JP2017015521A - 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ - Google Patents
吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017015521A JP2017015521A JP2015131520A JP2015131520A JP2017015521A JP 2017015521 A JP2017015521 A JP 2017015521A JP 2015131520 A JP2015131520 A JP 2015131520A JP 2015131520 A JP2015131520 A JP 2015131520A JP 2017015521 A JP2017015521 A JP 2017015521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary encoder
- moisture absorption
- absorption amount
- hygroscopic agent
- moisture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000003230 hygroscopic agent Substances 0.000 claims description 110
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 14
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 28
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 28
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 abstract 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005314 correlation function Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920001495 poly(sodium acrylate) polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M sodium polyacrylate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C=C NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005518 polymer electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/26—Windows; Cover glasses; Sealings therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/048—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance for determining moisture content of the material
Abstract
Description
フランジの電動機に対向させる部分に少なくとも一つの追加の吸湿剤が配置されており、該追加の吸湿剤の吸湿量が前記電気回路によって取得されるようになっている、回転エンコーダが提供される。
少なくとも一つの吸湿剤が密閉空間においてカバー部材と接触するように配置されている、回転エンコーダが提供される。
電気回路は、吸湿量算出部により算出された吸湿量が所定の閾値を超えているか否かを判定する比較判定部と、その算出された吸湿量が所定の閾値を超えた場合には吸湿剤が液体を吸収しきれなくなる旨を報知するための信号を出力する出力部と、をさらに有する、回転エンコーダが提供される。
図1は第一実施形態の回転エンコーダを模式的に示す縦断面図である。
図1を参照すると、本実施形態の回転エンコーダ10は、軸受部11と、軸受部11を嵌合する穴12aが形成されたベース部材12とを備える。軸受部11には回転軸部13が挿通されている。回転軸部13の一端には、不図示の電動機の駆動軸と連結する継手14が設けられている。一方、回転軸部13の他端には回転スリット板15が結合されている。回転スリット板15上には、不図示の透過部と非透過部とからなる複数のスリットが円周方向に形成されている。回転スリット板15はコード板とも呼ばれる。
図2は、図1に示された電気回路17の構成を示すブロック図である。
図2に示された電気回路17は、吸湿剤21の電気特性を一定時間ごとに測定する電気特性測定部27と、電気特性測定部27により測定された電気特性に基づいて吸湿量を算出する吸湿量算出部28と、吸湿量算出部28により算出された吸湿量と所定の閾値とを比較して、吸湿剤21の吸湿量が所定の閾値を超えているか否かを判定する比較判定部29と、吸湿量が所定の閾値を超えた場合には吸湿剤21が液体を吸収しきれなくなる旨を報知する警告や警報用の信号を出力する出力部30と、を備える。
また、回転エンコーダ10自体に備わる電気回路17によって吸湿剤21の吸湿量を取得できるため、別途の湿度センサなどを設ける必要が無い。それにより、回転エンコーダ10の小型化およびコスト削減を図ることができる。
吸湿剤21の吸湿量を算出するために、電気特性測定部27は、吸湿剤21の電気的特性、例えば電気抵抗値、静電容量または電流値などを測定する必要がある。
図3に示されるように、電源32の電圧をVcc、吸湿剤21の電気抵抗値をRx、固定抵抗33をR1として規定する。そして、電源32、吸湿剤21および固定抵抗33を直列接続し、さらに、固定抵抗33に掛かる電圧V1を測定する電圧測定回路34を固定抵抗33に並列接続する。
i=V1/R1 ・・・(1)
そして、下記の式(2)に示されるように、電流i、電圧V1、および電源電圧Vccから、吸湿剤21の電気抵抗値Rxを測定することができる。
Rx=(Vcc−V1)/i ・・・(2)
図4から分かるように、吸湿剤21の吸湿量が大きくなるほど、水分によって電離したイオンの量が大きくなるため、吸湿剤21の電気抵抗値が小さくなる。また、気温が高くなるほど、空気中の水分の絶対量が多くなるため、同じ吸湿量であっても気温が高いほど、電気抵抗値は小さくなる。このように吸湿剤21の電気抵抗値と吸湿剤21の吸湿量との間に相関があるとともに、吸湿量と電気抵抗値との相関を示す曲線は気温に応じて上下にシフトする。よって、図3に示されるような回路によって吸湿剤21の電気抵抗値を測定し、さらに吸湿剤21の周辺温度を測定すれば、図4に示されるような吸湿量と電気抵抗値との相関に基づいて吸湿剤21の吸湿量を取得することができる。この場合、例えば実験やシミュレーションなどから、温度を補正係数として含む吸湿量と電気抵抗値との相関関数を求めておき、そのような相関関数を図2に示された吸湿量算出部28に記憶しておくことが好ましい。
