JP2017032566A - センサ基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】感知素子の感度を制御することができるセンサ基板を供給する。【解決手段】センサ基板は、第1の端部、第2の端部、および、本体を含む。本体は、1つまたは複数の感知素子を収容するための備えを含む。第1の端部および第2の端部は、センサ基板をシャフトに取り付けるための取り付けポイントを含む。さらに、第1の端部および第2の端部は湾曲部を備える。特定の端部のために、取り付けポイントの間隔、および/または、湾曲部の深さが、当該端部の可撓性を部分的に規定できる。【選択図】図1
Description
歪みは、印加される力による本体の変形量として理解できる。こうした変形量は、本体の長さの分数変化率とすることができる。歪みは、正(張力)または負(圧縮)とすることができる。
歪みは、様々な方法を使用して測定できる。多くのアプリケーションにおいて、歪みゲージが、歪みを測定するのに使用される。例えば、歪みゲージは、自動車の構成要素を歪ませ得る、自動車におけるトルクまたは他の力を測定するのにしばしば使用される。
歪みゲージは、様々な形態をとることができる。歪みゲージの1つの一般的な形態は、金属製の歪みゲージである。典型的な金属製歪みゲージは、ゲージにおける歪みの量に比例して、その電気抵抗を変化させる。
より具体的には、金属製の歪みゲージは、通常、グリッド状に配置される非常に精細なワイヤまたは金属箔を含む。グリッドは、歪みを受けることのできる金属ワイヤまたは箔の量を最大にできる。グリッドの断面領域は、せん断歪みおよびポワソン歪みの効果を低減させるために最小にされてよい。歪みがグリッドに加えられると、グリッドの抵抗が変化し得る。グリッドの抵抗の変化量は、グリッドに加えられる歪み量に比例するものとできる。
本開示の一部に組み込まれ、且つ、本開示の一部を構成する添付の図面は、本願で説明される1つまたは複数の実施形態を図示するものであり、また、説明と共に、これらの実施形態を説明するものである。
センサ基板の例示的な実施形態の図である。
センサ基板の例示的な実装の図である。
実装されたセンサ基板の詳細な図である。
センサ基板の別の例示的な実施形態の図である。
センサ基板とは、1つまたは複数のセンサを保持する基板である。センサは、物理状態などの様々な状態を感知できる。例えば、センサ基板は、センサ基板に接合される1つまたは複数の歪みゲージを含むことができる。センサ基板は、シャフトに取り付けることができる。歪みゲージは、シャフトに加えられる歪み(例えば、トルク)を感知できる。
本明細書において説明される例示的な実施形態は、1つまたは複数の歪みゲージを保持するセンサ基板を含む。センサ基板は、トルクセンサの一部とすることのできるシャフトに取り付けられてよい。センサ基板は、シャフトに基板を取り付ける、取り付けポイント(取付け部)を含むことができる。取り付けポイントは、シャフトに加えられる歪みの感知に適応するようにチューン(例えば、調整)されてよい。
図1は、複数の感知素子180を有するセンサ基板100の例示的な実施形態を示す。図1を参照すると、センサ基板100は、第1の端部110a、第1のネック120a、本体130、第2のネック120b、および、第2の端部110bを含む。
第1の端部110aが第2の端部110bに対向することに留意されたい。第1の端部110aは、近位端として参照されてもよく、また、第2の端部110bは、遠位端として参照されてもよい。
図1が、センサ基板100の例示的な実施形態を示すことにも留意されたい。センサ基板100の他の実施形態は、図1に示した特徴よりも多い、またはより少ない特徴を含んでもよい。
第1の端部110aおよび第2の端部110bは、取り付けポイント114および湾曲部112を備える。湾曲部112は、シャフトなどのデバイスへのセンサ基板100の取り付けに適応するように提供されてよい。例えば、湾曲部112は、デバイスにセンサ基板100を取り付けることを含む取り付けプロセスの間に、デバイス上でセンサ基板100を整合するのに使用されてよい。
取り付けポイント114は、予め規定された距離140に離間されてよい。距離140は、端部110に伝達される歪みの量を規定できる。例えば、さらに以下で説明されるように、センサ基板100は、シャフトに取り付けられてよい。距離140は、第1の端部110aおよび/または第2の端部110bが、シャフトに印加され得る様々な力に反応するように規定されてよい。距離140に基づいて、センサ基板100は、シャフトに印加される一定の力に応答して、予め決められた量を収縮または曲げることが(flex)できる。
