JP2017011144A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 表面に凹部を有する下部電極を準備するステップと、
   前記下部電極の前記凹部の底面に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布し、前記塗布された複合体を焼結して圧電膜を形成するステップと、
   前記圧電膜の上に上部電極を形成するステップとを備えていることを特徴とする高周波超音波圧電素子の製造方法。
2. 前記上部電極を形成するステップにおいて、前記圧電膜の上に、アレイ状に配置され且つ前記圧電膜を露出する複数の開口部を有するマスクを配設し、前記圧電膜及びマスクを覆うように上部電極を形成した後に、前記マスクを除去することを特徴とする請求項１に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。
3. 前記下部電極を準備するステップにおいて、板状であり且つその表面に長さ方向に延びる凹部を有する下部電極を準備し、
   前記上部電極を形成するステップにおいて、前記圧電膜の上に、前記凹部が延びる方向に沿って整列するように配置された複数の上部電極を形成することを特徴とする請求項２に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。
4. 前記圧電膜を形成するステップにおいて、前記下部電極の上に、アレイ状に配置され且つ前記下部電極を露出する複数の開口部を有するマスクを配設した後に、スプレー法により前記下部電極の上に前記複合体を塗布し、前記複合体を焼結してアレイ状に配置された複数の圧電膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。
5. 前記下部電極を準備するステップにおいて、板状であり且つその表面に長さ方向に延びる凹部を有する下部電極を準備し、
   前記圧電膜を形成するステップにおいて、前記下部電極の前記凹部の底面に、該凹部が延びる方向に沿って整列するように配置された複数の圧電膜を形成することを特徴とする請求項４に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。
6. 前記下部電極を準備するステップにおいて、ロッド状であってその端面に凹部を有する下部電極を準備することを特徴とする請求項１に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。
7. 前記圧電粉末としてＰＺＴからなる圧電粉末を用いることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の高周波超音波圧電素子の製造方法。