図5Aに示されるように、電源32の電圧をVcc、吸湿剤21の静電容量をCx、固定抵抗33をR1として規定する。そして、電源32および吸湿剤21を直列接続し、さらに、吸湿剤21に掛かる電圧V1を測定する電圧測定回路34を吸湿剤21に並列接続することにより、吸湿剤21を充電する充電回路を構成する。また、電圧測定回路34が並列接続された吸湿剤21と固定抵抗33とを三端子レギュレータ35を介して直列接続することにより、吸湿剤21に充電された電流を放電する放電回路を構成する。
i=V1/R1 ・・・(3)
Cx=i×(T2−T1)/(V1−V2) ・・・(4)
図6から分かるように、吸湿剤21の吸湿量が大きくなるほど、誘電率が大きくなり、吸湿剤21の静電容量も大きくなる。また、気温が高くなるほど、空気中の水分の絶対量が多くなるため、同じ吸湿量であっても気温が高いほど、静電容量は小さくなる。このように吸湿剤21の静電容量と吸湿剤21の吸湿量との間に相関があるとともに、吸湿量と静電容量との相関を示す直線は気温に応じて上下にシフトする。よって、図5Aに示されるような充放電回路によって吸湿剤21の静電容量を測定し、さらに吸湿剤21の周辺温度を測定すれば、図6に示されるような吸湿量と静電容量の相関に基づいて吸湿剤21の吸湿量を取得することができる。この場合、例えば実験やシミュレーションなどから、温度を補正係数として含む吸湿量と静電容量との相関関数を求めておき、そのような相関関数を図2に示された吸湿量算出部28に記憶しておくことが好ましい。
図1に示されているような回転エンコーダ10においては、フランジ16上に配置された回転スリット板15や発光素子19などの構成部品がカバー部材23によって密閉されている。そのため、急激な温度変化または湿度変化によりカバー部材23内の密閉空間に結露が発生したり、回転エンコーダ10の構造上の隙間、すなわち軸受部11と回転軸部13との隙間からカバー部材23内の密閉空間に液体が浸入したりすることがある。このような結露や液体浸入は回転エンコーダ10の不具合の原因となるため、カバー部材23内の密閉空間には吸湿剤21が配置されている。しかし、吸湿剤21の吸湿能力を上回る結露や液体浸入が発生した場合には回転エンコーダ10の不具合発生を防ぎきれない。そこで、本願発明においては、上述したように吸湿剤21の吸湿量を取得する機能を備えることにより、結露の発生や液体の浸入を検知するとともに、結露や液体浸入による液量を吸湿剤21が吸収しきれなくなる可能性があることを予測して、液体による回転エンコーダ10の不具合発生を予防できるようにしている。そして、吸湿量が吸湿剤21の吸湿能力を上回る前に警告や警報を発して保守を促すことにより、保守時間を短縮して電動機の稼働率を向上させることができる。
次に、第二実施形態について説明する。但し、以下では、上述した第一実施形態と同じ構成要素については同一の符号を使用して説明を割愛する。よって、上述した第一実施形態の構成要素に対して異なる点のみを以下に述べる。
上述の第一実施形態においては、カバー部材23内の密閉空間に吸湿剤21を配置するとともに、吸湿剤21の吸湿量を取得する電気回路17を設置している。しかし本発明においては、吸湿剤21の設置場所は、図1に示されるようなカバー部材23内の保持部材22上に限られない。そこで、第二実施形態においては、図7に示されるように、フランジ16の、カバー部材23が取付けられた側とは反対側にも吸湿剤36を配置し、この吸湿剤36の吸湿量を電気回路17により取得できるようにしている。その他の構成は第一実施形態と同じである。
次に、第三実施形態について説明する。但し、以下では、上述した第一実施形態および第二実施形態と同じ構成要素については同一の符号を使用して説明を割愛する。よって、上述した第一実施形態および第二実施形態の構成要素に対して異なる点のみを以下に述べる。
上述の第一実施形態においては、カバー部材23内の密閉空間に吸湿剤21を配置するとともに、吸湿剤21の吸湿量を取得する電気回路17を設置している。特に第一実施形態においては、図1に示されるように吸湿剤21は保持部材22以外の部品とは接していない。しかし、フランジ16とカバー部材23とによって形成される密閉空間において、外気と直接触れるカバー部材23が他の部材と比べて最も温度が低く、結露が最初に発生する可能性が高い。
11 軸受部
12 ベース部材
12a 穴
13 回転軸部
14 継手
15 回転スリット板
16 フランジ
16a 凹部
17 電気回路
18 支持部
19 発光素子
20 受光素子
21、36〜38 吸湿剤
22、39、40 保持部材
23 カバー部材
24 シール部材
25 電気コネクタ
27 電気特性測定部
28 吸湿量算出部
29 比較判定部
30 出力部
31 記憶部
32 電源
33 固定抵抗
34 電圧測定回路
35 三端子レギュレータ
Claims (6)
- 気密構造の回転エンコーダ(10)であって、
前記回転エンコーダ(10)内に配置された少なくとも一つの吸湿剤(21)と、
該吸湿剤(21)の吸湿量を取得する電気回路(17)と、
を備える、回転エンコーダ。 - 電動機に当接されるべきフランジ(16)をさらに備え、
前記フランジ(16)の前記電動機に対向させる部分に少なくとも一つの追加の吸湿剤(36)が配置されており、該追加の吸湿剤(36)の吸湿量が前記電気回路(17)によって取得されるようになっている、請求項1に記載の回転エンコーダ。 - 電動機に当接されるべきフランジ(16)と、前記フランジ(16)に取付けられていて前記回転エンコーダ(10)内に密閉空間を形成するカバー部材(23)と、をさらに備え、
前記少なくとも一つの吸湿剤(21、37、38)は前記密閉空間において前記カバー部材(23)と接触するように配置されている、請求項1に記載の回転エンコーダ。 - 前記電気回路(17)は、
各前記吸湿剤(21、36〜38)の電気抵抗値を測定する測定部(27)と、
測定された電気抵抗値に基づいて各前記吸湿剤(21、36〜38)の吸湿量を算出する吸湿量算出部(28)と、
を有する、請求項1から3のいずれか一項に記載の回転エンコーダ。 - 前記電気回路(17)は、
各前記吸湿剤(21、36〜38)の静電容量を測定する測定部(27)と、
測定された静電容量に基づいて各前記吸湿剤(21、36〜38)の吸湿量を算出する吸湿量算出部(28)と、
を有する、請求項1から3のいずれか一項に記載の回転エンコーダ。 - 前記電気回路(17)は、
前記吸湿量算出部(28)により算出された吸湿量が所定の閾値を超えているか否かを判定する比較判定部(29)と、前記算出された吸湿量が前記所定の閾値を超えた場合には各前記吸湿剤(21、36〜38)が液体を吸収しきれなくなる旨を報知するための信号を出力する出力部(30)と、をさらに有する、請求項4または請求項5に記載の回転エンコーダ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015131520A JP6499532B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
