小限にとどめ、上面からの光取り出しをより一層向上させることができる発光素子及びそれを用いた発光装置を実現することができる。
本発明の一実施形態に係る発光素子の構成を模式的に示す概略平面図である。 図1Aにおける発光素子の要部を拡大した平面図である。 図1AにおけるA−A'線断面図である。 図1AにおけるB−B'線断面図である。 図1Aの発光素子を含む本発明の一実施形態に係る発光装置の部分構成を模式的に示す概略平面図である。 図1EにおけるA−A'線断面図である。 本発明の別の実施形態に係る発光素子の構成を模式的に示す概略平面図である。 本発明のさらに別の実施形態に係る発光素子の構成を模式的に示す概略平面図である。 本発明のさらに別の実施形態に係る発光素子の構成を模式的に示す概略平面図である。 図4Aにおける発光素子の要部を拡大した平面図である。 図4AにおけるA−A'線断面図である。 本発明の実施形態に係る発光素子の電流密度分布のシミュレーション結果を示す図である。 A及びBは、参考のための発光素子の電流密度分布のシミュレーション結果を示す図である。 A〜Fは、本発明の実施形態に係る発光素子における第2p電極の位置を説明するための概略平面図である。 本発明の一実施形態に係る発光素子を用いた発光装置の構成を模式的に示す平面図である。 図8AにおけるA−A'線断面図である。 本発明の一実施形態に係る発光素子を用いた別の発光装置の構成を模式的に示す平面図である。 図9AにおけるA−A'線断面図である。 本発明の一実施形態に係る図9Aの発光装置を用いた光源ユニットの構成を模式的に示す平面図である。 図10AにおけるA−A'線断面図である。 本発明の一実施形態に係る図9Aの発光装置を用いた別の光源ユニットの構成を模式的に示す平面図である。 図11AにおけるA−A'線断面図である。
以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及びそれらの用語を含む別の用語)を用いる。それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。複数の図面に表れる同一符号は同一の部分又は部材を示す。発明を理解しやすくするために、複数の実施形態について説明するが、これらの実施形態はそれぞれ独立するものではなく、共有できるところは他の実施形態の説明を適用する。
実施形態1:発光素子
本実施形態の発光素子10は、図1Aに示すように、平面形状が六角形である。発光素子10は、図1A及び1Bに示すように、n側半導体層2nと、n側半導体層2n上に設けられたp側半導体層3pと、p側半導体層3pにおいて特定の位置に設けられた複数の孔6と、p側半導体層3pに接して設けられた第1p電極4pと、第1p電極4p上であって複数の孔6が配置されていない角部R1、R3及びR5にそれぞれ設けられた第2p電極5pと、複数の孔6を介してn側半導体層2nと電気的に接続されたn電極7nと、を備える。複数の孔6は、平面視においてp側半導体層の互いに対角の位置にある3つの角部、例えば、図1AにおけるR1、R3及びR5を除く領域(言い換えると、図1Aにおけるに角部R2、R4、R6、各辺に隣接する領域及びそれらよりも内側の領域)に設けられている。
発光素子10は、外部と接続される第2p電極5pが、p側半導体層3pにおける互いに対角の位置にある3つの角部の領域上に配置される。一方、その第2p電極が配置された3つの角部R1、R3及びR5を除く領域に複数の孔6が設けられると共に、複数の孔6を介してn電極7nがn側半導体層2nと電気的に接続される。これにより、半導体層に供給される電流のうち、第2p電極5pが配置された角部R1、R3、R5に供給される電流が抑止される一方で、それら角部以外の領域、つまり複数の孔6が配置されたp側半導体層の辺に隣接する領域、及び角部R1、R3、R5よりも内側の領域に供給される電流を増加させることができる。この結果、発光素子10の角部R1、R3、R5及びその周辺の領域における発光を最小限にとどめ、それ以外の発光素子10の上面(特に、角部R1、R3、R5に囲まれた内側の領域)からの光取り出しをより一層向上させることができる。
このような発光素子10の平面形状は、正六角形であることが好ましいが、6つの角部の角度が、120度±5度程度変動することも許容される。六角形を構成する各辺は、通常直線であるが、半導体層の加工精度等によって多少湾曲又は屈曲していてもよい。従って、発光素子の平面形状は、これらを考慮して、正六角形及びそれに近似する形状をも包む。
このような平面形状が六角形の発光素子は、例えば、一辺が300〜2000μm程度の長さが挙げられる。言い換えると、最も遠い位置にある角部を結ぶ対角線が600〜4000μm程度の長さが挙げられる。さらに言い換えると、発光素子の平面積は、0.2〜10mm2程度が挙げられる。
(半導体層)
半導体層は、少なくともn側半導体層2nとp側半導体層3pとを含む。また、これらの間に活性層を含むものが好ましい。n側半導体層2n及び/又はp側半導体層3pは、発光素子の平面形状を六角形とするために、それらの外周の平面形状が六角形であることが好ましい。ただし、n側半導体層2n及び/又はp側半導体層3pは、外周の一部及び/又は内側において、膜厚方向の一部又は全部において除去された部分が存在してもよい。なお、発光領域(本実施形態では活性層がこれに相当する)を基準にして、n電極が接続される側の半導体がn側半導体層2nであり、p電極が接続される側の半導体がp側半導体層3pである。
これらn側半導体層、活性層及びp側半導体層としては、例えば、InXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y<1)で表される窒化物半導体を用いることができる。半導体層を構成する各層の膜厚及び層構造は、当該分野で公知のものを利用することができる。
半導体層は、半導体成長用の基板上に形成されている。半導体層に窒化物半導体を用いる場合は、サファイア(Al23)からなる基板を用いることができる。
(孔)
複数の孔6は、平面視において、p側半導体層の互いに対角の位置にある3つの角部を除く領域に設けられ、n側半導体層を露出させる。
ここで、互いに対角の位置にある角部とは、互いに隣接せずに、向かい合う位置にあることを意味する。なお、互いに対角の位置にある3つの角部とは、平面形状が六角形であるp側半導体層の場合には、一つおきの3つの角部を指す。