距離140は、取り付けポイント114の外側間の距離とすることができる。例えば、取り付けポイント114aと取り付けポイント114bとの距離140は、センサ基板100の中心軸190から最も遠い、取り付けポイント114aの側部と取り付けポイント114bの側部との間の距離とすることができる。
第1のネック120aおよび第2のネック120bは、センサ基板100の可撓性を高めるように形成されてよい。ネック120a〜bにより提供される可撓性は、センサ基板100の収縮または曲げを制御するように調整されてよい。
例えば、距離170は、ネック120の幅を表す。第1のネック120aの距離170は、一定の力が第1の端部110aに印加された後に第1の端部110aの収縮または曲げを制御するように調整(例えば、増加、低下)されてよい。同様に、第2のネック120bの距離170は、一定の力が第2の端部110bに印加された後に第2の端部110の収縮または曲げを制御するように調整されてよい。加えて、または代替的に、第1のネック120aおよび第2のネック120bは、力がこれらの端部110a〜bに印加された後にそれぞれ第1の端部110aおよび第2の端部110bの収縮または曲げを制御するように、湾曲または成形されてよい。
第1のネック120aは、第1の端部110aと本体130の第1の側との間に配置されてよい。第2のネック120bは、第2の端部110bと本体130の第2の側との間に配置されてよい。本体130の第1の側および第2の側は、本体の対向する端部にあってよい。
第1のネック120aの形状および/または幅は、第1の端部110aから本体130第1の側へ伝達される歪みの量を規定できる。さらに、第2のネック120bの形状および/または幅は、第2の端部110bから本体130の第2の側へ伝達される歪みの量を規定できる。
ネック120a〜bの形状、および/または距離140は、感知素子180での歪みの量を規定するようにチューン(例えば、調整)されてよい。例えば、力が第1の端部110aに印加されると想定されたい。第1の端部110aは、力に応答して収縮または曲げることができる。こうした収縮または曲げは、センサ基板100を介して、収縮または曲げに基づいて力を感知できる感知素子180に伝達されてよい。
次に、感知素子180が、第1の端部110aに印加される一定の力を検出するのに十分な感度でないと判定されると想定されたい。取り付けポイント114a〜b間の距離140、および/または、第1の端部110aでのネック120aの形状は、力が印加された場合に、第1の端部110aが予め決められた量を収縮または曲げるのを可能とするように調整されてよい。調整は、例えば、第1の端部110aでの距離140を広げること、および/または、ネック120aの深さを増加させることを含んでよい。調整は、感知素子180がそれ以前は検出不可能であった力を検出可能とするように、センサ基板100の十分な収縮または曲げをもたらすことができ、それゆえ、感知素子180の感度を増加させることができる。本体130は、感知素子180を収容するための備え(provisions)を含むことができる。これらの備えは、感知素子180を受け取る(受ける)ことのできる平坦部を含むことができる。例えば、本体130は、実質的に平坦とすることのできるプラットフォームを含むことができる。感知素子180は、プラットフォームに接合(例えば、ガラス接合)されてよい。
本体130はまた、1つまたは複数の湾曲部122および/または1つまたは複数の開口124を含むことができる。湾曲部122および/または開口124の形状は、例えば、部分的に、本体130の所望の可撓性に基づいて規定されてよい。他の基準が、湾曲部122および/または開口124の形状を規定するのに使用されてもよいことに留意すべきである。例えば、湾曲部122および/または開口124は、センサ基板100をデバイスに取り付けることを含む取り付けプロセスの間に、デバイス上でのセンサ基板100の整合に適応するように使用されてもよい。本体130の別の実施形態が、湾曲部122および/または開口124を排除してもよく、または、センサ基板100を整合するため、および/または、所望の可撓性を本体130に提供するための他の備えを含んでもよいことに留意すべきである。センサ基板100の他の実施形態が、例えば、異なる形状の端部、ネック、および/または、本体を有してもよいことに、さらに留意すべきである。
図2は、センサ基板100の例示的な実装200を示す。図2を参照すると、センサ基板100は、例えば、シャフト210に搭載できる。シャフト210は、トルクセンサの一部とすることができる。シャフト210は、主要部分230および取り付け領域240を含むことができる。センサ基板は、取り付け領域240内でシャフト210に取り付けられてよい。
