JP2017024852A - 板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 - Google Patents
板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017024852A JP2017024852A JP2015144683A JP2015144683A JP2017024852A JP 2017024852 A JP2017024852 A JP 2017024852A JP 2015144683 A JP2015144683 A JP 2015144683A JP 2015144683 A JP2015144683 A JP 2015144683A JP 2017024852 A JP2017024852 A JP 2017024852A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- back determination
- plate material
- package
- determination step
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
Abstract
【課題】板材の表裏判定のばらつきによる不適品の混在を低減させ、板材の固定を安定させることが可能である、板材の表裏判定方法を提供する。
【解決手段】板材の表裏判定方法であって、少なくとも前記板材の搬送経路中において、第1基準に基づいて前記板材の表裏の適否を判定する第1表裏判定工程と、前記第1基準と異なる第2基準を用いて、前記板材の表裏の適否を判定する第2表裏判定工程と、を備えていることを特徴とする。
【選択図】図6
【解決手段】板材の表裏判定方法であって、少なくとも前記板材の搬送経路中において、第1基準に基づいて前記板材の表裏の適否を判定する第1表裏判定工程と、前記第1基準と異なる第2基準を用いて、前記板材の表裏の適否を判定する第2表裏判定工程と、を備えていることを特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明は、板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法に関する。
電子部品の構成には、例えばパッケージと、パッケージを塞ぐ蓋体(リッド)とを備えた構成が知られている。蓋体(リッド)としては、例えばコバールなどの金属の板材を基材としたものが用いられ、パッケージに固定される前に表裏判定が行われ、パッケージに載置される方向が決められる。このような表裏判定方法の一例として、例えば特許文献1および特許文献2には、パーツフィーダーを用いて構成部品を供給する検査装置(検査方法)が開示されている。この検査装置(検査方法)では、構成部品の搬送経路上に、センサー部や排除手段を含む表裏判定部が設けられ、表裏判定部の検査結果に応じて、構成部品を搬送経路から離脱させたり、搬送を継続したりする構成が開示されている。
しかしながら、特許文献1および特許文献2にて開示されている検査装置(検査方法)では、構成部品の搬送経路上に一つの表裏判定部が設けられた構成であるため、表裏判定部の判定ばらつきなどにより、適正と判定された構成部品の中に不適の構成部品が混在してしまうことが稀に生じてしまうという課題があった。例えば、この構成部品として蓋体が挙げられるが、このような不適の蓋体を、パッケージに固定してしまった場合には、適正な固定ができずに気密封止が不十分になったり、固定強度が得られずに固定できなかったりするなどを生じてしまい、電子部品としての所定の特性を得ることができない虞があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る板材の表裏判定方法は、板材の表裏判定方法であって、少なくとも前記板材の搬送経路中において、第1基準に基づいて前記板材の表裏の適否を判定する第1表裏判定工程と、前記第1基準と異なる第2基準を用いて、前記板材の表裏の適否を判定する第2表裏判定工程と、を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、第1基準に基づく第1表裏判定工程と、該第1基準と異なる第2基準に基づく第2表裏判定工程の二つの判定基準による表裏判定工程を経る。これにより、一つの表裏判定工程では、適切な判定ができないものであっても、その後の表裏判定(本例では第2表裏判定工程)において、さらに異なる基準による判定が行われるため、適切な判定を行うことができる。したがって、表裏が不適合な状態での板材の供給を防ぐことが可能となる。
[適用例2]上記適用例に記載の板材の表裏判定方法において、前記第1表裏判定工程後、且つ前記第2表裏判定工程前に、前記第1表裏判定工程で不適と判定された前記板材を取り除くと共に、前記第2表裏判定工程後に、前記第2表裏判定工程で不適と判定された前記板材を取り除くことが好ましい。
本適用例によれば、第2表裏判定工程前に第1表裏判定工程で不適と判定された板材を取り除き、さらに第2表裏判定工程後に、第2表裏判定工程で不適と判定された板材を取り除く。このように、直列的に2回の判定工程を経て不適品を取り除いた板材を供給することができ、板材の表裏の判定精度をより高めることが可能となる。