孔6は、この互いに対角の位置にある3つの角部を除く領域に設けられていれば、p側半導体層のいずれの領域に形成されていてもよい。言い換えると、一つおきの3つの角部にさえ形成されていなければ、一つおきの3つの角部を含む4つの角部に形成されていなくてもよいし、一つおきの3つの角部を含む5つの角部に形成されていなくてもよいし、全ての角部に形成されていてなくてもよい。これらのいずれの場合も、角部以外のp側半導体層の領域、特に、少なくとも3つの角部に囲まれる内側の領域に孔が設けられていることが好ましく、発光素子の上面から取り出される光を増やすことができる。
例えば、図7Aに示される発光素子Aにおいて、孔6は、一つおきの3つの角部であるR2、R4及びR6で示される3つの角部に形成されており、互いに対角の位置にあるR1、R3及びR5で示される3つの角部に形成されていない。図7Bに示される発光素子Bにおいて、孔6は、互いに対角の位置にあるR1、R3及びR5で示される3つの角部に加えて、R2で示される角部にも形成されておらず、R4とR6で示される2つの角部には形成されている。図7Cに示される発光素子Cにおいて、孔6は、互いに対角の位置にあるR1、R3、R4及びR6で示される角部には形成されておらず、R2とR5で示される2つの角部には形成されている。図7Dに示される発光素子Dにおいて、孔6は、R6で示される1つの角部には形成されているが、互いに対角の位置にあるR1、R3及びR5で示される3つの角部に加え、R2及びR4で示される2つの角部には形成されていない。ただし、ここでは、孔6が形成されている角部は、R1からR6のいずれでもよい。また、図7Eに示される発光素子Eにおいて、孔6は、互いに対角の位置にあるR1、R3及びR5で示される3つの角部を含むいずれの角部にも形成されていない。
本願明細書において、角部とは、上述したように、平面視において、発光素子及び/又はn側半導体層及び/又はp側半導体層の外縁を構成する2つの線が、120度±5度で交わり、その2つの線を2辺として形成される扇形の領域(図1B中、7ni参照)を指す。ただし、その扇形の領域を含む限り、若干内側に向かって延長する部位が含まれた領域(図2中、27n及び図4B中、47ni参照)でもよい。その2つの線は、六角形を形成する辺の1/3程度以下の長さとすることが好ましく、1/4程度以下の長さとすることがより好ましい。
上述したように、孔6は、n側半導体層を露出する孔である。孔によって露出される複数のn側半導体層は、後述するn電極によって一体的にn側半導体層と電気的に接続するために利用することができる。
孔の数、大きさ、形状、位置は、意図する発光素子の大きさ、形状、接続状態等によって適宜設定することができる。
孔は、全てが同じ大きさ、同じ形状で配列されているものがより好ましい。これにより、電流の供給量の均一化を実現することができる。その結果、発光素子の全体として、発光強度を均一化し、輝度ムラを抑制することができる。
孔の形状は、平面視において円又は楕円、三角形、矩形、六角形等の多角形等が挙げられ、なかでも、円形又は楕円形が好ましい。孔の大きさは、半導体層の大きさ、求められる発光素子の出力、輝度等によって適宜調整することができる。孔は、例えば、直径(一辺)が数十〜数百μm程度の長さが好ましい。別の観点から、直径が、半導体層の一辺の1/20〜1/5程度の長さであることが好ましい。さらに別の観点から、例えば、孔に占められる総平面積によって適宜調整することができる。具体的には、総平面積が、上述した発光素子の平面積に対して、1/100〜1/20程度が挙げられる。言い換えると、2000μm2〜0.5mm2程度が挙げられる。孔の数は、例えば、2〜100個程度が挙げられ、4〜80個程度が好ましい。
孔は、例えば図1Aで示すように、平面視でp側半導体層の辺に沿って複数並べて配置していることが好ましい。この場合、隣接する孔同士を等間隔で配置していることがより好ましい。ただし、一部の孔間で、その間隔が異なっていてもよい。ここで、等間隔とは、孔同士がいずれも同じ間隔で配置されているのみならず、それらの間隔は±5%程度の範囲内でのずれが許容されることを意味する。孔間の最短距離(以下、孔の中心間距離)は、例えば、孔の大きさ(例えば、直径)の2〜8倍程度が挙げられ、4〜6倍程度の距離が好ましい。具体的には、直径50μm程度の孔をp側半導体層が有する場合、最短距離は、100〜400μm程度が挙げられ、200〜300μm程度が好ましい。
このような孔の配置により、n側半導体層に注入される電流を制御し、発光効率の改善を図ることができる。
(第1p電極、第2p電極及びn電極)
発光素子は、少なくとも第1p電極4と、第2p電極5と、n電極7とを含む。
これらの電極は、例えば、Ag,Au,Pt,Pd,Rh,Ni,W,Mo,Cr,Ti,Al及びCu等の金属又はこれらの合金によって形成しても良いし、さらに例えば、Zn,In,Sn,Ga及びMgからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含む透光性導電膜等の単層膜又は積層膜によって形成しても良い。透光性導電膜としては、例えば、ITO,ZnO,IZO,GZO,In23及びSnO2等が挙げられる。
第1p電極4は、p側半導体層上において、p側半導体層に接して設けられている。第1p電極はオーミック電極層であるが、例えば光反射電極層として機能させることもできる。そのために、第1p電極は、p側半導体層との接触面積が大きいほど好ましく、例えば、半導体層の平面積の50%以上、60%以上、70%以上に形成されていることがより好ましく、上述した角部を含む略全面に形成されていることがさらに好ましい。
光反射電極層としては、Ag又はAg合金などを有する層(Ag含有層)によって形成することができる。Ag又はAg合金による層は、半導体層に接触して又は半導体層に最も近い位置に配置されていることが好ましい。Ag合金としては、当該分野で公知の材料のいずれを用いてもよい。光反射電極層の厚みは、特に限定されるものではなく、半導体層から出射される光を効果的に反射することができる厚み、例えば、20nm〜1μm程度が挙げられる。Agのマイグレーションを防止するために、その上面(好ましくは、上面及び側面)を被覆するさらなる導電層又は絶縁層が配置されていることが好ましい。