DE102016007722.0A DE102016007722B4 (de) | 2015-06-30 | 2016-06-23 | Drehkodierer mit Funktion zum Gewinnen einer Feuchtigkeitsabsorptionsmenge eines Trockenmittels |
US15/195,085 US10317258B2 (en) | 2015-06-30 | 2016-06-28 | Rotary encoder having function to obtain moisture absorbing amount of desiccant |
CN201610509262.XA CN106323343A (zh) | 2015-06-30 | 2016-06-30 | 旋转编码器 |
CN201620683681.0U CN205909836U (zh) | 2015-06-30 | 2016-06-30 | 旋转编码器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015131520A JP6499532B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017015521A true JP2017015521A (ja) | 2017-01-19 |
JP6499532B2 JP6499532B2 (ja) | 2019-04-10 |
Family
ID=57582556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015131520A Active JP6499532B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10317258B2 (ja) |
JP (1) | JP6499532B2 (ja) |
CN (2) | CN106323343A (ja) |
DE (1) | DE102016007722B4 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018002572A1 (de) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Fanuc Corporation | Wertgeber |
CN110869711A (zh) * | 2017-07-14 | 2020-03-06 | 株式会社尼康 | 编码器及驱动装置 |
JP7473634B2 (ja) | 2019-09-20 | 2024-04-23 | レーニンベント エービー | 電気抵抗率の測定によって汚れの量を測定するための装置、方法、システム及びキット |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6499532B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2019-04-10 | ファナック株式会社 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
ES2727850T3 (es) * | 2017-03-29 | 2019-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Sistema de medición de ángulos |
DE102018130669A1 (de) | 2018-12-03 | 2020-06-04 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Sensor der Prozessmesstechnik |
DE102019106288B3 (de) * | 2019-03-12 | 2020-03-05 | Sick Stegmann Gmbh | Drehgeber |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4967676A (ja) * | 1972-10-27 | 1974-07-01 | ||
US4272986A (en) * | 1979-04-16 | 1981-06-16 | Harris Corporation | Method and means for measuring moisture content of hermetic semiconductor devices |
JPS61217744A (ja) * | 1985-03-23 | 1986-09-27 | Orient Watch Co Ltd | 光フアイバ−湿度センサ及び湿度測定装置 |
JPH0376115U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 | ||
JPH0510911A (ja) * | 1991-07-03 | 1993-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 電気機器の吸湿検出装置 |
JPH05157580A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 静電式ロータリエンコーダ |
JPH07159005A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-06-20 | Nippondenso Co Ltd | 冷凍サイクルの水分除去装置 |
US5968386A (en) * | 1997-12-18 | 1999-10-19 | Ford Motor Company | Method for protecting electronic components |
JP2001012635A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Tomoe Tech Res Co | 弁駆動用電動アクチュエータ |
JP2001179479A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-07-03 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工機 |
JP2002005866A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-09 | Tdk Corp | 携帯用電子機器 |
JP2002325395A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Fanuc Ltd | 検出器付き電動機 |
JP2005148035A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | Yaskawa Electric Corp | 回転形検出器 |