[適用例3]上記適用例に記載の板材の表裏判定方法において、前記第2表裏判定工程において、規定回数以上連続して不適と判定された場合は、前記搬送経路中における前記板材の搬送を停止することが好ましい。
本適用例によれば、第1表裏判定工程における適否判定の精度異常(ばらつき)を、素早く見出すことができ、対処の迅速化を図ることができる。
[適用例4]上記適用例に記載の板材の表裏判定方法において、前記第1基準および前記第2基準のうち、一方が前記板材の表面の反射光の強度を判定基準とし、他方が前記板材の表裏面の粗さを判定基準とすることが好ましい。
本適用例によれば、板材からの反射光の強度による判定基準と、板材の表面粗さによる判定基準との異なる二つの判定基準に基づいて重複した判定を行うため、板材の表面状態のばらつきに対応した判定を行うことができ、より判定精度を高めることが可能となる。
[適用例5]上記適用例に記載の板材の表裏判定方法において、前記板材は、表面の粗さと裏面の粗さとを異ならせてあることが好ましい。
本適用例によれば、板材の表面の粗さと裏面の粗さを積極的に異ならせているため、判定の適否をより明確にすることができる。これにより、判定精度をさらに高めることが可能となる。
[適用例6]本適用例に記載の電子部品の製造方法は、蓋体と、電子素子が搭載されたパッケージとを準備する工程と、前記蓋体を前記パッケージまで搬送する搬送経路の内で、第1基準に基づいて前記蓋体の表裏判定を行なう第1表裏判定工程と、前記第1表裏判定工程において適正と判定をされた前記蓋体に対して、前記第1基準と異なる第2基準に基づいて表裏判定を行う第2表裏判定工程と、前記第2表裏判定工程において適正と判定された前記蓋体を前記パッケージに搭載し、固定する接合工程と、を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば第1基準に基づく第1表裏判定工程と、該第1基準と異なる第2基準に基づく第2表裏判定工程の二つの判定基準によって表裏の選別が行われた適正な蓋体が、パッケージに供給されて接合される。これにより、一つの表裏判定工程では、適切な判定ができないものであっても、その後の表裏判定(本例では第2表裏判定工程)において、さらに異なる基準による判定が行われるため、適切な判定を行うことができる。したがって、表裏が不適合な状態での蓋体の供給を防ぐことができ、蓋体とパッケージとの接合を適切に行うことができるため、高い気密性を維持することができる電子部品を得ることが可能となる。
[適用例7]上記適用例に記載の電子部品の製造方法において、前記第1基準および前記第2基準の内、一方が前記蓋体の表裏面からの反射光の強度を判定基準とし、他方が前記蓋体の表裏面の面粗さを判定基準とすることが好ましい。
本適用例によれば、蓋体からの反射光の強度による判定基準と、蓋体の表面粗さによる判定基準との異なる二つの判定基準に基づいて重複した判定を行うため、蓋体の表面状態のばらつきに対応した判定を行うことができ、より判定精度を高めた電子部品の製造方法を提供することが可能となる。
[適用例8]上記適用例に記載の電子部品の製造方法において、前記蓋体は、金属板を基材とし、前記金属板の表裏面のうち、一方面にろう材が配置されており、前記接合工程では、前記第2表裏判定工程で適正と判定された前記蓋体を、前記ろう材側を前記パッケージに向けて配置し、前記配置された前記蓋体のろう材を溶融および凝固させて前記蓋体と前記パッケージとを気密封止することが好ましい。
本適用例によれば、確実にろう材の配置された側の一面をパッケージに向けて配置することができ、蓋体とパッケージとを確実に気密封止することが可能となる。これにより、気密封止性を高めた高信頼性を有する電子部品を提供することが可能となる。
[適用例9]上記適用例に記載の電子部品の製造方法において、前記蓋体は、表面の面粗さと、裏面の面粗さとを異ならせてあることが好ましい。
本適用例によれば、蓋体の表面の粗さと裏面の粗さを積極的に異ならせているため、判定の適否をより明確にすることができる。これにより、蓋体の表裏の判定精度をさらに高めることが可能となる。
以下、本発明の板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法に係る実施形態を説明する。本説明においては、電子部品の一例として振動デバイスを例示し、振動デバイスに用いられる蓋体(リッド)を板材の一例として説明する。なお、以下で説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
<振動デバイスの構成>
先ず、電子部品の一例として例示する振動デバイスの構成について図1を参照して説明する。図1は、電子部品の一例として例示する振動デバイスの外観を示す分解斜視図である。
先ず、電子部品の一例として例示する振動デバイスの構成について図1を参照して説明する。図1は、電子部品の一例として例示する振動デバイスの外観を示す分解斜視図である。
図1に示す電子部品の一例としての振動デバイス10は、電子素子の一例としての電圧を加えることにより規定周波数で振動する振動片23と、振動片23を収納空間に収納するパッケージ30と、該収納空間を塞ぎパッケージ30に接合される板材である蓋体(リッドともいう)20と、を備えている。以下、これらの各構成要素について順次説明する。