このようなさらなる導電層は、上述した電極材料として挙げられた金属又はこれらの合金からなる単層膜や積層膜によって形成することができる。例えば、Al,Cu又はNi等の金属を少なくとも含有する単層膜や、Ni/Ti/Ru又はNi/Ti/Pt等の積層膜が挙げられる。なお、導電層の厚みは、効果的にAgのマイグレーションを防止するために、数百nm〜数μm程度が挙げられる。
また、さらなる絶縁層は、例えば、光反射電極層の上面で部分的に開口し、かつ光反射電極層の側面を被覆するように、SiN又はSiO2等の絶縁層を形成することによって、Agのマイグレーションを防止することができる。なお、絶縁層は、単層膜又は積層膜のいずれであってもよい。
オーミック電極層としては、上述した透光性導電膜からなる単層膜又は積層膜が挙げられる。
第2p電極は、第1p電極上であって、平面視における角部に配置されている。ただし、第2p電極は、孔が配置されている領域には配置されていない。第2p電極は、上述したように、孔が配置されていない、互いに対角の位置にある3つの角部に配置される。ただし、第2p電極は、これら互いに対角の位置にある3つの角部に配置される限り、さらに、孔が配置されていない角部に配置されていてもよい。
つまり、第2p電極は、発光素子の6つの角部のうち、3つ以上の角部に配置されることが好ましい。第2p電極が3つの角部に配置される場合は、図7Aに示すように、互いに隣接しない3つの角部、言い換えると、互いに対角の位置にある3つの角部に配置されることが好ましい。第2p電極が4つの角部に配置される場合には、図7Bに示すように、互いに対角の位置にある3つの角部に加えて、任意の1つの角部に配置されることが好ましい。第2p電極が5つ又は6つの角部に配置される場合には、図7D及び図7Eに示すように、どの角部に配置してもよく、第2p電極が配置されない2つの角部が互いに隣接しないように配置されることが好ましい(図7B及び7C参照)。なかでも、第2p電極は、電流密度分布の均一性に優れた、互いに隣接しない3つの角部又は6つの角部に配置されることがより好ましく、特に6つの角部に配置された場合、角部に囲まれた内側の領域からの光取り出しをより一層向上させることができるので好ましい。
第2p電極は、例えば、平面視において、角部、つまり、120度±5度で2つの線が交差し、その2つの線を2辺として形成される扇形、それに近似する形状又はこれらの形状を含む形状(以下「扇形等」と記載することがある)を有することが好ましい。2つの線は、六角形を形成する辺の40%以下の長さとすることが挙げられ、35%程度以下、30%程度以下、25%程度以下、20%程度以下、15%程度以下が好ましい。言い換えると、30〜300μm程度の一辺又は100〜300μm程度の一辺を有する扇形等の形状が挙げられる。
n電極は、第1p電極上に設けられている。n電極は、第2p電極上に設けられておらず、平面視において第2p電極と離間して配置されている。また、n電極は、上述した複数の孔を通じてn側半導体層と電気的に接続されている。n電極は、複数に分割されていてもよいが、実装する際の接続領域を広げて電流を均一に供給できるように、1つのn電極が、複数の孔を通じてn側半導体層に接続されていることが好ましい。
第2p電極及び/又はn電極は、具体的には、半導体層側からTi/Rh/Au,Ti/Pt/Au,W/Pt/Au,Rh/Pt/Au,Ni/Pt/Au,Al−Cu合金/Ti/Pt/Au,Al−Si−Cu合金/Ti/Pt/Au,Ti/Rh,Ti/Rh/Ti/Pt/Au,Ag/Ni/Ti/Pt,Ti/ASC/Ti/Rt/Au(ここで、ASCとは、Al/Si/Cu合金である)等によって形成することができる。また、これらの積層構造の半導体層側に、上述した透光性導電膜が配置されていてもよい。
n電極は、上述したp側半導体層に設けられた孔の底面であるn側半導体層の露出面の一部から、孔の側面(活性層及びp側半導体層の側面)、p側半導体層上に及ぶ領域に配置された絶縁膜を介して、孔内からp側半導体層上にかけて配置されていることが好ましい。ここでの絶縁膜は、当該分野で公知の材料膜を、単層膜又は積層膜で、電気的な絶縁性を確保し得る厚みで用いることが好ましい。
n電極は、平面視において、一部又は全部が、n側半導体層より若干小さくても、同等でも、若干大きくてもよい。また、n電極は、平面視で第2p電極と離間するように扇形等に対応する開口を有することが好ましい。
また、n電極及び第2p電極と、n側半導体層及びp側半導体層とのそれぞれの間に、誘電体多層膜、例えばDBR(分布ブラッグ反射器)膜が含まれていてもよい。
実施形態2:発光素子
この実施形態2では、発光素子における複数の孔6の位置と、第2p電極の位置とが一部異なる以外は、実質的に実施形態1の発光素子と同様の構成を有する。
(孔)
この発光素子では、複数の孔は、図7Fに示すように、平面視においてp側半導体層の最も遠い位置にある2つの角部、例えば、図7FにおけるR1とR4を除く領域に設けられ、n側半導体層を露出させる。
ここで、最も遠い位置にある2つの角部とは、最長の対角線の両端に配置される角部を意味する。
孔6は、この最も遠い位置にある2つの角部を除く領域に設けられていれば、p側半導体層のいずれの領域に形成されていてもよい。言い換えると、この最も遠い位置にある2つの角部にさえ形成されていなければ、この2つの角部のいずれかに隣接する角部に形成されていなくてもよいし、この最も遠い位置にある2つの角部を含む5つの角部に形成されていなくてもよいし、全ての角部に形成されていてなくてもよい。これらのいずれの場合も、角部以外のp側半導体層の領域、特に、少なくとも2つの角部に挟まれる内側の領域に孔が設けられていることが好ましく、発光素子の上面(特に、2つの角部に挟まれる内側の領域)から取り出される光を増やすことができる。