取り付け領域240は、とりわけ、シャフト210へのセンサ基板100の取り付けに適応できる、1つまたは複数のプラットフォーム220a〜b(例えば、リング)を含むことができる。プラットフォーム220a〜bは、シャフト210に溝をカットすることにより形成されてよい。ある実施形態において、プラットフォーム220a〜bは、1つまたは複数の平坦部を含み、また、センサ基板100の取り付けポイント114は、こうした平坦部の1つまたは複数で、シャフト210に取り付けられる。
センサ基板100は、例えば抵抗溶接などの溶接技法を使用して、プラットフォーム220a〜bに取り付けられてよい。しかし、センサ基板100をプラットフォーム220a〜bに取り付けるための他の技法が使用されてもよいことに留意すべきである。これらの技法には、これに限定されるのではないが、圧着や、リベット締め、接合、クランプが含まれてもよい。
プラットフォーム220a〜bは、取り付け領域240で応力を低減させるように作用できる。さらに、プラットフォーム220a〜b上に平坦部を設けると、取り付けポイント114をシャフト210の主要部分230から隔離するように作用できる。
図3は、実装されたセンサ基板100の詳細な図300を示す。図3を参照すると、また、上述のように、プラットフォーム220は、1つまたは複数の平坦部を含むことができる。センサ基板100は、取り付けポイント114でプラットフォーム220の平坦部に取り付けられてよい。取り付けられたセンサ基板100の本体130は、本体130をシャフトから距離310で引き離すように、シャフト210の上方に持ち上げられてよい。本体130をシャフト210から持ち上げると、本体130とシャフト210との間に間隙が形成できる。こうした間隙は、間隙がない場合に、シャフト210によりセンサ基板100に導入または誘導され得る追加および/または好ましくない歪みから、センサ基板100を隔離するように作用できる。
図4は、感知素子480を有するセンサ基板400の別の例示的な実施形態を示す。図4を参照すると、センサ基板400は、第1の端部410a、第2の端部410b、ネック420a〜d、および、本体430を含む。
第1の端部410aが第2の端部410bと対向することに留意されたい。第1の端部410aは、近位端として参照されてもよく、また、第2の端部410bは、遠位端として参照されてもよい。
第1の端部410aおよび第2の端部410bは、取り付けポイント(取付け部)414を含む。取り付けポイント414は、予め規定された距離440に離間されてよい。距離440は、端部410へ伝達される歪みの量を規定できる。例えば、センサ基板100は、シャフト210(図2)などのシャフトに取り付けられてよい。距離440は、第1の端部410aおよび/または第2の端部410bが、シャフトに印加され得る様々な力に応答するように規定されてよい。距離440に基づいて、センサ基板400は、シャフトに印加される一定の力に応答して予め決められた量を収縮または曲げることができる。
距離440は、取り付けポイント414の外側間の距離とすることができる。例えば、取り付けポイント414aと取り付けポイント414bとの距離440は、センサ基板400の中心軸490に最も近接する、あるいは最も遠い、取り付けポイント414aと取り付けポイント414bとの側部間の距離とすることができる。
ネック420a〜dは、センサ基板400の可撓性を高めるように成形されてよい。ネック420a〜dにより提供される可撓性は、センサ基板400の収縮または曲げを制御するように調整されてよい。
例えば、ネック420a〜bの幅および/または長さは、一定の力が第1の端部410aに印加された後に第1の端部410aの収縮または曲げを制御するように調整(例えば、増加、低下)されてよい。
ネック420a〜bおよび/または距離440は、センサ基板400に取り付けられ得る感知素子480に伝達される歪みの量を規定するようにチューン(例えば、調整)されてよい。例えば、力が第1の端部410aに印加されると想定されたい。第1の端部410aは、力に応答して収縮または曲げることができる。こうした収縮または曲げは、センサ基板400を介して、収縮または曲げに基づいて力を感知できる感知素子480へ伝達され得る。
