JP6665744B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
また、本発明の圧力センサは、前記第2温度センサが、前記中心部と前記外縁部との間の位置であって、前記ダイアフラムの撓みが生じた場合に圧縮応力及び引張応力の双方が作用しない位置(X2)に配置される。
或いは、本発明の圧力センサは、前記第2温度センサが、前記外縁部よりも外側における位置であって、前記ダイアフラムの撓みが生じた場合に圧縮応力及び引張応力の双方が作用しない位置(X4)に配置される。
或いは、本発明の圧力センサは、前記感圧部の外縁を支持する支持部(20)を備えており、前記第2温度センサが、前記支持部に取り付けられている。
また、本発明の圧力センサは、前記補正部が、前記第1温度センサの検出結果と前記第2温度センサの検出結果との差に基づいて、前記ブリッジ回路の検出結果に基づいて測定された圧力を補正する。
また、本発明の圧力センサは、前記第1歪ゲージ及び前記第2歪ゲージはそれぞれ複数設けられており、前記ダイアフラムの中心に関して対称に配置される。
10 感圧部
11 ダイアフラム
11a 一面
11b 他面
20 支持部
32 演算部
BC ブリッジ回路
FL 測定流体
G1〜G4 歪ゲージ
S1〜S3 温度センサ
Claims (6)
- 一面が測定流体に接するダイアフラムが形成された感圧部と、前記ダイアフラムの他面における中心部に配置された第1歪ゲージ及び外縁部に配置された第2歪ゲージとを備え、前記第1歪ゲージ及び前記第2歪ゲージによって形成されるブリッジ回路の検出結果に基づいて前記ダイアフラムに印加される圧力を測定する圧力センサにおいて、
前記第1歪ゲージに対応して前記ダイアフラムの他面における中心部に配置された第1温度センサと、
前記ダイアフラムの撓みによる応力の影響を受けない位置に配置された第2温度センサと、
前記第1温度センサの検出結果と前記第2温度センサの検出結果とを用いて、前記ブリッジ回路の検出結果に基づいて測定された圧力を補正する補正部と、
を備える圧力センサ。 - 前記第2温度センサは、前記中心部と前記外縁部との間の位置であって、前記ダイアフラムの撓みが生じた場合に圧縮応力及び引張応力の双方が作用しない位置に配置される、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記第2温度センサは、前記外縁部よりも外側における位置であって、前記ダイアフラムの撓みが生じた場合に圧縮応力及び引張応力の双方が作用しない位置に配置される、請求項1記載の圧力センサ。
- 前記感圧部の外縁を支持する支持部を備えており、
前記第2温度センサは、前記支持部に取り付けられている、
請求項1記載の圧力センサ。 - 前記補正部は、前記第1温度センサの検出結果と前記第2温度センサの検出結果との差に基づいて、前記ブリッジ回路の検出結果に基づいて測定された圧力を補正する、請求項1から請求項4の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 前記第1歪ゲージ及び前記第2歪ゲージはそれぞれ複数設けられており、前記ダイアフラムの中心に関して対称に配置される、請求項1から請求項5の何れか一項に記載の圧力センサ。
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