例えば、図7Fに示される発光素子Fにおいて、孔6は、最も遠い位置にあるR2及びR5で示される2つの角部に形成されておらず、R1、R3、R4及びR6で示される4つの角部には形成されている。また、図7Bに示される発光素子Bにおいて、孔6は、最も遠い位置にあるR2及びR5で示される2つの角部に加えて、R1及びR3で示される角部にも形成されておらず、R4とR6で示される2つの角部には形成されている。また、図7Cに示される発光素子Cにおいて、孔6は、最も遠い位置にあるR3及びR6で示される2つの角部に加えて、R1及びR4で示される角部にも形成されておらず、R2とR5で示される2つの角部には形成されている。また、図7Dに示される発光素子Dにおいて、孔6は、R6で示される1つの角部には形成されているが、最も遠い位置にあるR2及びR5又はR1及びR4で示される4つの角部に加え、R3で示される角部には形成されていない。ただし、ここでは、孔6が形成されている角部は、R1からR6のいずれでもよい。また、図7E示される発光素子Eにおいて、孔6は、最も遠い位置にあるR2及びR5、R1及びR4又はR3及びR6で示される6つの角部を含むいずれの角部にも形成されていない。
(第2p電極)
第2p電極は、第1p電極上であって、角部に配置されている。ただし、第2p電極は、孔が配置されている領域には配置されていない。第2p電極は、上述したように、孔が配置されていない、最も遠い位置にある2つの角部に配置される。ただし、第2p電極は、最も遠い位置にある2つの角部に配置される限り、さらに、孔が配置されていない角部に配置されていてもよい。
つまり、第2p電極は、発光素子の6つの角部のうち、2つ以上の角部に配置されることが好ましい。第2p電極が2つの角部に配置される場合は、図7Fに示すように、最も遠い位置にある2つの角部に配置されることが好ましい。第2p電極が4つの角部に配置される場合には、図7B及び7Cに示すように、最も遠い位置にある2つの角部に加えて、この2つの角部のいずれかに隣接する角部の任意の2つの角部に配置されることが好ましい。つまり、第2p電極が配置されない2つの角部が互いに隣接しないように、第2側電極が配置されることが好ましい。第2p電極が5つ又は6つの角部に配置される場合には、図7D及び図7Eに示すように、どの角部に配置してもよい。なかでも、第2p電極は、6つの角部に配置されることがより好ましい。
以上の構成を有する実施形態2の発光素子は、第2p電極が配置された領域における角部及びその周辺領域における発光を最小限にとどめ、発光素子の上面からの光取り出しをより一層向上させることができる。
実施形態3:発光装置
本発明の一実施形態の発光装置は、図8A及び8Bに示すように、上述した発光素子70と、発光素子70が設けられる基体80と、発光素子を覆う半球状の透光性部材90と、を備える。
また、この発光装置においては、任意に、発光素子等の側面、上面又は下面等(さらに、基体の側面、上面又は下面等)に、光反射性、透光性、遮光性、波長変換性等を有する機能性部材を配置していてもよい。例えば、発光素子の側面及び上面に、蛍光体層を電着、スプレー等によって形成してもよい。また、透光性部材90をさらに覆う光学部材(例えば、レンズ)を配置してもよい。
(基体)
基体は、例えば、金属、セラミック、樹脂、誘電体、パルプ、ガラス、紙又はこれらの複合材料(例えば、複合樹脂)、あるいはこれら材料と導電材料(例えば、金属、カーボン等)との複合材料等からなる基材の表面に、任意に内部及び/又は裏面に、複数の配線パターンを有する。
配線パターンは、発光素子に電流を供給し得るものであればよく、当該分野で通常使用されている材料、厚み、形状等で形成されている。なお、配線パターンは、発光素子の電極(第2p電極及びn電極)と接続される正負一対のパターンを含むものであれば、正負一対のパターンとは独立して配置された別のパターンを有していてもよい。
また、基体への発光素子の実装は、例えば、バンプ、ハンダなどの接合部材によって行うことが好ましい。接合部材は、当該分野で公知の材料のいずれをも用いることができる。
(透光性部材)
透光性部材は、発光素子を被覆するものであり、レンズとしての役割も果たす。そのために、半球形状であることが好ましい。ただし、この半球形状は、厳密な球、厳密な半分でなくてもよく、扁球、長球、卵型、紡錘形状等の一部の切断体等であってもよい。
透光性部材は、ガラス等によって形成されていてもよいが、樹脂によって形成されていることが好ましい。樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、これらの変性樹脂又はこれらの樹脂を1種以上含むハイブリッド樹脂等などが挙げられる。
(機能性部材)
機能性部材としては、例えば、レンズ、蛍光体層等、種々の機能を付加することができる部材が挙げられる。機能性部材は、1つの発光素子に対して1つ又は複数配置してもよいし、複数の発光素子に対して1つ配置してもよい。
レンズとしては、例えば、凹凸レンズ、フレネルレンズ等が挙げられる。これらのレンズは、当該分野で公知の材料によって、公知の製造方法により製造したものを利用することができる。レンズは、光拡散材等が含有されていてもよい。光拡散材としては、ガラスファイバー、ワラストナイトなどの繊維状フィラー、窒化アルミニウム、カーボン等の無機フィラー、シリカ、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、ガラス、蛍光体の結晶又は焼結体、蛍光体と無機物の結合材との焼結体等が挙げられる。
レンズの光入射面及び/又は光出射面には、保護膜、反射膜、反射防止膜等が形成されていてもよい。反射防止膜としては、二酸化ケイ素と、二酸化ジルコニウムとからなる4層構造のもの等が適用できる。
蛍光体は、当該分野で公知のものを使用することができる。例えば、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット(LAG)、ユウロピウム及び/又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム(CaO−Al23−SiO2)系蛍光体、ユウロピウムで賦活されたシリケート((Sr,Ba)2SiO4)系蛍光体、βサイアロン蛍光体、CASN系又はSCASN系蛍光体等の窒化物系蛍光体、KSF系蛍光体(K2SiF6:Mn)、硫化物系蛍光体、いわゆるナノクリスタル、量子ドットと称される発光物質でもよい。発光物質としては、半導体材料、例えば、II−VI族、III−V族、IV−VI族半導体、具体的には、CdSe、コアシェル型のCdSxSe1-x/ZnS、GaP等のナノサイズの高分散粒子が挙げられる。蛍光体は1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