次に、感知素子480が、第1の端部410aに印加される一定の力を検出するのに十分な感度がないと判定されると想定されたい。取り付けポイント414a〜b間の距離440、および/または、第1の端部410aのネック420a〜bの形状は、力が印加される場合に、第1の端部410aが予め決められた量を収縮または曲げることを可能にするように調整されてよい。調整は、例えば、第1の端部410aで距離440を広げること、および/または、ネック420a〜bの幅および/または長さを増加させることを含んでよい。調整は、感知素子480が以前に検出不可能であった力を検出可能とするように、センサ基板100の十分な収縮または曲げをもたらすことができ、それゆえ、感知素子480の感度を増加させることができる。
本体430は、感知素子480を収容するための備えを含むことができる。感知素子480は、センサ基板400上に置かれる歪みを感知できる。本体430により提供される備えは、感知素子480を受け取る(受ける)平坦部を含むことができる。例えば、本体430は、実質的に平坦とすることのできるプラットフォームを含むことができる。感知素子480は、プラットフォームに接合(例えば、ガラス接合)されてよい。
本体430は、1つまたは複数の湾曲部422を含むことができる。湾曲部422の形状は、例えば、部分的に、本体430の所望の可撓性に基づいて規定されてよい。他の基準が、湾曲部422の形状を規定するのに使用されてもよいことに留意すべきである。例えば、湾曲部422は、デバイスへの取り付けのためにデバイス上でセンサ基板400を整合させるのに使用されてもよい。本体430の他の実施形態が、湾曲部422を除外してもよく、および/または、例えば開口などの他の特徴を含んでもよいことに留意すべきである。センサ基板400の他の実施形態が、例えば、異なる形状の端部、ネック、および/または本体を有してもよいことにさらに留意すべきである。
実施形態の前述の記載は、実例および説明を提供することを意図するものであり、包括的であること、または、開示された適切な形態に本発明を制限することを意図していない。修正形態および変形形態が、上記の教示に鑑みて可能であり、または、本発明の実施から獲得されてよい。
本願において使用された要素、行為、または指示が、特に明記されない限り、本発明にとって重要または不可欠なものであると解釈すべきでない。また、本願において使用されたように、「a」という冠詞は、1つまたは複数のアイテムを含むことが意図される。ただ1つのアイテムのみが意図される場合、「1つ(one)」という用語または同様の言葉が使用される。さらに、「〜に基づいて(based on)」というフレーズは、そうでないと特に明記されない限り、「少なくとも部分的に、〜に基づいて」を意味することが意図される。
Claims (23)
- センサ基板であって、
第1の取り付け部および第2の取り付け部を有する第1の端部であって、前記第1の端部の前記第1の取り付け部と、前記第1の端部の前記第2の取り付け部との間の距離が、前記第1の端部へ伝達される歪みの量を規定する、前記第1の端部と、
第1の取り付け部および第2の取り付け部を有する第2の端部であって、前記第2の端部の前記第1の取り付け部と、前記第2の端部の前記第2の取り付け部との間の距離が、前記第2の端部に伝達される歪みの量を規定する、前記第2の端部と、
本体であって、1つまたは複数のセンサを収容するための備えを含み、前記第1の端部および前記第2の端部の少なくとも1つを介して伝達される歪みを受ける、前記本体と、
を含む、センサ基板。 - 請求項1に記載のセンサ基板であって、さらに、
前記第1の端部と前記本体との間のネックであって、前記ネックが、前記第1の端部の幅よりも狭い幅を有し、前記ネックの幅が、前記第1の端部から前記本体へ伝達される歪みの量を規定する、前記ネックを含む、前記センサ基板。 - 請求項1に記載のセンサ基板であって、さらに、
前記第2の端部と前記本体との間のネックであって、前記ネックが、前記第2の端部の幅よりも狭い幅を有し、前記ネックの幅が、前記第2の端部から前記本体へ伝達される歪みの量を規定する、前記ネックを含む、前記センサ基板。 - 請求項1に記載のセンサ基板であって、前記第1の端部が、前記センサ基板をデバイスに取り付けることを含む取り付けプロセスの間に、前記センサ基板の整合を提供するための1つまたは複数の備えを含む、前記センサ基板。
- 請求項4に記載のセンサ基板であって、前記1つまたは複数の備えが湾曲部を含む、前記センサ基板。
- 請求項1に記載のセンサ基板であって、前記第2の端部が、前記センサ基板をデバイスに取り付けることを含む取り付けプロセスの間に、前記センサ基板の整合を提供するための1つまたは複数の備えを含む、前記センサ基板。
- 請求項6に記載のセンサ基板であって、前記1つまたは複数の備えが湾曲部を含む、前記センサ基板。
- 請求項1に記載のセンサ基板であって、前記本体が、前記センサ基板をデバイスに取り付けることを含む取り付けプロセスの間に、前記センサ基板の整合を提供するための1つまたは複数の備えを含む、前記センサ基板。
