JP2017011935A5 - - Google Patents

Description

（態様Ｆ）
前記態様Ａ〜Ｅのいずれかの態様において、前記折り返し弾性変形部、前記支持部及び前記可動部は、複数層構造をもつ単一の基板から形成されており、前記折り返し弾性変形部を構成する単一部材は、前記単一の基板を構成する一部の層を除去した残りの層であることを特徴とする。
これによれば、比較的高い剛性が求められる支持部及び可動部と、比較的低い剛性が求められる折り返し弾性変形部とを単一の基板から形成することができ、製造工程を簡略化できる。

Claims (10)

1. 単一部材から構成される折り返し構造を有する折り返し弾性変形部と、
   前記折り返し弾性変形部の一端を支持する支持部と、
   前記折り返し弾性変形部の他端側に取り付けられる可動部と、
   前記折り返し弾性変形部を変形させる駆動力を付与して前記可動部を所定の回動軸回りで繰り返し回動させる駆動手段とを有し、
   前記折り返し弾性変形部に、前記折り返し構造における往路部分の一部分とこれに隣り合う復路部分の一部分とを連結する連結部分が設けられた回動装置において、
   前記連結部分は、前記単一部材から構成され、前記折り返し構造と一体構造となっていることを特徴とする回動装置。
2. 請求項１に記載の回動装置において、
   前記連結部分は、前記所定の回転軸に沿って、前記折り返し構造における往路部分の一部分とこれに隣り合う復路部分の一部分とを連結することを特徴とする回動装置。
3. 請求項１又は２に記載の回動装置において、
   前記折り返し弾性変形部は、折り返し回数が１回を超える折り返し構造を有し、該折り返し構造には前記連結部分によって連結されない往路部分又は復路部分が存在することを特徴とする回動装置。
4. 請求項３に記載の回動装置において、
   前記連結部分は、前記折り返し構造の中で前記可動部に最も近い往路部分と復路部分とを連結することを特徴とする回動装置。
5. 請求項３に記載の回動装置において、
   前記連結部分は、前記折り返し構造の中で前記折り返し弾性変形部の前記一端と前記他端との間の略中央に位置する往路部分と復路部分とを連結することを特徴とする回動装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の回動装置において、
   前記折り返し弾性変形部、前記支持部及び前記可動部は、複数層構造をもつ単一の基板から形成されており、
   前記折り返し弾性変形部を構成する単一部材は、前記単一の基板を構成する一部の層を除去した残りの層であることを特徴とする回動装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の回動装置において、
   前記所定の回動軸に対して略直交する第二回動軸回りで前記可動部を繰り返し回動させる第二可動部回動手段を有することを特徴とする回動装置。
8. 請求項７に記載の回動装置において、
   前記第二可動部回動手段は、機械的共振を利用して、前記第二回動軸回りで前記可動部を繰り返し回動させることを特徴とする回動装置。
9. 光出力手段から出力される光を走査する走査手段を有する光走査装置において、
   前記走査手段は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の回動装置を用い、該回動装置の可動部に設けた光学部材の光反射面で光を走査することを特徴とする光走査装置。
10. 画像情報に基づく画像走査光を出力する画像走査光出力手段と、
    前記画像走査光出力手段から出力される画像走査光を二次元走査する走査手段とを有する画像表示装置において、
    前記走査手段は、請求項７又は８に記載の回動装置を用い、該回動装置の可動部に設けた光学部材の光反射面で光を走査するものであり、
    前記可動部を前記所定の回動軸回りで繰り返し回動させることにより画像水平方向及び画像垂直方向のうちの一方の方向に画像走査光を走査するとともに、前記可動部を前記第二回動軸回りで繰り返し回動させることにより画像水平方向及び画像垂直方向のうちの他方の方向に画像走査光を走査することを特徴とする画像表示装置。