電子素子としての振動片23は、例えば水晶などの圧電体から、その結晶方向に対して規定の角度で切り出された薄板状の素子片と、該素子片の両主面(表裏面)に設けられた励振電極24とを備えている。振動片23は、励振電極24に所定の電位を与えることにより、規定の周波数にて共振することができる。
パッケージ30は、外周に側壁25を有しており、側壁25に囲まれて上面27側に開口する凹部26を有する箱状のベース(基体)と、凹部26の開口を塞いで側壁25の上面27に接合された板材としての蓋体(リッド)20と、を有している。凹部26の底部には、上述した振動片23との接続部であるパッド電極28,29が設けられており、振動片23がパッド電極28,29に図示しない導電性接着剤などにより接続されている。そして、凹部26の開口が蓋体20によって塞がれることにより形成された内部空間(収納空間)内に振動片23が収納されている。内部空間の雰囲気は、特に限定されないが、本実施形態では、真空状態(例えば、10Pa以下の減圧状態)となっている。
パッケージ30は、その平面視(蓋体20の載置方向から見る)にて、略長方形(矩形)の外形を有しており、長軸方向に延在している一対の外縁と、短軸方向(長軸方向に交差する方向)に延在している一対の外縁とを併せて側壁25が構成されている。ただし、パッケージ30の平面視形状は、長方形に限定されず、例えば、正方形であってもよいし、五角形以上の多角形であってもよいし、異形であってもよい。パッケージ30を構成する素材としては、セラミックなどを好適に用いることができる。なお、パッケージ30を構成する他の素材としては、例えばエポキシ基板などの樹脂基板をベースとしたプリント回路基板(PCB:printed circuit board)などを用いることができる。
また、パッケージ30には、各パッド電極にそれぞれ対応する部分に、貫通電極(図示せず)が形成され、パッケージ30下面に設けられた外部端子(図示せず)に接続されている。これにより、振動片23の励振電極24とパッケージ30の外部とを電気的に接続することができる。
板材としての蓋体(リッド)20は、パッケージ30の上面側に開口する凹部26を塞ぎ、凹部26の開口の周囲である側壁25の上面27と、例えばシーム溶接法などを用いて接合される。蓋体(リッド)20は、例えば42アロイ材などにニッケル(Ni)メッキを施した板材が基材21として用いられている。そして、基材21の一方面には、例えば銀ろうなどによるろう材22が配設されている。そして、蓋体(リッド)20は、ろう材22が配設されている一面をパッケージ30の側壁25の上面27に向けて、パッケージ30上に載置され、ろう材22を溶融させ、その後凝固させることによってパッケージ30に接合(封止)される。
このように、一方面にろう材22を配設した蓋体20を用いることにより、シームリングなどの溶融媒体を用いる他の封止方法に比し、部材点数を減らすことができ効率的である。なお、蓋体(リッド)20の基材21には、42アロイに替えて他の材料の板材を用いてもよく、例えば、ステンレス鋼、コバールなどの金属材料、またはパッケージ30の側壁25と同材料などを用いることができる。
<振動デバイスの製造方法>
次に、図2〜図6を参照して、電子部品としての振動デバイスの製造方法、およびそれを用いる製造装置の構成例を説明する。図2は、本発明に係る板材の表裏判定方法を適用した電子部品(振動デバイス)の製造装置の概要を示す平面図であり、図3は、該製造装置の概要を示す図2の正面図である。図4は、第1表裏判定部の判定方法を説明する概念図であり、図5は、第2表裏判定部の判定方法に用いる画像の一例を示す図である。図6は、本発明に係る電子部品(振動デバイス)の製造方法を示すフローチャートである。
次に、図2〜図6を参照して、電子部品としての振動デバイスの製造方法、およびそれを用いる製造装置の構成例を説明する。図2は、本発明に係る板材の表裏判定方法を適用した電子部品(振動デバイス)の製造装置の概要を示す平面図であり、図3は、該製造装置の概要を示す図2の正面図である。図4は、第1表裏判定部の判定方法を説明する概念図であり、図5は、第2表裏判定部の判定方法に用いる画像の一例を示す図である。図6は、本発明に係る電子部品(振動デバイス)の製造方法を示すフローチャートである。
(蓋体準備工程)
以下、電子部品(振動デバイス10)の製造方法を、図6のフローチャートに沿いながら、図2および図3の概略構成図も併せて参照しながら説明する。図6のフローチャートに示すように、先ず、蓋体(リッド)20を準備し、パーツフィーダー40に投入する(ステップS101)。併せて、パッケージ30を準備する(ステップS201)。
以下、電子部品(振動デバイス10)の製造方法を、図6のフローチャートに沿いながら、図2および図3の概略構成図も併せて参照しながら説明する。図6のフローチャートに示すように、先ず、蓋体(リッド)20を準備し、パーツフィーダー40に投入する(ステップS101)。併せて、パッケージ30を準備する(ステップS201)。
(第1表裏判定工程)
