JP2017034188A5 - - Google Patents

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WO2018155054A1 (ja) * 2017-02-27 2018-08-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
JP6975630B2 (ja) * 2017-02-27 2021-12-01 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
JP6986933B2 (ja) * 2017-11-08 2021-12-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理方法および基板処理装置
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Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11147067A (ja) * 1997-11-17 1999-06-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理液供給機構
JP5030767B2 (ja) * 2007-12-25 2012-09-19 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置、および基板処理装置の異常処理方法
JP5319942B2 (ja) * 2008-03-18 2013-10-16 大日本スクリーン製造株式会社 ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置
JP5753352B2 (ja) * 2010-07-20 2015-07-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置
JP5887089B2 (ja) * 2011-09-14 2016-03-16 アドバンス電気工業株式会社 液体供給装置

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