- 請求項8に記載のセンサ基板であって、前記1つまたは複数の備えが湾曲部を含む、前記センサ基板。
- 請求項8に記載のセンサ基板であって、前記1つまたは複数の備えが1つまたは複数の開口を含む、前記センサ基板。
- 請求項1に記載のセンサ基板であって、センサ基板が、
前記第1の端部の前記第1の取り付け部および前記第2の取り付け部で、ならびに、
前記第2の端部の前記第1の取り付け部および前記第2の取り付け部で、
デバイスに取り付けられる、前記センサ基板。 - 請求項11に記載のセンサ基板であって、前記デバイスがシャフトである、前記センサ基板。
- 請求項12に記載のセンサ基板であって、前記シャフトがトルクセンサの一部である、前記センサ基板。
- 請求項12に記載のセンサ基板であって、前記本体と前記シャフトとの間に間隙が存在するように、前記センサ基板が前記シャフトに取り付けられる、前記センサ基板。
- 請求項14に記載のセンサ基板であって、前記間隙が、当該間隙が存在しない場合に前記シャフトにより前記センサ基板へ誘導される追加および不所望の歪みの少なくとも1つから前記センサ基板を隔離するように働く、前記センサ基板。
- センサ基板であって、
第1の端部と、
第2の端部と、
本体と、
前記第1の端部および前記本体の第1の側に接続される第1のネックであって、前記第1のネックの幅が、前記第1の端部に印加される力に応答して前記第1の端部から前記本体へ伝達される歪みの量を制御する、前記第1のネックと、
第2の端部および前記本体の第2の側に接続される第2のネックであって、前記第2の側が前記第1の側と対向し、前記第2のネックの幅が、前記第2の端部に印加される力に応答して前記第2の端部から前記本体へ伝達される歪みの量を制御する、前記第2の端部と
を含む、センサ基板。 - 請求項16に記載のセンサ基板であって、さらに、
前記第1の端部に複数の取り付け部を含み、前記取り付け部の距離が、部分的に、前記第1の端部へ伝達される前記歪みの量を規定する、前記センサ基板。 - 請求項16に記載のセンサ基板であって、さらに、
前記第2の端部に複数の取り付け部を含み、前記取り付け部の距離が、部分的に、前記第2の端部へ伝達される前記歪みの量を規定する、前記センサ基板。 - 請求項16に記載のセンサ基板であって、さらに、
前記センサ基板をデバイスに取り付けるための複数の取り付け部
を含む、前記センサ基板。 - 請求項19に記載のセンサ基板であって、前記デバイスがシャフトである、前記センサ基板。
- 請求項20に記載のセンサ基板であって、前記シャフトがトルクセンサの一部である、前記センサ基板。
- 請求項19に記載のセンサ基板であって、前記本体と前記シャフトとの間に間隙が存在するように、前記センサ基板が前記シャフトに取り付けられる、前記センサ基板。
- 請求項22に記載のセンサ基板であって、前記間隙が、当該間隙が存在しない場合に、前記シャフトにより前記センサ基板へ導入される追加および不所望の歪みの少なくとも1つから前記センサ基板を隔離するように働く、前記センサ基板。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/818,964 | 2015-08-05 | ||
US14/818,964 US9739673B2 (en) | 2015-08-05 | 2015-08-05 | Sensor substrate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017032566A true JP2017032566A (ja) | 2017-02-09 |
Family
ID=56555345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016153026A Pending JP2017032566A (ja) | 2015-08-05 | 2016-08-03 | センサ基板 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9739673B2 (ja) |
EP (1) | EP3128304B1 (ja) |
JP (1) | JP2017032566A (ja) |
KR (1) | KR20170017750A (ja) |
CN (1) | CN106705925B (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019035638A (ja) * | 2017-08-14 | 2019-03-07 | アズビル株式会社 | トルク検出器及びトルク検出器の製造方法 |