先ず、蓋体20の整送について説明する。パーツフィーダー40に投入された蓋体20は、パーツフィーダー40の流路(整送流路)を移動しながら整列される整送処理が行われ、第1表裏判定部45を構成する第1検出部としての光学センサー41の直下まで到達する(ステップS103)。第1表裏判定部45は、蓋体20の表裏判定を行う機能を有しており、1回目の表裏判定を行う(ステップS105)。蓋体20は、ろう材22の配設されている側の一面をパッケージ30に向けて整列することが必要であり、この第1表裏判定部45において表裏判定が行われる。第1表裏判定部45は、第1検出部として表面状態を光学的に検出する光学センサー41、および光学センサー41の検出したデータを処理して表裏判定を行う第1データ処理部44を備えている。第1表裏判定部45では、蓋体20からの反射光の強度を検出して蓋体20の表裏判定を行う。
先ず、蓋体20の整送について説明する。パーツフィーダー40に投入された蓋体20は、パーツフィーダー40の流路(整送流路)を移動しながら整列される整送処理が行われ、第1表裏判定部45を構成する第1検出部としての光学センサー41の直下まで到達する(ステップS103)。第1表裏判定部45は、蓋体20の表裏判定を行う機能を有しており、1回目の表裏判定を行う(ステップS105)。蓋体20は、ろう材22の配設されている側の一面をパッケージ30に向けて整列することが必要であり、この第1表裏判定部45において表裏判定が行われる。第1表裏判定部45は、第1検出部として表面状態を光学的に検出する光学センサー41、および光学センサー41の検出したデータを処理して表裏判定を行う第1データ処理部44を備えている。第1表裏判定部45では、蓋体20からの反射光の強度を検出して蓋体20の表裏判定を行う。
蓋体20の表裏判定を行うステップS105で用いる光学センサー41は、図4に示すように、射出光L1(例えば、拡散反射成分光)を蓋体20の一面に向けて照射し、蓋体20の一面から正反射された正反射光L2,L3を受光する。図2および図3に戻り、光学センサーは、受光した正反射光L2,L3の強度(大小)データを第1データ処理部44に送信する。第1データ処理部44は、受信した正反射光L2,L3のデータを処理し、正反射光L2,L3の強度(大小)によって表面の光沢度を第1基準として判定し、光沢度の違いにより表裏面のうちのどちらが光学センサー41に向いているかを判定する。
そして、ろう材22の配設されていないニッケル(Ni)メッキ面が、光学センサー41に向いていると判断した場合(ステップS105:Yes)は、要求された方向に蓋体20が向いている(適正)と判定し、パーツフィーダー40の流路に戻し、搬送を続ける。
また、ろう材22の配設されている側の面が、光学センサー41に向いていると判断した場合(ステップS105:No)は、要求された方向に蓋体20が向いていない、即ち反対側の面が向いているため不適と判定し、排除部42によって、パーツフィーダー40の初期の投入状態に戻す。不適と判定され、初期の投入状態でパーツフィーダー40に戻された蓋体20は、再びパーツフィーダー40の流路を移動し、第1表裏判定部45を構成する光学センサー41の直下まで到達し、再度表裏判定を受ける。このように、以降、蓋体20は、第1表裏判定部45によって、要求された方向に蓋体20が向いていると判定されるまでこのサイクルを繰り返すことになる。
次に、蓋体搬送部43は、表裏面の向きが適正と判定され、パーツフィーダー40の流路に戻されて蓋体移載部57まで搬送された蓋体20を順次吸着し、電子部品(振動デバイス)の製造装置を構成するインデックステーブル50に設けられた蓋体載置部52に向け、搬送経路R1に沿って搬送する(ステップS107)。蓋体搬送部43は、領域Q1の間を往復運動すると共に、吸着部(図示せず)が上下運動することによって、蓋体20を吸着して搬送する。
(第2表裏判定工程)
搬送が開始された蓋体20は、インデックステーブル50の蓋体載置部52に到達するまでの間において、第2表裏判定部48を構成する第2検出部としての撮像カメラ46に対向する位置に到達する。第2表裏判定部48は、蓋体20の表裏判定を行う機能を有しており、この位置で蓋体20の2回目の表裏判定を行う(ステップS109)。第2表裏判定部48は、蓋体20の面を撮影し画像データを送信する第2検出部としての撮像カメラ46、および撮像カメラ46から送られる画像データを処理して表裏判定を行う第2データ処理部47を備えている。第2表裏判定部48では、撮像カメラ46によって蓋体20の面状態を撮影し、撮影した画像データを第2データ処理部47の処理によって生成された二値化データに基づいて判定を行う。
搬送が開始された蓋体20は、インデックステーブル50の蓋体載置部52に到達するまでの間において、第2表裏判定部48を構成する第2検出部としての撮像カメラ46に対向する位置に到達する。第2表裏判定部48は、蓋体20の表裏判定を行う機能を有しており、この位置で蓋体20の2回目の表裏判定を行う(ステップS109)。第2表裏判定部48は、蓋体20の面を撮影し画像データを送信する第2検出部としての撮像カメラ46、および撮像カメラ46から送られる画像データを処理して表裏判定を行う第2データ処理部47を備えている。第2表裏判定部48では、撮像カメラ46によって蓋体20の面状態を撮影し、撮影した画像データを第2データ処理部47の処理によって生成された二値化データに基づいて判定を行う。