JP2009018970A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Ihi Corp | 酸素濃縮装置 |
US20120234078A1 (en) * | 2009-10-30 | 2012-09-20 | Peter Hagl | Sensor device |
JP2014031913A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Sharp Corp | 収容器及び収容器の使用方法 |
JP2014507003A (ja) * | 2011-03-03 | 2014-03-20 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | ポリアミドの混合物を含むポリマー層を湿気吸収層として備える湿度センサ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0540104A (ja) | 1991-08-08 | 1993-02-19 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 感湿または結露センサの製造方法 |
JPH112616A (ja) | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 高分子電解質複合膜を用いた湿度センサ |
JP2004008968A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | 乾燥装置 |
US7195177B2 (en) * | 2003-06-18 | 2007-03-27 | Raytheon Company | Method and apparatus for humidity control within a housing |
DE102004047991A1 (de) * | 2003-10-02 | 2005-06-23 | Aisan Kogyo K.K., Obu | Rotationswinkelsensoren |
JP4617173B2 (ja) | 2004-04-26 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | 防湿機能を有する光学機器 |
US20060278965A1 (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Foust Donald F | Hermetically sealed package and methods of making the same |
DE102008032419A1 (de) * | 2008-07-10 | 2010-01-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drehgeber und Baureihe von Drehgebern |
AT508976B1 (de) * | 2009-10-30 | 2013-06-15 | Hagl Peter Dipl Ing | Feuchtigkeitssensor |
CN201880470U (zh) * | 2010-12-08 | 2011-06-29 | 上海科油石油仪器制造有限公司 | 一种智能干燥筒 |
US9506887B2 (en) * | 2014-12-08 | 2016-11-29 | Symbol Technologies, Llc | Field replaceable desiccant cartridge and device, method and system therefor |
JP6499532B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2019-04-10 | ファナック株式会社 | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ |
-
2015
- 2015-06-30 JP JP2015131520A patent/JP6499532B2/ja active Active
-
2016
- 2016-06-23 DE DE102016007722.0A patent/DE102016007722B4/de active Active
- 2016-06-28 US US15/195,085 patent/US10317258B2/en active Active
- 2016-06-30 CN CN201610509262.XA patent/CN106323343A/zh active Pending
- 2016-06-30 CN CN201620683681.0U patent/CN205909836U/zh active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4967676A (ja) * | 1972-10-27 | 1974-07-01 | ||
US4272986A (en) * | 1979-04-16 | 1981-06-16 | Harris Corporation | Method and means for measuring moisture content of hermetic semiconductor devices |
JPS61217744A (ja) * | 1985-03-23 | 1986-09-27 | Orient Watch Co Ltd | 光フアイバ−湿度センサ及び湿度測定装置 |
JPH0376115U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 | ||
JPH0510911A (ja) * | 1991-07-03 | 1993-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | 電気機器の吸湿検出装置 |
JPH05157580A (ja) * | 1991-12-03 | 1993-06-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 静電式ロータリエンコーダ |
JPH07159005A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-06-20 | Nippondenso Co Ltd | 冷凍サイクルの水分除去装置 |
US5968386A (en) * | 1997-12-18 | 1999-10-19 | Ford Motor Company | Method for protecting electronic components |
JP2001012635A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Tomoe Tech Res Co | 弁駆動用電動アクチュエータ |