JP2019035637A (ja) * | 2017-08-14 | 2019-03-07 | アズビル株式会社 | トルク検出器 |
WO2019069595A1 (ja) * | 2017-10-03 | 2019-04-11 | アズビル株式会社 | トルク検出装置 |
WO2019069620A1 (ja) * | 2017-10-03 | 2019-04-11 | アズビル株式会社 | トルク検出装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3312556A1 (en) * | 2016-10-23 | 2018-04-25 | Vrije Universiteit Brussel | Mechanical strain amplifying transducer |
JP6698595B2 (ja) * | 2017-08-23 | 2020-05-27 | アズビル株式会社 | トルク検出器 |
IT202100020414A1 (it) * | 2021-07-30 | 2023-01-30 | Milano Politecnico | Metodo per il monitoraggio della deformazione meccanica di una superficie e fascetta comprendente un elemento per monitorare la deformazione meccanica di detta fascetta |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69225122T2 (de) * | 1991-12-27 | 1998-10-01 | Ishida Scale Mfg Co Ltd | Wägezelle und entsprechende Wägevorrichtung |
US20070193362A1 (en) * | 2006-02-06 | 2007-08-23 | Ferguson Stephen K | Fiber optic strain gage |
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US9052011B2 (en) * | 2013-05-24 | 2015-06-09 | Cnh Industrial America Llc | Torque sensor system |
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2015
- 2015-08-05 US US14/818,964 patent/US9739673B2/en active Active
-
2016
- 2016-07-29 EP EP16182088.1A patent/EP3128304B1/en active Active
- 2016-08-02 KR KR1020160098345A patent/KR20170017750A/ko active IP Right Grant
- 2016-08-03 JP JP2016153026A patent/JP2017032566A/ja active Pending
- 2016-08-05 CN CN201610996850.0A patent/CN106705925B/zh active Active
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JP2019066373A (ja) * | 2017-10-03 | 2019-04-25 | アズビル株式会社 | トルク検出装置 |
JP2019066375A (ja) * | 2017-10-03 | 2019-04-25 | アズビル株式会社 | トルク検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106705925B (zh) | 2019-06-04 |
EP3128304B1 (en) | 2018-11-28 |
KR20170017750A (ko) | 2017-02-15 |
US9739673B2 (en) | 2017-08-22 |
CN106705925A (zh) | 2017-05-24 |
EP3128304A1 (en) | 2017-02-08 |
US20170038268A1 (en) | 2017-02-09 |
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