さらに詳述すれば、図5に示すように、蓋体20の面状態を撮影した画像データを処理した画像(黒地画面)上に、面粗さの大きな(粗い)状態を示す凹凸を白点WPで現し、その白点WPの数が規定値(第2基準)を超えているか否かで、当該面の面粗さを判断する。本例の蓋体20によれば、ろう材22の配置されている面の面粗さの方が、ニッケルメッキ面の面粗さより粗いため、ニッケルメッキ面の状態を規定値として略黒地として描画する。例えば、撮像カメラ46がろう材22の配置されている面を撮影した場合を仮定すると、ろう材22の配置されている面の面粗さの方が粗いため、黒地の画面状に、白点WPが所定の数より多く出現することになり、ろう材22の配置された面であることが判る。したがって、撮像カメラ46に向いている蓋体20の面が、ろう材22の配置されている面であると判定する。このようにして、ニッケルメッキ面とろう材22の配置されている面との表裏判定を行うことができる。
そして、第2表裏判定部48において、ろう材22の配設されている面が、撮像カメラ46に向いていると判断した場合(ステップS109:Yes)は、要求された方向に蓋体20が向いている(適正)と判定し、搬送を継続して蓋体20をインデックステーブル50の蓋体載置部52に載置する。
また、ニッケルメッキの施されている側の基材21の面が、撮像カメラ46に向いていると判断した場合(ステップS109:No)は、要求された方向に蓋体20が向いていない、即ち反対側の面が向いているため不適と判定し、パーツフィーダー40の初期の投入状態に戻す。不適と判定され、初期の投入状態でパーツフィーダー40に戻された蓋体20は、再びパーツフィーダーの流路を移動し、第1表裏判定部45を構成する光学センサー41の直下まで到達し、再度表裏判定を受ける。そして、以降、前述と同様に要求された方向に蓋体20が向いていると判定されるまでこのサイクルを繰り返すことになる。
また、本例では、撮像カメラ46が、蓋体20の搬送経路R1の下方側に位置する構成を例示していることにより、ろう材22の配設されている面が、撮像カメラ46に向いていると判断した場合を適正と判定した。しかしながら、撮像カメラ46が、蓋体20の搬送経路R1の上方側に位置する構成の場合は、ニッケルメッキの施されている側の基材21の面が、撮像カメラ46に向いていると判断した場合を適正と判定することになる。
このような板材としての蓋体(リッド)20の表裏判定方法によれば、第1基準として用いる光沢度に基づく第1表裏判定工程、および第1基準と異なる第2基準としての面粗さに基づく第2表裏判定工程の二つの判定基準による表裏判定工程を経る。これにより、第1基準による一回目の表裏判定工程では、適切な判定ができないものであっても、2回目の第2表裏判定工程において、異なる基準(第2基準)による判定が行われるため、適切な判定を行うことができる。したがって、表裏が不適合な状態での板材(蓋体)の供給を防ぐことが可能となる。
また、第2表裏判定工程において、予め設定された規定回数以上連続して、蓋体(リッド)20の表裏判定が不適と判定された場合は、蓋体搬送部43による搬送経路R1中における蓋体20の搬送を停止することとしてもよい。このようにすることにより、第1表裏判定工程における適否判定の精度異常を、素早く検知することができ、第1表裏判定工程の適否判定の正常化に係る対処の迅速化を図ることができる。
なお、上述における例示では、第1表裏判定部45を構成する第1検出部としての光学センサー41、および第2表裏判定部48を構成する第2検出部としての撮像カメラ46を、蓋体(リッド)20の搬送経路R1中に配置して、それぞれ蓋体(リッド)20の表裏判定を行う構成で説明したが、これに限らない。光学センサー41、および撮像カメラ46の配置位置は、蓋体(リッド)20の搬送経路R1上に位置していなくてもよく、例えば光学センサー41の設けられている位置に、蓋体(リッド)20を搬送アームなどで搬送し、表裏判定を行う構成であってもよい。但し、光学センサー41、および撮像カメラ46の配置位置を、蓋体(リッド)20の搬送経路R1上とする構成が、スペース効率、構成部品効率などの観点からしても効率的である。
(パッケージ準備工程)
次に、蓋体20の整送と併せて行われる、パッケージ30の整送について説明する。先ず、ステップS201にて準備されたパッケージ30の凹部26(図1参照)に電子素子としての振動片23を搭載する(ステップS203)。振動片23は、パッケージ30の凹部26内に、例えば導電性接着剤などの導電部材を用いて接続される。そして、振動片23の搭載されたパッケージ30は、パッケージ整列部56に整列される。
次に、蓋体20の整送と併せて行われる、パッケージ30の整送について説明する。先ず、ステップS201にて準備されたパッケージ30の凹部26(図1参照)に電子素子としての振動片23を搭載する(ステップS203)。振動片23は、パッケージ30の凹部26内に、例えば導電性接着剤などの導電部材を用いて接続される。そして、振動片23の搭載されたパッケージ30は、パッケージ整列部56に整列される。
(パッケージ搬送工程)
次に、パッケージ搬送部55は、パッケージ整列部56に載置されたパッケージ30を、順次パッケージ移載部58の位置で吸着し、インデックステーブル50に設けられたパッケージ載置部51に向け、搬送経路R2に沿って搬送し、パッケージ載置部51に載置する(ステップS205)。なお、パッケージ搬送部55は、領域Q2の間を往復運動すると共に、吸着部(図示せず)が上下運動することによって、パッケージ30を保持して搬送する。