JP2001179479A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-07-03 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工機 |
JP2002005866A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-09 | Tdk Corp | 携帯用電子機器 |
JP2002325395A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Fanuc Ltd | 検出器付き電動機 |
JP2005148035A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | Yaskawa Electric Corp | 回転形検出器 |
JP2009018970A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Ihi Corp | 酸素濃縮装置 |
US20120234078A1 (en) * | 2009-10-30 | 2012-09-20 | Peter Hagl | Sensor device |
JP2014507003A (ja) * | 2011-03-03 | 2014-03-20 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | ポリアミドの混合物を含むポリマー層を湿気吸収層として備える湿度センサ |
JP2014031913A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Sharp Corp | 収容器及び収容器の使用方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018002572A1 (de) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Fanuc Corporation | Wertgeber |
JP2018179905A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | ファナック株式会社 | エンコーダ |
US10267658B2 (en) | 2017-04-20 | 2019-04-23 | Fanuc Corporation | Encoder |
DE102018002572B4 (de) | 2017-04-20 | 2021-11-04 | Fanuc Corporation | Wertgeber |
CN110869711A (zh) * | 2017-07-14 | 2020-03-06 | 株式会社尼康 | 编码器及驱动装置 |
JP7473634B2 (ja) | 2019-09-20 | 2024-04-23 | レーニンベント エービー | 電気抵抗率の測定によって汚れの量を測定するための装置、方法、システム及びキット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106323343A (zh) | 2017-01-11 |
DE102016007722A1 (de) | 2017-01-05 |
US10317258B2 (en) | 2019-06-11 |
JP6499532B2 (ja) | 2019-04-10 |
US20170003251A1 (en) | 2017-01-05 |
DE102016007722B4 (de) | 2021-01-28 |
CN205909836U (zh) | 2017-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6499532B2 (ja) | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ | |
US20140035753A1 (en) | Smoke detection using change in permittivity of capacitor air dielectric | |
CN106374814B (zh) | 电动机驱动装置以及探测方法 | |
KR102059644B1 (ko) | 이상 진단 장치 | |
US11703313B2 (en) | Detection device for detecting a deformation of a housing of a high-voltage accumulator of a motor vehicle | |
US20180224494A1 (en) | Earth fault detector | |
EP2803055B1 (en) | Method and apparatus for detecting smoke in an ion chamber | |
US20170211948A1 (en) | Eddy Current Sensor | |
KR20150131977A (ko) | 전지 잔량 예측 장치 및 배터리 팩 | |
JP6841600B2 (ja) | センサ、センサを備えた駆動装置部品、駆動装置部品を備えた駆動装置並びに判定方法 | |
JPWO2011145186A1 (ja) | フィルタ目詰まり検出装置 | |
US10859447B2 (en) | Operating-status diagnostic apparatus | |
JP6157988B2 (ja) | 組電池モジュール | |
US20220349731A1 (en) | Encoder and drive device | |
JP2013007716A (ja) | 埃検知装置 | |
JP2018128213A (ja) | 防爆構造を有する電気回路 | |
JP2006308422A (ja) | 車載用半導体センサ | |
KR200144765Y1 (ko) | 진동 및 온도 온라인 측정시스템 | |
TW201525315A (zh) | 具磨耗檢測之線性傳動裝置 | |
RU2394404C1 (ru) | Электронный прибор | |
JP2022179852A (ja) | 冷媒漏洩検知装置および冷媒漏洩検知方法 | |
JP2009257880A (ja) | 油膜厚さ計測装置および方法 | |
JP6984500B2 (ja) | 検出システムおよび検出方法 | |
JP2004309375A (ja) | 寿命検出機能を有する電気・電子回路 | |
CN117242338A (zh) | 用于检测电子设备中的冷凝湿度和/或杂质的系统和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181019 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6499532 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |