JP2017028090A - 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】現像液の成分濃度測定装置、及び、現像液管理装置は、密度計を備えており、現像液の密度を測定する。現像液の密度と二酸化炭素濃度との間には、アルカリ成分など他の成分の濃度にかかわらず、良好な対応関係がある。成分濃度測定装置は、密度の測定値に基づいて、現像液の密度と二酸化炭素濃度との対応関係から二酸化炭素濃度を算出する。現像液管理装置は、現像液の密度と二酸化炭素濃度との対応関係を用いて、現像液の測定された密度値又は算出された二酸化炭素濃度値に基づいて、現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、現像液に補充液を補給することにより、現像液の二酸化炭素濃度を管理する。
【選択図】 図6
Description
図2は、本実施形態に係る現像液の成分濃度測定装置の模式図である。
図4は、密度計により測定された現像液の密度値に基づいて、現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係を用いて、現像液に補充液を補給することにより現像液の二酸化炭素濃度を管理する現像液管理装置の模式図である。説明の便宜のために、現像液管理装置Eは、現像工程設備Bに接続された態様で現像工程設備B、補充液貯留部C、循環攪拌機構Dとともに図示している。
図5は、密度計により測定された現像液の密度値に基づいて、現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係から二酸化炭素濃度を算出し、算出された現像液の二酸化炭素濃度に基づいて現像液に補充液を補給することにより現像液の二酸化炭素濃度を管理する現像液管理装置の模式図である。説明の便宜のために、現像液管理装置Eは、現像工程設備Bに接続された態様で現像工程設備B、補充液貯留部C、循環攪拌機構Dとともに図示している。
図6は、密度計により測定された現像液の密度値に基づいて、現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係から二酸化炭素濃度を算出し、算出された現像液の二酸化炭素濃度に基づいて現像液に補充液を補給することにより現像液の二酸化炭素濃度を管理する現像液管理装置の模式図である。説明の便宜のために、現像液管理装置Eは、現像工程設備Bに接続された態様で現像工程設備B、補充液貯留部C、循環攪拌機構Dとともに図示している。
1…測定部
11…密度計、12、13…測定手段、14…サンプリングポンプ、15…サンプリング配管、16…出口側配管
2…演算部
21…演算ブロック、22…表示手段
23…演算制御部(例えばコンピュータ)
3…制御部
31…制御ブロック
41〜43…制御弁、44、45、46、47…バルブ、
51…試料セル、52…温度計、53…ペルチェ素子、54…恒温ブロック、55…断熱材、56…振動子、61…現像液貯留槽、62…オーバーフロー槽、63…液面計、64…現像室フード、65…ローラーコンベア、66…基板、67…現像液シャワーノズル、71…廃液ポンプ、72、74…循環ポンプ、73、75…フィルター、80…現像液管路、81、82…補充液(現像原液及び/又は新液)用管路、83…純水用管路、84…合流管路、85…循環管路、86…窒素ガス用管路、91、92…補充液貯留槽
Claims (7)
- 密度計と、
前記密度計により測定されたアルカリ性を示す現像液の密度値に基づいて、前記現像液の密度値と二酸化炭素濃度値との間の対応関係から、前記現像液の二酸化炭素濃度を算出する演算手段と、
を備える現像液の成分濃度測定装置。 - アルカリ性を示す現像液の密度を測定し、
測定された前記現像液の密度に基づいて、前記現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係から、前記現像液の二酸化炭素濃度を算出すること、
を含む現像液の成分濃度測定方法。 - 密度計と、
前記密度計により測定されたアルカリ性を示す現像液の密度値に基づいて、前記現像液の密度値と二酸化炭素濃度値との間の対応関係を用いて、前記現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、前記現像液に補給される補充液を送液する流路に設けられた制御弁に制御信号を発する制御手段と、
を備える現像液管理装置。 - アルカリ性を示す現像液の密度を測定し、
測定された前記現像液の密度に基づいて、前記現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係を用いて、前記現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、前記現像液に補充液を補給すること、
を含む現像液管理方法。 - 密度計と、
前記密度計により測定されたアルカリ性を示す現像液の密度値に基づいて、前記現像液の密度値と二酸化炭素濃度値との間の対応関係から、前記現像液の二酸化炭素濃度を算出する演算部と、前記演算部で算出される前記現像液の二酸化炭素濃度に基づいて、前記現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、前記現像液に補給される補充液を送液する流路に設けられた制御弁に制御信号を発する制御部と、を備える演算制御手段と、
を備える現像液管理装置。 - 密度計と、
前記密度計により測定されたアルカリ性を示す現像液の密度値に基づいて、前記現像液の密度値と二酸化炭素濃度値との間の対応関係から、前記現像液の二酸化炭素濃度を算出する演算手段と、
前記演算手段で算出される前記現像液の二酸化炭素濃度に基づいて、前記現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、前記現像液に補給される補充液を送液する流路に設けられた制御弁に制御信号を発する制御手段と、
を備える現像液管理装置。 - アルカリ性を示す現像液の密度を測定し、
測定された前記現像液の密度に基づいて、前記現像液の密度と二酸化炭素濃度との間の対応関係から、前記現像液の二酸化炭素濃度を算出し、
算出される前記現像液の二酸化炭素濃度が所定の管理値又は管理値以下となるように、前記現像液に補充液を補給すること、
を含む現像液管理方法。
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