次に、パッケージ搬送部55は、パッケージ整列部56に載置されたパッケージ30を、順次パッケージ移載部58の位置で吸着し、インデックステーブル50に設けられたパッケージ載置部51に向け、搬送経路R2に沿って搬送し、パッケージ載置部51に載置する(ステップS205)。なお、パッケージ搬送部55は、領域Q2の間を往復運動すると共に、吸着部(図示せず)が上下運動することによって、パッケージ30を保持して搬送する。
パッケージ載置部51に載置されたパッケージ30は、インデックステーブル50の回動によって、蓋体載置部52の位置に移設される。そして、移設されたパッケージ30の上面(側壁25の上面27:図1参照)に、前述したステップS107において搬送された蓋体20が、蓋体搬送部43によって載置される。なお、ここで載置される蓋体20は、2回の表裏判定を経て、蓋体20における表裏の向きが適正であると判定されたものである。
(接合工程)
次に、蓋体20が載置されたパッケージ30は、インデックステーブル50の回動によって、接合部53の位置に移設される。接合部53の位置に移設された蓋体20およびパッケージ30は、例えば抵抗溶接装置(図示せず)などを用いることによりろう材22を溶融させ、その後凝固させることによって固定する、所謂接合(封止)を行う(ステップS111)。これにより、図1に示すような、パッケージ30の凹部26に電子素子としての振動片23を収納し、蓋体20によって封止がなされた振動デバイス10が構成される。
次に、蓋体20が載置されたパッケージ30は、インデックステーブル50の回動によって、接合部53の位置に移設される。接合部53の位置に移設された蓋体20およびパッケージ30は、例えば抵抗溶接装置(図示せず)などを用いることによりろう材22を溶融させ、その後凝固させることによって固定する、所謂接合(封止)を行う(ステップS111)。これにより、図1に示すような、パッケージ30の凹部26に電子素子としての振動片23を収納し、蓋体20によって封止がなされた振動デバイス10が構成される。
(特性検査工程)
次に、蓋体20によって封止がなされた振動デバイス10(図1参照)は、インデックステーブル50の回動によって、特性検査部54の位置に移設される。そして、特性検査機(図示せず)を用いて、振動デバイスの電気的特性(機能特性)を計測し、合否を判定し(ステップS113)、一連の工程を終了する。
次に、蓋体20によって封止がなされた振動デバイス10(図1参照)は、インデックステーブル50の回動によって、特性検査部54の位置に移設される。そして、特性検査機(図示せず)を用いて、振動デバイスの電気的特性(機能特性)を計測し、合否を判定し(ステップS113)、一連の工程を終了する。
上述のような電子部品(振動デバイス)の製造方法によれば、蓋体20からの反射光の強度による第1基準に基づく第1表裏判定工程(ステップS105)と、第1基準と異なる蓋体20の面粗さによる第2基準に基づく第2表裏判定工程(ステップS109)の二つの判定基準によって表裏の選別が行われた適正な蓋体20が、パッケージ30に供給されて接合(ステップS111)される。これにより、一回の表裏判定工程では、適切な判定ができないものであっても、その後の2回目の第2表裏判定工程において、異なる判定基準である第2基準による判定が行われるため、適切な判定を行うことができる。したがって、表裏が不適合な状態での蓋体20の供給を防ぐことができ、蓋体20とパッケージ30との接合を適切に行うことができるため、高い気密性を維持することができる電子部品(振動デバイス10)を得ることができる。
また、前述のように第2表裏判別工程では、蓋体20の表裏面のそれぞれの面粗さを測定し、比較することによって表裏の判定を行う。したがって、蓋体20の表面の面粗さと、裏面との面粗さとを異ならせ、さらには、その差を大きくするように、例えば押圧による表面状態の変更、サンドブラスト処理、もしくはエッチングなどによる表面処理などを用いて積極的に表面状態を変えることが望ましい。このようにすることにより、判定の適否をより明確にすることができる。これにより、蓋体20の表裏の判定精度をさらに高めることが可能となる。
(蓋体の変形例)
次に、図7〜図10を参照して板材としての蓋体(リッド)20の表面状態における変形例について説明する。図7は、板材(蓋体)の表面状態の変形例1を示す平面図であり、図8は、板材(蓋体)の表面状態の変形例2を示す平面図である。また、図8は、板材(蓋体)の表面状態の変形例3を示す平面図であり、図10は、板材(蓋体)の表面状態の変形例4を示す平面図である。
次に、図7〜図10を参照して板材としての蓋体(リッド)20の表面状態における変形例について説明する。図7は、板材(蓋体)の表面状態の変形例1を示す平面図であり、図8は、板材(蓋体)の表面状態の変形例2を示す平面図である。また、図8は、板材(蓋体)の表面状態の変形例3を示す平面図であり、図10は、板材(蓋体)の表面状態の変形例4を示す平面図である。
以下に示す変形例は、例えば押圧、サンドブラスト処理、もしくはエッチング処理などにより、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を変化させ、蓋体20の表面の面粗さと、裏面の面粗さとの差を大きくしたり、反射光の強度の差を大きくしたりして、表裏の判定精度をさらに高めるために好適である。
図7に示す変形例1に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、一面に縦縞模様が施されている状態に変化させた例を示している。
また、図8に示す変形例2に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、一面に格子縞模様が施されている状態に変化させた例を示している。
また、図9に示す変形例3に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、素面の状態と異なる帯状のストライプを間欠的に配置させた例を示している。
また、図10に示す変形例4に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、素面の状態と異なる島状(本例では矩形状)の部位を配列させた例を示している。
また、図8に示す変形例2に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、一面に格子縞模様が施されている状態に変化させた例を示している。
また、図9に示す変形例3に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、素面の状態と異なる帯状のストライプを間欠的に配置させた例を示している。
また、図10に示す変形例4に係る板材としての蓋体20においては、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を、素面の状態と異なる島状(本例では矩形状)の部位を配列させた例を示している。
変形例1〜変形例4に示すように、蓋体20の表裏面のいずれか一方の面状態を変化させることにより、表面の光沢度、もしくは表面粗さを変えることができ、第1表裏判定部45では反射光の強度、および第2表裏判定部48では表面粗さの比較を行い易くなり、表裏判定の精度を向上することが可能となる。
なお、上述の変形例では、蓋体20の一面の全体に表面処理を行った例を示したが、表面処理は、全面に限らず、例えば中心部などが部分的に面粗さの異なる部位として設けられている構成、面粗さの異なる部位が間欠的に設けられている構成、もしくはストライプ状に面粗さの異なる部位が設けられている構成などであってもよい。このように、光沢度や面粗さなどの検出において、表面状態の差が顕著に見られ、判別しやすい構成が好ましい。
また、板材としては、パッケージを封止する蓋体(リッド)を例に挙げて説明したがこれに限らず、例えばエポキシ基板などの樹脂基板をベースとしたプリント回路基板(PCB:printed circuit board)、他の振動片、センサー素子片、キャップ(カバー)など、表裏判定の必要な板材の表裏判定に適用することができる。
また、電子部品の一例として振動デバイスを例に説明したが、表裏の判定が必要となる板材を用いた電子部品としては振動デバイスに限らない。電子部品としては、例えばパッケージ内に回路デバイスを備えた回路装置、半導体素子を備えた半導体装置、ジャイロ素子を備えたジャイロセンサー、加速度検出素子を備えた加速度センサーなどにも適用することが可能である。
10…電子部品としての振動デバイス、20…板材としての蓋体(リッド)、21…基材、22…ろう材、23…振動片、24…励振電極、25…側壁、26…凹部、27…側壁上面、28…パッド電極、29…パッド電極、30…パッケージ、40…パーツフィーダー、41…第1検出部としての光学センサー、42…排除部、43…蓋体搬送部、44…第1データ処理部、45…第1表裏判定部、46…第2検出部としての撮像カメラ、47…第2データ処理部、48…第2表裏判定部、50…インデックステーブル、51…パッケージ載置部、52…蓋体載置部、53…接合部、54…特性検査部、55…パッケージ搬送部、56…パッケージ整列部、57…蓋体移載部、58…パッケージ移載部。
Claims (9)
- 板材の表裏判定方法であって、
少なくとも前記板材の搬送経路中において、第1基準に基づいて前記板材の表裏の適否を判定する第1表裏判定工程と、
前記第1基準と異なる第2基準を用いて、前記板材の表裏の適否を判定する第2表裏判定工程と、を備えていることを特徴とする板材の表裏判定方法。 - 前記第1表裏判定工程後、且つ前記第2表裏判定工程前に、前記第1表裏判定工程で不適と判定された前記板材を取り除くと共に、前記第2表裏判定工程後に、前記第2表裏判定工程で不適と判定された前記板材を取り除くことを特徴とする請求項1に記載の板材の表裏判定方法。
- 前記第2表裏判定工程において、規定回数以上連続して不適と判定された場合は、
前記搬送経路中における前記板材の搬送を停止することを特徴とする請求項2に記載の板材の表裏判定方法。 - 前記第1基準および前記第2基準のうち、一方が前記板材の表面の反射光の強度を判定基準とし、他方が前記板材の表裏面の粗さを判定基準とすることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の板材の表裏判定方法。
- 前記板材は、表面の粗さと裏面の粗さとを異ならせてあることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の板材の表裏判定方法。
- 蓋体と、電子素子が搭載されたパッケージとを準備する工程と、
