JP2017034188A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017034188A5 JP2017034188A5 JP2015155199A JP2015155199A JP2017034188A5 JP 2017034188 A5 JP2017034188 A5 JP 2017034188A5 JP 2015155199 A JP2015155199 A JP 2015155199A JP 2015155199 A JP2015155199 A JP 2015155199A JP 2017034188 A5 JP2017034188 A5 JP 2017034188A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing liquid
- pipe
- processing
- substrate
- branch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 164
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 229910004682 ON-OFF Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015155199A JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015155199A JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017034188A JP2017034188A (ja) | 2017-02-09 |
JP2017034188A5 true JP2017034188A5 (fr) | 2018-09-13 |
JP6624599B2 JP6624599B2 (ja) | 2019-12-25 |
Family
ID=57986355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015155199A Active JP6624599B2 (ja) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | 基板処理装置および処理液吐出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6624599B2 (fr) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6975018B2 (ja) * | 2017-02-22 | 2021-12-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6959743B2 (ja) | 2017-02-22 | 2021-11-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6975630B2 (ja) * | 2017-02-27 | 2021-12-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
WO2018155054A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | 株式会社Screenホールディングス | Dispositif et procédé de traitement de substrat |
JP6986933B2 (ja) * | 2017-11-08 | 2021-12-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11147067A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理液供給機構 |
JP5030767B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-09-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置、および基板処理装置の異常処理方法 |
JP5319942B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2013-10-16 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置 |
JP5753352B2 (ja) * | 2010-07-20 | 2015-07-22 | 株式会社Screenホールディングス | ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置 |
JP5887089B2 (ja) * | 2011-09-14 | 2016-03-16 | アドバンス電気工業株式会社 | 液体供給装置 |
-
2015
- 2015-08-05 JP JP2015155199A patent/JP6624599B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017034188A5 (fr) | ||
JP2019186565A5 (fr) | ||
JP2014033111A5 (fr) | ||
JP2015168035A5 (fr) | ||
CN104264398B (zh) | 一种印染用自动喷淋水装置 | |
JP2016041874A (ja) | 自動水栓装置 | |
TW201611912A (en) | Coating apparatus and washing method | |
US11090692B2 (en) | Cleaning liquid supplying system, substrate processing apparatus and substrate processing system | |
US10465364B2 (en) | Water discharge apparatus | |
KR101585401B1 (ko) | 물 높이 조절이 자유로운 분수장치 | |
JP2019107143A5 (fr) | ||
JP4490101B2 (ja) | 液体によって対象を処理する方法および装置 | |
US20160059271A1 (en) | Rinsing bath and substrate cleaning method using such rinsing bath | |
SE1751065A1 (en) | A system for providing a flow to a fluid | |
JP2011025151A (ja) | 塗装装置の噴射量制御方法及び装置 | |
KR101923668B1 (ko) | 자동 압력 조절 장치 | |
JP6438246B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP5739851B2 (ja) | 塗装システムの塗料回収装置 | |
WO2015147292A1 (fr) | Dispositif de pulvérisation à double fluide | |
CN103789845A (zh) | 一种自动缫丝机的理绪汤水调控方法及装置 | |
KR20140120207A (ko) | 금형 스케일 제거장치 및 이를 구비한 사출금형장치 | |
KR102069809B1 (ko) | 박막 증착 장치 및 그것을 이용한 박막 증착 방법 | |
JP2019107126A5 (fr) | ||
KR20170012691A (ko) | 벤츄리 유닛 및 이를 이용한 분무관로 세정장치 | |
KR101266409B1 (ko) | 금형 잔수제거 장치 |