近年の発光装置の小型化、さらには発光素子を被覆する透光性部材の小型化に伴って、透光性部材の表面が発光素子に近接する結果、透光性部材によるレンズ効果が得られずに発光装置の側方にそのまま抜ける光が増大し、発光装置の上方から取り出される光を所望の効率で得られないことが懸念される。これに対して、本実施形態のように、平面形状が六角形の発光素子を透光性部材で被覆する場合、同じ平面積を有する平面形状が四角形の発光素子と比較して、発光素子と透光性部材の表面との距離をより確保することができる。よって、透光性部材によるレンズ効果を有効に利用することができる。また、本実施形態に係る発光素子は、その角部における発光を抑制する構造、言い換えると、角部における半導体層への電流供給を抑制する代わりに、その角部以外の領域に供給される電流を増加させる構造を有する。これにより、透光性部材の表面に近接しやすい発光素子の角部から発光装置の側方にそのまま抜ける光を低減し、透光性部材によるレンズ効果をより有効に利用して発光装置の上方に光を効率よく取り出すことができる。
以下に、発光素子及びそれを用いた発光装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
実施例1:発光素子
この実施例の発光素子10は、図1A〜図1Dに示すように、平面形状が六角形である。このような発光素子10は、n側半導体層2n及びp側半導体層3pと、第1p電極4p、第2p電極5p及びn電極7nとを備える。発光素子10の一辺長さは約1.2mmである。
半導体層は、六角形のサファイア基板8の上に、n側半導体層2n、活性層Ac、p側半導体層3pがこの順に積層されて構成されている。半導体層は、その最外周において、p側半導体層3p及び活性層Acの一部が除去されてn側半導体層2nを露出させた領域を有している。
p側半導体層3pは、複数の孔6を有している。孔6においては、その下方に存在する活性層Acも除去されて、n側半導体層2nを露出させている。ただし、ここでのp側半導体層3pは、六角形の互いに隣接しない3つの角部及びその周辺には、孔が配置されておらず、これらの角部及びその周辺を除く領域において、複数の孔6を有している。
孔6は、略円形であり、その直径が約27μmであり、例えば、58個形成されている。孔6は、平面視で、六角形の辺に対してほぼ平行に並列されており、その中心間距離は約300μmである。孔6の総面積は、半導体層の平面積の0.92%程度であり、約33000μm2である。
p側半導体層3pに接して、複数の孔6を除く略全面に、第1p電極4pが配置されている。ここで略全面とは、p側半導体層3pの上面における外縁及び孔6近傍である内縁以外の領域をいう。例えば、第1p電極4pは、p側半導体層3pの上面のうち90%以上の面に設けられているのが好ましい。第1p電極4pは、p側半導体層3p上の略全面に形成された、Ag含有層と、このAg含有層の上面を被覆する層と、さらにAg含有層の上面の一部及び側面を被覆するSiNからなる絶縁層4aとを有する。Ag含有層を被覆する層は、半導体層側からNi層、Ti層及びPt層の積層膜によって形成されている。このような積層構造により、活性層Acから出射される光をサファイア基板8側に反射することができ、光取り出し効率を向上させることができる。また、Ag含有層を被覆する層及び絶縁層4aによって、Agのマイグレーションを効果的に防止することができる。
第1p電極4p上であって、上述した孔6が配置されていない3つの角部及びその周辺を含む領域に、第2p電極5pが配置されている。第2p電極5pは、設けられた角部及びその周辺を含む領域を構成するp側半導体層3pの2つの辺のうち一方と実質的に平行な2辺を有する扇形を有する。扇形の2辺は、それぞれ、p側半導体層3pの一辺の長さの1/5程度であり、約300μmである。
第1p電極4pの上には、複数の孔6を通じてn側半導体層2nに電気的に接続されたn電極7nが配置されている。図1Bにおいて、n電極7nの外周を7no、内周を7niと表している。第1p電極4pは、第2p電極5p及びその周辺以外の第1p電極4pの上方に、SiO2からなる絶縁膜9を介して配置されている。絶縁膜9は、孔6の側面と、露出したn側半導体層2nの一部領域(n側半導体層2n上面)上に配置されている。絶縁膜9は、p側半導体層3p上に配置された第1p電極4p上の一部領域上、つまり、第1p電極4pと第2p電極5pとの接続部位において、第1p電極4pの上面を露出する開口9aを有している。また、絶縁膜9は、発光素子10の最外周において、p側半導体層3p及び活性層Acの一部が除去されて露出したn側半導体層2nをも被覆している。
第2p電極5p及びn電極7nは、いずれも、半導体層側からTi/Al−Si−Cu合金/Ti/Pt/Auの積層膜によって形成されている。
このような発光素子10を用いて発光装置を製造する場合、図1E及び1Fに示すように、第2p電極5pに接続するバンプ電極BPを、各第2p電極5pに対して1つ、n電極7nに接続するバンプ電極BPを、全面に渡って均一に複数個形成する。n電極7nに接続するバンプ電極BPは、発光素子10を実装するときの過重負荷によって絶縁膜9が破壊しないように、平面視において孔6と重ならない位置に形成するのが好ましい。
実施例2:発光素子
実施例2の発光素子20は、図2に示すように、第2p電極25pが扇形ではなく、扇形から内側に若干延長させた2つの部位を有する形状を有する以外は、実施例1の発光素子10と、実質的に同様の構成を有する。
実施例3:発光素子
実施例3の発光素子30は、図3に示すように、扇形の第2p電極5pが全ての角部及びその周辺を含む領域に配置されている。これに伴って、p側半導体層3pの6つの角部及びその周辺を含む領域に孔6が配置されておらず、孔の数が55個となっている。従って、孔6の総面積は、半導体層の平面積の0.87%程度であり、約3100μm2である。
上述した構成以外は、実施例1の発光素子10と、実質的に同様の構成を有する。
実施例4:発光素子
実施例4の発光素子40は、図4に示すように、その最外周において、p側半導体層3p及び活性層Acの一部が除去されてn側半導体層2nを露出させた領域を有しているが、絶縁膜9で被覆されていない領域を角部に有する。また、外側が窪んだ略扇形の第2p電極45pが、全ての角部及びその周辺を含む領域に配置されている。そして、第2p電極45pが配置された角部においては、絶縁膜9で被覆されていない領域において、n電極7nの一部がn側半導体層2nと接触して電気的に接続されている。
