JP2017028090A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017028090A5
JP2017028090A5 JP2015144970A JP2015144970A JP2017028090A5 JP 2017028090 A5 JP2017028090 A5 JP 2017028090A5 JP 2015144970 A JP2015144970 A JP 2015144970A JP 2015144970 A JP2015144970 A JP 2015144970A JP 2017028090 A5 JP2017028090 A5 JP 2017028090A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon dioxide
absorbed
concentration
developer
dioxide concentration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015144970A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6713658B2 (ja
JP2017028090A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015144970A priority Critical patent/JP6713658B2/ja
Priority claimed from JP2015144970A external-priority patent/JP6713658B2/ja
Priority to KR1020150181198A priority patent/KR20170011961A/ko
Priority to TW104143284A priority patent/TWI688836B/zh
Priority to CN201510994050.0A priority patent/CN106371297A/zh
Publication of JP2017028090A publication Critical patent/JP2017028090A/ja
Publication of JP2017028090A5 publication Critical patent/JP2017028090A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6713658B2 publication Critical patent/JP6713658B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2015144970A 2015-07-22 2015-07-22 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法 Expired - Fee Related JP6713658B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015144970A JP6713658B2 (ja) 2015-07-22 2015-07-22 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法
KR1020150181198A KR20170011961A (ko) 2015-07-22 2015-12-17 현상액의 성분 농도 측정 장치, 성분 농도 측정 방법, 현상액 관리 장치, 및 현상액 관리 방법
TW104143284A TWI688836B (zh) 2015-07-22 2015-12-23 顯影液的成分濃度測定裝置、成分濃度測定方法、顯影液管理裝置、及顯影液管理方法
CN201510994050.0A CN106371297A (zh) 2015-07-22 2015-12-25 显影液成分浓度测定装置及方法、显影液管理装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015144970A JP6713658B2 (ja) 2015-07-22 2015-07-22 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017028090A JP2017028090A (ja) 2017-02-02
JP2017028090A5 true JP2017028090A5 (OSRAM) 2018-04-05
JP6713658B2 JP6713658B2 (ja) 2020-06-24

Family

ID=57880824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015144970A Expired - Fee Related JP6713658B2 (ja) 2015-07-22 2015-07-22 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6713658B2 (OSRAM)
KR (1) KR20170011961A (OSRAM)
CN (1) CN106371297A (OSRAM)
TW (1) TWI688836B (OSRAM)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6505534B2 (ja) * 2015-07-22 2019-04-24 株式会社平間理化研究所 現像液の管理方法及び装置
JP2018120897A (ja) * 2017-01-23 2018-08-02 株式会社平間理化研究所 現像液の濃度監視装置、及び現像液管理装置
JP6763608B2 (ja) * 2017-01-23 2020-09-30 株式会社平間理化研究所 現像液の二酸化炭素濃度表示装置、及び現像液管理装置
JP2018200943A (ja) * 2017-05-26 2018-12-20 株式会社平間理化研究所 現像液の濃度管理装置、及び、基板の現像処理システム
JP6582037B2 (ja) * 2017-12-06 2019-09-25 ジャパンクリエイト株式会社 レジスト現像液の管理装置及び管理方法
WO2022074820A1 (ja) * 2020-10-09 2022-04-14 三菱重工業株式会社 分析システム及び管理システム、並びに分析方法、並びに分析プログラム

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2561578B2 (ja) 1991-08-07 1996-12-11 株式会社平間理化研究所 現像液管理装置
CN1327888A (zh) * 2000-06-09 2001-12-26 株式会社平间理化研究所 基板表面处理装置
JP3610045B2 (ja) * 2001-02-06 2005-01-12 株式会社平間理化研究所 精製現像液製造装置及び精製現像液製造方法
TWI298423B (en) * 2001-02-06 2008-07-01 Nagase & Co Ltd Developer producing equipment and method
TWI298826B (en) * 2001-02-06 2008-07-11 Hirama Lab Co Ltd Purified developer producing equipment and method
US6541188B2 (en) * 2001-05-11 2003-04-01 Kodak Polychrome Graphics Llc Developer for alkaline-developable lithographic printing plates
JP4366490B2 (ja) * 2003-08-22 2009-11-18 長瀬産業株式会社 現像液供給方法及び装置
JP5604770B2 (ja) * 2006-11-30 2014-10-15 三菱化学エンジニアリング株式会社 現像液の濃度調節方法および調製装置
JP2011128455A (ja) * 2009-12-18 2011-06-30 Nagase & Co Ltd 炭酸系塩類濃度測定装置、アルカリ現像液管理システム、及び、炭酸系塩類濃度測定方法
JP2012225709A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Toshiba Corp 二酸化炭素濃度測定装置、二酸化炭素濃度測定方法、及び二酸化炭素回収システム
JP6081458B2 (ja) * 2012-06-29 2017-02-15 富士フイルム株式会社 現像処理廃液濃縮方法及び現像処理廃液のリサイクル方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017028090A5 (OSRAM)
JP2016515397A5 (OSRAM)
TWD183457S (zh) 划船運動裝置
JP2017507747A5 (OSRAM)
TWD173737S (zh) 肌肉鍛鍊機器
JP2018064407A5 (OSRAM)
EA201591349A1 (ru) Способ получения вортиоксетина
JP2013540702A5 (OSRAM)
JP2016524748A5 (OSRAM)
JP2014022036A5 (OSRAM)
JP2015206001A5 (OSRAM)
JP2016505506A5 (OSRAM)
EA201690434A1 (ru) Маркирующие соединения и их применение в анализах
JP2019095220A5 (OSRAM)
JP2015005289A5 (OSRAM)
JP2015047164A5 (OSRAM)
TWD158979S (zh) 電連接器
TWD170344S (zh) 力矩測量儀器之部分
JP2015108025A5 (OSRAM)
JP2016113832A5 (OSRAM)
JP2015102676A5 (OSRAM)
彭斐 An Application of Adaptation Theory to the Film Subtitle Translation
SAWAOKA Rebuilding projects of condominium complexes provided by the Japan Housing Corporation in the suburbs of Tokyo Metropolitan Area
CN302439637S (zh) 汽车外开把手（a08）
JP2015103932A5 (OSRAM)