前記蓋体を前記パッケージまで搬送する搬送経路の内で、第1基準に基づいて前記蓋体の表裏判定を行なう第1表裏判定工程と、
前記第1表裏判定工程において適正と判定をされた前記蓋体に対して、前記第1基準と異なる第2基準に基づいて表裏判定を行う第2表裏判定工程と、
前記第2表裏判定工程において適正と判定された前記蓋体を前記パッケージに搭載し、固定する接合工程と、を備えていることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記第1基準および前記第2基準の内、一方が前記蓋体の表裏面からの反射光の強度を判定基準とし、
他方が前記蓋体の表裏面の面粗さを判定基準とすることを特徴とする請求項6に記載の電子部品の製造方法。 - 前記蓋体は、金属板を基材とし、前記金属板の表裏面のうち、一方面にろう材が配置されており、
前記接合工程では、
前記第2表裏判定工程で適正と判定された前記蓋体を、前記ろう材側を前記パッケージに向けて配置し、
前記配置された前記蓋体のろう材を溶融および凝固させて前記蓋体と前記パッケージとを気密封止することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の電子部品の製造方法。 - 前記蓋体は、表面の面粗さと、裏面の面粗さとを異ならせてあることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015144683A JP2017024852A (ja) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015144683A JP2017024852A (ja) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017024852A true JP2017024852A (ja) | 2017-02-02 |
Family
ID=57949426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015144683A Pending JP2017024852A (ja) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017024852A (ja) |
-
2015
- 2015-07-22 JP JP2015144683A patent/JP2017024852A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8847590B2 (en) | Surface-mountable magnetic field sensor having a semiconductor chip and method for producing a circuit board having a magnetic field sensor | |
JP4658625B2 (ja) | 角速度センサ及びその製造方法 | |
JP2013098209A (ja) | 回路基板、電子デバイス、電子機器、及び回路基板の製造方法 | |
JP6275526B2 (ja) | 圧電振動子、圧電デバイス及び圧電振動子の製造方法 | |
JP2012199861A (ja) | 水晶デバイス及び水晶デバイスの検査方法 | |
JP2010268193A (ja) | 表面実装用の水晶発振器 | |
JP2000299611A (ja) | 表面実装用水晶発振器及びその製造方法 | |
JP4577395B2 (ja) | 実装装置及び実装方法 | |
JP2017024852A (ja) | 板材の表裏判定方法、および電子部品の製造方法 | |
CN109384193A (zh) | 用于光学器件的倾斜芯片组件 | |
CN112771738B (zh) | 半导体激光装置 | |
JP2012209764A (ja) | 圧電デバイス | |
JP5093074B2 (ja) | ワークの位置検出方法 | |
JP2002090384A (ja) | 運動センサの構造および内部接続方法 | |
JP6528369B2 (ja) | シャント抵抗器およびその実装方法 | |
CN107493651B (zh) | 电子器件 | |
US20150188025A1 (en) | Container for electronic component and electronic component | |
JP2007281377A (ja) | 電子部品用リッド、及び電子部品 | |
JP2005210427A (ja) | 圧電デバイスの製造方法および製造装置 | |
JP6513964B2 (ja) | 水晶デバイス | |
JP2009246564A (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2014192647A (ja) | 水晶振動子及び水晶振動子の製造方法 | |
JP2012234993A (ja) | 半導体パッケージ及び搬送システム | |
JP5287158B2 (ja) | 圧電振動デバイスの製造装置及び製造方法 | |
JP2005340444A (ja) | 電子部品収納用パッケージ |