上述した構成以外は、実施例3の発光素子30と、実質的に同様の構成を有する。
<発光素子の評価>
実施例1〜3の発光素子10、20、30における電流密度の分布を、有限要素法を用いたシミュレーションソフトにより解析した。その結果を図5A〜5Cにそれぞれ示す。図5A〜5Cにおいて、濃淡が濃い程に電流密度が高いことを示す。
また、参考のために、図6Aに示すように、一対の対角線に沿って第2p電極55を配置する以外、発光素子10と実質的に同様の構成を有する発光素子40についても、電流密度の分布を解析した。その結果を、図6Bに示す。
図5A〜5Cによれば、発光素子10、20、30はいずれも、第2p電極5が配置された領域における電流密度を、半導体層の辺に隣接する領域及び内側の領域における電流密度よりも低減させることができるのが分かる。
特に、発光素子20においては、発光素子10よりも第2p電極25の面積を大きくしたことに伴って、第2p電極25が配置された角部における電流密度を低減させることができる一方、内側の領域、特に半導体層の中央領域において電流密度を向上させることができる。
また、発光素子30においては、第2p電極35の数を6つに増やしたことに伴って、第2p電極35が配置された角部において電流密度を低減させることができる一方、内側全体においてより均一に電流密度を向上させることができる。
これらの現象は、発光素子50における半導体層の角部及び外周部分の電流密度分布よりも、より顕著に、電流密度分布を半導体層の内側の領域において増大させることができたことを示す。
また、発光素子10、20、30について、電流350mAの電流を印加した順方向電圧Vfを、有限要素法を用いたシミュレーションにより解析した。その結果を、孔の個数、孔を介してn電極がn側半導体層と接続された領域の総面積(n側コンタクト領域の面積)、第1p電極の面積(p側コンタクト領域の面積)と共に表1に示す。なお、n側コンタクト領域及びp側コンタクト領域の面積は、いずれも発光素子10における面積を100%として、その相対値で示す。
表1に示すように、発光素子10に対して発光素子20、30では、それぞれVf値が0.011V(約3.1%)、0.012V(約3.5%)ほど低減していることが確認された。発光素子20は、発光素子10に比べてp側コンタクト領域の面積は同じであるが、第2p電極の面積が大きく、第2p電極近傍の電流集中が緩和される結果、Vf値が低減していると考えられる。また、発光素子30は、発光素子10及び発光素子20よりも、第2p電極の数が3つから6つに増え、電流がより均等に半導体層に供給されるため、Vf値が低減していると考えられる。
実施例5:発光装置
実施例5の発光装置60は、図8A及び8Bに示すように、実施形態1の発光素子10と同様に平面形状が六角形の発光素子70と、表面に正負一対の配線パターン(図示せず)を有する基体80と、を備える。
発光素子70は、基体80にフェイスダウン実装されており、発光素子70のn電極及びp電極が、接合部材を介して基体80の配線パターンに接続されている。また、発光素子70は、シリコーン樹脂などからなる半球状の透光性部材90によって覆われている。透光性部材90は、発光素子70と共に基体80の上面の一部をも覆っている。
このような発光装置は、透光性部材90によるレンズ効果をより有効に利用して発光装置の上方に光を効率よく取り出すことができる。
実施例6:発光装置
実施例6の発光装置61は、図9A及び9Bに示すように、実施形態1の発光素子10と同様に平面形状が六角形の発光素子70と、表面に正負一対の配線パターン(図示せず)を有する基体80とを備える。発光素子70は、基体80にフェイスダウン実装されており、その側面及び光取り出し面である上面が、YAGなどからなる蛍光体層92によって被覆されている。また、蛍光体層92で被覆された発光素子70の表面は、シリコーン樹脂などからなる透光性部材91によってほぼ四角形の形状に覆われている。
このような発光装置は、蛍光体層92による波長変換効果を利用して、任意の色の光を効率よく取り出すことができる。
実施例7:光源ユニット
実施例7の光源ユニット65は、図10A及び10Bに示すように、回路基板81と、この回路基板81上に互いに離間して搭載された実施例6の複数の発光装置61と、個々の発光装置61を被覆するレンズ93とを備える。ここでのレンズ93は、例えば、図10Aに示すように、発光装置61からの光を有効に利用できる略円形状を有する。また、発光装置61の上方であって、レンズ93の発光装置61と対向する下面の反対側にある上面には、図10Bに示すように、発光装置61から出射される光を広げることができる凹部を有していてもよい。
このような光源ユニットでは、発光装置は縦及び/又は横に、ランダムに又は規則的に配置することにより、バックライトの光源、照明用の光源として利用することができる。
実施例8:光源ユニット
実施例8の光源ユニット66は、図11A及び11Bに示すように、回路基板81と、この回路基板81上に互いに離間して搭載された実施例6の発光装置61と、この発光装置61を被覆するフレネルレンズ94とを備える。ここでのフレネルレンズ94は、例えば、発光装置61内に配置される発光素子又はその上に配置される蛍光体層の外側からの視認性を低減させることができる形状を備える。
このような光源ユニットでは、カメラ等のフラッシュライトとして利用することができる。
本発明の実施形態及び実施例に係る発光素子は、種照明器具、カメラのフラッシュ、液晶ディスプレイのバックライト光源、各種インジケーター用光源、車載用光源、センサー用光源、信号機、車載部品、看板用チャンネルレター等、種々の光源に使用することができる。
10、20、30、40、50、70、A、B、C、D、E 発光素子
2n n側半導体層
3p p側半導体層
4p 第1p電極
4a 絶縁膜
5p、25p、45p、5、15、25、35、45、55 第2p電極
6 孔
7n、27n、47n n電極
7no、47no n電極の外周
7ni、47ni n電極の内周
8 サファイア基板
9 絶縁膜
9a 開口
Ac 活性層
R1、R2、R3、R4、R5、R6 角部
BP バンプ
60、61 発光装置
65、66 光源ユニット
80 基体
81 回路基板
90、91 透光性部材
92 蛍光体層
93 レンズ
94 フレネルレンズ

Claims (14)

  1. 平面形状が六角形の発光素子であって、
    n側半導体層と、
    前記n側半導体層上に設けられたp側半導体層と、
    平面視において前記p側半導体層の互いに対角の位置にある3つの角部を除く領域に設けられ、前記n側半導体層を露出させる複数の孔と、
    前記p側半導体層に接して設けられた第1p電極と、
    前記第1p電極上の前記3つの角部にそれぞれ設けられた第2p電極と、
    前記第1p電極上に設けられ、前記複数の孔を通じて前記n側半導体層と電気的に接続されたn電極と、を備えることを特徴とする発光素子。
  2. 平面形状が六角形の発光素子であって、
    n側半導体層と、
    前記n側半導体層上に設けられたp側半導体層と、
    平面視において前記p側半導体層の最も遠い位置にある2つの角部を除く領域に設けられ、前記n側半導体層を露出させる複数の孔と、
    前記p側半導体層に接して設けられた第1p電極と、
    前記第1p電極上の前記3つの角部にそれぞれ設けられた第2p電極と、
    前記第1p電極上に設けられ、前記複数の孔を通じて前記n側半導体層と電気的に接続されたn電極と、を備えることを特徴とする発光素子。
  3. 前記複数の孔は、前記互いに対角の位置にある3つの角部を除く領域、又は前記互いに向かい合い、かつ最も遠い位置にある2つの角部を除く領域を含む、6つの角部に設けられていない請求項1又は2に記載の発光素子。
  4. 前記第2p電極は、前記第1p電極上の前記6つの角部にそれぞれ設けられている請求項3に記載の発光素子。
  5. 前記第2p電極は、それぞれ設けられた前記角部を構成する2辺のうち一方に平行な2辺を有する扇形である請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光素子。
  6. 前記複数の孔は、前記p側半導体層の辺に沿って配置されている請求項1〜5のいずれか1つに記載の発光素子。
  7. 前記n電極は、前記n側半導体層と電気的に接続された部分から、絶縁層を介して前記第1p電極上にわたって設けられている請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光素子。
  8. 前記絶縁層は、誘電体多層膜である請求項7に記載の発光素子。
  9. 前記第1p電極は、前記p側半導体層に接する銀含有層を含む請求項1〜8のいずれか1つに記載の発光素子。
  10. 前記第1p電極は、透光性導電膜である請求項1〜9のいずれか1つに記載の発光素子。
  11. 前記n電極は、前記複数の孔内において、それぞれ前記n側半導体層に接する透光性導電膜を介して前記n側半導体層と電気的に接続されている請求項1〜10のいずれか1つに記載の発光素子。
  12. 請求項1〜11のいずれか1つに記載の発光素子と、
    前記発光素子が設けられる基体と、
    前記発光素子を覆う半球状の透光性部材と、を備える発光装置。
  13. さらに、前記発光素子と前記透光性部材との間に蛍光体層を備える請求項12に記載の発光装置。
  14. さらに、前記透光性部材を覆う光学部材を備える請求項12又は13に記載の発光装置。
JP2016100165A 2015-07-30 2016-05-19 発光素子及びそれを用いた発光装置 Active JP6696298B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105117259A TWI690091B (zh) 2015-07-30 2016-06-01 發光元件及使用其之發光裝置
BR102016015672-6A BR102016015672B1 (pt) 2015-07-30 2016-07-05 Elemento emissor de luz com uma forma plana hexagonal e dispositivo emissor de luz
CN201610528408.5A CN106410003B (zh) 2015-07-30 2016-07-06 发光元件及使用发光元件的发光装置
US15/204,395 US9786812B2 (en) 2015-07-30 2016-07-07 Light emitting element and light emitting device
KR1020160086362A KR102528843B1 (ko) 2015-07-30 2016-07-07 발광 소자 및 이를 이용한 발광 장치
EP16178547.2A EP3125311B1 (en) 2015-07-30 2016-07-08 Light emitting element and light emitting device having the same
US15/695,362 US10361340B2 (en) 2015-07-30 2017-09-05 Light emitting element and light emitting device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015150828 2015-07-30
JP2015150828 2015-07-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017034231A true JP2017034231A (ja) 2017-02-09
JP6696298B2 JP6696298B2 (ja) 2020-05-20

Family

ID=57988820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016100165A Active JP6696298B2 (ja) 2015-07-30 2016-05-19 発光素子及びそれを用いた発光装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6696298B2 (ja)
KR (1) KR102528843B1 (ja)
CN (1) CN106410003B (ja)
TW (1) TWI690091B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11024770B2 (en) 2017-09-25 2021-06-01 Nichia Corporation Light emitting element and light emitting device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116884966A (zh) * 2017-07-21 2023-10-13 日亚化学工业株式会社 背光装置以及光源
US10658559B2 (en) * 2018-02-28 2020-05-19 Nichia Corporation Light emitting element and light emitting device

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168395A (ja) * 1999-12-09 2001-06-22 Showa Denko Kk Iii−v族化合物半導体発光ダイオード
JP2006135309A (ja) * 2004-10-07 2006-05-25 Showa Denko Kk 半導体素子の製造方法
JP2012044048A (ja) * 2010-08-20 2012-03-01 Sharp Corp 発光素子パッケージの製造方法及び発光素子パッケージ
JP2012195321A (ja) * 2011-03-14 2012-10-11 Toshiba Corp 半導体発光素子
US20130020554A1 (en) * 2011-07-22 2013-01-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light emitting device and light emitting apparatus
JP2014511132A (ja) * 2010-09-03 2014-05-08 ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー 発光装置
JP2014116439A (ja) * 2012-12-10 2014-06-26 Nichia Chem Ind Ltd 半導体発光素子
JP2014127565A (ja) * 2012-12-26 2014-07-07 Toyoda Gosei Co Ltd 半導体発光素子
JP2015076617A (ja) * 2013-10-08 2015-04-20 エルジー イノテック カンパニー リミテッド 発光素子、それを含む発光素子パッケージ及びパッケージを含む照明装置
US20150155435A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Light emitting device and illumination system having the same
US20150179873A1 (en) * 2013-12-20 2015-06-25 Palo Alto Research Center Incorporated Small-sized light-emitting diode chiplets and method of fabrication thereof
JP2016207725A (ja) * 2015-04-17 2016-12-08 スタンレー電気株式会社 発光ダイオード装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100286699B1 (ko) * 1993-01-28 2001-04-16 오가와 에이지 질화갈륨계 3-5족 화합물 반도체 발광디바이스 및 그 제조방법
JP2006086469A (ja) * 2004-09-17 2006-03-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体発光装置、照明モジュール、照明装置及び半導体発光装置の製造方法
TWI374553B (en) 2004-12-22 2012-10-11 Panasonic Corp Semiconductor light emitting device, illumination module, illumination apparatus, method for manufacturing semiconductor light emitting device, and method for manufacturing semiconductor light emitting element
JP4367348B2 (ja) 2005-01-21 2009-11-18 住友電気工業株式会社 ウエハおよび発光装置の製造方法
JP2010251481A (ja) 2009-04-14 2010-11-04 Panasonic Electric Works Co Ltd 発光装置
JP4989773B1 (ja) * 2011-05-16 2012-08-01 株式会社東芝 半導体発光素子
KR102122358B1 (ko) 2014-01-20 2020-06-15 삼성전자주식회사 반도체 발광 소자

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168395A (ja) * 1999-12-09 2001-06-22 Showa Denko Kk Iii−v族化合物半導体発光ダイオード
JP2006135309A (ja) * 2004-10-07 2006-05-25 Showa Denko Kk 半導体素子の製造方法
JP2012044048A (ja) * 2010-08-20 2012-03-01 Sharp Corp 発光素子パッケージの製造方法及び発光素子パッケージ
JP2014511132A (ja) * 2010-09-03 2014-05-08 ザ プロクター アンド ギャンブル カンパニー 発光装置
JP2012195321A (ja) * 2011-03-14 2012-10-11 Toshiba Corp 半導体発光素子
US20130020554A1 (en) * 2011-07-22 2013-01-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light emitting device and light emitting apparatus
JP2014116439A (ja) * 2012-12-10 2014-06-26 Nichia Chem Ind Ltd 半導体発光素子
JP2014127565A (ja) * 2012-12-26 2014-07-07 Toyoda Gosei Co Ltd 半導体発光素子
JP2015076617A (ja) * 2013-10-08 2015-04-20 エルジー イノテック カンパニー リミテッド 発光素子、それを含む発光素子パッケージ及びパッケージを含む照明装置
US20150155435A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Light emitting device and illumination system having the same
US20150179873A1 (en) * 2013-12-20 2015-06-25 Palo Alto Research Center Incorporated Small-sized light-emitting diode chiplets and method of fabrication thereof
JP2016207725A (ja) * 2015-04-17 2016-12-08 スタンレー電気株式会社 発光ダイオード装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11024770B2 (en) 2017-09-25 2021-06-01 Nichia Corporation Light emitting element and light emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
TW201709556A (zh) 2017-03-01
KR102528843B1 (ko) 2023-05-03
TWI690091B (zh) 2020-04-01
JP6696298B2 (ja) 2020-05-20
CN106410003A (zh) 2017-02-15
CN106410003B (zh) 2020-08-07
KR20170015145A (ko) 2017-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107924962B (zh) 发光器件
US20210202797A1 (en) Light-emitting element
JP6299336B2 (ja) 発光素子及びそれを用いた発光装置
JP6681713B2 (ja) 光学レンズ、発光モジュールおよびこれを具備したライトユニット
JP5040355B2 (ja) 半導体発光素子及びこれを備えた発光装置
JP6094345B2 (ja) 発光素子及びそれを用いた発光装置
US10217904B2 (en) Light-emitting device with metallized mounting support structure
US9054258B2 (en) Semiconductor light emitting device
JP2019041044A (ja) 発光装置
US10361340B2 (en) Light emitting element and light emitting device
KR102374202B1 (ko) 광학 렌즈, 조명 모듈 및 이를 구비한 라이트 유닛
JP6959548B2 (ja) 発光装置およびその製造方法
JP6696298B2 (ja) 発光素子及びそれを用いた発光装置
TW201521224A (zh) 半導體發光元件
KR101694175B1 (ko) 발광소자, 발광소자 패키지 및 조명시스템
JP6636237B2 (ja) 光電部品
TWI623116B (zh) 發光元件
JP2013149711A (ja) 半導体発光装置
KR102425317B1 (ko) 광학 렌즈, 조명 모듈 및 이를 구비한 라이트 유닛
KR20220047961A (ko) 발광 모듈 및 이를 구비한 라이트 유닛
US10907775B2 (en) Optical lens, lighting module and light unit having the same
KR20120011248A (ko) 발광 소자 및 발광 소자 패키지
WO2023033006A1 (ja) Led発光装置
KR101813491B1 (ko) 발광 소자
JP2020043375A (ja) 光電部品

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181005

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190731

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190806

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191002

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200212

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200313

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200324

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6696298

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250